Kenngro
Èûen von Turbo-Molekularpumpen
Characteristics of Turbomolecular Pumps
Zusammenfassung
In diesem Artikel werden die Diagramme
¹Hochvakuum-Druck als Funktion des
Vorvakuum-Drucksª (¹pHV gegen pVVª) und
¹Kompression als Funktion des Vorvakuum-
Drucksª (¹K gegen pVVª) vorgestellt. Mit
Hilfe dieser Diagramme kann die Leis-
tungsfaÈhigkeit jeder Turbo-Molekularpum-
pe vollstaÈndig und zuverlaÈssig beurteilt
werden. Beide Diagramme werden bislang
nur selten in Katalogen gezeigt.
GrundsaÈtzlich fehlen in den Katalogen
die sogenannten ¹Grenzkurvenª (¹Q als
Funktion von pVV, Kmaxª). Diese Kurven
geben an, welchen Mindest-Druck die
Vorvakuum-Pumpe bei vorgegebenem Gas-
Durchsatz Q am Vorvakuum-Stutzen der
Turbo-Molekularpumpe erzeugen muss,
damit sich auf der Hochvakuum-Seite der
Turbo-Molekularpumpe ein stabiler Druck
einstellen kann.
Mit Hilfe der Gas-Art-spezifischen
Grenzkurve und der meistens gut doku-
mentierten entsprechenden SaugvermoÈ-
genskurve kann man die FunktionstuÈch-
tigkeit und LeistungsfaÈhigkeit einer ausge-
waÈhlten Kombination Turbo-Molekular-
pumpe plus Vorvakuum-Pumpe bereits
naÈherungsweise ± aber eben nicht voll-
staÈndig ± beschreiben.
DaruÈber hinaus werden in diesem Artikel
analytische Funktionen angegeben, die
die Druck-AbhaÈngigkeit der Kompression
und des SaugvermoÈgens ausgezeichnet
beschreiben.
228 Vakuum in Forschung und Praxis 14 (2002) Nr. 4 228±233
Ó WILEY-VCH Verlag GmbH, D-69451 Weinheim, 2002
Gerhard Voss
Summary
Graphs of ªhigh-vacuum pressure as a
function of backing pressureº (ªpHV versus
pVVº) and ªcompression as a function of
backing pressureº (ªK versus pVVº) are
presented in this article. The performance
of any turbomolecular pump can be fully
and reliably evaluated with the aid of these
graphs. Until now these graphs have only
seldom been shown in catalogs.
The catalogs generally lack the so-called
ªlimit linesº (ªQ as a function of
pVV, Kmaxº). For a prescribed gas throughput
Q, the limit line indicates what minimum
pressure must be generated by the backing
pump at the fore-line port of the turbo-
molecular pump so that a stable pressure
exists at the high-vacuum side of the tur-
bomolecular pump.
Using the gas-type-specific limit line and
the corresponding, usually well-docu-
mented pumping-speed curve, one can
already describe the functional proficiency
and performance of a selected combination
of turbomolecular pump plus backing
pump in an approximate manner ± but not
yet completely.
In this article we also indicate analytical
functions which excellently describe the
pressure dependence of the compression
and pumping speed.
1 Einleitung
SaugvermoÈgen und Kompression sind
zweifelsohne die wichtigsten KenngroÈûen
einer Turbo-Molekularpumpen, denn sie
bestimmen, in welchen Anwendungen und
mit welchen Vorpumpen die Turbo-Mole-
kularpumpe eingesetzt werden kann.
Im Mittelpunkt dieses Artikels stehen
daher die Diagramme ¹Hochvakuum-Druck
als Funktion des Vorvakuum-Drucksª (¹pHV
gegen pVVª) und ¹Kompression als Funkti-
on des Vorvakuum-Drucksª (¹K gegen
pVVª). Mit Hilfe dieser Diagramme kann die
LeistungsfaÈhigkeit jeder Turbo-Molekular-
pumpe vollstaÈndig und zuverlaÈssig beur-
teilt werden. Dies will der vorliegende Ar-
tikel an Hand eines konkreten Beispiels
aufzeigen.
2 Das Diagramm
¹pHV gegen pVVª
Abb. 1 zeigt stark vereinfacht einen heute
uÈblichen Versuchsaufbau zur Bestimmung
der KenngroÈûen von Turbo-Molekular-
pumpen.
