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2004 D

Schäfter + Kirchhoff
Laser-Lichtschnitt –
eine Schlüsselfunktion in 6 3.1 2.1

der 3D-Lasermesstechnik 5

3
Berührungslose Geometrie- und Konturkontrolle

Lichtschnittverfahren werden in der 3D-Meßtechnik bereits 4 2


seit über 70 Jahren zur berührungslosen Geometrie- und
Konturkontrolle eingesetzt, z.B. bei der Gewindeprofilmes-
sung mit dem Lichtschnittmikroskop von Carl Zeiss aus dem
Jahr 1934. Mit der Erfindung des HeNe-Lasers vor über 40 1
Jahren wurde gleichzeitig das Laser-Lichtschnittverfahren
aus der Taufe gehoben. Bild 2: Systemkomponenten für
Laser-Lichtschnittmessungen
Der HeNe-Laser generiert ein paralleles formung einer in einem Winkel α auf die 1 Messobjekt (Sicherheitsschlüssel)
Strahlenbündel. Wird ein runder Glasstab Objektoberfläche projizierten Laserlinie 2 und 3 Laserliniengeneratoren 13LTM...
senkrecht zur Laserstrahlachse po- (vgl. Bild 2 und 3). Das gesuchte Höhen- 4 Diffuse Zusatzbeleuchtung (optional)
sitioniert, so wird die kollimierte Laser- profil wird aus der Abweichung der 5 Makroobjektiv, 6 Flächenkamera.
strahlung zu einem Linienfächer mit Laserlinie von der Nulllage berechnet. Mit den Liniengeneratoren 2 und 3 werden
gaußscher Intensitätsverteilung entlang Meßbereich und Meßauflösung werden unterschiedliche Meßbereiche und Auflö-
der Linie geformt. In der industriellen Meß- sungen realisiert ( 2.1 und 3.1 bezeichnen die
technik haben Diodenlaser auf Halb- Laser Triangulation (Laserlichtschnitt) zugehörigen Laserlinien).
leiterbasis, bedingt durch Ihre geringe Kamera
Baugröße und das günstigere Preis- der reflektierten Strahlung unabhängig
Leistungs-Verhältnis, mittlerweile den vom Einfallswinkel der auftreffenden
HeNe-Laser ersetzt. Die Laserstrahl- α Strahlung.
α
formung der kollimierten Laserdioden- 60° Reale technische Oberflächen haben im
30°
emission zu einem Linienfächer erfolgt bei h allgemeinen ein gemischt diffus/spiegeln-
Laser h
Standardsystemen nach dem gleichen des Reflexionsverhalten. Der diffuse Anteil
Prinzip wie oben beschrieben. Allerdings ist nicht isotrop, d.h. je streifender der Ein-
ist der runde Glasstab durch einen Glas- Triangulationswinkel Triangulationswinkel fall der Strahlung, desto weniger Strah-
α 60° = hohe Auflösung, α 30° = reduzierte
oder Polymerpreßling ersetzt worden. Die kleiner Höhenmess- Auflösung, großer
lung wird in senkrechter Richtung zur
Laserlinie ist bei dieser Art von Strahlfor- bereich (h) Höhenmessbereich (h) Objektoberfläche gestreut. Beim Laser-
mung in der Mitte dicker als am Rand. Die lichtschnitt begrenzt daher (abhängig von
Intensitätsverteilung ist gaußförmig. Für Bild 1: Lasertriangulation (Optikschema) der zur Verfügung stehenden Laserleis-
ein hochauflösendes und geschwindig- Aus dem Versatz des im Winkel α auf die tung und der Empfindlichkeit der Kamera)
keitsoptimiertes Meßverfahren ist diese Objektoberfläche einstrahlenden Laserstrahls das Reflexionsverhalten der Oberfläche
Laserlinien-Charakteristik ungünstig, La- wird die Objekthöhe am Auftreffpunkt des den realisierbaren Triangulationswinkel α.
serliniengeneratoren mit konstanter Li- Lasers bestimmt (s. Bild 2 und 3).
nienbreite und homogener Intensitätsver-
teilung steigern das Auflösungsvermögen festgelegt durch den Triangulationswinkel
und die Leistungsfähigkeit eines Laser- α zwischen der Ebene der Laserlinie und
Lichtschnittsensors. der optischen Achse der Kameraoptik
Laserliniengeneratoren mit dieser vorteil- (vgl. Bild 1). Je streifender das Laserlicht
haften Strahlcharakteristik werden von auf die Objektebene fällt, desto größer ist
Schäfter + Kirchhoff in der Ausführung als der bei einer Höhenänderung beobachte-
Mikro- oder Makroliniengenerator ent- te Lateralversatz der Linie. Die Meßauflö-
wickelt und gefertigt. Angepaßt an die sung wird gesteigert bei gleichzeitiger Re-
jeweilige Meßaufgabe steht eine breite duzierung des Höhenmeßbereichs. A
Palette von Produkten zur Verfügung. Begrenzend auf die erreichbare Auflösung
30 Jahre Erfahrung in der Laserstrahl- wirken Faktoren wie die Eigenschaften der
formung bilden das Rückgrat einer Viel- Objektoberfläche, die Kamera-Apertur
zahl innovativer Laser-Meßsysteme für die und die Breite und Schärfentiefe der
industrielle Anwendung, in der Forschung Laserlinie.
und beim Einsatz im Weltraum.

