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Mai 2007

ICS 17.040.30 VDI/VDE-RICHTLINIEN May 2007

VEREIN DEUTSCHER Genauigkeit von Koordinatenmessgeräten


INGENIEURE Kenngrößen und deren Prüfung
VERBAND DER VDI/VDE 2617
ELEKTROTECHNIK
Koordinatenmessgeräte mit optischer Antastung
Blatt 6.1 / Part 6.1
ELEKTRONIK Leitfaden zur Anwendung von
DIN EN ISO 10 360 für Koordinatenmessgeräte mit
Former editions: 06/98; 10/05 Draft, in German only

INFORMATIONSTECHNIK
Frühere Ausgaben: 06.98; 10.05, Entwurf, deutsch

optischen Sensoren für laterale Strukturen


Accuracy of coordinate measuring machines
Characteristics and their testing
Coordinate measuring machines with optical probing
Code of practice for the application of
DIN EN ISO 10 360 to coordinate measuring machines Ausg. deutsch/englisch
with optical sensors for lateral structures Issue German/English

Die deutsche Version dieser Richtlinie ist verbindlich. The German version of this guideline shall be taken as authorita-
tive. No guarantee can be given with respect to the English trans-
lation.

Inhalt Seite Contents Page

Vorbemerkung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2 Preliminary note . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2


Einleitung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2 Introduction . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2
1 Anwendungsbereich . . . . . . . . . . . . . . 3 1 Scope of application . . . . . . . . . . . . . . 3
2 Normative Verweise . . . . . . . . . . . . . . 4 2 Normative references . . . . . . . . . . . . . 4
3 Formelzeichen und Begriffe . . . . . . . . . . 4 3 Symbols and terms. . . . . . . . . . . . . . . 4
4 Sensorarten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6 4 Types of sensor . . . . . . . . . . . . . . . . 6
5 Funktion von Lateralsensoren . . . . . . . . . 7 5 Function of lateral sensors . . . . . . . . . . 7
5.1 Visuelle Sensoren . . . . . . . . . . . . . . 7 5.1 Visual sensors . . . . . . . . . . . . . . . 7
5.2 Laterale Auswertung bei 5.2 Lateral evaluation with
Abstandssensoren . . . . . . . . . . . . . . 19 distance sensors . . . . . . . . . . . . . . 19
6 Annahmeprüfung . . . . . . . . . . . . . . . . 20 6 Acceptance test . . . . . . . . . . . . . . . . 20
6.1 Antastabweichung . . . . . . . . . . . . . 21 6.1 Probing error . . . . . . . . . . . . . . . . 21
6.2 Längenmessabweichung . . . . . . . . . . 27 6.2 Length measurement deviation. . . . . . . 27
7 Überwachung . . . . . . . . . . . . . . . . . . 35 7 Monitoring . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 35
7.1 Prüfkörper. . . . . . . . . . . . . . . . . . 35 7.1 Test pieces . . . . . . . . . . . . . . . . . 35
7.2 Durchführung . . . . . . . . . . . . . . . . 35 7.2 Performance . . . . . . . . . . . . . . . . 35
7.3 Auswertung . . . . . . . . . . . . . . . . . 35 7.3 Evaluation . . . . . . . . . . . . . . . . . 35
Schrifttum. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 36 Bibliography . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 36
Anhang Strukturauflösung . . . . . . . . . . . . 37 Annex Structure resolution . . . . . . . . . . . . 37
A1 Einführung . . . . . . . . . . . . . . . . . 37 A1 Introduction . . . . . . . . . . . . . . . . 37
A2 Stand der Technik. . . . . . . . . . . . . . 38 A2 State of the art . . . . . . . . . . . . . . . 38

VDI/VDE-Gesellschaft Mess- und Automatisierungstechnik (GMA)


Fachausschuss Koordinatenmesstechnik

VDI/VDE-Handbuch Mess- und Automatisierungstechnik, Band 2: Fertigungstechnisches Messen


VDI-Handbuch Betriebstechnik, Teil 1: Betriebsmittel
VDI/VDE-Handbuch Mikro- und Feinwerktechnik
VDI/VDE-Handbuch Optische Technologien
–2– VDI/VDE 2617 Blatt 6.1 / Part 6.1

Vorbemerkung Preliminary note


Der Inhalt dieser Richtlinie ist entstanden unter sorg- The content of this guideline has been developed un-
fältiger Berücksichtigung der Vorgaben und Empfeh- der thorough consideration of the requirements and
lungen der Richtlinie VDI 1000. recommendations of guideline VDI 1000.
Allen, die ehrenamtlich an der Erstellung dieser We wish to express our gratitude to all honorary con-
Richtlinie mitgewirkt haben, sei auf diesem Wege tributors to this guideline.
herzlich gedankt.

Einleitung Introduction
In der Richtlinie VDI/VDE 2617 sind Kenngrößen Guideline VDI/VDE 2617 defines the characteristics
zur Beschreibung der Genauigkeit von Koordinaten- used for describing the accuracy of coordinate meas-
messgeräten (KMG) festgelegt und Verfahren zu ih- uring machines (CMMs) and provides descriptions of
rer Prüfung beschrieben. Die Richtlinie besteht aus the methods using for inspecting them. The guideline
folgenden Blättern: consists of the following parts:
Blatt 2.1 Leitfaden zur Anwendung von Part 2.1 Code of practice for the application of
DIN EN ISO 10360-2 zur Messung von DIN EN ISO 10360-2 for length measure-
Längenmaßen ment
Blatt 2.2 Formmessung Part 2.2 Form measurement
Blatt 2.3 Annahme- und Bestätigungsprüfung von Part 2.3 Acceptance and reverification checking of
Koordinatenmessgeräten großer Bauart large coordinate measuring machines
Blatt 3 Komponenten der Messabweichung des Part 3 Components of measurement deviation of
Gerätes the machine
Blatt 4 Leitfaden zur Anwendung von Part 4 Code of practice for the application of
DIN EN ISO 10 360-3 für Koordinaten- DIN EN ISO 10360-2 for coordinate
messgeräte mit Drehtisch measuring machines with rotary tables
Blatt 5 Überwachung durch Prüfkörper Part 5 Interim check with artefacts
Blatt 5.1 Überwachung mit Kugelplatten Part 5.1 Interim check with ball plates
Blatt 6.1 Koordinatenmessgeräte mit optischer Part 6.1 Coordinate measuring machines with
Antastung: Leitfaden zur Anwendung optical probing: Code of practice for the
von DIN EN ISO 10360 für Koordina- application of DIN EN ISO 10360 to co-
tenmessgeräte mit optischen Sensoren ordinate measuring machines with opti-
für laterale Strukturen cal sensors for lateral structuress
Blatt 6.2 Koordinatenmessgeräte mit optischer An- Part 6.2 Coordinate measuring machines with opti-
tastung: Leitfaden zur Anwendung von cal probes: Code of practice for the appli-
DIN EN ISO 10360 für Koordinatenmess- cation of DIN EN ISO 10360 for coordi-
geräte mit optischen Abstandssensoren nate measuring machines with optical
sensors for one-dimensional distance
measurement
Blatt 7 Ermittlung der Unsicherheit von Messun- Part 7 Estimation of measurement uncertainty of
gen auf Koordinatenmessgeräten durch coordinate measuring machines by means
Simulation of simulation
Blatt 8 Prüfprozesseignung von Messungen mit Part 8 Test suitability of measurements with co-
Koordinatenmessgeräten ordinate measuring machines
VDI/VDE 2617 Blatt 6.1 / Part 6.1 –3–

Blatt 9 Gelenkarm-Koordinatenmessgeräte Part 9 Articulated-arm coordinate measuring


machines
Blatt 10 Multisensor-Koordinatenmessgeräte Part 10 Multisensor coordinate measuring ma-
(in Vorbereitung) chines (in preparation)
Diese Richtlinie ersetzt die Richtlinie VDI/VDE 2617 This guideline replaces the guideline VDI/VDE 2617
Blatt 6. Im Vergleich zu den alten Richtlinien Part 6. The systematics have been changed since
VDI/VDE 2617 Blatt 6.1 und Blatt 6 ist die Systema- these older guidelines VDI/VDE 2617 Part 6.1 and
tik geändert worden und die Terminologie wurde an Part 6 and the terminology updated to conform with
die aktuelle Norm DIN EN ISO 10360 angepasst. the current standard DIN EN ISO 10360.

1 Anwendungsbereich 1 Scope of application


Zweck dieser Richtlinie ist es, für Koordinatenmess- It is the aim of this guideline to define specifications
geräte Spezifikationen und Verfahren zu deren Prü- and testing methods for coordinate measuring ma-
fung zu definieren. Hierbei wird die Vergleichbarkeit chines. This ensures the comparability of the charac-
der Kenngrößen von Koordinatenmessgeräten mit teristics of coordinate measuring machines with tac-
taktilen und mit optischen Sensoren sichergestellt. tile and with optical sensors.
Der Anwendungsbereich bezieht sich auf Koordina- The scope of application covers coordinate measur-
tenmessgeräte jeglicher Bauart mit optischen Lateral- ing machines of all designs with optical lateral sen-
sensoren, das sind senkrecht zur optischen Achse sors, that is, sensors measuring vertically with respect
messende Sensoren. Die Sensoren können über Zu- to the optical axis. If the corresponding additional de-
satzeinrichtungen auch dreh- oder schwenkbar sein. vices are fitted the sensors can also be rotated or piv-
Funktionsweise und Besonderheiten der Sensoren oted. Descriptions are provided about how the sen-
werden erläutert. sors work and special features they may have.
In enger Anlehnung an DIN EN ISO 10360-2 werden Based closely on DIN EN ISO 10360-2, the proce-
die Verfahren für die Annahmeprüfung und für die dures for the acceptance test and for checking the
Überwachung der Längenmessabweichung und der length measurement deviation and the probing error
Antastabweichung mit Lateralsensoren definiert. Die with lateral sensors are defined. In its previous edi-
Normenreihe DIN EN ISO 10360 ist in der bisher tions the DIN EN ISO 10360 series of standards was
vorliegenden Form sehr stark an taktilen Sensoren very markedly oriented towards tactile sensors. For
orientiert. Deshalb legt diese Richtlinie notwendige that reason the present guideline provides the neces-
Ergänzungen für die Anwendung optischer Sensoren sary additional material relating to the use of optical
fest: sensors:
• Alternativ zu Endmaßen verwendbare Normale • Measuring standards which can be used as an al-
ternative to reference gauge blocks
• Vergleichbarkeit der Kenngrößen bei Verwendung • Comparability of characteristics when alternative
von alternativen Normalen (beispielsweise mit standards are used (for example, with globular or
kugel- oder zylinderförmigen Begrenzungsflä- cylindrical boundary surfaces or chrome-glass
chen oder Chrom-Glas-Strukturen) structures)
• Vergleichbarkeit der Kenngrößen bei sensorab- • Comparability of characteristics in the case of
hängig unterschiedlichen Antaststrategien (unter- probing strategies which vary depending on the
schiedliche Punkteanzahl, Abdeckungsgrad der sensor (different number of points, degree of
anzutastenden Elemente, Nutzung von Zusatzein- masking of the elements to be probed, use of addi-
richtungen wie Dreh-/Schwenkeinrichtungen) tional devices such as rotation or pivoting devices)
• Definition der Kenngrößen für unterschiedliche • Definition of characteristics for different operat-
Betriebsbedingungen ing conditions
• Hinweise zum Umgang mit Einflussgrößen wie • Practical information on dealing with influencing
Umgebungsbedingungen, mathematische Filter factors such as environmental conditions, mathe-
und die Oberflächenbeschaffenheit der Prüfkörper matical filters and the surface finish of the test
pieces
Zur Spezifikation und Überprüfung von optischen Guidelines for the specification and checking of opti-
Sensoren werden Richtlinien durch OSIS-Arbeits- cal sensors have been drawn up by OSIS working
–4– VDI/VDE 2617 Blatt 6.1 / Part 6.1

gruppen (Optical Sensor Interface Standard) defi- groups (Optical Sensor Interface Standard). These
niert. Diese Richtlinien finden bei der Zusammen- are used when the sensor manufacturers and the man-
arbeit von Sensor- und Geräteherstellern bei der ufacturers of the equipment in which the sensor is to
Systemintegration Anwendung. Sie kommen nicht be fitted are working together on system integration.
für die Spezifikation und Überprüfung von Koordina- These guidelines are not, however, used in the speci-
tenmessgeräten im Verhältnis zwischen Hersteller fication and checking of coordinate measuring ma-
und Anwender zum Einsatz. chines when the two parties concerned are the manu-
facturer and the user.

2 Normative Verweise 2 Normative references


DIN EN ISO 10360-1:2003-07 Geometrische Pro- DIN EN ISO 10360-1:2003-07 Geometrical Prod-
duktspezifikation (GPS); Annahmeprüfung und uct Specifications (GPS); Acceptance and reverifi-
Bestätigungsprüfung für Koordinatenmessgeräte cation tests for coordinate measuring machines
(KMG); Teil 1: Begriffe (ISO 10360-1:2000 + (CMM); Part 1: Vocabulary (ISO 10360-1:2000 +
Corr 1:2002) (enthält Berichtigung AC:2002); Corr 1:2002) (includes Corrigendum AC:2002);
Deutsche Fassung EN ISO 10360-1:2000 + German version EN ISO 10360-1:2000 +
AC:2002. Berlin: Beuth Verlag AC:2002. Berlin: Beuth Verlag
DIN EN ISO 10360-2:2002 Geometrische Produkt- DIN EN ISO 10360-2:2002 Geometrical Product
spezifikation (GPS); Annahmeprüfung und Bestä- Specifications (GPS); Acceptance and reverifica-
tigungsprüfung für Koordinatenmessgeräte tion tests for coordinate measuring machines
(KMG); Teil 2: KMG angewendet für Längenmes- (CMM); Part 2: CMMs used for measuring
sungen (ISO 10360-2:2001); Deutsche Fassung size (ISO 10360-2:2001); German version EN
EN ISO 13060-2:2001. Berlin: Beuth Verlag ISO 13060-2:2001. Berlin: Beuth Verlag
DIN EN ISO 14253-1:1999-03 Geometrische Pro- DIN EN ISO 14253-1:1999-03 Geometrical product
duktspezifikationen (GPS); Prüfung von Werkstü- specifications (GPS); Inspection by measurement
cken und Messgeräten durch Messen; Teil 1: Ent- of workpieces and measuring equipment; Part 1:
scheidungsregeln für die Feststellung von Über- Decision rules for proving conformance or non-
einstimmung oder Nichtübereinstimmung mit conformance with specifications (ISO 14253-1:
Spezifikationen (ISO 14253-1:1998); Deutsche 1998); German version EN ISO 14253-1:1998.
Fassung EN ISO 14253-1:1998. Berlin: Beuth Berlin: Beuth Verlag
Verlag

3 Formelzeichen und Begriffe 3 Symbols and terms


Für die Anwendungen dieser Richtlinie gelten The definitions in DIN EN ISO 10360-1, DIN EN
die Definitionen aus DIN EN ISO 10360-1, ISO 14253-1 and VIM will apply to applications of
DIN EN ISO 14253-1 und VIM. Ergänzend werden the present guideline. In addition, the following char-
folgende Kenngrößen für verschiedene Betriebsarten acteristics for various operating modes (probing strat-
(Antaststrategien) neu eingeführt: egies) are introduced here for the first time:

Antastabweichung PF – Form (form) Probing error PF – form


PF Antastabweichung PF probing error
PF-2D(OT) zweidimensionale Antastabweichung PF-2D(OT) two-dimensional probing error with
unter Verwendung der Koordinaten- use of the coordinate axes of the coor-
achsen des Koordinatenmessgerätes dinate measuring machine (optical
(optical probing error translatory) – probing error translatory) – two-di-
zweidimensionale Messung am Bild mensional measurement on the image
PF(OA) dreidimensionale Antastabweichung PF(OA) three-dimensional probing error with
unter zusätzlicher Verwendung eines additional use of a rotating/tilting ar-
Dreh-Schwenk-Gelenks (optical pro- ticulation (optical probing error articu-
bing error articulating) lating)
VDI/VDE 2617 Blatt 6.1 / Part 6.1 –5–

PF-2D(OS) zweidimensionale Antastabweichung PF-2D(OS) two-dimensional probing error at


bei Stillstand der Koordinatenachsen standstill of the coordinate axes (opti-
(optical probing error static) – zwei- cal probing error static) – two-dimen-
dimensionale Messung im Bild sional measurement in the image

Antastabweichung PS – Maß (size) Probing error PS – size


PS ermittelte Maßabweichung des Nor- PS determined dimensional error of the
mals standard
PS-2D(OT) ermittelte Durchmesserabweichung PS-2D(OT) determined diametral error of the
des Normals unter Verwendung der standard with use of the coordinate
Koordinatenachsen des Koordinaten- axes of the coordinate measuring ma-
messgerätes (optical size error transla- chine (optical size error translatory) –
tory) – zweidimensionale Messung am two-dimensional measurement on the
Bild image
PS-1D(OT) ermittelte eindimensionale, achsparal- PS-1D(OT) determined one-dimensional, axially
lele Längen- oder Durchmesserabwei- parallel length or diametral error of the
chung des Normals unter Verwendung standard with use of the coordinate
der Koordinatenachsen (optical size axes (optical size error translatory) –
error translatory) – eindimensionale one-dimensional measurement on the
Messung am Bild image
PS-2D(OS) ermittelte Durchmesserabweichung PS-2D(OS) determined diametral error of the nor-
des Normals bei Stillstand der Koordi- mal at standstill of the coordinate axes
natenachsen (optical size error static) (optical size error static) – two-dimen-
– zweidimensionale Messung im Bild sional measurement in the image
PS-1D(OS) ermittelte eindimensionale, achsparal- PS-1D(OS) determined one-dimensional, axially
lele Längen- oder Durchmesserabwei- parallel length or diametral error of the
chung des Normals bei Stillstand der standard at standstill of the coordinate
Koordinatenachsen (optical size error axes (optical size error static) – one-di-
static) – eindimensionale Messung im mensional measurement in the image
Bild
PS(OA) ermittelte Durchmesserabweichung PS(OA) determined diametral error of the
des Normals unter zusätzlicher Ver- standard with additional use of a rotat-
wees (optical size error articulating) ing/tilting articulation (optical size er-
ror articulating)

Längenmessabweichung E Length measurement deviation E


E(OT) Längenmessabweichung unter Ver- E(OT) length measurement deviation with
wendung der Koordinatenachsen des use of the coordinate axes of the coor-
Koordinatenmessgerätes (optical error dinate measuring machine (optical er-
translatory) – dreidimensionale Mes- ror translatory) – three-dimensional
sung am Bild measurement on the image
E-2D(OT) zweidimensionale Längenmessabwei- E-2D(OT) two-dimensional length measurement
chung unter Verwendung der Koordi- deviation with use of the coordinate
natenachsen des Koordinatenmessge- axes of the coordinate measuring ma-
rätes (optical error translatory) – zwei- chine (optical error translatory) – two-
dimensionale Messung am Bild dimensional measurement on the im-
age
E-2D+(OT) zweidimensionale Längenmessabwei- E-2D+(OT) two-dimensional length measurement
chung unter Verwendung der Koordi- deviation with use of the coordinate
natenachsen des Koordinatenmessge- axes of the coordinate measuring ma-
rätes bei zusätzlicher Bewegung der chine with additional movement of the
dritten Achse third axis
E-1D(OT) eindimensionale, achsparallele Län- E-1D(OT) one-dimensional, axially parallel
genmessabweichung unter Verwen- length measurement deviation with
–6– VDI/VDE 2617 Blatt 6.1 / Part 6.1

dung der Koordinatenachsen des Ko- use of the coordinate axes of the coor-
ordinatenmessgerätes (optical error dinate measuring machine (optical er-
translatory) – eindimensionale Mes- ror translatory) – one-dimensional
sung am Bild measurement on the image
E-2D(OS) Längenmessabweichung bei Stillstand E-2D(OS) length measurement deviation at
der Koordinatenachsen (optical error standstill of the coordinate axes (opti-
static) – zweidimensionale Messung cal error static) – two-dimensional
im Bild measurement in the image
E-1D(OS) eindimensionale, achsparallele Län- E-1D(OS) one-dimensional, axially parallel
genmessabweichung bei Stillstand der length measurement deviation at
Koordinatenachsen (optical error standstill of the coordinate axes (opti-
static) – eindimensionale Messung im cal error static) – one-dimensional
Bild measurement in the image
E(OA) Längenmessabweichung unter zusätz- E(OA) length measurement deviation with
licher Verwendung eines Dreh- additional use of a rotating/tilting ar-
Schwenk-Gelenks (optical error arti- ticulation (optical error articulating)
culating)

Grenzwerte Limit values


MPExx Grenzwert für die Kenngröße xx MPExx limit for the characteristic xx
(maximum permissible error) (maximum permissible error)
Dies bedeutet z.B.: MPEPS-2D(OT) ist der Grenzwert This means for example that MPEPS-2D(OT) is the limit
für PS-2D(OT). for PS-2D(OT).

