EWET Praktikum Protokoll

KW22 – Hallmessung an Halbleitermaterialen

Versuchsdurchführung: 10.06.2021
Protokollabgabe: 13.06.2021

Gruppe 5
Julius Schmittmann
Zhelie Lin (Protokollant)
1 – Versuchsziel

Der Versuchsziel ist, die Halbleiterkenngrößen (z.B Ladungsträgerart, Ladungsträgerdicht 𝑛,𝑝,

Beweglichkeit 𝑏𝑛 ,𝑏𝑝 ) zu bestimmen, die durch die gemessene Hallspannung 𝑈𝐻 und den
gemessenen spezifischen Widerstand 𝜌 bestimmt werden kann.

2 – Theoretischer Hintergrund

Beim Anlegen einer Spannung an den Halbleiterkristall erhalten die Ladungsträger unter Einwirkung
der elektrischen Feldstärke 𝐸⃗ eine Kraft 𝐹 .

𝐹 = 𝑞 ⋅ 𝐸⃗ (1)

Die Ladungsträger führen unter Einwirkung der elektrischen Feldkraft gerichtete Driftbewegung aus.
Die Bewegungsgeschwindigkeit wird als Driftgeschwindigkeit bezeichnet.

Die durchschnittliche Geschwindigkeit der Driftbewegung beträgt 𝑣𝐷 :

𝑞⋅𝜏⋅𝐸⃗
𝑣𝐷 = 𝑚∗
(2)

𝑣𝐷 = 𝑏 ⋅ 𝐸⃗ (3)

𝑣𝐷 : Driftgeschwindigkeit
𝑞 : Ladung der Ladungsträger (+e oder -e)
𝑚∗ : effektive Masse der Ladungsträger
𝜏 : Relaxationszeit
𝑏 : Beweglichkeit der Ladungsträger

Die Driftbewegung von Ladungsträgern im Halbleiter bilden einen elektrischen Strom. Bei nur einer
Ladungsträgerart beträgt die Stromdichte 𝑆.

𝑆 = 𝑞 ⋅ 𝑛 ⋅ 𝑣𝐷 = 𝑞 ⋅ 𝑛 ⋅ 𝑏 ⋅ 𝐸⃗ = 𝜅 ⋅ 𝐸⃗ (4)
𝑞2 ⋅𝑛⋅𝜏
𝜅= 𝑚∗
=𝑞⋅𝑛⋅𝑏 (5)

An den Halbleiterkristall wird ein Magnetfeld angelegt, das senkrecht zur Halbleiteroberfläche und
zum Strom steht. Dadurch entsteht eine Lorentzkraft 𝐹𝐿 , die die am Stromtransport beteiligten
Ladungsträger ablenkt:

⃗)
𝐹𝐿 = 𝑞 ⋅ (𝑣 × 𝐵 (6)
Die Ladungsträger werden abgelenkt und ein elektrisches Feld 𝐸⃗𝐻 (Hallfeldstärke) in Sammelrichtung
erzeugt. Das elektrische Feld übt auf die nachfolgenden Ladungsträger eine Kraft aus, die die durch
das Magnetfeld verursachte Lorentzkraft kompensiert, so dass die nachfolgenden Ladungsträger ohne
Ablenkung passieren können. Dies wird als Hall-Effekt bezeichnet.

⃗ ) + 𝑞 ⋅ 𝐸⃗𝐻 = 0
𝐹𝐿 + 𝐹𝐻 = 𝑞 ⋅ (𝑣𝐷 × 𝐵 (7)

𝐸⃗𝐻 =-(𝑣𝐷 × 𝐵
⃗) (8)

Die durch den Hall-Effekt erzeugte Hall-Spannung 𝑈𝐻 erscheint in einer Richtung senkrecht zum Strom
und zum Magnetfeld.
𝐴 𝐴
𝑈𝐻 = ∫ 𝐸⃗𝐻 ⋅ ⅆ𝑠 = ∫ (−𝑣𝐷 ) ⋅ 𝐵 ⋅ 𝑒𝑦 ⋅ 𝑒𝑦 ⋅ ⅆ𝑦 (9)
𝐶 𝐶

Bild 1

Nach Bild 1 kann gezeichnet werden:

𝑈𝐻 = (−𝑣𝐷 ) ⋅ 𝐵 ⋅ 𝑤 (10)
𝐼
𝑆 = 𝑤⋅𝑑 (11)
𝐵⋅𝐼
𝑈𝐻 = 𝑅𝐻 ⋅ 𝑑
(12)
1
𝑅𝐻 = 𝑛⋅𝑞 (13)
Nach den Gleichungen (12) und (13) kann 𝑛 berechnet werden. Die Gleichung nach einer genaueren
Analyse:
𝑝⋅𝑏2 −𝑛⋅𝑏2
𝑅𝐻 = 𝑟𝐻 𝑒⋅(𝑝⋅𝑏𝑝 +𝑛⋅𝑏𝑛 )2 , (𝑛 ≫ 𝑝) bzw. (𝑝 ≫ 𝑛) und (𝑏𝑝 ≈ 𝑏𝑛 ) (14)
𝑝 𝑛

Van-der-Pauw ist eine Methode zum Messen des spezifischen Widerstands und des Hall-Koeffizienten
einer Probe. Es kann Proben jeder Form unter den folgenden Bedingungen genau messen:

- Die vier Kontakte müssen am Rand der Probe sein.

- Die stromführenden Kontakte sind weit von den Abgriffsspannungskontakten entfernt.
- Die Kontakte mit ohmschen Eigenschaften.
- Das Magnetfeld beeinflusst die Änderung des Stromlinienbild nicht.
- Die Schichtdicke der gesamten Probe bleiben unverändert.

Bild 2.2 Bild 2.2

Die Widerstände sind aus Bild 2.1 und Bild 2.2 definiert:
𝑈𝐷𝐶 𝑈𝐴𝐷
𝑅𝐴𝐵,𝐶𝐷 = 𝐼𝐴𝐵
(15.1) 𝑅𝐵𝐶,𝐷𝐴 = 𝐼𝐵𝐶
(15.2)

Der Widerstand kann mit dieser Van-der-Pauw Form berechnet werden:

𝜋⋅𝑑 𝜋⋅𝑑
𝑒𝑥𝑝 (− ⋅ 𝑅𝐴𝐵,𝐶𝐷 ) + 𝑒𝑥𝑝 (− ⋅ 𝑅𝐵𝐶,𝐷𝐴 ) = 1 (16)
𝜌 𝜌

Spezifischen Widerstand 𝜌:
𝜋⋅𝑑 𝑅𝐴𝐵,𝐶𝐷 +𝑅𝐵𝐶,𝐷𝐴
𝜌 = 𝑙𝑛 2 ⋅ 2
⋅ 𝑓(𝑅𝐴𝐵,𝐶𝐷 , 𝑅𝐵𝐶,𝐷𝐴 ) (17)

Korrekturfunktion 𝑓:
2 4
𝑅 −𝑅 𝑙𝑛 2 𝑅 −𝑅 (𝑙𝑛 2)2 (𝑙𝑛 2)3
𝑓(𝑅𝐴𝐵,𝐶𝐷 , 𝑅𝐵𝐶,𝐷𝐴 ) = 1 − (𝑅𝐴𝐵,𝐶𝐷 +𝑅𝐵𝐶,𝐷𝐴 ) ⋅ 2
− (𝑅𝐴𝐵,𝐶𝐷 +𝑅𝐵𝐶,𝐷𝐴 ) ⋅ ( 4
− 12
) (18)
𝐴𝐵,𝐶𝐷 𝐵𝐶,𝐷𝐴 𝐴𝐵,𝐶𝐷 𝐵𝐶,𝐷𝐴
Wenn die Eigenschaften der Probe symmetrisch sind.

𝑅𝐴𝐵,𝐶𝐷 = 𝑅𝐵𝐶,𝐷𝐴 (19)

𝑓(𝑅𝐴𝐵,𝐶𝐷 , 𝑅𝐵𝐶,𝐷𝐴 ) = 1 (20)

𝜋⋅𝑑
𝜌 = 𝑙𝑛 2 ⋅ 𝑅𝐴𝐵,𝐶𝐷 (21)

3 – Versuchsaufbau

Eine Stromquelle, Multimeter, Generator, und Kontakt ist benötigt. Dazu gehört auch ein graues Kabel,
um die Probe einzustecken, und ein Magnetfeld mit Hilfe von zwei Feldspulen. Die Kontakt A nach C
sollen zuerst mit der Stromquelle verbunden sein mit den roten Kabeln, D und B sind mit den blauen
Kabeln zu den Multimeter verbunden. Das graue Kabel ist auf der Seite des Kontaktes verbunden.
Wenn der Aufbau fertig ist, kann die Spannung- und Stromquellen anschalten, sowie den Multimeter.
Zwei Proben werden benutzt, die erste mit einen Halbleiterkristall aus InGaAs/InAlAs der Dicke d =
1µm.