Auf der Hochvakuum-Seite der Turbo-
Molekularpumpe (TMP) kann mit einem
PraÈzisionsmessgeraÈt der externe Gas-
Durchsatz Q exakt eingestellt und gemes-
sen werden. Ein zweites PraÈzisionsmess-
geraÈt dient zur Messung des Hochvakuum-
Drucks pHV.
Auf der Vorvakuum-Seite ist moÈglichst
nahe am Vorvakuum-Stutzen der Turbo-
0947-076X/02/0408-/$17.50+.50/0
 Abb. 2: Diagramm
¹Hochvakuum-Dru-
ck als Funktion des
Vorvakuum-Druck-
sª (¹pHV gegen pVVª)
TURBOVAC TW 70 H,
Gas-Art: Stickstoff a:
Qa ˆ 1,8  10 2
mbar  l/s, b: Qb ˆ
1,8  10 1 mbar  l/
s, c: Qc ˆ 9,2  10 1
mbar  l/s, d: Qd ˆ
1,8 mbar  l/s
Im Folgenden soll an Hand eines kon-
kreten Beispiels aufgezeigt werden, wie die
KenngroÈûen einer Turbo-Molekularpumpe
ermittelt werden.
In unserem Beispiel ist die zu untersu-
chende Turbo-Molekularpumpe eine Wide
Range-Pumpe (* 2) von LEYBOLD mit der
Abb. 1: Schematische Darstellung des Bezeichnung TURBOVAC TW 70 H. Als
Versuchsaufbaus zur Bestimmung der Vorvakuum-Pumpe wird eine zweistufige,
KenngroÈûen von Turbo-Molekularpum- È l-gedichtete Drehschieber-Pumpe vom
pen: Q: Messinstrument zur Messung des
O die Messreihe ¹aª ab, weil bei einer wei-
externen Gas-Durchsatzes Q, pHV: Mess- Typ LEYBOLD TRIVAC D 8 B eingesetzt. Es
instrument zur Messung des Hochvaku- soll reiner Stickstoff gepumpt werden.
um-Drucks pHV, pVV: Messinstrument zur
Messung des Vorvakuum-Drucks pVV, (* 1) es muss die gleiche Gas-Art wie auf
TMP: Turbo-Molekularpumpe, VVP: Vor-
vakuum-Pumpe, D1, D2: Verstellbare der Hochvakuum-Seite benutzt
Drosseln, QVV: Vorvakuum-seitiger Gas- werden
Einlass (* 2) d. h. eine Turbo-Molekularpumpe
mit Compound-Stufe
ZunaÈchst wird bei vollkommen geoÈffneter
Drossel D1 und geschlossener Drossel D2
Molekularpumpe ein weiteres Druck- ein (zeitlich) konstanter Gas-Durchsatz Q
MessgeraÈt installiert, mit dem der Vorva- eingestellt. Wir starten mit Qa ˆ 1,8 
kuum-Druck pVV gemessen wird. 10 2 mbar  l/s. Auf der Hochvakuum-Seite
Bei der DurchfuÈhrung der Messungen der Turbo-Molekularpumpe misst man
kommt es darauf an, dass der Vorvakuum- dann den Druck pHV ˆ 2,8  10 4 mbar,
Druck pVV uÈber mehrere Zehnerpotenzen auf der Vorvakuum-Seite pVV ˆ 2,8 
hinweg variiert werden kann. Dazu gibt es 10 2 mbar. In der Auftragung ¹pHV gegen
zwei MoÈglichkeiten: pVVª, die in Abb. 2 gezeigt wird, ist dies der
Zum einen ist zwischen Turbo-Moleku- Punkt P1.