Hilfsgrößen Auxiliary variables


Rmax maximaler Abstand von Antastpunk- Rmax maximum distance between probing
ten zum Mittelpunkt des Ausgleichs- points and centre of the correction ele-
elements ment
Rmin minimaler Abstand von Antastpunk- Rmin minimum distance between probing
ten zum Mittelpunkt des Ausgleichs- points and centre of the correction ele-
elements ment
Da gemessener Durchmesser des Normals Da measured diameter of the standard (or
(oder Maß bei eindimensionaler Mes- dimension in the case of one-dimen-
sung) sional measurement)
Dr kalibrierter Durchmesser des Normals Dr calibrated diameter of the standard (or
(oder Maß bei eindimensionaler Mes- dimension in the case of one-dimen-
sung) sional measurement)
SD Abstandsabweichung von Kugel- oder SD distance error of sphere or circle cen-
Kreismittelpunkten tres
SPL Spanne der projizierten Längen beim SPL range of the projected lengths in test of
Test von MPE E-2D+ MPE E-2D+

4 Sensorarten 4 Types of sensor


Optische Sensoren sind unterteilbar in Sensoren, die Optical sensors may be subdivided into sensors
die Messung in Richtung der Sensorachse ermög- which enable measurement in the direction of the
lichen (Abstandssensoren – siehe VDI/VDE 2617 sensor axis (distance sensors – see VDI/VDE 2617
Blatt 6.2) und solche, die die Messung in lateraler Part 6.2) and sensors which enable measurement in
Richtung zur Sensorachse (diese entspricht der opti- the lateral direction to the sensor axis (this corre-
schen Achse des Abbildungssystems des Sensors) er- sponds to the optical axis of the imaging system of
möglichen (Lateralsensoren). Zur letztgenannten the sensor), that is, lateral sensors. The latter group
Gruppe gehören all die Sensoren für Koordinaten- includes all sensors for coordinate measuring ma-
messgeräte, die aus Messprojektoren und -mikro- chines developed from measuring projectors and
VDI/VDE 2617 Blatt 6.1 / Part 6.1 –7–

skopen entstanden sind und eine Messung in der measuring microscopes and which permit measure-
Bildebene einer Abbildungsoptik erlauben. Hierzu ment on the image plane of an imaging lens system.
gehören das visuell genutzte Fadenkreuz, verschie- These include cross-hairs (used visually), various
dene Punktsensorarten (Tastauge, Kreis-, Kreisring- types of point sensor (probing eye, circular/orbital
Sensor, Opto-Eye) und Bildverarbeitungssensoren sensor, Opto-Eye) and image-processing sensors
mit matrix- oder zeilenförmiger Bildaufnahme – sie with matrix- or line-based image recording. They are
werden auch als visuelle Sensoren bezeichnet. Eine also referred to as visual sensors. Lateral object prob-
laterale Objektabtastung ist auch durch entsprechend ing is also possible using correspondingly modified
modifizierte Verwendung von Abstandssensoren distance sensors which when operating in this way
möglich, die in dieser Betriebsart ebenfalls wie should be regarded as lateral sensors.
Lateralsensoren zu betrachten sind.
Die Lateralsensoren können in punkt-, linien- und Lateral sensors can be subdivided into punctiform,
flächenförmige Systeme aufgeteilt werden. linear and area systems.

Tabelle 1. Lateralsensoren Table 1. Lateral sensors


Punktförmig Fadenkreuz (visuell) Punctiform Cross-hairs (visual)

Tastauge Probing eye

Linienförmig Zeilenscanner Linear Line scanner

Linien-Lateral-Scanner Line lateral scanner (Eagle Eye)

Flächenförmig Matrixkamera Linear Matrix camera

Die punktförmigen Sensoren arbeiten nach dem The punctiform sensors work on the switching prin-
schaltenden Prinzip, linien- und flächenförmige Sen- ciple while linear and area sensors work predomi-
soren arbeiten überwiegend nach dem messenden nantly on the measuring principle. These sensors
Prinzip. Diese Sensoren verfügen über einen von have a working range which depends on their partic-
ihrer Ausführung abhängigen Arbeitsbereich, inner- ular design and within which measuring points can be
halb dessen die Gewinnung von Messpunkten auch obtained even without any relative movement of the
ohne Relativbewegung zwischen Messobjekt und object of measurement and the sensor.
Sensor möglich ist.

5 Funktion von Lateralsensoren 5 Function of lateral sensors


5.1 Visuelle Sensoren 5.1 Visual sensors
Unter visuellen Sensoren versteht man Sensoren, die By visual sensors we mean sensors which, in order to
zur Bestimmung von Messpunkten die Intensitätsver- determine measuring points, evaluate the distribution
teilung des optischen Bildes eines Werkstücks in der in intensity of the optical image of the workpiece on
Bildebene auswerten. Hierunter kann im weitesten the image plane. This group can in the widest sense
Sinne die Automatisierung des Messvorgangs ver- be understood as including systems which automate
standen werden, der bei Messprojektoren und Mikro- the measurement process which the human eye per-
skopen mit dem menschlichen Auge durchgeführt forms when measuring projectors and microscopes
wird. are used.

Beleuchtung – Voraussetzung für Illumination – essential for


sicheres Messen measuring accurately
Die Basis für jede Messung mit visuellen Sensoren The basis for any measurement made using visual
bildet die möglichst kontraststarke Darstellung und sensors is to display with the greatest possible con-
somit die Beleuchtung (Bild 1) der zu messenden trast and therefore the best possible illumination
Merkmale. Am einfachsten gelingt dies an den Au- (Figure 1) of the features to be measured. The sim-
ßenkanten der Messobjekte, die im Durchlicht erfass- plest way to achieve this is at the outside edges of the
bar sind. Ideale Voraussetzungen hierfür bieten fla- objects of measurement which can be detected in the
che Messobjekte. Bei räumlich ausgedehnten Kan- transmitted light. Flat measurement objects have the
ten, also hohen Bauteilen, ist jedoch die Wechselwir- ideal properties for this. However, when spatially ex-
kung zwischen Beleuchtung, Messobjekt und Abbil- tended edges are present – in other words, high ob-
–8– VDI/VDE 2617 Blatt 6.1 / Part 6.1

Bild 1. Wirkung der verschiedenen Beleuchtungsanordnungen Figure 1. Effect of different illumination arrangements for the
am gleichen Objekt (Chromstrukturen auf Glas) same object (chromium structures on glass)
• Durchlicht: Glasflächen als helle Stellen erkennbar, da licht- • Transmitted light: Glass surfaces identifiable as bright loca-
durchlässig, Chromstrukturen schwarz, da lichtundurchlässig. tions since they are transparent, chromium structures as black
since they are opaque.
• Hellfeld-Auflicht: Chromstrukturen hell, da reflektierend, Glas- • Bright-field incident illumination: Chromium structures bright
flächen schwarz, da sie das Licht passieren lassen. since they are reflective, glass surfaces black since they allow
light to pass through
• Dunkelfeld-Auflicht: Glas- und Chromflächen dunkel, da sie • Dark-field incident light: Both glass and chromium surfaces
das schräg eingestrahlte Licht nicht zur Kamera reflektieren. are dark since they do not reflect to the camera the obliquely
Es werden nun Oberflächenstrukturen sichtbar (Kratzer in der incident light. Surface structures are now visible (scratches in
Chromstruktur und Kanten der Chromstrukturen), an deren the chromium structure and edges of the chromium struc-
Grenzen Licht in Richtung Kamera gestreut wird. tures) at whose borders light is scattered in the direction of the
camera.

dungsstrahlengang zu beachten. Der Hersteller eines jects – attention must be paid to the interaction be-
Koordinatenmessgeräts hat dafür Sorge zu tragen, tween illumination, the target and the optical path.
dass die Öffnungswinkel (Aperturen) der einzelnen The manufacturer of a coordinate measuring machine
optischen Systeme aufeinander abgestimmt sind und must ensure that the apertures of the individual opti-
die Auswertesoftware Möglichkeiten zur ausrei- cal systems are matched to each other and that with
chend guten Kalibrierung der Algorithmen zur Kan- the evaluation software it is possible to obtain an ad-
tenortsbestimmung bietet. Für spezielle Anwendun- equate quality of calibration of the algorithms for de-
gen, wie das Messen rotationssymmetrischer Teile termining edge locations. For special applications
(z.B. liegende Zylinder), kommen zum Teil in der such as measuring rotationally symmetrical objects
Apertur verstellbare Durchlichteinheiten zum Ein- (such as cylinders lying flat), transmitted-light units
satz. with an adjustable aperture can sometimes be used.
Die Anwendung visueller Sensoren erfordert neben Not only does the use of visual sensors require illumi-
der Durchlichtbeleuchtung meist auch eine Auflicht- nation by transmitted light but also in most cases in-
beleuchtung, die dann zum Einsatz kommen muss, cident illumination, which will have to be used when
wenn Merkmale nicht im Durchlicht erfassbar sind. features cannot be detected in the transmitted light.
Zu unterscheiden sind zwei Arten: Das Hellfeld-Auf- Two variants are to be distinguished here: Bright-
licht wird parallel zur Achse des Strahlengangs auf field incident illumination is projected parallel to the
das Messobjekt projiziert. Im Idealfall erfolgt dies axis of the path of rays onto the target. Ideally this
direkt durch die Linsensysteme der Abbildungsoptik. will be directly through the lens systems of the imag-
Diese Beleuchtungsart erzielt z.B. auf Metallober- ing optics. With metal surfaces, for example, this type
flächen einen direkten Reflex. Das Messobjekt wird of illumination results in a direct reflection. The tar-
hell dargestellt. Geneigte Oberflächen reflektieren get appears as a bright image. Inclined surfaces re-
das Licht am Objektiv vorbei und werden somit dun- flect the light past the lens and thus appear dark.
kel abgebildet.
Das Dunkelfeld-Auflicht strahlt unter einem schrä- Dark-field incident light radiates onto the target at an
gen Winkel zum Beleuchtungsstrahlengang auf das oblique angle to the illuminating beam path. This
Messobjekt. Somit erscheinen die geneigten Ober- makes the inclined parts of the target surface appear
flächenanteile hell, die Licht in Richtung der Kamera bright since they reflect the light in the direction of
reflektieren. Zusätzlich wird das vom Objekt auf the camera. In addition, the light scattered by the ob-
VDI/VDE 2617 Blatt 6.1 / Part 6.1 –9–

Bild 2. Prinzip der winkelverstellbaren Dunkelfeld-Auflicht- Figure 2. Principle behind angle-adjustable dark-field incident
Beleuchtung light illumination
• Links: höhenverstellbare Ausführung für Objektive mit festem • Left: High-adjustable version for lenses with a fixed working
Arbeitsabstand distance
• Rechts: Möglichkeiten zur Veränderung des Beleuchtungs- • Right: Ways of changing the illumination angle in the case of
winkels bei Zoom mit variablem Arbeitsabstand durch Ansteu- zoom lens systems with variable working distance by address-
ern unterschiedlicher Diodenringe ing different LED rings

Grund vorhandener Oberflächenstrukturen gestreute ject due to its surface structures is picked up by the
Licht vom Sensor erfasst, sodass sich die sichere sensor which means that accurate evaluation of these
Auswertung dieser Bilder durch die entstehenden images is frequently made difficult by the “interfer-
„Störungen“ oftmals schwierig gestaltet. Normaler- ence” which ensues. Normally, annular arrangements
weise kommen für das Dunkelfeld-Auflicht ringför- are used for dark-field incident light, such as glass-
mige Anordnungen zum Einsatz, z.B. Glasfaser- fibre ring lights, for example. Their advantage is that
Ringlichter. Diese weisen den Vorteil eines geringen little heat is thereby input into the measured volume.
Wärmeeintrags in das Messvolumen auf. Durch Subdivision into different segments means that it is
Unterteilung in verschiedene Segmente kann die Be- possible to illuminate from different spatial direc-
leuchtung aus verschiedenen Raumrichtungen erfol- tions which results in different illumination effects.
gen, wodurch unterschiedliche Beleuchtungseffekte The use of light-emitting diodes (LEDs) makes it
entstehen. Licht emittierende Dioden (LED) ermög- possible to obtain the best adjustment of the dark-
lichen es, das Dunkelfeld-Auflicht optimal an die field incident light for the measurement task in ques-
Messaufgabe anzupassen. Kern der winkelverstell- tion. The characteristic feature of the angle-adjusta-
baren Beleuchtung nach Bild 2 sind mehrere auf ble type of illumination shown in Figure 2 is several
konzentrischen Ringen angeordnete LEDs, wobei die LEDs arranged in concentric rings, each ring also be-
Ringe jeweils in mehrere Sektoren unterteilt sind. In ing subdivided into several sectors. When combined
Kombination mit einer Zoomoptik mit variablem with a zoom lens system with variable working dis-
Arbeitsabstand ermöglicht es diese Beleuchtung, tance this type of illumination not only allows a wide
sowohl den Winkel zwischen Beleuchtung und opti- range of variation of the angle between the illumina-
scher Achse in einem weiten Bereich zu variieren tion and the optical axis (by selection of different
(Auswahl unterschiedlicher LED-Ringe) als auch die LED rings) but also permits the directions of illumi-
Beleuchtungsrichtungen zu verändern (Auswahl ver- nation to be changed (by selection of different ring
schiedener Sektoren der Ringe). Hierdurch wird es sectors). This means that high-contrast images may
möglich, auch bei schwierig auszuleuchtenden Sze- be obtained even with targets which are difficult to il-
nen kontrastreiche Abbildungen zu erhalten. luminate properly.
– 10 – VDI/VDE 2617 Blatt 6.1 / Part 6.1

Bild 3. Einfluss der Beleuchtungseinstellungen Figure 3. Influence of the lighting settings


• Oben: Beleuchtung mit zwei verschiedenen Beleuchtungs- • Top: Illumination with two different illumination directions
richtungen (rechts/links) (right/left)
• Unten: Beleuchtung mit zwei verschiedenen Beleuchtungs- • Bottom: Illumination with two different angles of illumination
winkeln (steil/flach) (steep/shallow)

Bei modernen Multisensor-Koordinatenmessgeräten In modern multi-sensor coordinate measuring ma-


sind alle Lichtquellen über die Messsoftware des Ge- chines, all light sources can be controlled automati-
räts automatisch steuerbar. Die Helligkeit kann an- cally via the machine’s measuring software. Bright-
hand des vom Objekt reflektierten Lichts geregelt ness can be regulated on the basis of the light
werden. Dies ermöglicht einen praxisgerechten Ein- reflected from the object. This approach offers a good
satz bei wechselnden Materialoberflächen. Eine practical solution when different material surfaces
rechnerische Korrektur der Lampenkennlinien ge- have to be dealt with in turn. Numerical correction of
stattet das Weiterverwenden der CNC-Programme the lamp characteristics means that the CNC pro-
auch nach einem Lampenwechsel (Bild 3). grams can still be used even after a lamp change
(Figure 3).