Abbildung 1. Den ganzen Aufbau mit Verbindungen mit Strom Fluss von A nach C.

4 - Versuchsdurchführung

Die Hallschaltung, die die erste Probe enthält, geht zwischen den Feldspulen in den magnetischen
Kreis. Der Strom wird erst auf 20 µ𝐴 eingestellt, und dazu die Hallspannung zu messen, wenn die
Probe von A bis C durchfließt.

Danach ist der Halter mit der zweiten unbekannten Probe 2 ersetzt. Ein Strom mit 200 µ𝐴 wird
eingespeist, der Spulenstrom soll so eingestellt werden, dass die magnetische Flussdichte ungefähr
400 mT beträgt. Die Hallspannung, die an der Probe abfällt, wird gemessen. Mit den Ergebnissen ist
die Hallkonstant beziehungsweise die Ladungsträgerart zu berechnen.
Im dritten Teil ist den spezifischen Widerstand der zweiten Probe zu messen. Die Spannung ist auf 200
µA gestellt und die Spannung wird aufgenommen für vier Fälle: Wenn die blauen Kabel zu Kontakten
A bis B verbunden, B nach A, B nach C und C nach B. Mit den Ergebnissen kann der Widerstand sowie
der spezifische Widerstand errechnet werden.

Für den letzten Teil ist die Beweglichkeit des Ladungsträgers von der zweiten Probe aufgenommen.
Die Probe ist zwischen den Feldspulen gesteckt durch eine Hallsonde, die mit ein Teslameter
verbunden ist. Den Spulenstrom ist erstellt, dass die Flussdichte zwischen den Spulen 400 𝑚𝑇 behalte.
Dann kommt in dem Halter des grauen Kabels die Probe und geht in zwischen die Spulen. Die
Hallspannung wird gemessen sein bei einem Probestrom von 200 µ𝐴 zwischen Kontakten B und D.
Diese Messung ist für vier verschiedenen Kombinationen geführt wegen Stromrichtung und B-
Feldrichtung.

Abbildung 2: Der Aufbau mit die Hallsonde.

Messprotokoll

Datum: 11/06/2021
Gruppennummer: 5

Probe 1: M4336 Probe 2: DU 1030.1

Messstrom: 20 µA Messstrom: 200 µA
Temperatur: 300 K Temperatur: 300 K
Schichtdicke: 1 µm Schichtdicke: 300 nm
Aufgabe 3.1

Probe 1

Mag. B >0T
Flussdichte
Hallspannung UH - 2,728 mV
(A bis C)

Aufgabe 3.2
𝑈𝐻 = −1,885 𝑚𝑉
𝐵 = 400 𝑚𝑇
𝐵∙𝐼
𝑈𝐻 = 𝑅𝐻 (9)
ⅆ
𝑅𝐻 = −7,069
𝑛 − ⅆ𝑜𝑡𝑖𝑒𝑟𝑢𝑛𝑔
Die Spannung für die unbekannte Probe wird gemessen, sowie der Strom. Die Feldstärke und
Diameter sind schon in der Anleitung gegeben. Mit Gleichung (9), kann die Hallkonstant 𝑅𝐻
berechnet sein. Weil die Hallkonstant negativ ist, heißt das das Material p-dotiert ist.

Aufgabe 3.3

Probe 2

Flussdichte B 0T

𝑈𝐷𝐶 𝑈𝐶𝐷 𝑈𝐴𝐷 𝑈𝐷𝐴

-3,917mV 3,916 mV 3,904mV -3,905mV

𝑈𝐷𝐶 𝑈𝐴𝐷
𝑅𝐴𝐵,𝐶𝐷 = , 𝑅𝐵𝐶,𝐷𝐴 =
𝐼𝐴𝐵 𝐼𝐵𝐶
𝜋 ∙ ⅆ 𝑅𝐴𝐵,𝐶𝐷 + 𝑅𝐵𝐶,𝐷𝐴
𝜌= ∙ ∙ 𝑓(𝑅𝐴𝐵,𝐶𝐷 , 𝑅𝐵𝐶,𝐷𝐴 )
ln 2 2
𝑅𝐴𝐵,𝐶𝐷 = 19,585 𝛺

𝑅𝐵𝐶,𝐷𝐴 = 19,52 𝛺

𝑓(𝑅𝐴𝐵,𝐶𝐷 , 𝑅𝐵𝐶,𝐷𝐴 ) = 1 − 7,05 ∙ 10−13 = 1

𝜌 = 2,659 ∙ 10−5 Ω𝑚
Aufgabe 3.4

Probe 2
Flussdichte B 400 mT

𝑈𝐵𝐷 (𝐵+) 𝑈𝐵𝐷 (𝐵−) 𝑈𝐷𝐵 (𝐵+) 𝑈𝐷𝐵 (𝐵−)