larpumpe und Vorvakuum-Pumpe (VVP) Was passiert auf der Hochvakuum-Seite,
eine verstellbare Drossel (D1) eingebaut. wenn der Vorvakuum-Druck nun sukzes-
Wird D1 immer weiter geschlossen, so wird sive erhoÈht wird ? ¹Erst einmal gar nichtsª
das SaugvermoÈgen der Vorvakuum-Pumpe ist die Antwort. So misst man zum Beispiel
am Vorvakuum-Stutzen der Turbo-Moleku- bei pVV ˆ 2,9 mbar ± wir haben den Vor-
larpumpe immer weiter reduziert, und pVV vakuum-Druck gegenuÈber seinem Wert bei
steigt an. P1 um den Faktor 100 erhoÈht ± nach wie
Zum anderen gibt es auf der Vorvakuum- vor einen Hochvakuum-Druck von
Seite der Turbo-Molekularpumpe einen 2,8  10 4 mbar (Punkt P2 in Abb. 2). Er-
externen Gas-Einlass, der mit Hilfe der hoÈht man den Vorvakuum-Druck weiter auf
Drossel D2 geregelt werden kann. Durch 20,7 mbar, so steigt pHV nur ganz leicht an,
ErhoÈhung des externen Gas-Durchsatzes naÈmlich auf 3,0  10 4 mbar (Punkt P3 in
QVV (* 1) wird pVV ebenfalls erhoÈht. Abb. 2). An dieser Stelle reicht aber bereits
Vakuum in Forschung und Praxis 14 (2002) Nr. 4
eine geringfuÈgige weitere ErhoÈhung des
Vorvakuum-Drucks aus, um den Hochva-
kuum-Druck rasant in die HoÈhe schnellen
zu lassen. Man gelangt zum Punkt P4 in
Abb. 2 (pVV ˆ 23,6 mbar, pHV ˆ 1,0 ˆ 10 2
mbar). Man beachte, dass bei P4 der
Hochvakuum-Druck gegenuÈber seinem
Wert bei P3 bereits um den Faktor 33
zugenommen hat. An dieser Stelle bricht
teren ErhoÈhung des Vorvakuum-Drucks der
Hochvakuum-Druck nicht mehr stabil ist.
FuÈr alle Punkte der Messreihe ¹aª (Sym-
bol &) betraÈgt der Stickstoff-Gas-Durchsatz
Qa ˆ 1,8  10 2 mbar  l/s. Um die in
Abb. 2 gezeigten Messreihen ¹bª, ¹cª und
¹dª aufnehmen zu koÈnnen, muss man den
Gas-Durchsatz erhoÈhen. So ist zum Beispiel
Qb ˆ 10  Qa, Qc ˆ 50  Qa und
Qd ˆ 100  Qa. Die Aufnahme der Mess-
punkte erfolgt in der gleichen Weise wie es
oben fuÈr die Messreihe ¹aª beschrieben
wurde.
Die Messreihen ¹Hochvakuum-Druck
pHV als Funktion des Vorvakuum-Drucks
pVVª mit den Parametern Qa bis Qd bilden
das grundlegende Diagramm ¹pHV gegen
pVVª. Dieses Diagramm enthaÈlt die voll-
staÈndige Information uÈber die KenngroÈûen
der zu untersuchenden Turbo-Molekular-
pumpe und kann somit zur Beurteilung der
LeistungsfaÈhigkeit dieser Pumpe herange-
zogen werden.
Am Schluss dieses Kapitels soll erlaÈutert
werden, wie die fett durchgezogenen
Kurven in Abb. 2 zustande kommen. Bei
diesen Kurven handelt es sich nicht um die
Verbindung von Messpunkten, sondern um
die graphische Darstellung von Fit-Funk-
tionen fuÈr die einzelnen Messreihen.
Die vom Autor vorgeschlagene Fit-
Funktion lautet:
229
pHV ˆ pHV …pVV † ˆ
p1  ‰exp …b …pVV C2 †† ‡ 1Š …1†
Die zum Fit der Messreihen ¹aª bis ¹dª
verwendeten Q-abhaÈngigen Fit-Parameter
p1, b und C2 sind in Tab. 1 aufgelistet. Wie
Abb. 2 zeigt, wird die gemessene AbhaÈn-
gigkeit des Hochvakuum-Drucks vom Vor-
vakuum-Druck durch die analytische
Funktion (1) ausgezeichnet wiedergege-
ben.
WaÈhrend b und C2 rein empirische Pa-
rameter sind, ist die Bedeutung von p1
unmittelbar klar: p1 ist der niedrigste
Hochvakuum-Druck, der bei einem vorge-
gebenem Gas-Durchsatz Q mit der Turbo-
Molekularpumpe erreicht werden kann.
Als Beispiel: Im Fall der Messreihe ¹aª aus
Abb. 2 mit vorgegebenem Qa ˆ 1,8  10 2
mbar  l/s wurde fuÈr den Parameter p1 der
Wert 2,75  10 4 mbar gewaÈhlt. Damit
weiû man: Der niedrigste Hochvakuum-
Druck, der mit einer TW 70 H bei einem
Stickstoff-Gas-Durchsatz von 1,8  10 2
mbar  l/s erreicht werden kann, ist
2,75  10 4 mbar.