Abbildungsoptik – flexible Vergrößerungswahl Imaging optics – flexible selection of magnification


Die Abbildung des beleuchteten Messobjekts in die Imaging of the illuminated object of measurement on
Ebene des optoelektronischen Wandlers erfolgt mit the plane of the optical-electronic converter is carried
Hilfe eines Objektivs. Für die Ausführung dieser Ab- out with the aid of a lens. Various alternative designs
bildungsoptik existieren verschiedene Alternativen. exist for this imaging lens system. The characteristics
Die Kenngrößen der Optik beeinflussen die Mess- of the optics have a direct influence on the measure-
unsicherheit direkt, so ist z.B. aus der optischen ment uncertainty which means that it is, for example,
Vergrößerung und Kenntnis der Eigenschaften des possible from the optical magnification and knowl-
optoelektronischen Wandlers unmittelbar ein Rück- edge of the properties of the optical-electronic con-
schluss auf die erzielbare Auflösung des visuellen verter to deduce directly what resolution of the visual
Sensors möglich. Die besten Ergebnisse hinsichtlich sensor can be obtained. The best results as far as
der Messunsicherheit sind mit telezentrischen Objek- measurement uncertainty is concerned can be
tiven erreichbar. Die Telezentrie hat den Vorteil, dass achieved by using telecentric lenses. The advantage
bei Veränderung des Arbeitsabstands innerhalb des of telecentry is that if the working distance within the
Telezentriebereichs der Abbildungsmaßstab konstant telecentry range changes, the linear scale remains
bleibt und hierdurch keine zusätzlichen Messabwei- constant and no additional deviations in measure-
chungen hervorgerufen werden. Die beste Qualität ments thereby arise. The best quality is obtained with
erreichen telezentrische Objektive mit fester Vergrö- telecentric lenses of a fixed magnification.
ßerung.
Aus anwendungstechnischer Sicht ist es sinnvoll, From the practical point of view it makes sense to
hohe und niedrige Vergrößerungen miteinander zu combine high and low magnifications together. For
kombinieren. Es sollen z.B. weniger genau tolerierte example, less precisely toleranced features are to be
VDI/VDE 2617 Blatt 6.1 / Part 6.1 – 11 –

Bild 4. Einsatz eines Zooms mit einstellbarer Vergrößerung Figure 4. Use of a zoom lens system with adjustable magnifica-
(links) und variablem Arbeitsabstand (rechts) bei Messungen an tion (left) and variable working distance (right) for measurements
rotationssymmetrischen Teilen (Kollisionsgefahr) und tiefen Boh- on rotationally symmetrical objects (risk of collision) and deep
rungen holes

Merkmale möglichst schnell in einem Bild gemessen measured as fast as possible in an image or the ob-
oder auch die zu messenden Objekte bei grober Posi- jects to be measured also still need to be found with
tionierung auf dem Messgerät noch gefunden wer- rough positioning on the measuring instrument. At
den. Zugleich sollen aber eng tolerierte Merkmale in the same time, however, closely toleranced features
kleinen Bildfeldern hochgenau gemessen werden. are to be measured with a high degree of accuracy in
Mit telezentrischen Objektiven mit festem Abbil- small image fields. This task can be carried out in two
dungsmaßstab lässt sich dies auf zwei Wegen reali- ways when telecentric lenses with a fixed linear scale
sieren. Der eine Weg besteht darin, die Objektive zu are used. The first way is to change the lenses. This
wechseln. Automatisch kann dies z.B. durch einen can be done automatically by using a rotating turret,
Revolver geschehen. Problematisch ist die erforderli- for example. The problem with this is the high repro-
che hohe Reproduzierbarkeit beim Objektivwechsel. ducibility which is required when changing lenses.
Diese Vorgehensweise wirkt sich somit negativ auf This approach will therefore have a negative effect on
die Messunsicherheit aus. Da meist nur zwei ver- the measurement uncertainty. Since in most cases
schiedene Vergrößerungen erforderlich sind, besteht only two different magnifications are necessary, the
der elegantere Weg darin, zwischen zwei Bildverar- more elegant solution is to switch between two image
beitungssensoren unterschiedlicher Vergrößerung processing sensors of different magnifications.
umzuschalten.
Die größte Flexibilität wird durch Einsatz einer A zoom lens system provides the greatest flexibility
Zoomoptik erzielt (Bild 4). (Figure 4).
Auf Grund der Positionierbewegung der optischen Although the positioning movement of the optical
Komponenten im Objektiv sind zwar geringfügige components in the lens system means that some mi-
Genauigkeitsverluste zu erwarten, diese sind jedoch nor losses in accuracy are to be expected, with mod-
bei modernen Systemen weitgehend vernachlässig- ern systems they can mostly be regarded as negligi-
bar. ble.

Quellen der Antastabweichung bei Sources of probing deviation with


visuellen Sensoren visual sensors
Antastabweichungen entstehen bei den optischen With optical sensors, probing deviations primarily
Sensoren hauptsächlich durch Objekteigenschaften originate in the properties of the target (height exten-
(Höhenausdehnung, Oberflächenbeschaffenheit, Be- sion, surface finish, physical nature of the edge to be
schaffenheit der anzutastenden Kante). Die Größe probed). The magnitude of these probing deviations
der Antastabweichungen wird wesentlich von der Art is essentially determined by the type of illumination
(Durchlicht, Auflicht), der Richtung und der Apertur (illumination by transmitted light, incident light), its
– 12 – VDI/VDE 2617 Blatt 6.1 / Part 6.1

Bild 5. Veränderung des Abbildungsmaßstabs an hohen Kanten Figure 5. Change in the linear scale at high edges

Bild 6. Telezentrischer Strahlengang Figure 6. Telecentric optical path

der Beleuchtung sowie durch die Eigenschaften des direction and the illumination aperture as well as by
optischen Abbildungssystems bestimmt. Antast- the properties of the optical imaging system. Probing
abweichungen entstehen insbesondere durch: deviations arise in particular from:
• Veränderung des Abbildungsmaßstabs an • Change in the linear scale at high edges
hohen Kanten
Aus Bild 5 wird ersichtlich, dass der Abbil- As can be seen from Figure 5, the linear scale is
dungsmaßstab eine Funktion der Objekthöhe ist. a function of the height of the object. This prob-
Umgehen lässt sich dieses Problem durch die Ver- lem can be circumvented by using telecentric
wendung telezentrischer Objektive (Bild 6), die lenses (Figure 6) which within a limited object
innerhalb eines begrenzten Objektabstandes einen distance have a constant linear scale.
konstanten Abbildungsmaßstab haben.
• Veränderung des Abbildungsmaßstabes und Kan- • Change in linear scale and edge displacement due
tenverlagerung durch schiefe Objektlage to inclined positioning of object
Durch eine Schieflage des Werkstückes (Objekt- If the workpiece is positioned at an incline (the
ebene nicht senkrecht zur optischen Achse) object plane is not vertical with respect to the op-
kommt es ebenfalls zu einer Ortsabhängigkeit des tical axis), this will also result in the linear scale
Abbildungsmaßstabs und bei 3-D-Objekten zu being a function of location and, in the case of 3D
Abschattungen an den Kanten. Das Problem lässt objects, in a shadow effect at the edges. This prob-
sich durch Verwendung telezentrischer Objektive lem can be avoided by the use of telecentric lenses
oder durch exakte Ausrichtung des Werkstücks or by an exact alignment of the workpiece.
vermeiden.
VDI/VDE 2617 Blatt 6.1 / Part 6.1 – 13 –

Bild 7. Bündelbeschneidung bei Durchlicht an hohen Kanten Figure 7. Bundle cropping at high edges with transmitted light

• Bündelbegrenzung an hohen Kanten im Durch- • Limitation of light bundles at high edges in the
licht transmitted light
Die Abbildung von Bildpunkten durch optische The imaging of image points by optical imaging
Abbildungssysteme wird je nach Aperturblende systems is carried out by means of light bundles of
über mehr oder weniger große Lichtbündel ver- greater or smaller size, depending on the aperture
mittelt. An hohen Kanten werden diese Lichtbün- stop. At high edges these light bundles are
del durch die Kanten selbst beschnitten (Bild 7). cropped by the edges themselves (Figure 7).
Als Auswirkung kann der ermittelte Kantenort in An effect of this is that the detected location of the
Abhängigkeit vom Verfahren in den Hellbereich edge can be displaced into the bright area to an
verschoben werden. Dieser Fehler kann durch extent which depends on the method being used.
eine höhenabhängige Korrektur des Kantenortes This error can be cancelled out by making a
ausgeglichen werden. height-dependent correction of the edge location.
• Kantenverlagerung an senkrecht zur optischen • Edge displacement at objects curved vertically
Achse gekrümmten Messobjekten (z.B. liegenden with respect to the optical axis (for example, cyl-
Zylindern) inders lying flat)
Durch die Beleuchtungsapertur entstehen sowohl Due to the illumination aperture, edge displace-
im Durch- als auch im Auflicht in Abhängigkeit ments occur in both the transmitted light and the
von der gewählten Aperturblende Kantenverlage- incident light as a function of the aperture stop se-
rungen. Mit zunehmender Beleuchtungsapertur lected. As the aperture stop is increased, the edge
verlagert sich der Kantenort in den Hellbereich. location shifts into the bright area. This error can
Dieser Fehler kann durch eine krümmungsabhän- be compensated by making a curvature-dependent
gige Korrektur des Kantenortes ausgeglichen wer- correction of the edge location (reference meas-
den (Einmessen an liegenden Prüfzylindern). urements made on test cylinders lying flat).
• Kantenverlagerung durch Oberflächenbeschaffen- • Edge displacement due to surface finish in the in-
heit im Auflicht cident light
Bei Auflicht kann nur das reflektierte Licht zur With incident light, only the reflected light can be
Anwendung herangezogen werden. Die Reflexion used. Reflection of the light will be in a direction
des Lichtes ist je nach Oberfläche gerichtet, diffus which depends on the nature of the surface, either
oder mehr oder weniger gemischt. In Abhängig- diffusely or mixed to a greater or lesser degree.
keit von Messaufgabe und Messobjekt sind zur Depending on the measurement task and the ob-
Minimierung dieses Einflusses unterschiedliche ject of measurement, various illumination systems
Beleuchtungssysteme einzusetzen, gegebenenfalls can be used to minimize this influence, and it may
müssen messaufgabenspezifische Einmessungen also be necessary to carry out reference measure-
durchgeführt werden. ments appropriate to the measurement task in
question.
• Kantenverlagerung durch die Gestalt der Kanten • Edge displacement due to the shape of the edges
im Auflicht in the incident light
Bei der Erfassung von Teilekanten ist deren geo- The geometrical structure of the edges of objects
metrische Struktur von entscheidender Bedeu- is of decisive importance in registering them since
– 14 – VDI/VDE 2617 Blatt 6.1 / Part 6.1

Bild 8. Reflexion bei Auflicht an runden Kanten Figure 8. Reflection at round edges with incident light

tung, da von ihr ganz wesentlich die Wahl der the choice of the best lighting to use very much
zweckmäßigen Beleuchtung und damit natürlich depends on this, as does also the image at the sen-
das Bild auf dem Sensor abhängen (Bild 8). sor (Figure 8).
• Kantenverlagerung durch Streulicht im optischen • Edge displacement due to scattered light in the
Abbildungssystem optical imaging system
An Trennflächen von optischen Bauelementen des At the interfaces of optical components of the
Messgerätes kommt es zur Streuung des durchge- measuring instrument there may be scattering of
henden Lichts. Beim Lichtdurchgang durch viele the light which is passing through. This effect is
Grenzflächen verstärkt sich dieser Effekt. Er amplified when the light traverses a large number
macht sich in einer ortsabhängigen Aufhellung of boundary surfaces. It manifests itself as a posi-
der dunklen Bereiche bemerkbar und ist abhängig tion-dependent lightening of the dark areas and
von der Größe der anliegenden hellen Bildberei- depends on the size of the neighbouring bright ar-
che. Bei hochvergüteten Objektiven ist dieser Ein- eas of the image. A high-quality anti-reflection
fluss minimiert, was sich als eine Verschiebung coating on the lenses will minimize the phenome-
der Kante in Richtung der dunklen Bildbereiche non. The effect of it is to displace the edge to-
auswirkt. wards the dark areas of the image.

Punktförmige Sensoren Spot sensors


Die Punktsensoren erfassen einzelne Punkte der Spot sensors acquire individual points along the
Werkstückkontur durch relatives Verschieben des workpiece contour by means of a relative displace-
Sensors (Fadenkreuz, Tastauge, Kreis-Kreisring- ment of the sensor (cross-hairs, probing eye, circular/
Sensor) gegenüber dem anzutastenden Werkstück. orbital sensor) with respect to the workpiece which is
Bei der visuellen Antastung mittels Fadenkreuz über- to be probed. In the case of visual probing by means
nimmt das menschliche Auge die Koinzidenzlage- of cross-hairs, the human eye is used for determining
bestimmung, gegebenenfalls verbunden mit dem the coincidence position, and this approach may nec-
Nachteil der subjektiven Messwerterfassung. Die essarily bring with it the disadvantages inherent in the
Antastung erfolgt nach dem manuellen Einregeln subjective acquisition of measured data. Sensing
(Einfangen) der Koinzidenzlage (statische Messwert- takes place following manual adjustment (alignment)
erfassung). Das eigentliche Tastelement wird beim of the coincidence position (static measured data ac-
Fadenkreuz durch den Schnittpunkt zweier senkrech- quisition). With the cross-hairs, the probed element
ter Geraden gebildet. itself is formed by the intersection of two vertical
straight lines.
Bei der optoelektronischen Antastung wird während In the case of optical-electronic probing, as the sensor
der Verschiebung des Sensors über die Werkstück- is moved over the workpiece contour a measured
kontur bei Koinzidenzlage ein Messwertübernahme- value transfer signal is created when the coincident
signal gebildet. Dieses Signal löst die Speicherung position is reached. This signal causes the position of
der in diesem Moment aktuellen Position des Sensors the sensor at that moment to be saved (dynamic meas-
aus (dynamische Messwerterfassung). Der dazu not- ured data acquisition). However, technical problems
wendige Punktsensor lässt sich technisch nicht ideal stand in the way of building the kind of punctiform
VDI/VDE 2617 Blatt 6.1 / Part 6.1 – 15 –

verwirklichen. Unter Wahrung seiner rotationssym- sensor ideally needed for this. While retaining its ro-
metrischen Eigenschaften muss der Punkt zum Kreis tationally symmetrical properties, the point has to be
erweitert werden, wobei dessen wirksamer Durch- expanded to a circle, whose effective diameter on the
messer in der Objektebene gegenüber der Krümmung object plane should be negligibly small compared
der anzutastenden Schattenkante vernachlässigbar with the curvature of the shadow edge which is to be
klein sein sollte oder korrigiert werden muss. probed or, if it is not, it will have to be corrected.
Beim Tastauge wird ein kleiner kreisförmiger Be- With the probing eye a small circular area of the im-
reich der Bildebene von einem Fotoempfänger er- age plane is registered by a photosensitive device.
fasst. Dieser misst örtlich das einfallende Licht über This device carries out local measurement of the inci-
einer durch die Schattenkante angeschnittenen Kreis- dent light over a circular area which is transsected by
fläche. Vom Prinzip her entspricht damit das Tast- the shadow edge. As far as its operating principle is
auge einer „dünnen“ Lichtschranke. Der Kantenort concerned, the probing eye thus corresponds to a
wird mittels eines Schwellenwertes definiert. Dies er- “thin” light barrier. The location of the edge is de-
fordert eine Arbeitspunkteinstellung, in deren Ergeb- fined by means of a threshold value. This requires an
nis die Schaltschwelle festgelegt wird. Die Koinzi- operating-point setting in which the actuation thresh-
denzlage ist erreicht, wenn ein definierter Teil der old is specified. The coincidence position is reached
Sensorfläche abgeschattet ist. Das Verfahren wird in when a defined part of the sensor area is shaded. This
Messmikroskopen und Messprojektoren zur dynami- method is used for dynamic edge detection in meas-
schen Kantendetektion vorzugsweise im Durchlicht, uring microscopes and measuring projectors, prefer-
seltener im Auflicht eingesetzt. ably with illumination by transmitted light but less
frequently with incident light.
Der Kreis-Kreisring-Detektor nutzt eine rotations- The circular/orbital detector employs a rotationally
symmetrische Anordnung zweier Fotoempfänger zur symmetrical arrangement of two photosensitive de-
Kantendetektion. Die Empfängeranordnung besteht vices for edge detection. The receiver arrangement
aus den zwei gleich großen Fotodiodenflächen Kreis consists of the two equally sized photodiode areas of
und Kreisring, über die das einfallende Licht der ab- circle and annulus by means of which the incident
gebildeten Schattenkante örtlich integriert wird. Die light of the imaged shadow edge is locally integrated.
Koinzidenzlage ist erreicht, wenn die Differenz der The coincidence position is reached when the differ-
beiden Sensorsignale Null wird, das heißt, gleich ence between the two sensor signals becomes zero –
große Flächen des Kreisringes und des Kreises be- in other words, equally large areas of the annulus and
lichtet bzw. abgeschattet sind. Eine Arbeitspunkt- of the circle are illuminated or shaded. Setting the op-
einstellung ist nur für den Symmetrieabgleich im erating point is only necessary in the bright area for
Hellgebiet notwendig und gleicht die unterschiedli- symmetry adjustment and compensates for the differ-
chen Empfindlichkeiten oder die Flächen der beiden ent sensitivities or areas of the two photo-receivers.
Fotoempfänger aus. Das Verfahren wird in Messmi- This method is used for dynamic edge detection in
kroskopen zur dynamischen Kantendetektion vor- measuring microscopes, preferably with illumination
zugsweise im Durchlicht, seltener im Auflicht einge- by transmitted light but less frequently with incident
setzt. light.

Zeilenförmige Sensoren Linear sensors


Bei diesen Systemen (Bild 9) wird eine Zeilen- In these systems (Figure 9) a line-scanning camera
kamera mit annähernd konstanter Geschwindigkeit travels at an approximately constant speed continu-
kontinuierlich entlang des Messobjekts bewegt; die ously along the object of measurement. The image in-
Erfassung der Bildinformation ergibt sich durch per- formation is acquired by an uninterrupted reading of
manentes Auslesen der Zeile und Verknüpfung der the line and the linking of the information so as to as-
Informationen zu einem zweidimensionalen Bild. semble a two-dimensional image. This image can
Die Auswertung dieses Bildes kann dann analog zu then be evaluated in a similar way to the image eval-
den im nächsten Abschnitt beschriebenen Verfahren uation methods described in the next section. With
der Bildauswertung erfolgen. Zu beachten ist bei die- this approach, it should be noted that there is a direct
sem Konzept die direkte Abhängigkeit von erzielba- relationship between the accuracy which can be ob-
rer Genauigkeit und Verfahrgeschwindigkeit des Zei- tained and the speed at which the line converter trav-
lenwandlers. Geschwindigkeitsschwankungen der els. Speed fluctuations in the scanning movement
Scanbewegung können zu Messfehlern führen. may lead to measurement errors.
– 16 – VDI/VDE 2617 Blatt 6.1 / Part 6.1

Bild 9. Zeilenförmiger Sensor im Einsatz auf einem Koordina- Figure 9. Linear sensor used in a coordinate measuring machine
tenmessgerät zur Messung von Wellen for measuring shafts

Durch Aneinanderreihen mehrer Zeilen kann der By juxtaposing several lines together, the scanned
Scanbereich erweitert werden. Wird dies durch spezi- area can be extended. If this process is carried out by
elle extrem nicht-telezentrische Abbildungssysteme special, extremely non-telecentric imaging systems
erzielt (wie bei handelsüblichen Büroscannern), kön- (such as are found in office scanners), considerable
nen erhebliche Messabweichungen in Abhängigkeit measurement errors may occur whose magnitude will
von der Materialdicke und der Lage des Messobjek- depend on the thickness of the measurement object
tes auftreten, die kaum korrigierbar sind. material and of the position of the object: correcting
these errors is scarcely possible.