Laserlichtschnitt Oberflächeneigenschaften Bild 3 : Laser-Lichtschnitt


Laser-Lichtschnitt ist die zweidimensionale
Art_Lichtschnitt_SuK_D_6-04 / Seite 1

Das Laserlichtschnitt-Verfahren ist ein 3D- Voraussetzung für die Anwendung des Erweiterung der Lasertriangulation. Durch
Verfahren zur Profilmessung in einer Laserlichtschnittverfahrens ist eine zu- Projektion einer ausgedehnten Laserlinie wird
Schnittebene. Nach dem Prinzip der mindest anteilig diffus reflektierende ein Höhenprofil des Meßobjektes gewonnen.
Lasertriangulation (Bild 1) registriert eine Objektoberfläche. Bei einem idealen Insert A : Von der Flächenkamera aufge-
senkrecht über dem Objekt angeordnete Spiegel gelangt keine Laserstrahlung in nommenes Bild. Der Versatz der Laserlinie
Flächenkamera (CCD- oder CMOS- das Objektiv. Bei einer rein diffus streuen- gibt die Objekthöhe am Auftreffpunkt der
Matrix) den Lateralversatz bzw. die Ver- den Oberfläche ist die Winkelverteilung Laserlinie an.

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Anforderung an Schärfentiefe einer Laserlinie Haupt-Störeinfluß: Laserspeckle
Objektiv und Laserlinie
Die Laserlinie wird auf einen festen Laserspeckle sind Interferenzerschei-
Um eine weitgehend konstante Signal- Arbeitsabstand fokussiert. Bei ab- nungen, die aufgrund der Kohärenz der
amplitude auf dem Sensor zu gewähr- weichenden Abständen wird die Linie Laserstrahlung z.B. bei der Reflexion an
leisten, muss sowohl die Schärfentiefe breiter und die Leistungsdichte sinkt. einer rauhen Oberfläche entstehen.
des Kameraobjektivs, als auch der Als Schärfentiefe einer Laserlinie wird der Laserspeckle stören die Kantenschärfe
Schärfentiefenbereich des Laserlinien- Bereich um den Nenn-Arbeitsabstand be- und die Homogenität der Laserlinien. Quer
generators den gesamten Höhenmess- zeichnet, in dem sich die Linienbreite um zur Linienrichtung wird der Intensitäts-
bereich überdecken. nicht mehr als einen Faktor 1.41 ver- schwerpunkt stochastisch verschoben.
größert. Man unterscheidet zwei Typen Die Granularität der Speckle hängt dabei
Schärfentiefe von von Laserliniengeneratoren (vgl. Bild 4): von der Blendeneinstellung des Objektivs
Objektiv und Kamera Laser-Mikroliniengeneratoren erzeugen ab, mit der das Objekt beobachtet wird.
dünne Laserlinien mit senkrecht zur Linie Bei einer kleinen Blendenzahl erscheinen
Die Schärfentiefe, mit der das Meßobjekt gaußförmigem Intensitätsprofil. Der Speckle mit hoher Ortsfrequenz, bei einer
auf den Kamerasensor abgebildet wird, Schärfentiefenbereich einer Laserlinie mit großen Blendenzahl grobe, besonders
nimmt linear mit der Blendenzahl k, dem Breite B (auf dem 13,5%-Niveau) und störende Speckle (vgl. Bild 5).
Pixelabstand ∆y und quadratisch mit dem Wellenlänge λ ist gegeben durch den so- Da eine diffus reflektierende und somit
Abbildungsmaßstab β (=Bildfeld/Sensor- genannten Rayleigh-Bereich 2 zR: auch optisch rauhe Objektoberfläche eine
größe) zu. Für den Schärfentiefenbereich Voraussetzung für die Anwendung des
2 z gilt die Beziehung π B2 Verfahrens ist (s.o.), sind Laserspeckle
2 zR =
2 λ beim Laserlichtschnitt grundsätzlich nicht
