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Mikroelektronik und Informationstechnik im Nanokosmos

Mikroelektronik und Informationstechnik im Nanokosmos Facharbeit vorgelegt von: Kevin Straßer Schuljahr 2009/2010

Facharbeit vorgelegt von:

Kevin Straßer

Schuljahr 2009/2010 Fachlehrerin:

Frau Dr. Karin Gumbiowski

Bohmte, den 2. Oktober 2009

Inhaltsverzeichnis

1)

Einleitung

1

2)

Nanostrukturen und ihre Größe

2

2.1)

Die subtraktive Fotolithografie

2

2.2)

Die Skalierung und die Auswirkung auf die Funktionsweise

3

3)

Die Vermessung durch die Atomkraft-Mikroskopie

4

3.1)

Der Kontaktmodus

4

3.2)

Der Nicht-Kontaktmodus

5

4)

Schlusswort

5

5)

Literaturverzeichnis

6

6)

Bildnachweise

7

7)

Anhang

8

8)

Erklärung

9

1.Einleitung

1.Einleitung Die vorliegende Hausarbeit beschäftigt sich mit der Nanotechnologie in der Mikroelektronik und

Die vorliegende Hausarbeit beschäftigt sich mit der Nanotechnologie in der Mikroelektronik und Informationstechnik. Die zentrale Fragestellung bezieht sich dabei auf die Probleme und Vorteile, welche diese Technologie besitzt.

Zu Beginn dieser Arbeit werden zunächst die Einsatzgebiete erläutert, wo bereits heute Nanotechnik, in der Informationstechnik, zum Einsatz kommt. Anschließend wird eines der Produktionsverfahren für Mikrochips und Computerprozessoren näher erläutert. Am Ende der Arbeit wird aus Platzgründen nur das Verfahren der Atomkraft-Mikroskopie (AFM) zur Messung der Nanostrukturen vorgestellt. Es sei angemerkt, dass dies nicht das einzigste Verfahren zur Messung von Nanostrukturen ist.

Wir sind bereits jeden Tag von Nanotechnologie umgeben, auch wenn wir es nicht einmal wissen. Computer, Handys, Beamer, Plasmafernseher, die

- diese Dinge enthalten alle bereits

Nanotechnologie. Diese Aufzählung könnte man fast endlos erweitern, selbst mit Dingen in denen man keine Nanotechnik vermutet, wie z.B. der Telefonanschluss. Über dieses zweiadrige Kabel war bis vor einigen Jahren „nur“ das Telefonieren möglich. 1 Heute kann man über dieses Kabel nicht nur Telefonieren, sondern empfängt sein Fernsehprogramm und den DSL- Internetanschluss gleichzeitig, immer noch über zwei Kupferadern. Dies ist ebenfalls nur durch Nanotechnik möglich. Neue Algorithmen, schnellere Rechner und die daraus entstehende Datenkompression machen es möglich und dabei sind die Mikrochips nicht gewachsen, sondern wurden immer kleiner im Laufe der Zeit. Aber um diese Dinge zu erfinden benötigte man eine geraume Zeit, bis Verfahren entwickelt wurden und die benötigten Maschinen klein genug waren um die Nanotechnik so effizient einzusetzen, dass sie diese Dinge vollbringen kann ohne das wir dabei eine Störung empfinden.

Anzeigentafel im Stadion

1 Hoffmann, Martin: Nanotechnologie in der Mikroelektronik und Informationstechnik – mehr als nur Nanopartikel. In: Scherzberg, Arno/Wendorff, Joachim-H.: Nanotechnologie, De Gruyter ‚Recht, Berlin 2009, S. 13

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2.2 Die Skalierung und die Auswirkung auf die Funktionsweise Diese geringe Größe eines Mikrochips hat

2.2 Die Skalierung und die Auswirkung auf die Funktionsweise

Diese geringe Größe eines Mikrochips hat allerdings auch erhebliche Nachteile. Dazu ein Beispiel:

Wenn man alle Kantenlängen auf 1/10 verkleinert, so verringert sich die Oberfläche auf 1/100 (Oberfläche = Kantenlänge²). Einen noch größeren Effekt hat die Verkleinerung auf das Volumen und damit auch auf die Masse. Diese verringert sich auf 1/1000 (Volumen = Kantenlänge³). Wenn auch nun der Widerstand des verkleinerten Mikrochips genauer betrachtet wird stellt man fest das dieser Wert um das 10-fache ansteigt (Widerstand = spezifischer Widerstand * (Kantenlänge / Oberfläche)). Diese Effekte bewirken, dass die Chipentwickler sich gezwungen sehen, andere Materialien als Aluminium für die Leiterbahnen zu nutzen, welche einen geringeren spez. Widerstand aufweisen. Aber warum benötigt man einen so geringen Widerstand überhaupt? Die Antwort ist schnell gefunden. Durch einen höheren Widerstand erhöht sich die Signallaufzeit, folglich wird der Mikrochip langsamer und „verbraucht“ mehr Strom. Genau dies versucht man ja zu vermeiden, einen langsamen Mikrochip herzustellen der zudem noch ineffizient arbeitet. Die Chipentwickler fanden jedoch einen Ausweg. Sie nahmen Kupfer, welches einen geringeren spez. Widerstand besitzt. 6

