Membranpumpen mit hoher
Kompression durch tangentiale
Membraneinspannung
Diaphragm pumps with high compression due to tangential diaphragm insertion
Zusammenfassung
Membranpumpen sind in der modernen
Industrie und Wissenschaft im Bereich
Grobvakuum (bis 1 mbar) dominierend.
Ihr Aufbau ist relativ einfach und gewaÈhr-
leistet groûe Betriebssicherheit. Sie sind
oÈl- und wartungsfrei, geraÈuscharm und
erreichen eine hohe Lebensdauer. Pro-
blematisch war bislang jedoch die Er-
zeugung kleiner DruÈcke. Mit einer voÈllig
neuen tangentialen Membraneinspan-
nung sowie Verbesserungen bei der
GasfuÈhrung, der Ventilform und -lage
haben die Ingenieure eines Puchheimer
Pumpenherstellers dieses Problem nun
geloÈst. Diese neuen Tangential-Mem-
branpumpen erreichen einen Enddruck
von 20 mbar in einstufiger AusfuÈhrung
und kleiner 1 mbar in zweistufiger Aus-
fuÈhrung. Das SaugvermoÈgen eines
Pumpkopfs betraÈgt 36 l/min bei Atmo-
sphaÈrendruck.
Summary
Diaphragm pumps dominate the field of
rough vacuum (down to 1 mbar) in mod-
ern industry and science. Their con-
struction is quite simple and therefore
warrants great reliability. Diaphragm
pumps are oil-free, maintenance free,
Vakuum in Forschung und Praxis (2001) Nr. 5 273±275
Ó WILEY-VCH Verlag GmbH, D-69451 Weinheim, 2001
Hans MoÈckel
have a low noise level and a long life-
time. Up to now, problems occurred in
generating lower vacuum pressure.
With a completely new tangential dia-
phragm insertion as well as with im-
provements of the gas flow, and the
form and position of the valves, the of
a Puchheim pump company now solved
this problem: The tangential diaphragm
pumps reach an ultimate pressure of
20 mbar (single-stage) and less than 1
mbar (double-stage). A pump head pro-
vides a pumping speed of 36 l/min at at-
mospheric pressure.
1 Einleitung
Vakuumpumpen jeglicher Bauart sind
aus der modernen Industrie und Wis-
senschaft nicht mehr wegzudenken. So-
wohl in AnalysegeraÈten, in Chirurgiesau-
gern und Verpackungsmaschinen als
auch bei der Bedampfung und Trock-
nung wird Vakuum in verschiedenen Be-
reichen benoÈtigt, die man einteilt in:
Grobvakuum bis 1 mbar
Feinvakuum 10 ± 1 bis 10 ± 3 mbar
Hochvakuum 10 ± 3 bis 10 ± 7 mbar
Ultrahochvakuum unter 10-7 mbar
Im Bereich Fein-, Hoch- und Ultra-
hochvakuum werden oÈlgeschmierte
Drehschieber-, Turbomolekular-, Kol-
ben- und Drehkolben- sowie mehr-
stufige Injektorpumpen eingesetzt. Im
Grobvakuumbereich, zum Beispiel in
der Prozesstechnik, bei Chirurgiesau-
gern, Hebe- und Haltevorrichtungen da-
gegen dominieren Membranpumpen.
Sie sind oÈl- und wartungsfrei, geraÈusch-
arm und erreichen eine hohe Lebens-
dauer. Ihr Aufbau ist relativ einfach, so-
dass eine hohe Betriebssicherheit ge-
waÈhrleistet wird.
Schwierigkeiten treten allerdings im-
mer dann auf, wenn mit Membranpum-
pen kleine VakuumdruÈcke erreicht wer-
den sollen. UÈblicherweise werden ein-
stufig EnddruÈcke von lediglich 200 bis
100 mbar abs erzielt. Bei den herkoÈmm-
lichen Membranpumpen kann ein relativ
groûer Anteil an ¹schaÈdlichen RaÈumenª
(Totpunkten) kaum vermieden werden:
Die am Rand senkrecht zur Bewegungs-
richtung eingespannte Membran kann
sich nicht vollstaÈndig an die obere Pum-
penwandung anschmiegen, auûerdem
entstehen beim Ansaugen ringfoÈrmige
Quetschfalten an der Membrane.
2 Neuartige Membran-
einspannung
Die LoÈsung des Problems fanden die
Techniker von ASF Thomas in einer voÈllig
0947-076X/01/0510-0273/$17.50+.50/0 273

Abb. 1: Die tangentiale Membraneinspannung im Detail
neuen Membraneinspannung. Die Mem-
bran wird dabei nicht mehr quer, son-
dern tangential befestigt (Abb. 1). Das
bedeutet, dass die eingeklemmte Rand-
zone der Membrane nicht horizontal,
sondern schraÈg gestellt ist. Dadurch
wird die sonst uÈbliche Quetschfalte im
oberen Totpunkt des Hubes verhindert
(Abb. 2).
Auûerdem werden keine Flachmem-
branen, sondern im Verbund gefertigte
Formmembranen beim Bau der Pumpen
verwendet. Sie sind dem Pumpenraum
angepasst und besitzen ein in das Poly-
mer eingeschmolzenes MetallstuÈck, mit
dem die Membrane mit dem Pleuel ver-
schraubt wird.