2 z = 2 ∆y k β (1+β) zu vermeiden.
Laser-Makroliniengeneratoren erzeugen
Änderungen von bis zu ± z um den Laserlinien mit erweitertem Schärfen- Eine Reduzierung des Effektes ist jedoch
optimalen Objektabstand haben keinen tiefenbereich. Bei gleichem Arbeitsab- möglich durch
Einfluß auf die Schärfe der Bildaufnahme. stand sind Makrolaserlinien breiter als
Mikrolinien (Faktor 2-5). • die Verwendung von Laserstrahlquellen
Berechnungsbeispiel: Laser-Makrolinien haben bei gleichem mit verminderter Kohärenzlänge (z.B.
Pixelabstand ∆y = 0,010 mm Arbeitsabstand einen gegenüber Laser- Superlumineszenz-Dioden)
Blendenzahl k =8 Mikrolinien um etwa 7 bis 35-fach ver- • Relativbewegung zwischen Objekt und
Abbildungsmaßstab β = 3 größerten Schärfentiefenbereich. Sensor, möglichst unter Nutzung einer
2 z = 2 x 0,010 x 8 x 3 x (1+3)= 1,92 mm ohnehin vorhandenen Objektivbewe-
Linienbreite gung (z.B. Profilmessung von Eisen-
Bei fester Abbildungsgeometrie ver- bahnschienen während der Fahrt).
größert ein Abblenden des Objektivs den Innerhalb der beiden Typenreihen Mikro- • Verkleinerung des Specklemusters
Schärfentiefenbereich. bzw. Makroliniengenerator ist die Breite durch große Kameraobjektiv-Aper-
Eine große Blendenzahl k hat negative der Laserlinie proportional zum Arbeits- turen, soweit die erforderliche Schär-
Auswirkungen auf die Signalamplitude, abstand. fentiefe dies zuläßt (vgl. Bild 5).
die um einen Faktor 2 pro Blendenstufe Wegen des physikalischen Zusammen-
abnimmt, auf die optische Auflösung des hangs zwischen der Breite und der Schär- A
Objektivs und auf den Speckleeffekt (s. fentiefe der Laserlinie legt die von der
Tab. 1 bzw. Abschnitt Laserspeckle). Applikation geforderte Schärfentiefe die
Bei Applikationen mit großem Höhenmeß- minimale Breite der Laserlinie fest.
bereich werden daher im Allgemeinen der
Leistungsdichte in %

Kamerasensor und das Objektiv in A 100


Linienbreite µm (1/e2)
Scheimpflug-Anordnung relativ zur Ein-
strahlebene des Lasers angebracht
50 160 320 480
(Details hierzu siehe S. 4). Auch bei kleiner
Blendenzahl kann so eine über den 16
gesamten Meßbereich nahezu konstante 0
Signalamplitude gewährleistet werden, Abstand A: 0 mm 1,5 mm 3 mm 5 mm

wobei allerdings auf eine durchgehend Mikrolinie: Intensitätsprofil und Linienbreite B


scharfe Abbildung der Objektoberfläche z. B. Mikroliniengenerator
13 LT-250-S1+90CM-M60-660-12-M01-2
verzichtet werden muß. hohe Leistungsdichte und schmale Laserlinie im
Fokus. Linienverbreiterung und stark reduzierte
Blenden- Schär- Optische Relative Leistungsdichte bei Abstandsänderung.
zahl fentiefe Auflösung Signal- Linienbreite µm (1/e2)
Leistungsdichte in %

B
20
k (mm) (µm) amplitude 72

2,8 0,7 31 100 % 64


4 1,0 32 50 % 10
60
5,6 1,3 33 25 % 60
8 1,9 36 12,5 % 0
11 2,6 40 6,3 % Abstand A: 0 mm 1,5 mm 3 mm 5 mm
16 3,8 49 3,1% Makrolinie: Intensitätsprofil und Linienbreite Bild 5: Laserlichtschnitt eines Schlüsselpro-
22 5,3 62 1,6% z.B. Makroliniengenerator fils – Objektivblende und Laserspeckling
13LTM -250-41+90CM-M60 -660-6-M01-2 A : Aufnahme mit kleiner Blendenzahl (k=2.8)
Art_Lichtschnitt_SuK_D_6-04 / Seite 2