Flächenförmige Sensoren – Area sensors –


Bildverarbeitungssensor image-processing sensor
Der am häufigsten eingesetzte visuelle Sensor ist der The most frequently used visual sensor is the image-
Bildverarbeitungssensor mit Matrixkamera. Hier processing sensor with matrix camera. Here an image
wird das Messobjekt auf einen Flächenwandler of the object of measurement is formed on an area
(Videokamera) abgebildet. Die Kameraelektronik transducer (video camera). The camera electronics
wandelt das optische Bild in ein elektrisches Signal. convert the optical image into an electrical signal.
Dieses Signal wird mit Hilfe einer weiteren Elektro- With the aid of further electronic circuitry the signal
nik in ein digitales Bild umgesetzt, das letztlich zur is transformed into a digital image which is finally
rechnerinternen Bestimmung von Messpunkten mit used by the corresponding image-processing soft-
einer entsprechenden Bildverarbeitungssoftware her- ware within the computer to determine the measuring
angezogen wird. Zur Digitalisierung der Bilder wer- points. Image digitisation today is normally carried
den heute üblicherweise Kameras auf Halbleiterbasis out by cameras on a semiconductor basis (CCD,
(CCD, CMOS) in Verbindung mit PC-Komponenten CMOS) in conjunction with PC components for im-
für die Bilderfassung (Frame-Grabber) eingesetzt. age acquisition (frame-grabbers).
Die Software, mit der die Messpunkte aus den digita- The software which is used to obtain the measuring
lisierten Bilddaten ermittelt werden, beeinflusst we- points from the digitised image data has a considera-
sentlich die Qualität der Messergebnisse von Bildver- ble influence on the quality of the measurement results
arbeitungssensoren. Grundsätzlich sind zwei Soft- of image processing sensors. Basically, two types of
warekonzepte zu unterscheiden: der so genannte software approach may be distinguished: the so-called
„Edge Finder“ und die „Konturbildverarbeitung“. “edge finder” and “contour image processing”.
Mit dem Edge Finder werden die Schnittpunkte von With the edge finder, those points are identified
vordefinierten Linien mit den sichtbaren Konturen where predefined lines intersect the visible contours
des Objekts im Bild ermittelt. Dies wird nacheinan- of the object in the image. This is repeated succes-
der an vielen Stellen in einem vorher festgelegten sively at a large number of positions in a previously
VDI/VDE 2617 Blatt 6.1 / Part 6.1 – 17 –

Bild 10. Bildfilter Figure 10. Image filters


• Oben: Bildglättung – feine Strukturen (Störungen) werden • Top: Image smoothing – fine structures (unwanted features)
beseitigt are removed
• Unten: Kontrastverstärkung • Bottom: Contrast enhancement

Auswertebereich (Fenster) wiederholt. So entsteht defined evaluation area (window). In this way a set of
eine Menge von Messpunkten, die durch das Fenster measuring points is obtained which is combined by
zu einer Gruppe zusammengefasst werden. Für jede the window into a group. Each time an individual
Einzelpunktbestimmung erfolgt jedoch eine separate point is identified, however, there will be separate
eindimensionale Auswertung. Die im Bild enthaltene one-dimensional evaluation. This means that the
umfassende zweidimensionale Information wird so complete two-dimensional information contained in
nicht berücksichtigt. Dies führt insbesondere beim the image is thus ignored. The consequence may be
Messen im Auflicht zu Problemen. Störkonturen problems, particularly in the case of measurement in
durch Oberflächenstrukturen, Ausbrüche sowie Ver- incident light. Unwanted contours caused by surface
schmutzungen können nur bedingt erkannt und kom- structures, chipping and even contamination can only
pensiert werden. to a limited extent be detected and compensated for.
Bei der Konturbildverarbeitung wird das Bild inner- With contour image processing the image inside an
halb eines Auswertefensters als flächenhaftes Ganzes evaluation window is regarded as a two-dimensional
betrachtet. Mit Bildfiltern kann der Inhalt des Bildes whole. Image filters may be used to change the con-
so verändert werden, dass die Auswertung erleichtert tent of the image in such a way that evaluation is
wird. Es können z.B. Oberflächenstörungen heraus- made easier. Unwanted surface features, for example,
gefiltert oder der Kontrast verstärkt werden can be filtered out or the image contrast increased
(Bild 10). (Figure 10).
In dem so optimierten Bild werden durch geeignete Suitable mathematical algorithms are then applied to
mathematische Algorithmen Konturen extrahiert. extract the contours from the image which has been
Das Originalbild wird zur rechnerinternen Auswer- optimised in this way. The original image is trans-
tung in das Digitalbild gewandelt (Bild 11 oben formed into the digital image for the purpose of com-
Mitte), in dem jedem Bildpunkt ein Zahlenwert zuge- puter evaluation (Figure 11 top centre). Here a nu-
ordnet wird, der die Helligkeit des Bildes in diesem merical value is assigned to each image point which
Punkt angibt (Amplitude). Die Kontur kann zunächst gives the brightness of the image at that point (ampli-
durch einen Helligkeitsvergleich mit einem Schwel- tude). The contour can at this time be determined by
lenwert (hier z.B. 135) im Raster der Bildpunkte er- comparing the brightness values against a limit value
mittelt werden (Pixelkontur). Über eine Interpolation (here, for example, 135) in the matrix of the image
der Amplituden benachbarter Bildpunkte kann die points (pixel contour). By interpolating the ampli-
Kontur exakter, also mit höherer Auflösung als das tudes of neighbouring image points the contour can
Bildpunktraster bestimmt werden (Subpixelverfah- be determined more exactly – in other words, with a
ren, Subpixelkontur). Die Auflösung und damit die higher resolution than the image-point matrix (sub-
Messunsicherheit, die ohne ein solches Subpixeling pixel method, sub-pixel contour). This considerably
– 18 – VDI/VDE 2617 Blatt 6.1 / Part 6.1

Bild 11. Konturbildverarbeitung (vereinfacht) Figure 11. Contour image processing (simplified)

direkt durch den Pixelabstand begrenzt werden, wer- improves the resolution and thus the measurement
den so erheblich verbessert. uncertainty which without this sub-pixeling would be
directly limited by the pixel pitch.
Aus den Konturpunkten wird dann das Ausgleichs- A mathematical procedure (such as a Gaussian
element über ein mathematisches Verfahren (z.B. method) is then used to calculate the correction ele-
Gauß-Verfahren) berechnet, das zur visuellen Kon- ment from the contour points. This element is then
trolle im Monitorbild dem Originalgraubild über- displayed on the monitor screen as an overlay on the
lagert dargestellt wird (Bild 11 rechts unten). original grey-scale picture for the purpose of making
a visual check (Figure 11 bottom right).
Jedem Bildpunkt (Pixel) einer Kontur wird so ein ex- In this way an exact measuring point is assigned to
akter Messpunkt zugeordnet. Die Messpunkte wer- each image point (pixel) of a contour. The measuring
den wie bei einer Perlenkette aneinander gereiht. points are arranged in succession like a string of
Dies ergibt eine weitere Möglichkeit, Störeinflüsse beads. This provides another opportunity for detect-
beim Messen zu erkennen und durch Konturfilter zu ing interference effects during measurement and to
eliminieren, ohne die Form der Konturen zu verän- apply contour filters to eliminate them without
dern. Mehrere Konturen innerhalb eines Fangbe- changing the shape of the contours. It is possible to
reichs können unterschieden werden (Bild 12). Dies distinguish several contours within a single capture
ist für den Praxiseinsatz wichtig. Bei der abschlie- range (Figure 12). This is of importance in practical
ßenden Berechnung von Ausgleichselementen kön- applications. During the concluding calculation of
nen über Ausreißerbetrachtung erneut die Einflüsse correction elements the effects of dirt and the like can
von Schmutz und Ähnlichem reduziert werden. Hier- be reduced further. However, here the measurement
bei kann jedoch das Messergebnis auch verfälscht result could also be falsified. For this reason prefer-
werden. Dem Einsatz von Bild- und Konturfiltern ist ence should be given to image and contour filters.
deshalb der Vorzug zu geben.
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Bild 12. Möglichkeiten zur sicheren Messung durch Konturbild- Figure 12. Ways of obtaining accurate measurement results by
verarbeitung means of contour image processing
a) Fehlmessung auf Grund einer Verschmutzung a) Erroneous measurement due to contamination
b) Korrekte Messung durch Einsatz eines Konturfilters b) Correct measurement due to the use of a contour filter
c) und d) Großes Messfenster ermöglicht das Finden der Kontur c) and d) A large measurement window allows the contour to be
auch bei verschobenem Objekt. found even when the object has shifted
e) und f) Probleme beim Einsatz des Edge Finders bei verscho- e) and f) Problems when using the edge finder with displaced
benen Konturen contours

Bild 13. 2-D-Abstandssensor nach dem Laserlichtschnittprinzip Figure 13. 2D distance sensor on the laser light section principle

5.2 Laterale Auswertung bei Abstandssensoren 5.2 Lateral evaluation with distance sensors
Beim Laserlichtschnittverfahren (Bild 13) wird das In the laser light section method (Figure 13) the
klassische Lasertriangulationsverfahren auf eine classic laser triangulation method is extended to
zweidimensionale Messung erweitert, indem man cover a two-dimensional measurement. This is done,
z.B. den Laserstrahl durch einen in den Sensorkopf for example, by putting the laser beam into motion by
integrierten bewegten Spiegel (z.B. rotierender Poly- means of a moving mirror integrated in the sensor
gonspiegel) in Bewegung versetzt oder durch eine zy- head (for example, a rotating polygonal mirror) or by
lindrische Linse strichförmig aufweitet. Die Auswer- expanding it to a linear shape by means of a cylindri-
tung erfolgt dann durch eine Matrixkamera, sodass cal lens. Evaluation is then carried out via a matrix
man für viele Punkte ein durch Triangulation ermit- camera, thereby supplying for a large number of
teltes Messergebnis erhält. Hierdurch wird meist ein points a measurement result obtained by triangula-
Schnitt (Lichtschnitt) auf der Oberfläche des Mess- tion. In most cases a section (light section) on the sur-
objekts gemessen. Zum Messen einer dreidimensio- face of the object is measured. To measure a three-
nalen Oberfläche bewegt man das Koordinatenmess- dimensional surface the coordinate measuring ma-
gerät senkrecht zur Schnittebene (siehe auch chine is moved vertically with respect to the section
VDI 2617 Blatt 6.2). Auf dem gleichen Funktions- plane (see also VDI 2617 Part 6.2). On the same op-
prinzip basieren Sensoren, die z.B. für das Messen erating principle are based sensors which are, for ex-
– 20 – VDI/VDE 2617 Blatt 6.1 / Part 6.1

von Ausbrüchen, Löchern und Spalten an Blechteilen ample, suitable for measuring chips, holes and cracks
geeignet sind. Bei diesen Sensoren wird als Mess- in sheet metal. With these sensors the measurement
ergebnis nicht das oben beschriebene Höhenprofil result supplied is not the height profile of the object
der Objektoberfläche ausgegeben, sondern die durch surface which was described above but rather the
lateralen Schwellenwertentscheid ermittelte Breite width of the crack (as determined by the lateral
des Spaltes bzw. der Durchmesser und die Position threshold value specified) or the diameter and posi-
des Loches/Ausbruchs (Bild 14). tion of the hole or chip (Figure 14).

Bild 14. Laterale Auswertung bei 2-D-Abstandssensoren Figure 14. Lateral evaluation with 2D distance sensors (simpli-
(vereinfacht) fied)

Der Sensor wirkt deshalb analog wie ein visueller For this reason the sensor functions in a way similar
Sensor (Messung in einer Ebene senkrecht zu opti- to a visual sensor (measurement on a plane vertical to
schen Achse) und ist nach den hierfür vorgesehenen the optical axis) and should be checked by the proce-
Verfahren und mit entsprechend geeigneten Norma- dures laid down for this and using suitable standards.
len zu prüfen.

6 Annahmeprüfung 6 Acceptance test


Die Annahmeprüfung dient dazu festzustellen, ob das The acceptance test is used for determining whether
Koordinatenmessgerät mit optischen Sensoren die the coordinate measuring machine with optical sen-
vom Hersteller spezifizierten oder vertraglich verein- sors complies with the limit values specified by the
barten Grenzwerte für die Kenngrößen von Antast- manufacturer or contractually agreed for the charac-
abweichung und Längenmessabweichung einhält. teristics of probing error and length measurement de-
Vor der Durchführung der unter Abschnitt 6.1 und viation. Before carrying out the tests described in
Abschnitt 6.2 angegebenen Prüfungen sind die in der Section 6.1 and Section 6.2, the preparatory activities
Betriebsanleitung des Herstellers festgelegten Vorbe- laid down in the manufacturer’s operating manual
reitungen zu treffen, z.B.: should be completed. For example:
• Einschalten und Vorbereiten des Koordinaten- • switching on and preparing the coordinate meas-
messgerätes für den Messbetrieb uring machine for measurement
• Sensor konfigurieren und einmessen • configuring of the sensor and calibration
• ausreichend stabile Befestigung der Prüfkörper, • adequately stable mounting of the test piece, if at
möglichst ohne Verformung all possible without deformation
• Beleuchtungsart und -stärke nach Vorgabe des • setting the type and intensity of lighting as speci-
Herstellers einstellen fied by the manufacturer
Die notwendigen Informationen sollten vom Herstel- The manufacturer should provide the required infor-
ler gegeben werden. Bei den Prüfungen müssen die mation. The environmental and operating conditions
vom Hersteller vorgegebenen Umgebungs- und Be- specified by the manufacturer must be complied with
VDI/VDE 2617 Blatt 6.1 / Part 6.1 – 21 –

triebsbedingungen eingehalten werden. Die Einmes- during the tests. Calibration is only permitted to be
sung darf nur einmalig vor der gesamten Annahme- carried out once before the entire acceptance test.
prüfung durchgeführt werden. Dabei können ver- Here different parameter sets can be used for different
schiedene Parametersätze für verschiedene Betriebs- operating modes if this is available with the coordi-
zustände verwendet werden, wenn dies durch das Ko- nate measuring machine in normal operation as well
ordinatenmessgerät auch im normalen Betrieb ge- (for example, different limits and light characteristics
währleistet wird (z.B. unterschiedliche Schwellen- for different magnifications or different filter settings
werte und Lichtkennlinien für verschiedene for different types of illumination).
Vergrößerungen oder unterschiedliche Filtereinstel-
lungen für verschiedene Beleuchtungsarten).
Filterungen der Messwerte sind nur in dem Umfang Filtering measured values is only permissible to the
zulässig, wie sie für die zu prüfende Kenngröße als extent that the filters in question have been defined as
Randbedingung definiert sind oder beim normalen boundary conditions for the characteristic which is to
Gebrauch des Gerätes eingesetzt werden, da hier- be checked or are employed during normal use of the
durch die Auflösung der Sensoren beeinflusst wird. CMM since this will affect the resolution of the sen-
Insbesondere müssen die gleichen Einstellungen sors. It is particularly important that the same settings
beim Auflösungstest verwendet werden. Die Prüf- are used as with the resolution test. The test piece and
körper und das Gerät müssen die mittlere Temperatur the machine must have assumed the mean tempera-
des Messvolumens angenommen haben. Weicht die ture of the measurement volume. Should the mean
mittlere Temperatur der Prüfkörper und des Koordi- temperature of the test piece and of the coordinate
natenmessgerätes von der Bezugstemperatur nach measuring machine deviate from the reference tem-
DIN EN ISO 1 ab, so sind entsprechende Tempera- perature according to DIN EN ISO 1, the corre-
turkorrekturen vorzunehmen, sofern dieses im nor- sponding temperature corrections should be made,
malen Gebrauch des Gerätes ebenfalls geschieht. provided that this is also carried out within the scope
of normal use of the machine.

6.1 Antastabweichung 6.1 Probing error


Durch die Antastabweichung wird nach According to DIN EN ISO 10360 probing error de-
DIN EN ISO 10360 das Abweichungsverhalten des scribes the error characteristics of the entire system,
Gesamtsystems, bestehend aus Koordinatenmessge- consisting of the coordinate measuring machine, the
rät, optischem Sensor und eventuellen Zusatzeinrich- optical sensor and possibly additional devices as well
tungen (z.B. Beleuchtung, Dreh-/Schwenk-Gelenke) (for example, lighting, rotating/tilting articulations)
in einem sehr kleinen Messvolumen beschrieben. in a very small measurement volume. A distinction is
Hier wird zwischen der Antastabweichung Form (PF) drawn here between form probing error (PF) and size
und der Antastabweichung Maß (PS) unterschieden. probing error (PS).
Die Größe der Antastabweichung wird von den The magnitude of the probing error is determined by
Antastabweichungen des Koordinatenmessgerätes the probing errors of the coordinate measuring ma-
und in besonderem Maße von den Antastabweichun- chine and to a particular degree by the probing errors
gen des optischen Sensors bestimmt (z.B. Rauschen, of the optical sensor (for example, noise, digitising
Digitalisierungsfehler, Abbildungsfehler, optische errors, imaging errors, optical interactions with the
Wechselwirkungen mit der Oberfläche des Prüfkör- surface of the test piece, sensor calibration errors, in-
pers, Einmessfehler des Sensors, unzureichende Al- adequacy of the algorithms used in measured-value
gorithmen in der Messwertverarbeitung). processing).
Bei Koordinatenmessgeräten mit optischen Lateral- In the case of coordinate measuring machines with
sensoren besteht häufig die Möglichkeit, Messungen optical lateral sensors it is often possible to carry out
sowohl ohne Bewegung der Verfahrachsen des Koor- measurements not only without movement of the tra-
dinatenmessgerätes (Messung im Bild bei Flächen- versing axes of the coordinate measuring machine
und Liniensensoren) als auch mit Bewegung der Ver- (measurement in the image with area and linear sen-
fahrachsen des Koordinatenmessgerätes durchzufüh- sors) but also with movement of these axes (measure-
ren (Messung am Bild bei Flächen-, Linien- und ment on the image with area, linear and punctiform
Punktsensoren). sensors).
Zusätzlich besteht die Möglichkeit, eine Messung un- In addition it is also possible to carry out a measure-
ter Verwendung eines Dreh-/Schwenk-Gelenks ment while using a rotating/tilting articulation. This
durchzuführen. Hierdurch können Einschränkungen approach allows limitations imposed by the sensor to
– 22 – VDI/VDE 2617 Blatt 6.1 / Part 6.1