3 Die Kompression
Die Kompression K einer Turbo-Moleku-
larpumpe ist definiert als das VerhaÈltnis von
Vorvakuum-Druck pVV zu Hochvakuum-
Druck pHV, d. h. es ist
K ˆ K…pVV † ˆ pVV = pHV ˆ pVV = pHV …pVV †
…2†
Auf der Basis dieser Definition kann das in
Abb. 2 gezeigte Diagramm ¹pHV gegen pVVª
problemlos in ein Diagramm ¹K als Funk-
tion von pVVª transformiert werden. Abb. 3
zeigt das Ergebnis dieser rein mathemati-
schen Transformation. Man beachte, dass
die Messreihe ¹aª aus Abb. 2 auch in Abb. 3
wieder mit ¹aª gekennzeichnet ist. Ent-
sprechendes gilt fuÈr die Messreihen ¹bª bis
¹dª.
Da ¹aª die Messreihe mit dem niedrigsten
Gas-Durchsatz ist und ¹dª die Messreihe mit Tab. 1: Fit-Parameter
dem hoÈchsten Gas-Durchsatz (Qa < Qb < Pumpe: TW 70 H; Gas-Art: Stickstoff
Qc < Qd), wird eines sofort deutlich:
Die Kompression einer Turbo-Moleku-
larpumpe steigt an, wenn bei vorgegebe-
nem Vorvakuum-Druck der Gas-Durchsatz
reduziert wird.
Die vier Punkte P1 bis P4 der Messreihe c
¹aª korrespondieren mit den entsprechen-
den Punkten der Messreihe ¹aª in Abb. 2. So
230
Abb. 3: Diagramm
¹Kompression als
Funktion des Vorva-
kuum-Drucksª (¹K
gegen pVVª) TURBO-
VAC TW 70 H, Gas-
Art: Stickstoff a: Qa ˆ
1,8  10 2 mbar  l/
s, b: Qb ˆ 1,8  10 1
mbar  l/s, c:Qc ˆ
9,2  10 1 mbar  l/
s, d: Qd ˆ 1,8 mbar 
l/s
ist zum Beispiel bei P1 pVV ˆ 2,8  10 2
mbar und K ˆ 100, woraus sich der aus
Abb. 2 bereits bekannte Hochvakuum-
Druck wieder errechnen laÈsst: pHV ˆ 2,8 
10 2 mbar/100 ˆ 2,8  10 4 mbar.
Hier wird deutlich, dass das Diagramm
¹pHV gegen pVVª und das Diagramm ¹K als
Funktion von pVVª vollkommen Èaquivalent
sind.
Gehen wir nun zum Punkt P3
(pVV ˆ 20,7 mbar, K ˆ 69 000), der inso-
fern interessant ist, als dass die Kompres-
sion bei dem vorgegebenen Gas-Durchsatz
von Qa ˆ 1,8  10 2 mbar  l/s hier ihr
Maximum erreicht. FuÈr pHV ergibt sich
wieder der bekannte Wert: pHV ˆ 20,7
mbar/69 000 ˆ 3,0  10 4 mbar.
Nach dem Maximum faÈllt die Kompres-
sion bei geringfuÈgiger ErhoÈhung des Vor-
vakuum-Drucks rapide ab. Was bedeutet
das fuÈr die Praxis ?
Um im Dauerbetrieb bei einem Stickstoff-
Gas-Durchsatz von Qa ˆ 1,8  10 2 mbar 
l/s stabil arbeiten zu koÈnnen, muss die
Vorvakuum-Pumpe am Vorvakuum-Stutzen
der Turbo-Molekularpumpe dauerhaft ei-
nen Druck von kleiner pVV, Kmax ˆ
20,7 mbar erzeugen. Nur unter dieser Be-
dingung wird sich auf der Hochvakuum-
Seite der Turbo-Molekularpumpe ein sta-
biler Druck einstellen.
Kurve Q p1
[mbar  l/s] [mbar]
a 1,8E-02 2,75E-04
b 1,8E-01 3,30E-03
9,2E-01 2,45E-02
d 1,8E‡00 8,55E-02
Die fett durchgezogenen Kurven in
Abb. 3 sind die Graphen der Fit-Funktion
K ˆ K…pVV † ˆ …pVV = p1 †
‰exp …b …pVV C2 †† ‡ 1Š 1 ; …3†
die sich unmittelbar aus der Definition (2)
und der Fit-Funktion (1) fuÈr pHV(pVV) ergibt.