„Kupfer ist eigentlich „verboten“, da es die halbleitenden Eigenschaften von

Silizium drastisch verändert. Mit neuen Technologien kann man es aber in der

Verdrahtungsebene so isolieren, dass es den Halbleiter nicht negativ beeinflussen

kann.“ (Hoffmann, 2009,S. 13) 7

Auch die Kühlung der Mikrochips wird erschwert. Durch die geringere Oberfläche und das deutlich verringerte Volumen besitzt der Mikrochips nur noch eine äußerst geringe Wärmekapazität (Wärmekapazität = spezifische Wärmekapazität * Masse) und kann so nur erschwert gekühlt werden.

6 Beckmann, Marco und Lenz, Phillip: Profitieren von Nanotechnologie – Investment der Zukunft, Finanzbuchverlag, S. 52-59 7 Zitiert aus: Hoffmann, Martin: Nanotechnologie in der Mikroelektronik und Informationstechnik – mehr als nur Nanopartikel. In: Scherzberg, Arno/Wendorff, Joachim- H.: Nanotechnologie, De Gruyter ‚Recht, Berlin 2009, S. 13

3. Die Vermessung durch die Atomkraft-Mikroskopie (AFM) Die Atomkraft-Mikroskopie (kurz: AFM = engl. Atomic Force

3. Die Vermessung durch die Atomkraft-Mikroskopie (AFM)

Die Atomkraft-Mikroskopie (kurz: AFM = engl. Atomic Force Microscopy) ist ein Verfahren zur Messung von Nanostrukturen. AFM existiert seit 1986 und wurde von G. Binnig, H. Rohrer und C. Gerber entwickelt. Das Prinzip dieses Messverfahrens beruht auf der Messung der zwischenmolekularen Kräfte der Probe und einer Nadel, welche nur wenige nm dünn ist. Diese Nadel ist an einem Federelement befestigt (ein so genannter „Cantileaver“), wodurch die entstehende Ablenkung mithilfe eines Lasers, welcher durch das Cantileaver reflektiert wird, gemessen wird und durch einen Computer weiterverarbeitet wird. Um optimale Ergebnisse zu erzielen sollte die Nadel immer den gleichen Abstand zur Probe einhalten und exakt senkrecht justiert sein. Auch der Messmodus spielt bei der Genauigkeit der Messungen eine Rolle. Es ist generell zu sagen, dass der Kontaktmodus zwar ein besseres Ergebnis liefert, jedoch nicht wenn es sich um eine Vielzahl der organischen Proben handelt, welche der hohen Belastung der Nadel nicht standhalten und zerstört werden.

3.1 Der Kontaktmodus

Im Kontaktmodus befindet sich die Nadel nur etwa 0,5 nm über der Probe. Während der Messung wirkt eine starke Kraft auf die Nadel ein welche den Cantileaver biegt und so eine Ablenkung des Lasers hervorruft. Ein Regelungssystem versucht die Kraft konstant zwischen 5-50 nN 8 zu halten. Sollte sich die Kraft nun stark ändern, so wird dies anhand der

sich die Kraft nun stark ändern, so wird dies anhand der Abb. 3 Kontaktmodus – schematische

Abb. 3 Kontaktmodus – schematische Abbildung der Nadel und des Cantileavers (gepunktete Linie entspricht dem Nadelverlauf – gestreifte Fläche markiert den Probekörper) (Bild nachbearbeitet)

Ablenkung registriert und mithilfe eines Computersystems grafisch ausgewertet. Das Regelungssystem

reguliert die Kraft nun entsprechend, um in den Ausgangszustand von 5- 50nN zurückzukehren. 9