des Sensors umgangen werden (z.B. mangelnde oder be circumvented (such as deficient or poor capability
eingeschränkte Fähigkeit geneigte Flächen oder Ab- as regards measurement of inclined surfaces or dis-
stände in Achsrichtung des Sensors zu messen). Für tances in the axial direction of the sensor, for exam-
jeden dieser Fälle ergibt sich eine getrennte Angabe ple). For each of these cases the probing error will be
der Antastabweichung: given separately:
• Der Sensor wird durch das Koordinatenmessgerät • The sensor is moved (translated) through the coor-
verschoben, die Messung erfolgt in mehreren Po- dinate measuring machine with measurement be-
sitionen am Bild. Die zugehörige Antastabwei- ing carried out at several positions on the image.
chung wird als PF(OT) bzw. PS(OT) bezeichnet. The corresponding probing error is designated
Diese Messung ist grundsätzlich durchzuführen. PF(OT) or PS(OT). This measurement must al-
ways be carried out.
• Der Sensor steht beim Messen still; die Mess- • During measurement the sensor is stationary; the
punkte am Normal oder einem Teil davon werden measuring points on the standard or part thereof
an einer Position übernommen, die Messung er- are taken over at a single position; measurement
folgt im Bild. Die zugehörige Antastabweichung takes place in the image. The corresponding prob-
wird als PF(OS) bzw. PS(OS) bezeichnet. Diese ing error is referred to as PF(OS) or PS(OS). This
Messung kann bei Koordinatenmessgeräten mit measurement can addionally be carried out with
flächenförmigen und linienförmigen Lateral- coordinate measuring machines which have area
sensoren zusätzlich durchgeführt werden. Der and linear lateral sensors. Here the influence of
Einfluss des Koordinatenmessgerätes ist hier ge- the coordinate measuring machine is kept to a low
ring enthalten. Es werden allein die Eigenschaften level. Solely the properties of the sensors are reg-
des Sensors erfasst. Diese Kenngröße kann zu- istered. This characteristic can be specified in ad-
sätzlich zu PF(OT) spezifiziert werden. Falls dition to PF(OT). If not, specifying PF(OT) will
nicht, gilt für diesen Betriebsfall die Spezifikation apply to this operational case.
von PF(OT).
• Die Orientierung des Sensors wird zusätzlich • The orientation of the sensor is also changed by a
durch ein Dreh-/Schwenk-Gelenk verändert. Die rotating/tilting articulation. The corresponding
zugehörige Antastabweichung wird als PF(OA) probing error is referred to as PF(OA) or PS(OA).
bzw. PS(OA) bezeichnet. Diese muss grundsätz- This must always be checked for the three-dimen-
lich für den dreidimensionalen Fall geprüft wer- sional case if a rotating/tilting articulation is being
den, wenn ein Dreh-/Schwenk-Gelenk zum Ein- used. Should it not be possible to carry out the
satz kommt. Sollte die Durchführung des Tests test, this must be pointed out expressly by the
nicht möglich sein, muss vom Hersteller aus- manufacturer.
drücklich darauf hingewiesen werden.
Die Strukturauflösung des Sensors muss angegeben The structure resolution of the sensor must be speci-
werden, weil durch Filterverfahren die Strukturauf- fied since filtering can cause a deterioration in the
lösung herabgesetzt und gleichzeitig die Antast- structure resolution while simultaneously improving
abweichung verbessert werden kann. Der Hersteller the probing error. The manufacturer must provide de-
muss Normale, Messablauf und Auswertung zur Er- scriptions of the standards, measurement procedure
mittlung der Strukturauflösung beschreiben. Es ist zu and evaluation used for determining the structure res-
beachten, dass Messergebnisse bei unterschiedlichen olution. It should be noted that measurement results
Verfahren zur Auflösungsbestimmung nicht direkt cannot be compared directly with each other if differ-
miteinander vergleichbar sind. Bei Vergleich ver- ent methods are used to determine the structure reso-
schiedener Systeme sollte der Anwender darauf ach- lution. When comparing different systems the user
ten, gleiche Verfahren zur Auflösungsbestimmung zu should make sure that the same procedures are used
verwenden. In Anhang 1 wird die Strukturauflösung for determining resolution. A description of structure
beschrieben, und es werden Beispiele für Mess- resolution is provided in Annex 1 and examples are
verfahren zu deren Bestimmung angegeben. given of measurement procedures for determining it.

6.1.1 Prüfkörper 6.1.1 Test pieces


Zur Ermittlung der Antastabweichung können fol- The following calibrated standards can be used to de-
gende kalibrierte Normale verwendet werden: termine the probing error:
• für die Prüfung der dreidimensionalen Antast- • for checking the three-dimensional probing error:
abweichung: Kugeln balls
VDI/VDE 2617 Blatt 6.1 / Part 6.1 – 23 –

• für die Prüfung der zweidimensionalen Antast- • for checking the two-dimensional probing error:
abweichung: kreisförmige Strukturen mit gutem circular structures with a good contrast ratio, such
Kontrastverhältnis wie Chromkreise, Einstellringe as chrome disks, setting rings, or balls
oder Kugeln
• für die Prüfung der eindimensionalen Antast- • for checking the one-dimensional probing error:
abweichung: Endmaße oder breite Chromstriche gauge blocks or broad chrome lines on glass or
auf Glas oder Dorne für Wellenmessgeräte mandrels for shaft measuring systems
Erfolgt durch den Hersteller keine Spezifikation der If the manufacturer does not specify the standards to
Normale, sind diese unter den oben genannten frei be used, they should be freely selectable from those
wählbar. listed above.
Es sollte sichergestellt sein, dass die Kalibrierung für It should be ensured that calibration is valid for the
die gewählte Beleuchtungsart gültig ist. Die Form- type of illumination selected. The form deviation of
abweichung des Normals muss bei der Unsicherheit the standard must be taken into consideration in the
des Prüfverfahrens berücksichtigt werden. Ist die uncertainty of the testing procedure. If the form devi-
Formabweichung des Normals zu groß, kann auch ation of the standard is excessively large, it is permis-
mit der kalibrierten Form des Normals gearbeitet sible to use even the calibrated form of the standard.
werden. Ein Kalibrierschein zu Form und Durchmes- A calibration certificate specifying its form and di-
ser muss vorliegen. ameter must be available.
Für die Messung am Bild (PF(OT), PS(OT)) sollte For measurement on the image (PF(OT), PS(OT)) the
der Durchmesser des Normals 10 mm bis 50 mm be- diameter of the standard should be between 10 mm
tragen. Für die Messung im Bild (PF(OS), PS(OS)) and 50 mm. For measurement in the image (PF(OS),
ist der Durchmesser des Normals so zu wählen, dass PS(OS)) a diameter of the standard should be chosen
er etwa 0,1 bis 0,3 der Flächendiagonalen der Sensor- which is about 0,1 to 0,3 of the plane diagonals of the
messfläche beträgt, damit die Antastabweichung in sensor measurement area in order to allow the prob-
verschiedenen Positionen innerhalb des Messberei- ing error to be determined at different locations
ches des Sensors ermittelt werden kann. Müssen aus within the measurement range of the sensor. If other
technischen Gründen andere Durchmesser verwendet diameters have to be used for technical reasons, they
werden, so sind diese anzugeben. Die verwendeten should be indicated. The structure widths used should
Strukturbreiten sollten deutlich größer als die Struk- be markedly larger than the structure resolution of the

Bild 15. Erforderliche Strukturbreite am Beispiel eines Punkt- Figure 15. Structure width required for a punctiform sensor
sensors
– 24 – VDI/VDE 2617 Blatt 6.1 / Part 6.1

turauflösung des Sensors sein. Für eindimensionale sensor. The rules given above will apply analogously
Normale gelten die oben genannten Regeln analog. to one-dimensional standards.

6.1.2 Definition der Kenngrößen 6.1.2 Definition of characteristics


Die Kenngröße Antastabweichung PF ist nach The probing error PF characteristic is defined by
DIN EN ISO 10360 die Spanne der radialen Ab- DIN EN ISO 10360 as the span of the radial devia-
weichungen der Messpunkte vom berechneten Aus- tions of the measuring points from the calculated cor-
gleichselement. Dies entspricht der Differenz zwi- rection element. This corresponds to the difference
schen maximalem und minimalem Abstand von An- between the maximum and minimum distances be-
tastpunkten zum Mittelpunkt des Ausgleichselemen- tween the probing points and the mid-point of the
tes: correction element:
PF = Rmax – Rmin PF = Rmax – Rmin
Das Ausgleichselement wird nach der Methode der The correction element is determined by the method
kleinsten Fehlerquadratsumme bei freiem Radius be- of the smallest error square sum with a free range of
stimmt. radial distances.
Als weitere Kenngröße der Antastabweichung wird As a further characteristic of probing error the diam-
die Durchmesserabweichung PS bestimmt. Diese er- etral deviation PS is determined. This is obtained
gibt sich aus der Differenz zwischen gemessenem from the difference between the measured diameter
Durchmesser Da und kalibriertem Durchmesser Dr Da and the calibrated diameter Dr of the standard:
des Normals:
PS = (Da – Dr) PS = (Da – Dr)
Zusätzlich können vom Hersteller auch eindimensio- In addition to this, the manufacturer can also indicate
nale Kenngrößen angegeben werden, insbesondere one-dimensional characteristics, particularly when
wenn sich Messachsen in ihrer Genauigkeit unter- there are differences in the accuracy of the measure-
scheiden. Die Auswertung erfolgt in diesem Fall nur ment axes. In such a case, evaluation is carried out
für PS in analoger Weise. analogously for PS only.

6.1.3 Durchführung 6.1.3 Procedure


Die Prüfung der Antastabweichung erfolgt grund- Checking the probing error will always be carried out
sätzlich analog zu DIN EN ISO 10360. Die Verwen- as described in DIN EN ISO 10360. If filters or algo-
dung von Filtern bzw. Algorithmen zur Ausreißer- rithms are used to reduce outliers a precise descrip-
reduzierung muss genau beschrieben werden. Fehlen tion must be provided. If these details are not availa-
diese Angaben, dürfen die Kenngrößen auch ohne ble, it is permissible to determine the characteristics
Filter ermittelt werden. Auch hier ist zu beachten, even without a filter. Here, too, it should be noted that
dass die Filterverfahren, die beim praktischen Mes- the filtering methods used in practical measurement
sen eingesetzt werden, auch für die Prüfung der An- are also used for checking the probing error. Under
tastabweichung verwendet werden. Unter Umstän- certain circumstances, different values for probing er-
den sind für verschiedene Filtereinstellungen, die der ror will have to be determined for the different filter
Anwender benötigt, verschiedene Werte für die An- settings the user needs.
tastabweichung zu bestimmen.

2-D-Antastabweichung mit Bewegung der 2D probing error with movement of the


Verfahrachsen traversing axes
Für die Ermittlung der Kenngrößen PF-2D(OT) und To determine the characteristics PF-2D(OT) and
PS-2D(OT) sind jeweils mindestens 25 Messpositio- PS-2D(OT), in each case at least 25 measurement lo-
nen so zu wählen, dass das Normal möglichst voll- cations should be selected such that the standard is
ständig erfasst wird. Die Auswertebereiche der ver- covered as fully as possible. The evaluation areas of
schiedenen Positionen dürfen sich nicht überlappen; the different locations should not overlap; the evalua-
der Auswertebereich kann innerhalb des Sensormess- tion area can be placed anywhere within the sensor
bereiches beliebig gesetzt werden, wenn vom Herstel- measurement range unless otherwise specified by the
ler nicht anders spezifiziert. Die Geräteachsen müssen manufacturer. The machine axes must be moved be-
zwischen den Messpositionen bewegt werden; eine tween the measurement locations; refocusing is per-
Nachfokussierung ist zulässig, falls dies mit dem Sen- missible if it the sensor permits this. Checking can be
VDI/VDE 2617 Blatt 6.1 / Part 6.1 – 25 –

Bild 16. Prüfung der Antastabweichung PF(OT) und PS(OT) Figure 16. Checking the probing error PF(OT) and PS(OT) with
unter Einbeziehung der Verfahrachsen des Koordinatenmessge- inclusion of the traversing axes of the coordinate measuring
rätes machine

sor möglich ist. Die Prüfung kann an beliebigem Ort carried out at any location within the measurement
innerhalb des Messvolumens des Koordinatenmess- volume of the coordinate measuring machine. Partic-
gerätes erfolgen. Insbesondere ist darauf zu achten, ular attention should be paid to ensuring that checking
dass die Prüfung an einem anderen Ort erfolgt als das is carried out at a different location than calibration.
Einmessen. Die Normale sind nach Vorgabe des Her- Following the instructions of the manufacturer, the
stellers senkrecht zur Sensorachse auszurichten. Die standards should be aligned vertically to the sensor
Prüfung der Kenngrößen kann sowohl an positiven als axis. Checking of the characteristic can be carried out
auch an negativen Strukturen (z.B. helle und dunkle at both positive and negative structures (for example,
Kreise) erfolgen, um systematische Abweichungen bright and dark circles) in order to pick up systematic
der Kantenortsdetektion zu erkennen (Bild 16). errors in edge position detection (Figure 16).

2-D-Antastabweichung ohne Bewegung der 2D probing error without movement of the


Verfahrachsen traversing axes
Für die Ermittlung der Kenngrößen PF-2D(OS) und To determine the characteristics PF-2D(OS) and
PS-2D(OS) sind jeweils mindestens 25 Messpositio- PS-2D(OS), in each case at least 25 measurement lo-
nen ohne Bewegung der Koordinatenachsen so zu cations without involving movement of the coordinate
wählen, dass das Normal vollständig erfasst wird. axes should be selected such that the standard is cov-
Die Auswertebereiche der verschiedenen Positionen ered as fully as possible. The evaluation areas of the
dürfen sich nicht überlappen. Das Normal kann in- different locations should not overlap. The standard
nerhalb des Sensormessbereiches beliebig positio- can be positioned anywhere within the sensor meas-
niert werden, wenn vom Hersteller nicht anders spe- urement range unless otherwise specified by the man-
zifiziert. Eine Nachfokussierung ist nicht zulässig. ufacturer. Refocusing is not permitted. Checking can
Die Prüfung kann an beliebigem Ort innerhalb des be carried out at any location within the measurement
Messvolumens des Koordinatenmessgerätes erfol- volume of the coordinate measuring machine. Partic-
gen. Insbesondere ist darauf zu achten, dass die Prü- ular attention should be paid to ensuring that checking
fung an einem anderen Ort erfolgt als das Einmessen. is carried out at a different location than calibration.
Die Normale sind nach Vorgabe des Herstellers senk- Following the instructions of the manufacturer, the
recht zur Sensorachse auszurichten. Die Prüfung der standards should be aligned vertically to the sensor
Kenngrößen kann sowohl an positiven als auch an ne- axis. Checking of the characteristics can be carried
gativen Strukturen (z.B. helle und dunkle Kreise, out at both positive and negative structures (for exam-
siehe Bild 17) erfolgen, um systematische Abwei- ple, bright and dark circles – see Figure 17) in order
chungen der Kantenortsdetektion zu erkennen. Es to pick up systematic errors in edge position detec-
dürfen auch gleichzeitig mehrere Kreise im Bildfeld tion. It is also permissible to evaluate several circles in
ausgewertet werden, wenn sie alle in Form und the image field simultaneously provided they have all
Durchmesser kalibriert sind. been calibrated in form and diameter.

Antastabweichung bei Verwendung eines Probing error when a rotating/tilting articulation


Dreh-/Schwenk-Gelenks is used
Für die Ermittlung der Kenngrößen PF(OA) und To determine the characteristics PF(OA) and PS(OA),
PS(OA) sind jeweils mindestens 25 Messpositionen in each case at least 25 measurement locations should
– 26 – VDI/VDE 2617 Blatt 6.1 / Part 6.1

Bild 17. Prüfung der Antastabweichung PF(OS) und PS(OS) Figure 17. Checking the probing error PF(OS) and PS(OS) with-
ohne Einbeziehung der Verfahrachsen des Koordinatenmessge- out inclusion of the traversing axes of the coordinate measuring
rätes machine
Zulässig sind alle Positionen im Bild sowie positive (a) und nega- All locations in the image are permissible as well as positive (a)
tive (b) Strukturen. and negative (b) structures.

Bild 18. Prüfung der Antastabweichung PF(OA) und PS(OA) bei Figure 18. Checking the probing error PF(OA) and PS(OA) with
Verwendung eines Dreh/Schwenk-Gelenks (fünf Beispielpositio- use of a rotating/tilting articulation (five examples of locations)
nen)

so zu wählen, dass das Kugelnormal durch Messung be selected such that the ball standard is covered by
an den jeweiligen Großkreisen erfasst wird. Dabei measurements at the corresponding great circles.
müssen mindestens fünf möglichst verschiedene Here at least five positions of the rotating/tilting artic-
Stellungen des Dreh-/Schwenk-Gelenks verwendet ulation which should be as different as possible
werden (siehe Bild 18). Die Auswertebereiche für should be used (see Figure 18). The evaluation ar-
jeden der verschiedenen Messpunkte dürfen nicht eas for each of the different measuring points should
größer sein als 1/25 des Vollkreises und dürfen sich not be greater than 1/25 of the great circle and must
nicht überlappen. Der Auswertebereich kann inner- not overlap. The evaluation area can be placed any-
halb des Sensormessbereiches beliebig gesetzt wer- where within the sensor measurement range unless
den, wenn vom Hersteller nicht anders spezifiziert. otherwise specified by the manufacturer. The ma-
Die Geräteachsen müssen zwischen den Messpositi- chine axes must be moved between the measurement
onen bewegt werden; eine Nachfokussierung ist zu- locations; refocusing is permissible if the sensor per-
lässig, falls dies mit dem Sensor möglich ist. Die Prü- mits this. Checking can be carried out at any location
fung kann an beliebigem Ort innerhalb des Messvo- within the measurement volume of the coordinate
lumens des Koordinatenmessgerätes erfolgen. Insbe- measuring machine. Particular attention should be
VDI/VDE 2617 Blatt 6.1 / Part 6.1 – 27 –

sondere ist darauf zu achten, dass die Prüfung an paid to ensuring that checking is carried out at a dif-
einem anderen Ort erfolgt als das Einmessen. Für den ferent location than calibration. For the test the loca-
Test kann die Kugellage vorab auch mit einem ande- tion of the ball before-hand can be determined even
ren Sensor bestimmt werden, um die Funktion des using a different sensor in order to allow the sensor to
Sensors zu ermöglichen. Für die Auswertung der operate properly. However, as regards the evaluation
Kenngrößen muss die Kugel jedoch vollständig aus of the characteristics, the balls must be calculated en-
den während der Prüfung aufgenommenen Punkten tirely from the points acquired during the test (with-
berechnet werden (ohne Einschränkung der Frei- out restrictions on the degrees of freedom).
heitsgrade).
Die Prüfung von eindimensionalen Kenngrößen One-dimensional characteristics (PS-1D(OT) and
(PS-1D(OT), PS-1D(OS)) erfolgt in analoger Weise PS-1D(OS)) are checked in a similar manner to the
wie für die entsprechenden zweidimensionalen Grö- corresponding two-dimensional variables.
ßen.