Die zum Fit der Messreihen ¹aª bis ¹dª
verwendeten Q-abhaÈngigen Fit-Parameter
p1, b und C2 sind in Tab. 1 aufgelistet.
DaruÈber hinaus ist in Tab. 1 bei jeder
Messreihe derjenige Vorvakuum-Druck
pVV, Kmax angegeben, bei dem die Fit-Funk-
tion (3) ihr Maximum annimmt.
4 Die Leerlauf-Kompression
Die Leerlauf-Kompression K0 einer Turbo-
Molekularpumpe ist definiert als die Kom-
pression dieser Pumpe beim Gas-Durchsatz
¹Nullª.
Das Problematische an dieser Definition
ist die Tatsache, dass man den geforderten
Gas-Durchsatz ¹Nullª nie realisieren kann.
Es reicht nicht aus, den Messdom oder die
Turbo-Molekularpumpe blind zu flanschen.
Die Leckrate, das Ausgasen der Dich-
tungselemente und die Desorption von den
vorhandenen WandflaÈchen kann man zwar
C2 b pVV, Kmax
[mbar] [mbar 1] [mbar]
22,05 2,000 20,50
22,05 2,000 20,20
20,00 1,800 18,00
18,00 1,550 16,00
Vakuum in Forschung und Praxis 14 (2002) Nr. 4

sehr sehr klein machen, aber eben nie auf
¹Nullª bringen.
Um eine Vorstellung zu gewinnen, wel-
che Auswirkungen der U È bergang von einer
O-Ring-gedichteten Messanordnung zu ei-
ner Metall-gedichteten Messanordnung fuÈr
die Leerlauf-Kompression der Turbo-Mole-
kularpumpe hat, betrachten wir zunaÈchst
die Messreihe ¹eª in Abb. 4. Diese Mess-
reihe zeigt den Verlauf von K0 fuÈr die O-
Ring-gedichtete TURBOVAC TW 70 H, mit
der auch die vier Messreihen ¹aª bis ¹dª aus
Abb. 3 aufgenommen wurden. Diese vier
Messreihen sind zum Vergleich in Abb. 4
nochmals dargestellt.
Eine AbschaÈtzung ergibt, dass bei der
Messreihe ¹eª der Gas-Durchsatz Q in der
GroÈûenordnung von 5  10 6 mbar  l/s
liegt, und damit um den Faktor 3600 kleiner
ist als bei Messreihe ¹aª. Der niedrigste
erreichbare Hochvakuum-Druck ist
p1 ˆ 6,5  10 8 mbar. Das Maximum von
K0 liegt bei pVV, Kmax ˆ 14,8 mbar und be-
traÈgt 1,1  108. Man beachte, dass bei einer
Reduzierung des Gas-Durchsatzes um den
Faktor 3600 das Maximum der Kompressi-
on um den Faktor 1,1  108/6,9  104 
1600 zunimmt.
Messreihe ¹fª dokumentiert die Leerlauf-
Kompression einer Metall-gedichteten,
nicht ausgeheizten TURBOVAC TW 70 H.
Man erkennt, dass K0 beim U È bergang zur
Metall-gedichteten Pumpe nochmals deut-
lich zunimmt, und zwar etwa um den
Faktor 100 bei jedem Wert von pVV.
Im Hinblick auf die in Kapitel 3 ange-
gebene Fit-Funktion ist folgendes anzu-
merken:
Wie Abb. 3 beweist, wird die Druck-Ab-
haÈngigkeit der Kompression im Fall Q
groÈûer 1  10 2 mbar  l/s durch die
Funktion (3) ausgezeichnet beschrieben.
Vakuum in Forschung und Praxis 14 (2002) Nr. 4
Abb. 4: Leerlauf-K-
ompression als
Funktion des Vorva-
kuum-Drucks (¹K0
gegen pVVª) TURBO-
VAC TW 70 H, Gas-
Art: Stickstoff e: O-
Ring-gedichtete
Pumpe,
f: Metall-gedichtete
Pumpe, a ± d: Mess-
reihen aus Abb. 3
DemgegenuÈber zeigt sich, dass die Fit-
Funktion (3) bei kleinen Werten von Q
nicht mehr erfolgreich angewendet werden
kann, da sich fuÈr die Kompression im Be-
reich des Maximums zu hohe Werte erge-
ben.