Auch den ¹schaÈdlichen RaÈumenª im
Bereich der Ventile haben die Techniker
erfolgreich den Kampf angesagt. Sie op-
timierten die DurchbruÈche fuÈr die Gas-
fuÈhrung vom jeweiligen Ventil in den
Pumpenraum hinein und wieder heraus
in Querschnitt und LaÈnge und legten
Ventilform und -lage neu an. So wurde
Abb. 2: Bewegung der Tangential-Membrane bei einem Pumpzyklus
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das Druckventil sehr nahe an den Hub-
raum verlegt und das Saugventil bildet
nun mit der ¹Pumpenraum-Kuppelª
eine annaÈhernd homogene FlaÈche
(Abb. 2).
Das Saugventil wurde weit auûen am
Membranrand positioniert. Die Mem-
brane uÈbernimmt einen Teil der Ventil-
funktion: Sie ist zu Beginn der AbwaÈrts-
bewegung des Pleuels vom Oberen Tot-
punkt aus an den oberen Pumpenraum
angeschmiegt. Mit zunehmender Entfer-
nung des Pleuels loÈst sich die Membran
dann nach und nach ± vom Zentrum
ausgehend nach auûen ± von der Pum-
penwandung ab. Dabei entsteht in die-
sem Teil des Pumpenraumes bereits
ein Vakuum. Wenn die Membran im wei-
teren Verlauf der AbwaÈrtsbewegung
schlieûlich von der SaugventiloÈffnung
abgezogen wird, stroÈmt das anzusau-
gende Gas mit erhoÈhter Geschwindig-
keit ein.
3 Ergebnis
Das Ergebnis dieser Neuerungen kann
sich sehen lassen: Statt der uÈblichen
EnddruÈcke von 200 bis 100 mbar erzie-
len die neuen Tangential-Membranpum-
pen von ASF Thomas in der Monokopf-
Version einen Enddruck von 20 mbar.
Das SaugvermoÈgen bei Umgebungs-
druck betraÈgt dabei 34 l/min. Mit der
zweikoÈpfigen Pumpe in Reihenschal-
tung der beiden PumpenkoÈpfe (Abb. 3)
wird bei gleichem SaugvermoÈgen sogar
ein Endvakuum besser 1 mbar erzielt
(Abb. 4). Zur Erzielung solcher Werte
musste nach dem bisherigen Stand
der Technik bislang die doppelte Anzahl
an Pumpeneinheiten (KoÈpfe) eingesetzt
werden.
Verwendet werden die Tangential-
Membranpumpen zum Beispiel in der
Halbleitertechnik, in Leckdetektoren, in
Massenspektrometern und bei Den-
taloÈfen, als Vorpumpe von Turbomoleku-
larpumpen und in der PorositaÈtsmes-
sung.
Abb. 3: Die zweistufige Tangential-
Membranpumpe Typ 8111 ZVR
Abb. 4: SaugvermoÈgen der Tangen-
tialpumpe 8111 ZVR als Funktion
des Eingangsdrucks
Vakuum in Forschung und Praxis (2001) Nr. 5

Abb. 5: AbhaÈngigkeit der Leistungs-
aufnahme einer Turbomolekularpum-
pe vom Vorvakuum
Wie entscheidend das Vorvakuum fuÈr
den Betrieb einer Turbomolekularpumpe
ist, zeigt folgendes Beispiel. Enddruck
und Antriebsleistung der Turbomoleku-
Vakuum in Forschung und Praxis (2001) Nr. 5
larpumpe haÈngen stark vom Vor-
vakuumdruck ab (Abb. 5). Wurde als
Vorvakuumpumpe eine herkoÈmmliche,
zweistufige Membranpumpe eingesetzt,
so ergab sich ein Vorvakuumdruck
von 8 mbar und ein Enddruck von
1
10-4 mbar. Mit einer Leistungsaufnah-
me von der 50 W war die Turbopumpe
uÈberlastet. Ohne aufwendige KuÈhlung
haÈtte der Temperaturschutzschalter ab-
geschaltet.
Mit der Tangential-Membranpumpe
an gleicher Stelle stellte sich ein Vorva-
kuum von 3
10-1 mbar ein und das End-
vakuum betrug 4
10-9 mbar. Gleichzeitig
sank die Leistungsaufnahme der Turbo-
pumpe auf 16 W, wodurch ein problem-
loser Dauerbetrieb ohne zusaÈtzliche
KuÈhlung moÈglich wurde.
Kurzbiografie
Hans MoÈckel, Jahrgang 1942, ist Elek-
trotechniker und langjaÈhriger Mitarbeiter
eines Pumpenherstellers. In Praxis, Ent-
wicklung und Konstruktion war er maû-
geblich mitbestimmend fuÈr die heutige
Produktpalette der Firma. Er hat bereits
FachbeitraÈge uÈber die Anwendungen
von Membranpumpen in Lecksiche-
rungsgeraÈten und GasanalysegeraÈten
veroÈffentlicht. Heute im Marketing taÈtig,
beschaÈftigt sich MoÈckel mit dem Ausbau
vorhandener MaÈrkte und dem Auffin-
den neuer AnwendungsmoÈglichkeiten
fuÈr VerdraÈngerpumpen verschiedenster
Prinzipien.
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