6.1.4 Auswertung 6.1.4 Evaluation


Die Grenzwerte MPExx der Kenngrößen werden vom The limit values MPExx of the characteristics are
Gerätehersteller festgelegt. specified by the manufacturer of the CMM.
Die Spezifikation der Antastabweichungen ist einge- Specification of the probing errors is deemed to have
halten, wenn die ermittelten Werte der Kenngrößen been satisfied when the values determined for the
die zugehörigen Grenzwerte MPExx an keiner der characteristics do not exceed the corresponding limit
Messpositionen überschreiten. Hierbei ist die erwei- values MPExx at any of the measurement positions.
terte Messunsicherheit U des Prüfverfahrens zu be- The extended measurement uncertainty U of the test-
rücksichtigen (siehe DIN EN ISO 14253-1). ing method must be taken into account here (see
DIN EN ISO 14253-1).
|Px(xx)| ≤ |MPExx| – U für den Hersteller |Px(xx)| ≤ |MPExx| – U for the manufacturer
|Px(xx))| ≤ |MPExx| + U für den Abnehmer |Px(xx))| ≤ |MPExx| + U for the purchaser
Tritt genau eine Überschreitung auf, so ist gemäß Should there be just one instance of a limit being ex-
DIN EN ISO 10360 diese Messung zehnmal zu wie- ceeded, then according to DIN EN ISO 10360 this
derholen. Erreichen oder unterschreiten die gemesse- measurement must be repeated ten times. Should the
nen Werte bei der Wiederholung die Grenzwerte, so measured values be equal to or less than the limit val-
ist die Annahme erfolgreich. Die Grenzwerte der ues during these repetitions, this means acceptance is
Kenngrößen sind unter allen vom Hersteller zugelas- successful. The limits of the characteristics must be
senen Bedingungen einzuhalten. Dies gilt insbeson- complied with under all conditions approved by the
dere hinsichtlich der Prüfkörper und der Filterpara- manufacturer. This applies in particular to the test
meter. pieces and the filter parameters.

6.2 Längenmessabweichung 6.2 Length measurement deviation


Durch die Längenmessabweichung wird nach According to DIN EN ISO 10360 the length meas-
DIN EN ISO 10360 das dreidimensionale Abwei- urement deviation describes the three-dimensional
chungsverhalten des Gesamtsystems, bestehend aus error behaviour of the entire system, consisting of the
Koordinatenmessgerät und Sensor, im gesamten coordinate measuring machine and sensor, over the
Messvolumen beschrieben. Dieses Abweichungsver- entire measurement volume. This error behaviour
halten entsteht durch die Überlagerung verschiedener arises from superposing different individual errors
Einzelabweichungen, z.B. nicht korrigierte systema- such as uncorrected systematic errors, uncorrected
tische Abweichungen und nicht korrigierte Umkehr- hysteresis errors due to movement of the coordinate
spannen durch Bewegung der Koordinatenachsen so- axes, and also random deviations. In the case of coor-
wie zufällige Abweichungen. Der Wert der Längen- dinate measuring machines with optical lateral sen-
messabweichung kann bei Koordinatenmessgeräten sors, the value of length measurement deviation can
mit optischen Lateralsensoren in besonderem Maße be determined especially from the errors of the sen-
von den Abweichungen des Sensors bestimmt sor.
werden.
Werden bei Messungen Dreh-/Schwenk-Gelenke If rotating/tilting articulations or other additional de-
oder andere Zusatzeinrichtungen verwendet, sind die vices are used in measurements, the measurement er-
– 28 – VDI/VDE 2617 Blatt 6.1 / Part 6.1

durch sie verursachten Messabweichungen bei der rors which they cause must be taken into account
Bestimmung der Längenmessabweichung einzube- when determining the length measurement deviation.
ziehen. Anderenfalls sind diese Einrichtungen ein- If not, these devices must be clearly excluded.
deutig auszuschließen.

6.2.1 Prüfkörper 6.2.1 Test pieces


Zur Bestimmung der Längenmessabweichung wer- Test pieces which can be optically probed are used
den optisch antastbare Prüfkörper mit Längenmaß- for determining the length measurement deviation.
verkörperungen, wie Maßstäbe (z.B. Chromstriche They have linear material measures such as scales
auf Glasstäben oder Zielmarken auf Kohlefaserstä- (for example, chrome lines on glass rods or aiming
ben), 2-D-Maßverkörperungen (z.B. Chromstruktu- markings on carbon fibre rods), 2D material meas-
ren auf Glasplatte oder metallischen Lochblenden), ures (such as chrome structures on glass plates or per-
Kugelstäbe mit zwei oder mehreren Kugeln, Kugel- forated metallic masks), ball rods with two or more
leisten (nachfolgend zusammenfassend als Kugel- balls (from now on referred to by the umbrella term of
stäbe bezeichnet) oder Kugelplatten, verwendet. ball rods) or ball plates.
Endmaße und Stufenendmaße sind für die Prüfung For this test the gauge blocks and step gauge blocks
nicht gut geeignet, da sie für die Flächenmitten kali- are not very suitable since they are calibrated for the
briert sind und sich mit Lateralsensoren nur Konturen mid-points of surfaces and with lateral sensors only
messen lassen. Für Wellenmessgeräte können auch contours can be measured. For shaft measuring de-
Dorne oder Stufenwellen mit kalibrierten Abständen vices, mandrels or stepped shafts with calibrated dis-
der Stirnflächen verwendet werden. tances of the end faces can be used.
Die spezifizierten Längenmessabweichungen gelten The specified length measurement deviations are
für Längenmaßverkörperungen mit einem ther- valid for linear material measures with a coefficient
mischen Ausdehnungskoeffizienten entsprechend of thermal expansion corresponding to that of steel.
Stahl. Abweichungen hiervon sind vom Hersteller Deviations from this should be pointed out by the
anzugeben. Werden als Prüfkörper Chrommasken manufacturer. If chrome masks are used as test
verwendet, ist darauf zu achten, dass die Art der An- pieces, care should be taken that the probing method
tastung dem Verfahren der Kalibrierung entspricht. is the same as that used in calibration. This also ap-
Das beinhaltet auch die Art der Beleuchtung. plies to the type of illumination.
Die Abstände des Prüfkörpers müssen kalibriert sein. The distances of the test piece must be calibrated. It
Es sollte sichergestellt sein, dass die Kalibrierung für should be ensured that calibration is valid for the type
die gewählte Beleuchtungsart und Punktverteilung of illumination and point distribution selected. The
gültig ist. Die Kalibrierunsicherheit des Prüfkörpers calibration uncertainty of the test piece must be doc-
muss dokumentiert und deutlich kleiner als die vom umented. It should be considerably less than the max-
Hersteller angegebenen maximal zulässigen Längen- imum permitted length measurement deviations
messabweichungen des zu prüfenden Koordinaten- specified by the manufacturer for the coordinate
messgerätes sein und bei der Unsicherheit des Prüf- measuring machine to be tested and also be taken into
verfahrens berücksichtigt werden (siehe hierzu DIN account in the uncertainty of the test procedure (in
EN ISO 14253-1). this connection see DIN EN ISO 14253 -1).
Erfolgt durch den Hersteller keine Spezifikation des If the manufacturer does not specify any details re-
Prüfkörpers, ist dieser frei wählbar. garding the test piece, a free choice of test pieces is
permitted.

6.2.2 Definition der Kenngröße 6.2.2 Definition of the characteristic


Die Kenngröße Längenmessabweichung E ist nach According to DIN EN ISO 10360 the characteristic
DIN EN ISO 10360 die Abweichung, mit der die of length measurement deviation E is the error with
Länge einer Maßverkörperung mit dem Koordinaten- which the length of a material measure can be deter-
messgerät bestimmt werden kann, wenn die Messung mined with the coordinate measuring machine when
durch bidirektionale Antastung von zwei gegenüber- measurement by bidirectional probing of two oppo-
liegenden Punkten aus entgegengesetzten Richtun- site points is carried out on nominally parallel sur-
gen an nominell parallelen Flächen senkrecht zu ei- faces from opposed directions and vertically to one of
ner der beiden Flächen durchgeführt wird. Der Ab- the two surfaces. The distance between these points is
stand zwischen diesen Punkten ist die Prüflänge. the test length.
VDI/VDE 2617 Blatt 6.1 / Part 6.1 – 29 –

Wenn die Längenmessabweichung nicht wie oben If it is not possible to determine the length measure-
beschrieben ermittelt werden kann, sondern z.B. ment deviation in the way just described but instead
durch Mehrpunktantastung oder die Messung von by, for example, multiple point probing or by measur-
Strichmitten oder Kreismittelpunkten, ist durch den ing the midpoints of lines or of disks, the manufac-
Hersteller darauf besonders hinzuweisen. Durch ge- turer should drawn particular attention to this. Suita-
eignete Maßnahmen ist eine Vergleichbarkeit der Er- ble steps should be taken to ensure the comparability
gebnisse herzustellen (siehe Abschnitt 6.2.3 und Ab- of the results (see Section 6.2.3 and Section 6.2.4).
schnitt 6.2.4).

6.2.3 Durchführung 6.2.3 Testing


Bei der Prüfung der Längenmessabweichung sind die Compliance with the operating conditions specified
vom Hersteller angegebenen Betriebsbedingungen by the manufacturer (magnification, illumination
(Vergrößerung, Beleuchtungsart, Punkteverteilung, type, point distribution, probing strategy) should be
Antaststrategie) zu verwenden. Sind keine Angaben ensured when checking the length measurement devi-
vorhanden, kann die Betriebsart frei gewählt werden. ation. If no details are provided, there can be a free
choice of operating mode.
Nach DIN EN ISO 10360-2 sind Prüflängen an Prüf- According to DIN EN ISO 10360-2, measurements
körpern in vier Raumdiagonalen und in drei weiteren are to be taken of test lengths on test pieces in four
vom Anwender zu wählenden Lagen zu messen. Ist body diagonals and in a further three positions to be
die Messung von Raumdiagonalen aus technischen selected by the user. If measurement of body diago-
Gründen nicht möglich, sind ähnliche Lagen zu wäh- nals is not possible for technical reasons, similar po-
len. sitions should be selected.
Es sind in jeder Messlinie fünf Prüflängen je dreimal On each measurement line five test lengths are to be
zu messen. Die kleinste Prüflänge sollte nicht größer measured three times each. The smallest test length
als 30 mm sein, die größte muss mindestens 66 % der should not be more than 30 mm long while the largest
Raumdiagonale des Messvolumens überdecken. Die should cover at least 66 % of the body diagonal of the
übrigen Prüflängen sind so zu wählen, dass sie etwa measurement volume. The remaining test lengths
gleichmäßig über die Länge der Messlinie abgestuft should be selected so that they are divided up approx-
sind. Können geräte- oder sensorbedingt nur ein- imately evenly over the length of the measurement
oder zweidimensionale Messungen durchgeführt line. If, due to the nature of the machine or sensor, it
werden, ist dies vom Hersteller anzugeben. is only possible to carry out one- or two-dimensional
measurements, this should be stated by the manufac-
turer.
Für die dreidimensionale Messung von z.B. Glas- In the case of three-dimensional measurement of
maßstäben ist es erforderlich, vor der Messung der glass scales, for example, it is necessary, before
Prüflängen eine räumliche Ausrichtung (Werkstück- measurement of the test lengths, to carry out spatial
lagebestimmung) durch Messung mit Abstandssen- alignment (determination of the workpiece position)
soren (Autofokus) oder mechanischen Tastern vorzu- by measuring using distance sensors (autofocusing)
nehmen. or mechanical probes.
Wenn kein Dreh-/Schwenk-Gelenk vorhanden ist, If a rotating/tilting articulation is not present, it will
kann die zur optischen Achse parallele Messlinie not be possible to check the measurement line paral-
(meist in Richtung der z-Achse) nicht geprüft wer- lel to the optical axis (in most cases along the z axis).
den. In diesem Fall kann, wenn vorhanden, mit einem In this case, a tactile sensor, if present, can be used for
taktilen Taster an einem entsprechenden Normal testing on a corresponding standard (a step gauge
(z.B. Stufenendmaß) geprüft werden. Steht dieser block, for example). If this is not available, steps cal-
nicht zur Verfügung, können ersatzweise mit einem ibrated with a distance sensor can be used instead for
Abstandssensor kalibrierte Stufen, z.B. erzeugt durch measurement (the steps being produced, for example,
angeschobene Endmaße, gemessen werden (begrenzt by gauge blocks being slid into position). This
durch den Arbeitabstand des Sensors und nur uni- method is limited by the working distance of the sen-
direktional). Eine andere Möglichkeit ist die achspa- sor and is only unidirectional. Another possibility is
rallele Messung mit einem Laserinterferometer. In to carry out axially parallel measurement using a la-
diesem Fall werden die Abweichungen des Sensors ser interferometer. With this method the deviations of
nicht erfasst. the sensor will not be picked up.
– 30 – VDI/VDE 2617 Blatt 6.1 / Part 6.1

Bei der Verwendung von Chrommasken oder End- When chrome masks or gauge blocks are used, five
maßen werden in jeder Lage/Orientierung fünf Län- lengths are measured in each position or orientation.
gen gemessen. Bei der Wiederholmessung der During repeat measurement of the test lengths, in
Prüflängen wird jeweils abwechselnd die linke und each case the left-hand and right-hand measuring
rechte Messkante bzw. Messfläche angetastet. Für die edges or measuring planes are probed alternately. It is
Auswertung darf ausdrücklich jeweils nur ein Einzel- expressly pointed out that only one individual meas-
messpunkt verwendet werden. urement point may be used in each case for the eval-
uation.
Bei der Messung von Kreismittenpositionen oder In the measurement of circle or line mid-points, an
Strichmitten treten im Vergleich zur Messung von averaging effect will occur and possibly compensa-
Strichkanten Mittelungseffekte und gegebenenfalls tion of systematic probing errors (this is not the case
Kompensationen systematischer Antastabweichun- when line edges are measured). To obtain compara-
gen auf. Zur Herstellung der Vergleichbarkeit kann bility, a short parallel gauge block or a structure width
ein kurzes Parallelendmaß bzw. eine Strukturbreite can be additionally measured with each measurement
nach oben beschriebener Verfahrensweise mit jeder length following the procedure described above, and
Messlänge zusätzlich gemessen und hieraus ein Kor- from this a correction value obtained for the measure-
rekturwert für die jeweilige Messlänge ermittelt wer- ment length in question. The orientation of the gauge
den. Die Orientierung des Endmaßes bzw. der Struk- block or the structure width will be parallel to the cor-
turbreite erfolgt parallel zur jeweiligen Messlinie von responding measurement line of the ball rod or plate.
Kugelstab oder -platte. Alternativ kann der Korrek- Alternatively, the correction value could also be ob-
turwert auch aus den Messungen zur Antastabwei- tained from probing error measurements. The corre-
chung gewonnen werden. Der jeweilige Korrektur- sponding correction value is then included in the
wert wird anschließend bei der Auswertung zur Er- evaluation in order to determine the length measure-
mittlung der Längenmessabweichung berücksichtigt ment error (see Section 6.2.4). During repeat meas-
(siehe Abschnitt 6.2.4). Bei der Wiederholmessung urement of the test lengths, all probing shape ele-
der Prüflängen werden alle Antastformelemente in ments are probed in the same order in each case.
der jeweils gleichen Reihenfolge angetastet.

Prüfung von Messgeräten ohne Messmöglichkeit Testing by measuring instruments which cannot
in Richtung der Sensorachse measure along the sensor axis
Ein reduziertes Verfahren zur Prüfung der Längen- A reduced procedure for checking length measure-
messabweichung ist bei Messgeräten notwendig, die ment error will be necessary with measuring instru-
keine Messung in Richtung der optischen Achse ments which do not permit measurement in the direc-
(nachfolgend z-Achse) ermöglichen. Dies ist insbe- tion of the optical axis (referred to below as the
sondere für einfache Messmikroskope und Messpro- z axis). This applies especially to simple measuring
jektoren der Fall, die zwar eine manuelle oder auto- microscopes and measuring projectors which, al-
matische Scharfstellung des Objektes, jedoch keine though providing manual or automatic focussing of
Auswertung der z-Position ermöglichen. Wird ein the object, do not nevertheless allow any evaluation
solches Gerät ausschließlich für Messungen in der of the z position. If an instrument of this kind is used
Ebene senkrecht zur Sensorachse verwendet (kon- exclusively for measurements on the plane vertical to
stante z-Höhe), kann man sich auf die Prüfung von the sensor axis (constant z height), the consequence is
Längen senkrecht zur Sensorachse beschränken. In that one can be restricted to checking lengths vertical
diesem Fall ist der Grenzwert für E-2D anzugeben. to the sensor axis. In this case the limit value for E-2D
Er ist in allen Höhen im Messvolumen einzuhalten, should be stated. It must be observed at all heights in
sofern vom Hersteller nicht anders spezifiziert. the measurement volume unless otherwise specified
by the manufacturer.
Wird ein Messgerät zur planaren Abstandsmessung If a measuring instrument is used for planar distance
von Merkmalen stark unterschiedlicher Höhe ver- measurement of features which vary markedly in
wendet, gehen auch Geradheits- und Winkelabwei- height, the straightness and angular deviations of the
chungen der z-Achse in das Messergebnis ein, die z axis which are not covered by measuring on a plane
durch die Prüfung in einer Ebene senkrecht zur vertical to the z axis will also enter into the measure-
z-Achse nicht erfasst werden (Bild 19). Die Winkel- ment result (Figure 19). Here the angular deviations
abweichungen beziehen sich dabei auf die Tisch- refer to the table plane the workpieces lean on.
ebene, auf der Werkstücke mit ihrer Bezugsebene
aufliegen.
VDI/VDE 2617 Blatt 6.1 / Part 6.1 – 31 –

Bild 19. Einfluss der Rechtwinkligkeitsabweichung bei Abstands- Figure 19. Influence of perpendicularity error in the case of dis-
messungen von zwei Merkmalen in unterschiedlicher z-Höhe tance measurements for two features with differing z heights

In diesem Fall muss der Grenzwert MPE E-2D+ spezi- In this case the limit value MPE E-2D+ is to be speci-
fiziert werden. Er wird wie der Grenzwert MPEE-2D fied. Like the limit MPEE-2D it is checked by means of
durch planare Messungen geprüft, zusätzlich ist je- planar measurements but in addition the following
doch folgende Prüfung durchzuführen: check must also be made:
Es wird ein Normal mit mindestens zwei optisch an- A standard with at least two features which can be op-
tastbaren und zur Sensorrichtung ausgerichteten tically probed and aligned along the sensor axis (such
Merkmalen (z.B. Bohrungen, Chromkreise, Strich- as holes, chrome disks, reticle markings, and so on) is
marken usw.) verwendet, die in unterschiedlichen used. These features are arranged at different heights
Höhen bezogen auf die z-Achse angeordnet sind with respect to the z axis (see Figure 20). Any
(siehe Bild 20). Die Höhendifferenz kann innerhalb height difference within the measurement range can
des Messbereichs frei gewählt werden. Der in die be used. The distance of the markings which is pro-
Messebene projizierte Abstand der Marken muss da- jected onto the measuring plane need not be cali-
bei nicht kalibriert sein. Das Normal wird in mindes- brated here. The standard is measured in at least four
tens vier gegeneinander um die z-Achse gedrehten positions on the measuring instrument. During the
Stellungen auf dem Messgerät gemessen. Seine Be- entire measuring process, spatial stability between
zugsfläche muss in allen vier Stellungen nach der the standards must be ensured. Here the span SPL of
Tischebene ausgerichtet sein. Die Spanne SPL der the measured projected distances in the various posi-

Bild 20. Beispiel eines Prüfkörpers zur Prüfung von MPE E-2D+ Figure 20. Example of a test piece for checking MPE E-2D+ . A
Ein entsprechender Prüfkörper kann auch aus Einzelkomponen- corresponding test piece can also be constructed from individual
ten nach dem zu prüfenden Messvolumen aufgebaut werden, components according to the measurement volume to be
muss aber während der Messung in verschiedenen Stellungen checked but must be stable in different positions during meas-
stabil sein. urement.
– 32 – VDI/VDE 2617 Blatt 6.1 / Part 6.1

gemessenen projizierten Abstände in den unter- tions must not exceed the limit value of MPE E-2D+ .
schiedlichen Stellungen darf dabei den Grenzwert
von MPE E-2D+ nicht überschreiten.
SPL1 = Max [Max(l1) – Min(l1)], SPL1 = Max [Max(l1) – Min(l1)],
SPL2 = Max [Max(l2) – Min(l2)] , ... SPL2 = Max [Max(l2) – Min(l2)] , ...