Es ist wichtig, am Ende dieses Kapitels
eine weitere Anmerkung zu machen:
In fast allen Katalogen findet man bei den
technischen Daten von Turbo-Molekular-
pumpen Angaben wie ¹Die maximale
Leerlauf-Kompression K0, max betraÈgt
1  1010ª. Welchen Nutzen hat diese An-
gabe fuÈr den Einsatz einer Turbo-Moleku-
larpumpe in der Praxis? Die Antwort lautet
¹Gar keinenª, denn mit Abb. 4 im Hinter-
kopf draÈngen sich sofort zwei Fragen auf:
1) Bei welchem Vorvakuum-Druck
pVV, K0, max wird die maximale Leerlauf-
Kompression erreicht?
2) Ist die Pumpe O-Ring- oder Metall-ge-
dichtet?
Nun, bei einem K0, max von 1  1010 darf
man davon ausgehen, dass es sich um eine
Metall-gedichtete Turbo-Molekularpumpe
handelt. Damit muss jedem Anwender aber
auch klar sein, dass er eine Leerlauf-Kom-
pression von 1  1010 mit einer O-Ring-
gedichteten Pumpe nie erreichen wird.
Ohne die Angabe von pVV, K0, max ist es
natuÈrlich nicht moÈglich, auf den erreich-
baren Enddruck zu schlieûen. An Hand von
Abb. 4 kann man verfolgen, dass die Turbo-
Molekularpumpe nicht unbedingt dann
den niedrigsten Hochvakuum-Druck er-
reicht, wenn die Pumpe bei maximaler
Kompression arbeitet.
Betrachten wir dazu die Messreihe ¹fª,
bei der Qf  8  10 8 mbar  l/s ist. Mit
einer Vorvakuum-Pumpe, die bei Qf am
Vorvakuum-Stutzen der Turbo-Molekular-
pumpe genau einen Druck von pVV, K0, max
ˆ 12 mbar erzeugt, kann auf der Hochva-
kuum-Seite als niedrigster Druck
p1 …Qf † ˆ pVV; K0; max = K0; max ˆ
12 mbar = 5,5  109  2,2  10 9
mbar
…4a†
erzielt werden. DemgegenuÈber wird mit
È l-gedichteten Dreh-
einer zweistufigen, O
schieber-Pumpe, die bei Qf am Vorvakuum-
Stutzen der Turbo-Molekularpumpe einen
Druck von pVV ˆ 1  10-2 mbar liefert,
p1 …Qf † ˆ pVV = K0 …pVV † ˆ
2
1  10 mbar = 1,8  107 
5,6  10 10
mbar …4b†
erreicht.
Dieses Beispiel verdeutlicht, dass man
die gesamte K0(pVV)-Kurve kennen muss,
um aus Kompressions-Daten auf den End-
druck der Pumpe schlieûen zu koÈnnen.
5 Das Saugvermo
È gen
Die SaugvermoÈgenskurve der Turbo-Mole-
kularpumpe gewinnt man unmittelbar aus
dem Diagramm ¹pHV gegen pVVª, indem
man bei jeder Messreihe gemaÈû der Re-
chenvorschrift
S…p1 † ˆ Q = p1 …Q†
den Gas-Durchsatz durch den niedrigsten
Hochvakuum-Druck dividiert, der bei die-
sem Gas-Durchsatz erreicht wird.
So ergibt sich zum Beispiel bei der
Messreihe ¹aª fuÈr das SaugvermoÈgen:
S …2,75  10 4
mbar† ˆ
1,8  10 2
mbar  l=s = 2,75  10 4
mbar
ˆ 65; 5l=s
In Abb. 5 sind fuÈr die Messreihen ¹aª bis ¹dª
die Wertepaare (p1, S(p1)) graphisch dar-
gestellt (Symbol &).
Zum Fit dieser experimentell ermittelten
Punkte schlaÈgt der Autor hier die folgende
Fit-Funktion vor:
S ˆ S…p1 † ˆ S0  ‰…p1 = p1h †a ‡ 1Š 1 : …5†
WaÈhrend bei niedrigen DruÈcken (p1  p1h)
S(p1) ˆ S0 ˆ konstant ist, gilt fuÈr p1  p1h:
S(p1) / 1 / pa1 . Beim ¹Halbwertsdruckª p1h
231
Abb. 5: Saugvermo
Ègen als Funktion des Ansaug-Drucks (¹S
gegen p1ª) TURBOVAC TW 70 H, Gas-Art: Stickstoff
ist das SaugvermoÈgen S auf die HaÈlfte des
Wertes von S0 abgefallen.