Tabelle 1: Schärfentiefe und Auflösungsver- Leistungsdichte und Linienbreite bleiben in einem B : Aufnahme mit großer Blendenzahl (k= 22).
um den Faktor 35 (im Vergleich zur Mikrolinie A )
mögen – Die Blendenzahl des Objektivs Die Blende des abbildenden Objektivs wirkt als
vergrößerten Arbeitsbereich annähernd konstant.
bestimmt die Schärfentiefe, die optische Ortsfrequenzfilter. Bei kleiner Blendenzahl er-
Auflösung und die relative Signalamplitude scheint ein weniger störendes, hochfrequentes
der Abbildung. Die angegebenen Werte Bild 4: Specklemuster. Bei großer Blendenzahl ver-
gelten für den Abbildungsmaßstab 1:3 und Vergleich von Laser-Mikroliniengeneratoren ursachen die Speckle Brüche und Lücken in der
einen Pixelabstand von 10 µm. und Laser-Makroliniengeneratoren.. Linienkontur.

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2004 Schäfter + Kirchhoff
Dome Illuminator für diffuse Laser-Liniengenerator 13LT... Laser-Liniengenerator 13LR...
Beleuchtung
für die 3D-Kontrolle von Meßobjekten mit klei- für die 3D-Kontrolle von Meßobjekten mit
Die vorgestellte Applikation erforderte nem Höhenprofil (z.B.: Sicherheitsschlüssel) großem Höhenprofil (z.B.: Eisenbahnschiene)
eine parallel zur 3D-Profilmessung durch-
X1 X1
zuführende Kontrolle der Außenkontur
und der Oberfläche.
Hierfür wurde das
Meßobjekt mit einem
„Dome Illuminator“
gleichmäßig diffus
beleuchtet. Die von
einem LED-Ringlicht Strahl- und Intensitätsprofil X1 Strahl- und Intensitätsprofil X1
emittierte Strahlung
gelangt dabei indi- Bild 6: Bild 8: Semitelezentrische Laserlinie mit Bild 10: Laserlinie mit konstanter Intensitäts-
rekt über eine diffus Prinzip des Dome konstanter Linienlänge verteilung und konstanter Linienbreite
reflektierende Kup- Illuminators Spezifikation: Spezifikation:
pel zum Objekt. Linienbreite: ab 11 µm (1/e2) Linienbreite: ab 26 µm (1/e2)
Oben in der Kuppel befindet sich eine Öff- Linienlänge: 15 mm Linienlänge: 26 bis 3000 mm (abh. vom Arbeitsabstand)
nung für die Kamera, aus dieser Richtung Spektralbereich: typ. 660 nm, optional 390-1600 nm Spektralbereich: typ. 660 nm, optional 390-1600 nm
Laserleistung: bis 24 mW (685 nm) Laserleistung: bis 45 mW (685 nm)
fällt kein Licht auf das Objekt (s. Bild 6). Integrierte Elektronik für die Laserleistungsregelung Integrierte Elektronik für die Laserleistungsregelung
Schatten und Glanz werden weitgehend Laserausgangsleistung mit Potentiometer einstellbar Laserausgangsleistung mit Potentiometer einstellbar
vermieden. Da die Verhältnisse annähernd Ganzmetallgehäuse, Durchmesser 25/28 mm Ganzmetallgehäuse, Durchmesser 25/28 mm
denen einer natürlichen Beleuchtung an
einem bewölkten Tag entsprechen, wird Laser-Mikroliniengenerator 13LT... Laser-Mikroliniengenerator 13LR...
diese Art der Beleuchtung auch als Cloudy Best.-Code Best.-Code
13LT-165-S-1+90CM-M60-660-12-M01-2 13LR25S500+55CM-660-25-M01-T12-2
Day Illumination bezeichnet. für einen Mikro-Liniengenerator mit einer Wellen- für einen Mikro-Liniengenerator mit einer Wellen-
länge von 660 nm, Arbeitsabstand 160 mm und länge von 660 nm und 25 mW Laserleistung.
Laserleistung 12 mW.
Strahlparameter Strahlparameter
Fächer- Linien- Linien- Arbeits- Rayleigh Fächer- Linien- Linien- Arbeits- Rayleigh
Winkel länge breite abstand Range Winkel länge breite abstand Range
Bestell-Code (°.) L (mm) B (mm) A (mm) (mm) Bestell-Code (°.) L (mm) B (mm) A (mm) (mm)
13LT-165 S-1 0° 15 0,011 160 0,15 13LR 12S250 12° 52 0,035 248 8
13LT-250 S-1 0° 15 0,016 243 0,3 13LR 12S500 12° 103 0,058 496 31
13LT-330 S-1 0° 15 0,019 323 0,6 13LR 25M125 24° 55 0,035 248 8
13LT-500 S-1 0° 15 0,028 493 1,4 13LR 25S250 24° 109 0,058 496 31
X1 13LT-1000 S-1 0° 15 0,057 993 5,4 13LR 40S250 40° 180 0,087 245 8
13LT-2000 S-1 0° 15 0,114 1993 21,7 13LR 40S500 40° 357 0,173 492 31
X1 13LT-4000 S-1 0° 15 0,227 3993 86,9 13LR 40S1000 40° 698 0,347 973 125