6.2.4 Auswertung 6.2.4 Evaluation


Die Auswertung ist davon abhängig, ob Strichkanten, Evaluation will depend on whether line edges, gauge
Endmaße, Kreisstrukturen, Kugelstäbe oder Kugel- blocks, disk structures, ball rods or ball plates are
platten als Prüfkörper verwendet werden. used as test pieces.
Kommen bidirektional angetastete Strichkanten oder If bidirectionally probed line edges or gauge blocks
Endmaße zur Ermittlung der Kenngröße zum Ein- are used for determining the characteristic, the test
satz, wird die Prüflänge aus dem Abstand zweier length will be calculated from the distance between
Messpunkte auf gegenüberliegenden Endmaßflächen two measuring points on opposing faces of the gauge
berechnet. Die Differenz zwischen der Prüflänge La blocks. The difference between the test length La (dis-
(angezeigter Wert) und dem kalibrierten Mittenmaß played value) and the calibrated mean size Lr (correct
Lr (richtiger Wert) des Endmaßes (DIN EN ISO 3650) value) of the gauge block (DIN EN ISO 3650) is the
ist die Längenmessabweichung E. length measurement error E.
E = La – Lr E = La – Lr
Werden Strichmitten, Kreisstrukturen, Kugelstab If line centres, disk structures, a ball rod or ball plate
oder Kugelplatte als Prüfkörper zur Ermittlung der are used as test pieces for determining the length
Längenmessabweichung verwendet, sind für jede measurement error, for each test length it will be nec-
Testlänge die Mittelpunkte (Positionen) der beiden essary to include compensation when calculating the
angetasteten Strukturen aus den Antastpunkten durch mid-points (positions) and the radii of the two probed
Ausgleich zu berechnen. Der Abstand der beiden structures from the probing points. The distance be-
Mittelpunkte ist der angezeigte Wert Lka der tween the two mid-points is the displayed value La of
Prüflänge. the test length.

Korrekturmaßnahmen bei nicht bidirektionaler Corrective measures with non-bidirectional


Einzelpunktantastung individual point probing
Um den Mittelungseffekt und die Kompensation von In order to balance out the averaging effect and the
systematischen Antastabweichungen bei der Mes- compensation for systematic probing errors during
sung von Kreispositionen, unidirektionalen Kanten the measurement of disk positions or line mid-point
oder Strichmittenpositionen im Vergleich zur Mes- positions in comparison with measurement of indi-
sung von Einzelpunkten an Kanten auszugleichen, vidual points at edges, these influences will have to
sind diese Einflüsse zusätzlich zu berücksichtigen. be taken into account as well. There are several ways
Hierfür gibt es mehrere Möglichkeiten: of doing this:

Verfahren A Method A
Die einfachste Möglichkeit besteht darin, Mess- The simplest method is to use the measurement re-
ergebnisse aus der Antastabweichungsermittlung sults obtained from determination of the probing er-
heranzuziehen. Hierdurch wird der ungünstigste Fall ror. With this approach the most unfavourable case is
abgeschätzt. Dabei ist zu beachten, dass die Antast- estimated. It should, however, be noted that the prob-
strategie und die Punktverteilung sowohl bei der Er- ing strategy and the points distribution must if at all
mittlung der Antastabweichung als auch bei der Er- possible be the same during both the determination of
mittlung der Längenmessabweichung möglichst the probing error as well as during determination of
gleich sein müssen. the length measurement error.
Die Längenmessabweichung E ergibt sich aus der The length measurement error E is obtained from the
Differenz zwischen der Prüflänge Lka (angezeigter difference between the test length Lka (displayed
Wert) und dem kalibrierten Abstand Lkr (richtiger value) and the calibrated distance Lkr (correct value)
Wert) des Prüfkörpers zuzüglich der vorzeichen- of the test piece plus the signed diametral deviation
behafteten Durchmesserabweichung PS und der PS and the probing error PF.
Antastabweichung PF.
VDI/VDE 2617 Blatt 6.1 / Part 6.1 – 33 –

Dieser Zusammenhang wird als Fallunterscheidung This relationship is expressed as follows, distinguish-
wie folgt dargestellt: ing between three different cases:
Fall 1: (Lka – Lkr + PS) > 0 → E = Lka – Lkr + PS + PF Case 1: (La – Lr + PS) > 0 → E = La – Lr + PS + PF
Fall 2: (Lka – Lkr + PS) = 0 → E = + PF oder E = –PF Case 2: (La – Lr + PS) = 0 → E = + PF or E = –PF
Fall 3: (Lka – Lkr + PS) < 0 → E = Lka – Lkr + PS – PF Case 3: (La – Lr + PS) < 0 → E = La – Lr + PS – PF
Unter Nutzung der Signum-Funktion lautet der Zu- With application of the signum function the relation-
sammenhang wie folgt: ship takes this form:
E = Lka – Lkr + PS + (sgn(Lka – Lkr + PS)) PF E = La – Lr + PS + (sgn(La – Lr + PS)) PF
Dabei ist PS = (Da – Dr). Where PS = (Da – Dr).
Für Lka – Lkr + PS = 0 muss wahlweise +PF oder –PF For La – Lr + PS = 0, either +PF or –PF must be as-
für E angenommen werden. sumed for E.
Die so ermittelten Werte für die Längenmessabwei- The values so obtained for the length measurement
chung sind mit denen einer Endmaßmessung ver- error are comparable with those obtained by meas-
gleichbar. Bei Anwendung dieser Methode ist zu urement using a gauge block. If this method is used, it
empfehlen möglichst viele Antastpunkte aufzuneh- is recommended that as many probing points as pos-
men, um hierbei den zufälligen Einfluss der Einzel- sible are acquired in order to keep the influence of an
antastung gering zu halten – dieser wird über die Ad- individual probing event as low as possible – this in-
dition der Korrekturwerte vollständig berücksichtigt. fluence is covered fully by means of the addition of
the correction values .

Verfahren B Method B
Eine genauere, aber aufwändigere Methode besteht A more accurate but more complex method consists
darin, zusätzlich zu jeder Länge ein kurzes Endmaß of measuring a short gauge block in addition to each
zu messen. Die Längenmessabweichung E ergibt sich length. The length measurement error E is then ob-
dann aus der Differenz zwischen der Prüflänge La tained from the difference between the test length La
(angezeigter Wert) und dem kalibrierten Abstand Lr (displayed value) and the calibrated distance Lr (cor-
(richtiger Wert) des Kugelstabs bzw. der Kugelplatte rect value) of the ball rod or ball plate plus the length
zuzüglich der Längenmessabweichung EE, die aus measurement error EE which is obtained from the ac-
der zugehörigen Messung einer Strukturbreite ermit- companying measurement of a structure width:
telt wird:
E = Lka – Lkr + EE E = La – Lr + EE
Auch bei Anwendung dieser Methode ist es zu emp- If this method is used, it is also recommended that
fehlen, bei den Kugelmessungen für die Kugelmittel- during ball measurements for the ball centre devia-
punktsabweichung möglichst viele Antastpunkte zu tion as many probing points as possible are measured
messen bzw. bei der unidirektionalen Messung und in order to keep the influence of individual probing as
bei der Strichmittenmessung von Strichmaßstäben je- low as possible – this influence is covered fully by
weils aus mehreren Antastpunkten zu mitteln, um means of the addition of the correction values.
hierbei den zufälligen Einfluss der Einzelantastung
gering zu halten – dieser wird über die Addition der
Korrekturwerte vollständig berücksichtigt.
Anmerkung: Es lässt sich mathematisch zeigen, dass bei annä- Note: It can be demonstrated mathematically that when the points
hernd gleichmäßiger Punkteverteilung über die Kugeln (ersatz- are distributed approximately evenly over the balls (or, as a substi-
weise Halbkugeln mit Polachse senkrecht zur Messlinie) und Punk- tute, half-spheres with the polar axis vertical to the measuring line)
teanzahl größer als 25 der Einfluss der Antastabweichung auf die and the number of points is greater than 25, then the influence of the
Kugelmittelpunktsabweichung kleiner 5 % der durch die Antast- probing error on the ball centre deviation will be less than 5 % of the
abweichung bedingten Längenmessabweichung des kurzen End- length measurement error of the short block gauge due to the prob-
maßes beträgt und somit vernachlässigbar ist. ing error, and can therefore be regarded as negligible.

Grenzwerte Limit values


Bei der Angabe eines Grenzwertes der Längenmess- If a limit value is given for the length measurement
abweichung sind die verwendbare Antaststrategie error, the probing strategy which can be used and the
und der verwendete Sensor zu dokumentieren. sensor used must then be documented.
– 34 – VDI/VDE 2617 Blatt 6.1 / Part 6.1

Der Hersteller darf unterschiedliche Grenzwerte der The manufacturer may give different limit values of
Längenmessabweichung für unterschiedliche Antast- the length measurement error for different probing
strategien und Sensoren angeben (siehe Ab- strategies and sensors (see Section 6.1.1). For each of
schnitt 6.1.1). Für jede der drei Antaststrategien (ent- the three probing strategies (corresponding to E(OT),
sprechend E(OT), E(OA), E(OS)) kann die Einhal- E(OA) and E(OS)), compliance with the maximum
tung der maximal zulässigen Längenmessabwei- permitted length measurement error MPEE(xx) can be
chung MPEE(xx) geprüft werden, soweit dies geräte- checked provided this is possible as far as the equip-
seitig möglich und herstellerseitig nicht ausgeschlos- ment is concerned and has not been excluded by the
sen ist. manufacturer.
Der Grenzwert der Längenmessabweichung MPEE The limit value of the length measurement error
wird nach DIN EN ISO 10360-2 entweder als län- MPEE is given in accordance with
genabhängige Größe ±(A + L/K), als Höchstwert ±B DIN EN ISO 10360-2 as a length-dependent variable
oder als Kombination aus beiden Formen angegeben. ±(A + L/K), as a maximum value ±B, or as a combi-
Er muss im gesamten Messbereich des Koordinaten- nation of both forms. There must be compliance
messgerätes und unter allen zulässigen Messbedin- with this limit over the entire measurement range of
gungen eingehalten werden. Zur vollständigen An- the coordinate measuring machine and under all
gabe des Grenzwertes der Längenmessabweichung permitted measuring conditions. A complete state-
gehören auch die in VDI/VDE 2617 Blatt 1 genann- ment of the limit value of the length measurement er-
ten Angaben über die Betriebs- und Umgebungsbe- ror will also include the particulars mentioned in
dingungen. VDI/VDE 2617 Part 1 regarding operational and am-
bient conditions.
Der Hersteller bzw. Anwender kann für bevorzugte The manufacturer or user may quote smaller limit
Messlinien, Messebenen oder Teilvolumen kleinere values for preferred measuring lines, measuring
Grenzwerte angeben. planes or partial volumes.

Bewertung Evaluation
Die Bewertung ist unabhängig davon, ob Parallel- Evaluation is independent of whether parallel block
endmaße oder Kugelstäbe oder Kugelplatten verwen- gauges or ball rods or ball plates are used and is the
det werden und ist für alle Messlinien gleich. same for all measuring lines.
Beim Vergleich der Längenmessabweichung mit In comparison of the length measurement error with
ihrem Grenzwert MPEE ist die erweiterte Mess- its limit value MPEE the extended measurement un-
unsicherheit U des Prüfverfahrens zu berücksichtigen certainty U of the test method must be taken into ac-
(siehe DIN EN ISO 14253-1). count (see DIN EN ISO 14253-1).
|E| ≤ |MPEE| – U für den Hersteller |E| ≤ |MPEE| – U for the manufacturer
|E| ≤ |MPEE| + U für den Abnehmer |E| ≤ |MPEE| + U for the user
Bei höchstens fünf der 35 Prüflängen entsprechend In no more than five of the 35 test lengths correspond-
DIN EN ISO 10360 darf maximal ein Wert E aus den ing to DIN EN ISO 10360 is at most one value E from
drei Messungen unter Berücksichtigung der Mess- the three measurements taking measurement uncer-
unsicherheit größer als der Grenzwert MPEE sein. tainty into account permitted to exceed the limit
Für jede Überschreitung ist die Messung der entspre- MPEE . For each instance of the limit being exceeded,
chenden Prüflänge zehnmal in der Lage, in der die measurement of the corresponding test length must
Überschreitung auftrat, zu wiederholen. Liegen alle be repeated ten times at the location where this viola-
Werte der Längenmessabweichung E aus diesen Wie- tion occurred. When all values for the length meas-
derholungsmessungen unter Berücksichtigung der urement error E obtained during these repeat meas-
Messunsicherheit innerhalb von MPEE, ist der urements which take measurement uncertainty into
Grenzwert eingehalten. account come inside MPEE, then there is compliance
with the limit.
Die Längenmessabweichungen werden zweckmäßig It is useful to plot on a diagram the length measure-
mit ihren Grenzwerten und den Unsicherheiten des ment errors together with their limit values and the
Prüfverfahrens in einem Diagramm dokumentiert. uncertainties of the test method.
VDI/VDE 2617 Blatt 6.1 / Part 6.1 – 35 –

7 Überwachung 7 Monitoring
Die Überwachung von Koordinatenmessgeräten mit Monitoring of coordinate measuring machines with
optischen Lateralsensoren dient der langfristigen optical distance sensors contributes to ensuring long-
Einhaltung der vom Anwender festgelegten Kenn- term compliance with the characteristics determined
größen Antastabweichung und Längenmessabwei- by the user, that is, probing error and length measure-
chung. Der Vergleich der Ergebnisse aufeinander fol- ment error. Comparison of the results of successive
gender Überwachungen gestattet eine Trendanalyse monitorings will make it possible to carry out a trend
hinsichtlich der Veränderungen der Geräte- analysis with regard to changes in the equipment
eigenschaften. Hieraus können sowohl Rückschlüsse properties. From this decisions may be made regard-
auf vorsorgliche Wartungsarbeiten an den Geräten als ing preventive maintenance work on the equipment
auch auf das Überwachungsintervall abgeleitet wer- and also maintenance scheduling. Trend analyses re-
den. Für Trendanalysen müssen die Betriebsarten quire the operating modes and operating conditions
und die Betriebsbedingungen annähernd gleich sein. to remain roughly the same.
Vor der Überwachung ist das Koordinatenmessgerät Before monitoring is carried out, the coordinate
gemäß der Betriebsanleitung in Betrieb zu nehmen. measuring machine must be put into service as spec-
Die Umgebungsbedingungen müssen den spezifizier- ified in the operating instructions. The environmental
ten Betriebsbedingungen entsprechen. Weiterhin ist conditions must comply with the operating condi-
zu beachten, dass Aufstellung und Befestigung der tions specified. It should also be noted that the test
Prüfkörper ausreichend stabil sind. Die Prüfkörper pieces must be installed and mounted with adequate
müssen die mittlere Temperatur des Messvolumens stability. The test pieces must have assumed the mean
angenommen haben. Weicht die mittlere Temperatur temperature of the measurement volume. Should the
der Prüfkörper oder der Systemkomponenten von der mean temperature of the test pieces or of the system
Bezugstemperatur nach DIN EN ISO 1 signifikant components deviate significantly from the reference
ab, sind entsprechende Temperaturkorrekturen vor- temperature according to DIN EN ISO 1, the corre-
zunehmen, sofern dies im normalen Gebrauch des sponding temperature corrections should be made,
Koordinatenmessgerätes ebenfalls geschieht. provided that this is also carried out within the nor-
mal scope of use of the machine.

7.1 Prüfkörper 7.1 Test pieces


Für die Überwachung von Koordinatenmessgeräten The same test pieces are used for monitoring coor-
mit optischen Lateralsensoren werden die gleichen dinate measuring machines with optical distance
Prüfkörper eingesetzt wie für die Annahmeprüfung sensors as are used for the acceptance test (see Sec-
(siehe Abschnitt 6.1.1 und Abschnitt 6.2.1). tion 6.1.1 and Section 6.2.1).

7.2 Durchführung 7.2 Performance


Es wird empfohlen, die Überwachung von Koordina- It is recommended that monitoring coordinate meas-
tenmessgeräten mit optischen Lateralsensoren in ana- uring machines with optical distance sensors is car-
loger Weise zur Annahmeprüfung durchzuführen und ried out in a similar way to the acceptance test and
die gleichen Kenngrößen zu prüfen. Der Betreiber that the same characteristics are checked. The user
kann die Anzahl der Messungen reduzieren. Bei can reduce the number of measurements. In the case
Überschreitungen können Wiederholungsmessungen of limit values being exceeded, repeat measurements
unter gleichen Bedingungen wie bei der Annahme- can be made under the same conditions as during the
prüfung vorgenommen werden. acceptance test.