Abb. 5 zeigt, dass die Fit-Funktion (5) mit
S0 ˆ 68 l/s, p1h ˆ 3,4  10 2 mbar und
a ˆ 0,75 den experimentell ermittelten
S(p1)-Verlauf ausgezeichnet wiedergibt.
Ein groûer Vorteil der Funktion (5) be-
steht darin, dass man das SaugvermoÈgen
auch im Druckbereich p1 > 10 1 mbar
berechnen kann. Dieser Bereich ist dem
Experiment nur mehr bedingt zugaÈnglich,
da sich die Turbo-Molekularpumpe bei
solch hohen Werten von p1 im Dauerbe-
trieb deutlich erwaÈrmt.
Aus einer Vielzahl von Fits ergibt sich,
dass der empirische Parameter a immer
zwischen 0,75 und 1 liegt und sich als
Pumpen-spezifischer Parameter erweist.
DemgegenuÈber sind S0 und p1h Gas-Art-
spezifische Parameter. DaruÈber soll jedoch
an anderer Stelle berichtet werden.
6 Das Diagramm
¹Gas-Durchsatz
gegen Ansaugdruckª
Benutzt man wiederum die Daten aus dem
Diagramm ¹pHV gegen pVVª und traÈgt direkt
Q gegen p1 auf (s. Tab. 1), so erhaÈlt man ein
fuÈr die Praxis sehr nuÈtzliches Diagramm,
das in Abb. 6 gezeigt wird.
Unter Benutzung von (5) lautet die Fit-
Funktion
Q…p1 † ˆ p1  S…p1 † ˆ
p1  S0  ‰…p1 = p1h †a ‡ 1Š 1 : …6†
232
Abb. 6: Gas-Durchsatz als Funktion des Ansaug-Drucks (¹Q
gegen p1ª) TURBOVAC TW 70 H, Gas-Art: Stickstoff, Q(p2):
Charakteristik der Vorvakuum-Pumpe TRIVAC D 8 B, M: Cha-
rakteristik der Membran-Pumpe DIVAC 4,8 VT, G: Grenzkurve
Q(pVV, Kmax)
FuÈr die Berechnung der in Abb. 6 darge-
stellten fett durchgezogenen Kurve Q(p1)
wurden die gleichen Fit-Parameter wie in
Abb. 5 verwendet (S0 ˆ 68 l/s, p1h ˆ 3,4 
10 2 mbar und a ˆ 0,75).
Die Kurve Q(p1) ist ein Charakteristikum
(ˆ Leistungsmerkmal) der Turbo-Moleku-
larpumpe. Das heiût, der Q(p1)-Verlauf darf
nicht davon abhaÈngen, welcher Typ von
Vorvakuum-Pumpe bei der Aufnahme des
Diagramms ¹pHV gegen pVVª eingesetzt
wurde.
Um eine Vorstellung zu gewinnen, mit
welcher Kompression die Turbo-Moleku-
larpumpe beim Einsatz einer bestimmten
Vorvakuum-Pumpe arbeitet, ist es sinnvoll,
im Diagramm ¹Q gegen p1ª auch die Cha-
rakteristik Q(p2) dieser Vorvakuum-Pumpe
einzutragen. p2 ist hier der niedrigste Vor-
vakuum-Druck, der beim Gas-Durchsatz Q
mit der Vorvakuum-Pumpe am Vorvakuum-
Stutzen der Turbo-Molekularpumpe er-
reicht wird.
Als Beispiel:
Im Diagramm ¹pHV gegen pVVª (Abb. 2) ist
bei der Messreihe ¹aª Q ˆ 1,8  10 2 mbar
 l/s und p2 ˆ 2,8  10 2 mbar. Dies ist der
Punkt ¹a*ª in Abb. 6.
Abb. 6 zeigt die Charakteristik Q(p2) fuÈr die
zweistufige, OÈ l-gedichtete Drehschieber-
Pumpe vom Typ LEYBOLD TRIVAC D 8 B.