Bild 7: Die diffuse Beleuchtung hebt die Kontur


und die Oberflächentextur des Schlüssels her- Laser-Makroliniengenerator Laser-Makroliniengenerator
vor. X1 : Kontur der Laserlinie 13LTM... 13LRM...
Laserlinie mit erweitertem Schärfentiefenbereich Laserlinie mit erweitertem Schärfentiefenbereich
Optical Engineering Best.-Code Best.-Code
13LTM-165-41+90CM-M60-660-6-M01-2 13LRM25S500-1,5+55CM-660-14-M01-T12-2 für
für einen Makro-Liniengenerator mit einer Wellen- einen Makro-Liniengenerator mit einer Wellenlänge
Bei einer Laserlichtschnitt-Applikation mit länge von 660 nm, Arbeitsabstand 160 mm und von 660 nm und Laserleistung 14 mW.
hohen Anforderungen kommt der Sy- Laserleistung 6 mW.
stemkonfiguration eine besondere Be- Strahlparameter Strahlparameter

deutung zu. Dieses „Optical Engineering“ Fächer- Linien- Linien- Arbeits- Schärfen- Fächer- Linien- Linien- Arbeits- Schärfen-
winkel länge breite abstand tiefenbereich winkel länge breite abstand tiefenbereich
umfaßt die Auswahl und die konstruktive Bestell-Code (Deg.) L (mm) B (mm) A (mm) (mm) Bestell-Code (Deg.) L (mm) B (mm) A (mm) (mm)
Anordnung der verwendeten Komponen- 13LTM-165-41 0° 15 0,040 153 5,18 13LRM12S250-1,5 12° 52 0,16 236 83
ten Kamera, Objektiv und Laserlinienge- 13LTM-250-41 0° 15 0,061 238 11,66 13LRM12S500-1,5 12° 103 0,32 412 330
13LTM-330-41 0° 15 0,081 318 20,70 13LRM25S250-1,5 25° 55 0,16 238 83
nerator nach optischen Gesichtspunkten. 13LTM-500-41 0° 15 0,121 488 46,70 13LRM25S500-1,5 25° 109 0,32 413 330
Die Berücksichtigung der optischen Ge- 13LTM-1000-41 0° 15 0,243 988 187 13LRM40S250-1,5 40° 180 0,16 240 83
13LTM-2000-41 0° 15 0,485 1988 746 13LRM40S500-1,5 40° 357 0,32 415 330
setzmäßigkeiten und ihrer Wechselwir- 13LTM-4000-41 0° 15 0,970 3988 2986 13LRM40S1000-1,5 40° 698 0,64 968 1330
kungen führt, innerhalb des physikalisch
Möglichen, zu optimalen Bildaufnahmen. Weitere Informationen und Maßbilder: http://www.SuKHamburg.de
Aufwändige Bildvorverarbeitungsalgo-
rithmen werden vermieden. A
Bei Objekten mit weitgehend diffus reflek-
tierenden Oberflächen und bei geringen
1
Anforderungen an die Meßgenauigkeit
können, z.B. im Schulversuch, erste
B
Schritte auch mit einer Kamera und einem A
Linienlaser aus dem Elektronik-Versand-
hauskatalog unternommen werden. Diese
einfachen Linienlaser arbeiten in der Re-
Art_Lichtschnitt_SuK_D_6-04 / Seite 3

gel nach dem Eingangs erwähnten Glas- 1


stab-Prinzip und erzeugen Laserlinien mit B
gaußförmiger Intensitätsverteilung ent-
2
lang der Linie. Bei hohen Anforderungen
2
kommen Laserlinien mit weitgehend
konstanter Intensitätsverteilung und
Linienbreite zum Einsatz. Bild 9: 3D-Konturkontrolle eines Schlüsselprofils mit Bild 10: 3D-Konturkontrolle eines Schienenprofils mit
Laser-Makroliniengeneratoren 13LTM-... 1 und 2 Laser-Makroliniengeneratoren 13LRM-... 1 und 2