1,804mV -1,865mV -1,804mV 1,861mV

5 – Versuchsauswertung

5.1)
1
ⅆ = 1 𝜇𝑚, 𝑛 = 1,3 ∙ 1016 𝑐𝑚−3 , 𝑅𝐻 = 4,8 ∙ 108 =
𝑛∙𝑞
𝐵∙𝐼
𝑈𝐻 = 𝑅𝐻
ⅆ
𝐵 = 0,2837 𝑇
Als die gemessene Spannung negativ ist, fließt die Feldstärke senkrecht nach unten.

5.2)
Dieser Ladungsträgertyp für diese Material ist n-Typ, weil es eine negative Hallspannung besteht und
ergebt davon eine negative Hallkonstant.

5.3)
3,917 𝑚𝑉 + 3,916 𝑚𝑉
𝑈𝐷𝐶 𝑚𝑖𝑡𝑡𝑒𝑙𝑤. = = 3,9165 𝑚𝑉, 𝑅𝐴𝐵,𝐶𝐷 = 19,583 Ω
2
3,904 𝑚𝑉 + 3,905 𝑚𝑉
𝑈𝐴𝐷 𝑚𝑖𝑡𝑡𝑒𝑙𝑤. = = 3,9045 𝑚𝑉, 𝑅𝐵𝐶,𝐷𝐴 = 19,523 Ω
2
𝜋 ∙ ⅆ 𝑅𝐴𝐵,𝐶𝐷 + 𝑅𝐵𝐶,𝐷𝐴
𝜌= ∙ ∙ 𝑓(𝑅𝐴𝐵,𝐶𝐷 , 𝑅𝐵𝐶,𝐷𝐴 )
ln 2 2
𝜌 = 2,659 ∙ 10−5 Ω𝑚
Die Gleichung 13 war benutzt, weil der Wert die zwei Widerständen fast identisch ist, desto hat f den
Wert 1.
5.4)
1,804 𝑚 + 1,865 𝑚𝑉 + 1,804 𝑚𝑉 + 1,861 𝑚𝑉
𝑈𝐵𝐷 𝑚𝑖𝑡𝑡𝑒𝑙𝑤. = = 1,834 𝑚𝑉
4
𝐵∙𝐼
𝑈𝐻 = 𝑅𝐻
ⅆ
1
𝑅𝐻 = 6,8775 ∙ 10−6 =
𝑛∙𝑞
1 1
𝑛 = 9,0876 ∙ 1023 3
= 9,0876 ∙ 1017
𝑚 𝑐𝑚3
𝜌 = 2,659 ∙ 10−5 Ω𝑚
1
𝜌=
𝑛∙𝑞∙𝑏
𝑐𝑚2
3
𝑏 = 2,5833 ∙ 10
𝑉𝑠

Auswertung:

Die Hallspannung ist senkrecht von dem magnetischen Feld, die Lorentzkraft zeigt in den
entgegengesetzten Y-Richtung und das zeigt die Richtung der Geschwindigkeit die Elektronen in die
Probe.

Die Probe 2 besteht von n-Dotierung, denn das magnetische Feld ist von negativ geladenen frei
Elektronen produziert. Deshalb ist die Hallspannung und Hallkonstant negativ.

Fehlerdiskussion:

Für die Messung des Hallspannung mit den Multimeter, in dem Video, der Wert den Multimeter bleibt
nicht konstant. Drei Werten der gleichen Einstellungen soll aufgenommen sein, dann der Mittelwert
sollte berechnet sein. Es geht auch den Wert aufzunehmen und zu spezifischen Dezimalstellen
aufrunden.

6 – Literaturverzeichnis

[1] EWET Pratikum (SoSe2021), Hallmessung an Halbleitermaterialien, Versuchsanleitung.

[2] Google Wikipedia, Hall-Effekt, https://de.wikipedia.org/wiki/Hall-Effekt, 2021