7.3 Auswertung 7.3 Evaluation


Die Auswertung zur Bestimmung der Kenngrößen Evaluation in order to determine the characteristics is
erfolgt in analoger Weise wie bei der Annahmeprü- carried out in a similar way to the acceptance test.
fung. Die Grenzwerte der Kenngrößen Antastabwei- However, in response to his particular requirements,
chung einschließlich Durchmesserabweichung sowie the user may define the limit values for the character-
Längenmessabweichung können jedoch vom Betrei- istics of probing error including diameter deviation
ber entsprechend seinen Anforderungen festgelegt and length measurement error.
werden.
Das Überwachungsintervall muss vom Betreiber The monitoring interval must be defined individually
eines Koordinatenmessgerätes mit optischen Lateral- by the user of a coordinate measuring machine with
sensoren individuell festgelegt werden. optical distance sensors.
– 36 – VDI/VDE 2617 Blatt 6.1 / Part 6.1

Schrifttum / Bibliography VDI/VDE 2617 Blatt 3:1989-05 Genauigkeit von Koordinaten-


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stimmung oder Nichtübereinstimmung mit Spezifikationen optischen Abstandssensoren (Accuracy of coordinate measuring
(ISO 14253-1:1998); Deutsche Fassung EN ISO 14253-1:1998 machines; Characteristics and their testing; Guideline for the appli-
(Geometrical product specifications (GPS); Inspection by measure- cation of DIN EN ISO 10360 to coordinate measuring machines
ment of workpieces and measuring equipment; Part 1: Decision rules with optical distance sensors). Berlin: Beuth Verlag
for proving conformance or non-conformance with specifications VDI/VDE 2617 Blatt 6.3:2005-10 (Entwurf/Draft) Genauigkeit
(ISO 14253-1:1998); German version EN ISO 14253-1:1998). Ber- von Koordinatenmessgeräten; Kenngrößen und deren Prüfung;
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messgeräten; Kenngrößen und deren Prüfung; Grundlagen checking; Performance of CMM with multiple probing systems).
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their checking; Generalities. Zurückziehung / withdrawn 2006-03 VDI/VDE 2617 Blatt 7:2006-04 Genauigkeit von Koordinations-
VDI/VDE 2617 Blatt 2.1:2005-08 Genauigkeit von Koordinaten- messgeräten; Kenngrößen und deren Prüfung; Ermittlung der Unsi-
messgeräten; Kenngrößen und deren Prüfung; Leitfaden zur An- cherheit von Messungen auf Koordinatenmessgeräten durch Simu-
wendung von DIN EN ISO 10360-2 zur Prüfung von Längen- lation (Accuracy of coordinate measuring machines; Parameters
maßen (Accuracy of coordinate measuring machines; Parameters and their checking; Estimation of measurement uncertainty of co-
and their reverification; Code of practice for the application of ordinate measuring machines by means of simulation). Berlin:
DIN EN ISO 10360-2 for length measurement). Berlin: Beuth Ver- Beuth Verlag
lag VDI/VDE 2617 Blatt 8:2006-07 Genauigkeit von Koordinaten-
VDI/VDE 2617 Blatt 2.2:2000-07 Genauigkeit von Koordinaten- messgeräten; Kenngrößen und deren Prüfung; Prüfprozesseignung
messgeräten; Kenngrößen und deren Prüfung; Formmessung von Messungen mit Koordinatenmessgeräten (Accuracy of coordi-
(Accuracy of coordinate measuring machines; Parameters and their nate measuring machines; Characteristics and their testing; Test
reverification; Form measurement). Berlin: Beuth Verlag suitability of measurements with coordinate measuring machines).
VDI/VDE 2617 Blatt 2.3:2006-05 Genauigkeit von Koordinaten- Berlin: Beuth Verlag
messgeräten; Kenngrößen und deren Prüfung; Annahme- und Be- VDI/VDE 2617 Blatt 9:2006 (Entwurf/Draft) Genauigkeit von Ko-
stätigungsprüfung von Koordinatenmessgeräten großer Bauart ordinatenmessgeräten; Kenngrößen und deren Prüfung; Annahme
(Accuracy of coordinate measuring machines; Characteristics and und Bestätigungsprüfung von Gelenkarm-Koordinatenmessgeräten
checking of characteristics; Acceptance and reverification tests for (Accuracy of coordinate measuring machines; Characteristics and
coordinate measuring machines of large dimensions). Berlin: Beuth their reverification; Acceptance and reverification tests for articu-
Verlag lated arm coordinate measuring machines). Berlin: Beuth Verlag
VDI/VDE 2617 Blatt 6.1 / Part 6.1 – 37 –

Anhang Strukturauflösung Annex Structure resolution


A1 Einführung A1 Introduction
Der Begriff Strukturauflösung beschreibt die Fähig- The term structure resolution describes the ability of
keit eines Systems, eine am Eingang des Systems a system to transfer a structure (object) present at the
vorliegende Struktur (Objekt) innerhalb bestimmter input port of the system to the output port within def-
noch zu spezifizierender Fehlergrenzen an den Aus- inite measurement error limits also to be specified
gang übertragen zu können (Bild A1). (Figure A1).
Dieser Begriff und insbesondere der Begriff für den The concept, and in particular the associated limit
Grenzwert der Strukturauflösung, die Auflösungs- value – the limiting resolution – come from micro-
grenze, stammen aus der Mikroskopie. Ernst Abbe scopy. Over a century ago Ernst Abbe investigated
hat vor über 100 Jahren die Auflösungsgrenze der op- and determined the limiting resolution of optical im-
tischen Abbildung untersucht und hergeleitet. Heute age formation. Today this physical property as a limit
hat diese physikalische Eigenschaft als Grenzwert value is significant for all methods which image two-
Bedeutung für alle bildgebenden und volumen- dimensional shapes or volumes. The present discus-
abbildenden Verfahren erlangt. Das betrifft nicht nur sion must be concerned not only with the 2-dimen-
die zweidimensionale optische Abbildung mit der an- sional optical imaging followed by digital image
schließenden digitalen Bildverarbeitung, die inner- processing which is dealt with in this guideline but
halb dieser Richtlinie behandelt wird, sondern auch also with fields such as ultrasonic diagnostics, X-ray
Bereiche wie Ultraschalldiagnostik, Röntgenbild- image analysis, computer tomography, scanning
analyse, Computertomografie, Rastersondenmikro- probe microscopy, to name but a few examples.
skopie, um nur einige Beispiele zu nennen.
Bei der Anwendung optischer Verfahren ist klar zwi- In the application of optical techniques a clear dis-
schen der axialen (auch als vertikal bezeichneten) tinction is drawn between vertical (also known as ax-
Auflösung in Richtung der optischen (z-)Achse und ial – in other words, along the optical (z) axis) and lat-
der lateralen (auch als horizontal bezeichneten) eral (also known as horizontal (x, y plane) resolution.
Auflösung in der (x, y-)Ebene zu unterscheiden. Figure A1 will clarify the difference.
Bild A1 erklärt den Unterschied.

Bild A1. Definition zum optischen Antasten Figure A1. Definition for optical probing

In z-Richtung (Messrichtung bei Abstandssensoren) In the z direction (the measuring direction in the case
stellt sich der Übergang von Luft zum Prüfling als of distance sensors) the transition from air to the test
Singularität dar. Es gibt hier keinerlei Struktur aufzu- piece appears as a singularity. There is no structure of
lösen (der Sprung ist ohnehin bekannt). Den Ort des any kind here which needs to be resolved (the jump is
Übergangs kann man mit nahezu beliebiger Genauig- known anyway). The place where the transition oc-
keit berechnen bzw. bestimmen (z.B. Laserinterfero- curs can be calculated or measured with virtually any
meter, Weißlichtinterferometer, konfokales Laser- degree of accuracy (for example, by laser interferom-
Scanning-Mikroskop). Begrenzt wird diese axiale eter, white-light interferometer, confocal laser-scan-
Auflösung lediglich durch das Signal/Rauschverhält- ning microscope). This axial resolution is limited
nis. Dieses ist wiederum von der Bandbreite und da- solely by the signal-to-noise ratio. This in turn itself
mit invers von der Messzeit abhängig. Mittelt man depends on the bandwidth and thus is inversely de-
zeitlich lange genug, lässt sich die Auflösung deut- pendent on the measuring time. If averaging is based
lich steigern. Ein zweiter Mittelungseffekt entsteht on a time period of sufficient length, the resolution
durch den endlichen Durchmesser des Lichtstrahls can be increased considerably. A second averaging
(Focus). Hier zeigt sich das Gemeinsame zur latera- effect arises from the finite diameter of the light beam
– 38 – VDI/VDE 2617 Blatt 6.1 / Part 6.1

len Ortsauflösung: Innerhalb der Fläche des Focus er- (focus). Here an aspect common to lateral position
folgt eine Integration des Signals, die als eine ge- resolution reveals itself: Integration of the signal is
wichtete Mittelwertbildung des Abstandes über der carried out within the area of the focus and has the ef-
Fläche wirkt. fect of a weighted averaging of the distance over the
area.
In lateraler Richtung (Messrichtung bei allen Bild- In the lateral direction (the measuring direction with
verarbeitungssensoren) ist die Auflösung vom all image-processing sensors) the resolution is de-
Durchmesser des kleinsten erzeugbaren oder noch pendent on the diameter of the smallest image point
unterscheidbaren Bildpunktes abhängig. Um diese which can be created or still be distinguished. It is
Strukturauflösung geht es in dieser Richtlinie. Sie be- this structure resolution with which this guideline is
schreibt die kleinste Struktur, die mit noch festzule- concerned. It describes the smallest structure which
genden Fehlergrenzen auflösbar ist. Eine, wenn auch can be resolved with error limits which also need to
ungewollte, örtliche Mittelwertbildung über be- be defined. In principle the structure resolution will
stimmte Bereiche der Bildfläche verschlechtert prin- be worsened by local averaging (even if this is unin-
zipiell die Strukturauflösung. tended) over certain parts of the image area.
Einflussgrößen auf die laterale Strukturauflösung Variables influencing the lateral structure resolution:
sind:
• Strahldurchmesser des Lasers bzw. Spotgröße des • spot size of the laser or beam diameter or of the
Abtastpunkts probing point
• Übertragungsfunktion (MTF) der verwendeten • transfer function (MTF) of the lens used
Optik
• Pixelraster des Bildsensors (örtliche Mittelwert- • pixel raster of the image sensor (local averaging
bildung über die Pixelfläche) over the pixel area)
• Filteroperationen bzw. Mittelwertbildungen im • filtering operations or averaging in the local area
Ortsbereich

A2 Stand der Technik A2 State of the art


Eine beispielhaft gute Anleitung zur Ermittlung der An exemplary introduction to determining structure
Strukturauflösung ist in DIN EN 62220-1 für das resolution may be found in DIN EN 62220-1 for the
Fachgebiet der digitalen Röntgenbildanalyse zu fin- field of digital X-ray image analysis.
den.
Die Darstellung geht von der Theorie aus und ist ma- This treatment begins with the theory and has been
thematisch sehr fundiert. Auflösungsgrenzen zu defi- given va very sound mathematical basis. There is ab-
nieren und zu messen, erfordert das Verständnis der solutely no point in wishing to define and measure
Transformation von Ortsfunktionen in Frequenz- resolution limits without an understanding of the
funktionen und zurück (Fourier- bzw. Laplace-Trans- transformation of position functions into frequency
formation und ihrer Inversen). Die Faltungsoperation functions and the reverse (Fourier or Laplace trans-
(Duhamel’sches Integral) und die Betrachtung von formations and their inverse). The convolution oper-
Filtern als Operatoren gehören zum Handwerkszeug. ation (Duhamel’s integral) and the use of filters as op-
erators are items in the tool kit.
Zusammengefasst wird in der oben zitierten Norm The following is stated from the standard cited above:
Folgendes ausgeführt:
1. Die Konversionsfunktion wird ermittelt und 1. The conversion function is determined and the
mit ihrer Inversen wird das Signal korrigiert signal is corrected with its inverse (Figure A2).
(Bild A2).
2. Es folgt eine Shading-Korrektur der Pixel, das 2. This is followed by a shading correction of the
heißt die Normierung aller Pixel auf gleiche Emp- pixels – in other words, standardizing all pixels to
findlichkeit und gleichen Nullpunkt. the same sensitivity and the same zero point.
(Dunkelbild, Hellbild → Nullpunkt, Empfindlich- (dark image, bright image → zero point, sensitiv-
keit) ity)
3. Das Rauschspektrum NPS oder Wiener-Spektrum 3. Determination of the noise spectrum (NPS) or
Wu,v wird ermittelt. Es entspricht dem Betrag der Wiener spectrum, Wu,v; this corresponds to the
VDI/VDE 2617 Blatt 6.1 / Part 6.1 – 39 –

Bild A2. Korrektur der Sensorkennlinie Figure A2. Correction of the sensor characteristic line

Fouriertransformierten der AKF (Autokovarianz- value of the Fourier transform of the ACF (auto-
funktion) eines gleichmäßig ausgeleuchteten covariance function) of an evenly illuminated
Leerbildes. blank image.
Das Rauschspektrum ergibt einen Kennwert für The noise spectrum provides an index for the sig-
die Signalauflösung (Intensität). Diese über die nal resolution (intensity). This, when transformed
Kantensteilheit auf den Ort x transformiert, liefert via the edge steepness at location x, makes a con-
einen Beitrag zur Unsicherheit des Ortes. tribution to the uncertainty of the location.
4. Bestimmung der Ortsfrequenzauflösung mit einer 4. Spatial frequency resolution with one edge as test
Kante als Prüfeinrichtung device
u, v = Ortsfrequenz zu x und y u, v = spatial frequency at x and y
Vorgehensweise: Die Kante wird gegenüber dem Procedure: The edge is tilted 1,5°... 3° – in other
Pixelraster um 1,5° ... 3° gekippt, das heißt auf words, 1 pixel offset on x axis combined with
1 Pixel Querversatz kommen 20 ... 40 Pixel in 30 ... 40 pixels on the y axis (tan α). Testing direc-
Längsrichtung (tan α). Die Prüfrichtung liegt quer tion at right angles to the edge (Figure A3).
zur Kante (Bild A3).

Bild A3. Bestimmung der Ortsfrequenzauflösung zu x und y mit Figure A3. Spatial frequency resolution to x and y by edges of a
den Kanten eines Strichkreuzes cross

Diese experimentell ermittelte Kantenabbildungs- From the edge imaging function is obtained the line
funktion ist der Ausgangspunkt für die Berechnung imaging function and from this the modulation trans-
der Strukturauflösung. Die Bilder A4 und A5 zei- fer function. Figure A4 and Figure A5 show the
gen den systemtheoretischen Ansatz. theoretical background.
Die Modulationsübertragungsfunktion (MÜF) wird The modulation transfer function (MTF) is therefore
hier also aus der Kantenabbildungsfunktion berech- calculated here from the edge spread function. This
net. Dies ist auch der einfachste Weg, da in der Kan- happens to be the simplest method as well, since all
tenabbildung alle Informationen des Systems enthal- of the information of the system is contained in the
ten sind. Wesentlich aufwändiger und damit kosten- edge image. It is a considerably more complex matter
intensiver lässt sich diese Information auch durch – and thus more expensive – to obtain this informa-
Abbildung von sinusförmigen Gittern mit unter- tion by plotting sinusoidal gratings with different
schiedlicher Wellenlänge ermitteln (Auflösungsplat- wavelengths (resolution plates). Each structure will
ten). Jede Struktur entspricht dann genau einem then correspond to precisely one point of the MTF.
Punkt der MÜF. Die Modulationsübertragungsfunk- The modulation transfer function is nothing but a rep-
tion ist nichts anderes als die Darstellung des gemes- resentation of the measured contrast by means of the
senen Kontrastes über der Ortsfrequenz (Kehrwert spatial frequency (reciprocal of the wavelength of the
der Wellenlänge des Gitters bzw. der Gitterkonstan- grating or grating constant; unit: 1/mm). The theoret-
– 40 – VDI/VDE 2617 Blatt 6.1 / Part 6.1

Bild A4. Ermittlung der Modulationsübertragungsfunktion aus Figure A4. Determination of the modulation transfer function
der Kantenabbildungsfunktion durch Differentiation und from the edge spread function by differentiation followed by Fou-
anschließende Fouriertransformation rier transformation

Bild A5. Berechnung der Antwort eines Systems durch Faltung Figure A5. Calculation of the response of a system by convolu-
der Eingangsfunktion mit der Systemfunktion (Stoßantwort) tion of the input function with the system function (impulse
response)

ten; Einheit: 1/mm). Beim Kontrast 0 liegt die theore- ical resolution limit is when the contrast is 0, but only
tische Auflösungsgrenze, praktisch nutzbar ist jedoch the range with a contrast greater than 10 % is of prac-
nur der Bereich mit einem Kontrast größer 10 % (üb- tical use (well-known limit 0,61 λ/A where λ = spatial
liche Grenze 0,61 λ/A mit λ als Ortsfrequenz und frequency and A = amplitude).
Amplitude A).
Bild A6 zeigt in einer anderen Darstellung, wie sich Figure A6 shows another way of visualizing how
die MÜF aus der Systemfunktion ergibt. Eine Sinus- the MTF is derived from the system function. A sine
funktion wird an den Eingang des Systems angelegt. function is applied at the input of the system. By
Mittels der Systemfunktion wird die Eingangsfunk- means of the system function the input function is
tion an den Ausgang übertragen. Diese Faltungsope- transferred to the output. This convolution operation
ration kann auch als Filterung interpretiert werden. can also be interpreted as filtering. Since we have a
Da es sich um ein lineares System handelt, ist die linear system, the output function will also be sinu-
Ausgangsfunktion ebenfalls wieder sinusförmig, soidal but with a damped amplitude. Due to the sym-
allerdings mit gedämpfter Amplitude. Eine Phasen- metry of the system function no phase shift occurs
verschiebung tritt hier wegen der Symmetrie der Sys- here. It is not hard to see that convolution with sine
temfunktion nicht auf. Man erkennt unschwer, dass functions of variable spatial frequency corresponds to
die Faltung mit Sinusfunktionen variabler Orts- the Fourier transformation. In other words: The mod-
frequenz der Fouriertransformation entspricht. Mit ulation transfer function (MTF) results as a Fourier
anderen Worten: Die Modulationsübertragungsfunk- transform of the system function.
VDI/VDE 2617 Blatt 6.1 / Part 6.1 – 41 –

tion (MÜF) ergibt sich als Fouriertransformierte der


Systemfunktion.
Für die beugungsbegrenzte optische Abbildung ist For diffraction-limited optical imaging this is pre-
dies in Bild A6 für inkohärentes und kohärentes Licht sented in Figure A6 for incoherent and coherent light.
gezeigt. Die optische Abbildung wirkt hier wie ein Optical imaging functions here like a low-pass filter.
Tiefpassfilter.

Bild A6. Systemfunktion der optischen Abbildung für inkohären- Figure A4. System function of optical imaging for incoherent and
tes und kohärentes Licht und seine Modulationsübertragungs- coherent light and its modulation transfer functions
funktionen

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