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Celsiusweg 15, D-22761 Hamburg • Tel: (+49) 40 85 39 97- 0 • Fax: (+49) 40 850 31 37 • eMail: info@SuKHamburg.de • Web: http://www.SuKHamburg.de
2004 Schäfter + Kirchhoff
Laserlichtschnitt in Laserlinien-, Mikrofokusgenerator Komponenten für die
Scheimpflug-Anordnung und Strahlquellen mit Faseroptik 3D-Meßtechnik nach dem
Bei einer normalen Abbildung sind Objekt-, Objektiv-
für die optische Meßtechnik Laser-Lichtschnittverfahren
und Bildebene (Sensor oder Film) parallel zueinander. Für die 3D-Lasermeßtechnik nach dem Laserlicht- Applikation hierzu: Sicherheitsschlüssel, Bild 2, S. 1
Beim Laserlichtschnitt steht die vom Laser markierte schnittverfahren und anderen Applikationen hat
Objektebene prinzipbedingt nicht parallel zur Objek- Laser-Makroliniengenerator 13LTM...
Schäfter+Kirchhoff ein an die Meßaufgaben ange-
tivebene. Die von Theodor Scheimpflug 1904 formu- Best.-Code
paßtes Lieferprogramm an Laser-Liniengeneratoren.
lierte Bedingung gibt an, wie die Bildebene (d.h. der 13LTM-165-41+90CM-M60-660-6-M01-02
Die Baureihen mit der Kennung 13LR.., 13LT.. und
Sensor) zu neigen ist, um eine scharfe Abbildung ei- 13LN.. zeichnen sich durch Laserlinien mit homoge-
ner schrägstehenden Objektebene zu erreichen: Semitelezentrische Laserlinie mit hoher Rand-
ner Intensitätsverteilung, konstanter Linienbreite und intensität und konstanter Linienlänge.
Die Objektebene wird scharf auf eine Bildebene ab- hoher Randintensität aus.
gebildet, wenn sich Objekt- Bild- und Objektivebene Die telezentrisch emittierte Laserstrahlung erzeugt
Für die punktuelle Beleuchtung mit Laserspots beim Auftreffen auf das Meßobjekt annähernd kon-
in der gleichen Schnittgerade treffen. ≤ 0,001 mm werden Laser-Mikrofokusgeneratoren
Bild 12 zeigt die entsprechende Anordnung beim La- stante Reflexionsverhältnisse über den ganzen Meß-
eingesetzt. bereich. Dies ergibt gegenüber Laserlinien mit diver-
serlichtschnitt. Aufgrund perspektivischer Verzeich- Laserstrahlquellen mit Faseroptik haben alle Vorteile gentem Fächerwinkel einen besseren Signalverlauf
nung besteht ein nichtlinearer Zusammenhang zwi- der Glasfasertechnik. Das emitterte Strahlprofil ist ro- auf dem Kamera-Sensor, verbessert die Meßgenauig-
schen der Höhendifferenz h und der Peak-Position auf tationsförmig mit gaußscher Intensitätsverteilung. Als keit und und reduziert den Aufwand für die Bildver-
dem Kamerasensor x (gemessen jeweils ab der opti- Zubehör gibt es refraktive und diffraktive Strahlfor- arbeitung. Linienlänge, Lininenbreite und Schärfen-
schen Achse des Objektivs). mungsoptiken für die Generierung von Laserlinien und tiefenbereich der Laserlinie sind an die Meßaufgabe
1 Laser- Es gilt A x cos β
Gitterstrukturen. angepaßt.
h= Detaillierte Informationen finden Sie in den PDF- www.SuKHamburg.de/download/m3_de.pdf.
1 Linien- A’ sin α – x cos (α – β)
generator mit Datenblättern auf unser Website:
2 Kamera A: Objektabstand, d.h. Abstand CMOS-Kamera
zwischen Laserlinie und Objektiv- http://www.SuKHamburg.de • Megapixelkamera mit CameraLink
2 Hauptebene H X4
Laser-Mikroliniengenerator Schnittstelle
β A’: Bildabstand, d.h. Abstand des 13LR… + 55CM… Photonfocus AG
Sensors von der Objektiv-Haupt- Laserlinie mit homogener Intensitätsver- www.photonfocus.com
ebene H’(jeweils auf der optischen teilung und konstanter Linienbreite
2.1 Achse des Objektivs) Linienbreite ab 0,018 mm. Fächerwinkel Framegrabber
3 α : Winkel zwischen der Ebene der 12°, 25° und 40°. Gehäuse-Ø 25/28 mm. • microEnable III
α Laserlinie und der optischen Achse CameraLink / 64 Bit PCI
2.1 CCD/ des Objektivs
X4
Laser-Mikroliniengenerator
CMOS- β : Winkel zwischen der Objektiv- 13LT…+90CM… Fa. Silicon Software
Sensor und der Sensorebene Semitelezentrische Laserlinie, konstante www.silicon-software.de
3 Objektiv Die dem Pixelabstand ∆x entspre- Linienlänge, Randintensität typ. 80 %,
Dome IIluminator
chende Höhenänderung ∆ h be- Linienbreite 6 µm FHWM. Typ 13LTM…
Bild 12: Optikschema rechnet sich aus mit erweitertem Schärfentiefenbereich. NerliteTM
der Scheimpflug-An- A A’ x cos β sin α www.nerlite.com
∆h = ∆x X4
Laser-Mikroliniengenerator
ordnung (A’ sin α – x cos (α – β))2 13LN-40M60S+90CM-M60-635-H09-2 Distributor: Fa. SVS-Vistek
Laserlinie: Linienbreite 0,003 mm (FWHM) www.svs-vistek.com
3D-Meßmanipulator Randintensität 80%, Linienlänge 18 mm,
Arbeitsabstand 47 mm, Gehäuse-Ø Optical Engineering
Optik-Anordnung nach Scheimpflug 25 / 28 mm. Optik für die Bildaufnahme und Be-
X6
Laserdioden-Kollimator flatbeam® OPTICAL ENGINEERING leuchtungstechnik sowie optische
Applikation: 90CM-M90-... Geräte werden bei Schäfter + Kirch-
3D-Meßmanipulator für die Telezentrischer Laserstrahl hoff seit mehr als 40 Jahren entwickelt und gefertigt.
A
Inspektion und Geometriekontrolle Intensitätsverteilung rechteckförmig
B
X5
Applikation:
Für externe Bildverarbeiter berechnen oder optimieren
von Speiseleitungen in Druck- und
Siedewasser-Reaktoren.
A
B