Zeichnet man ferner in Abb. 6 die Hori-
zontale Q ˆ 1,8  10 2 mbar  l/s ˆ
konstant ein, so kann man fuÈr das Verhalten
des Vakuum-Systems Turbo-Molekular-
pumpe ‡ Vorvakuum-Pumpe folgende
Aussagen machen:
1) Bei Q ˆ 1,8  10 2 mbar  l/s stellt sich
auf der Hochvakuum-Seite der Turbo-
Molekularpumpe der Druck p1 ˆ 2,75
 10 4 mbar ein [Schnittpunkt der
Horizontalen Q ˆ 1,8  10 2 mbar  l/s
mit der Kurve Q(p1) ˆ Punkt ¹aª].
2) Bei Q ˆ 1,8  10 2mbar  l/s stellt sich
am Vorvakuum-Stutzen der Turbo-Mo-
lekularpumpe der Druck p2 ˆ 2,8 
10 2 mbar ein [Schnittpunkt der Hori-
zontalen Q ˆ 1,8  10 2 mbar  l/s mit
der Kurve Q(p2) ˆ Punkt ¹a*ª].
3) Bei Q ˆ 1,8  10 2 mbar  l/s arbeitet
die Turbo-Molekularpumpe mit einer
Kompression von Kaa* ˆ 2,8  10 2
mbar/2,75  10 4 mbar  100.
Diese Information kann man fuÈr andere
Werte von Q in gleicher Weise gewinnen.
In Abb. 6 ist eine weitere, auûerordent-
lich wichtige Kurve dargestellt, naÈmlich die
Grenzkurve ¹Q als Funktion von pVV, Kmaxª
(s. Tab. 1). Es wurde bereits am Ende von
Kapitel 3 darauf hingewiesen, dass sich auf
der Hochvakuum-Seite der Turbo-Moleku-
larpumpe nur dann ein stabiler Druck
einstellen kann, wenn die Vorvakuum-
Pumpe am Vorvakuum-Stutzen der Turbo-
Molekularpumpe dauerhaft einen Druck
von kleiner pVV, Kmax erzeugt. FuÈr die
zweistufige, O È l-gedichtete Drehschieber-
Pumpe vom Typ LEYBOLD TRIVAC D 8 B
ist diese Bedingung bei allen Werten von Q
(* 1) erfuÈllt, da die Charakteristik Q(p2)
dieser Vorvakuum-Pumpe ± anschaulich
gesprochen ± ¹links von der Grenzkurve Gª
verlaÈuft. Diese Pumpe kann daher als Vor-
vakuum-Pumpe zur Turbo-Molekularpum-
pe TW 70 H problemlos eingesetzt werden.
Vakuum in Forschung und Praxis 14 (2002) Nr. 4
 Das Gleiche gilt fuÈr die Membran-Pumpe log-Werte fuÈr das SaugvermoÈgen S(p2) (* 1) d. h. fuÈr Q < Qmax im Dauerbetrieb
vom Typ LEYBOLD DIVAC 4.8 VT, denn die (* 2) verwendet wurden. In Wirklichkeit  2,5 mbar  l/s
Charakteristik M dieser Pumpe liegt eben- ist das effektive SaugvermoÈgen Seff(p2) am (* 2) damit wird Q(p2) ˆ p2  S(p2)
Vorvakuum-Stutzen der Turbo-Molekular-
falls links von der Grenzkurve G (s. Abb. 6).
pumpe immer kleiner als das am Ansaug-
Als Beispiel: Stutzen der Membran-Pumpe gemessene Autor
Bei Q ˆ 1,8  10 2 mbar  l/s ergibt sich SaugvermoÈgen S(p2). Somit wird die wahre
Dr. Gerhard Voss, Jahrgang 1951, Physik- und
p2  2 mbar [Schnittpunkt der Horizonta- Charakteristik der Membran-Pumpe QM(p2) Mathematik-Studium an der UniversitaÈt zu KoÈln,
len Q ˆ 1,8  10 2 mbar  l/s mit der ˆ p2  Seff(p2) immer ¹rechts von der Kurve seit 1984 beschaÈftigt bei LEYBOLD VAKUUM
Kurve M]. Mª liegen. Dies bedeutet, dass bei der GmbH, derzeit dort taÈtig als Produktmanager fuÈr
Auslegung eines Pumpsystems der Saug- Turbo-Molekularpumpen
Es sei hier jedoch ausdruÈcklich darauf vermoÈgensverlust Seff ± S stets beruÈcksich-
hingewiesen, dass fuÈr die graphische Dar- tigt werden muss.
stellung der Kurve M ausschlieûlich Kata-

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