Schattenkante und Laser-Diffraktion wir die Systemkonfiguration und liefern Komponenten


und Baugruppen wie Laserstrahlquellen und CCD-
Mit den von Schäfter + Kirchhoff entwickelten Meßmanipulator Laser Beam Analysis:
Schäfter + Kirchhoff
Intensity Profile
Hamburg

X3 Laser-Mikrofokusgenerator
Zeilenkameras oder komplette Systemlösungen.
Ref.: SK970703 Intensities
100.0%
90.0%
80.0%
70.0%
60.0%
50.0%
40.0%

ITDM 190/330 wird die personenfreie Inspektion und Geo-


30.0%
20.0%

13MC... + 95CM... / 5MC... + 29CM...


10.0%

metriekontrolle in kontaminierten Bereichen durchgeführt. Object:


Fiber Collimator
Collimating Lens M12
Gaussian Fit

Rotationssymmetrischer Laserspot
Option: Lasertriangulation mit CCD Zeilenkameras
Beam Diameter (1/e 2 ) 2.18 mm
Wavelength 635 nm
Lasersource Singlemode Fiber
Mode Field Diameter 4 .5 µm
Numerical Aperture 0.11

Strahl-Ø > 0,001 mm, gaußförmige In-


tensitätsverteilung CCD-Zeilenkameras sind Halbleiter-
kameras mit einer lichtempfindlichen
Laser Pattern Generator 3D...+95CM... Zeile, die je nach Typ bis zu 10680
Bioshield strukturierte Beleuchtung für 3D Objekt-
vermessung. Diffraktive Strahlformungs- einzeln adressierbare Bildelemente
MICROSOFT
WINDOWS NT
COMPATIBLE
®

®
TM

optik zur Generierung von Gitter, Kreuz- (Pixel) von 4 – 25 µm Breite hat.
3D-Meßkopf mit Meßmanipulator raster und Kreisen mit kontinuierlicher Der eindimensionale Bildaufnehmer
Druckbehälter Kontrollraum oder beliebiger Figur und Flächenfüllung (Sensor) ist bis zu 60 mm lang.
Meßverfahren: Laser-Lichtschnittverfahren Laserstrahlquellen mit Faseroptik 390 – 2300 nm Das Bild einer CCD-Zeilenkamera ist ein Helligkeits-
Für die Erweiterung des Meßbereichs und eine hohe Ortsauf- Laserdioden-Strahlquellen 58FCM... schnitt über das Objekt. Die Bildaufnahmefrequenz
lösung sind im Meßkopf 2 Kameras nach Scheimpflug ange- mit Singlemode LWL u. FC-APC-Stecker (Zeilenfrequenz) beträgt bis zu 120 kHz.
ordnet. Weitere Sensoren ermitteln die Azimutlage und die Spektralbereich 300-2300 nm.
Z-Koordinate.
Diese mehr als tausendfach schnellere Auslesefre-
Integrierte Elektronik für die Laser-Leis- quenz des Zeilensensors gegenüber einem CCD-
tungsregelung. Einstellung der Ausgangs-
leistung mit Potentiometer. Interlock, Flächensensors prädestiniert die CCD-Zeilenkamera
Schlüsselschalter, Betriebsspannung +5V. für den Aufbau schneller Meßgeräte für die Lasertri-
angulation und einer Vielzahl innovativer opto-elektro-
Applikationen: nischer Meß- und Sensorsysteme für die Fertigung und
Laser for Adjustment
and Alignment Laser for Adjustment and Alignment
Justier- und Pilotlaser. Laserstrahl mit Qualitätskontrolle.
optimierter Beamwaist für konstanten Die CCD-Zeilenkameras von Schäfter + Kirchhoff ha-
Strahl-Ø bei großer Meßstrecke. Faser- ben ein modulares Schnittstellenkonzept. Sie sind mit
A B C gekoppelte Strahlquelle 58FCM... und den Schnittstellen LVDS, CameraLink und USB 2.0
X1 Faserkollimatoren der Serie 60FC... für
kollimierte Strahl-Ø von 0,6 bis 25 mm. lieferbar. Passend zur LVDS-Variante gibt es das PC-
Bild 13: Interface SK9192D mit PCI-Bus und das Software-
A Meßkopf nach dem Laser-Lichtschnittverfahren, Kameras AFM – Atomic Force Microscopy
Abbildung von Oberflächentopographien Paket Sk91PCI-WIN/-LX mit Treibern für die Betriebs-
und Laser-Liniengenerator in Scheimpflug-Anordnung systeme Windows XP/2000 und Linux sowie mit einem
B Optikschema mit Strahlumlenkung. Die Scheimpflug- mit atomarer Auflösung. Fasergekoppelte
Bedingung wird durch die Anordnung des Umlenkspiegels Strahlquelle 62LFCM... mit Faserkolli- SDK für die Entwicklung eigener Anwendungen.
X1 realisiert. mator 60FC.. und Mikrofokus-Optik 5M...
C Hohe Ortsauflösung durch den Einsatz von zwei sich im Strahlquellen mit reduzierter Kohärenz- Weitere Informationen siehe unsere Website
Meßbereich überlagernden Kamera-Systemen. länge: 61LFCM... und 48-0-TOW2... www.SuKHamburg.de

OPTICS, METROLOGY AND PHOTONICS BY Schäfter


40 years of experience and a lot of production know-how are the base of many advanced optical products and optoelectronic and mechanical system designs.
+ Kirchhoff
Orbital Tube Welding Head 160-VIS IORT Electron Applicator CCD Line Scan Camera System Laser Beam Coppler Flatbeam®-Laser 670 Laser Diode Systems in space
SK 9170: Gray Scale Line Signal – 0
Des ig ne d fo r 255 Laser Beam Coupler
for Singlemodefiber
Art_Lichtschnitt_SuK_D_6-04 / Seite 4

Microsoft
®

Windows 2000
®

ZOOM
0
0 SK 9170: Gray Scale Line Signal – 1
255
ZOOM

inclined fiber coupling


Microsoft ®

Windows xp ®
0
Professional 0

1 2

IR illumination
head 3

TIG torch %
%
%
%
%
%

%
IR camera
head
4
%
% X7
X1

5
International Patents: German Patent:
Germany DE 33 39182 DE 39 00 884
Europe EU O160 687

4
Celsiusweg 15, D-22761 Hamburg • Tel: (+49) 40 85 39 97- 0 • Fax: (+49) 40 850 31 37 • eMail: info@SuKHamburg.de • Web: http://www.SuKHamburg.de