8 nN – „Nanonewton“

9 Vgl. Tallarida M.: Atomkraft-Mikroskopie (AFM) – TU Cottbus Im Internet: [Link siehe Literaturverzeichnis]

3.2 Der Nicht-Kontaktmodus Im Nicht-Kontaktmodus beträgt der durchschnittliche Nadelabstand zur Probe mehr als 1nm. Bei

3.2 Der Nicht-Kontaktmodus

Im Nicht-Kontaktmodus beträgt der durchschnittliche Nadelabstand zur Probe mehr als 1nm. Bei diesem Messmodus wird nicht mit einem Laser die Ablenkung bestimmt, sondern mithilfe eines Hochfrequenzgenerators. Dieser wird vor der Messung auf die bereits vorhandene Schwingung der Nadel justiert (freie Schwingungsamplitude). Wenn sich nun während der Messung die Schwingungsamplitude

verkleinert ist der Abstand zwischen Nadel und Probe kleiner geworden (Siehe Abb. 3). Diese Abstandsänderung wird, wie auch

bei dem Kontaktmodus, von einem Computersystem verarbeitet und wieder auf die Ausgangsfrequenz zurückgebracht. 10

und wieder auf die Ausgangsfrequenz zurückgebracht. 1 0 Abb. 4 Nicht-Kontaktmodus - schematische Abbildung der Nadel

Abb. 4 Nicht-Kontaktmodus - schematische Abbildung der Nadel und des Cantileavers (Schwingungsamplitude

in rot gepunktete Linien entsprechen der minimalen/maximalen Auslenkung – gestreifte Fläche markiert den

Probekörper)

(Bild nachbearbeitet)

4 Schlusswort

Durch Nanotechnik gab es in den letzten Jahren viele neue Elektronikartikel ohne die wir heute aus unserem Alltag gar nicht mehr wegdenken können. Jedoch hat es lange gebraucht bis wir die Nanotechnik effektiv nutzen konnten. Dies lag zu einem daran, dass immer kleinere Mikrochips immer größere Probleme nach sich zogen und zum anderen das diese Probleme nur gelöst werden konnten indem neuartige Methoden und Stoffkombinationen getestet werden mussten. Letztendlich hat die Wissenschaft es jedoch geschafft diese Probleme in den Griff zu bekommen und die Nanotechnik für sich zu gewinnen. In der Zukunft wird er noch kleinere Mikrochips geben, welche noch effektiver als die heutigen sein werden. Meine persönliche Meinung ist es, dass die Zukunft uns noch bessere Technik bringen wird, auch wenn es Probleme geben wir die Chips noch kleiner zu machen. Jedoch bin ich zuversichtlich, dass die Forschung auch diese Probleme in den Griff bekommen wird.

10 Vgl. Tallarida M.: Atomkraft-Mikroskopie (AFM) – TU Cottbus Im Internet: [Link siehe Literaturverzeichnis]

Literaturverzeichnis 1) Hoffmann, Martin: Nanotechnologie in der Mikroelektronik und Informationstechnik – mehr als

Literaturverzeichnis

1)

Hoffmann, Martin: Nanotechnologie in der Mikroelektronik und Informationstechnik – mehr als nur Nanopartikel. In: Scherzberg, Arno/Wendorff, Joachim-H.: Nanotechnologie, De Gruyter ‚Recht, Berlin 2009, S. 13

2)

Beckmann, Marco und Lenz, Phillip: Profitieren von Nanotechnologie – Investment der Zukunft, Finanzbuchverlag, S. 52-59

3)

Fotolithografie (Wikipedia) Im Internet:

http://de.wikipedia.org/wiki/Fotolithografie_(Halbleitertechnik)

4)

Fotoresist (Wikipedia) Im Internet:

http://de.wikipedia.org/wiki/Fotoresist

5)

Tallarida, M., Atomkraft-Mikroskopie (AFM) – TU Cottbus

http://www.physik.tu-

cottbus.de/physik/xp2/newhp/fileadmin/Lehre/FPraktikum/Atomkraf

tmikroskopie.pdf

Zugehörige Seite:

http://www.physik.tu-

cottbus.de/physik/xp2/newhp/index.php?id=prakt

Bildnachweise Abb. 1 Titelbild: http://www.spiegel.de/img/0,1020,131132,00.jpg Entnommen aus:

Bildnachweise

Abb. 1 Titelbild: http://www.spiegel.de/img/0,1020,131132,00.jpg Entnommen aus:

http://www.spiegel.de/netzwelt/web/0,1518,253801,00.html

DPA

Abb. 2 Subtraktive Fotolithografie:

http://upload.wikimedia.org/wikipedia/commons/9/95/Ty-

LithographyAndPatternTransferByEtching-de.svg Entnommen aus:

http://de.wikipedia.org/w/index.php?title=Datei:Ty-

LithographyAndPatternTransferByEtching-

de.svg&filetimestamp=20071216150656

Abb. 3 Kontaktmodus – schematische Abbildung der Nadel und des Cantileavers

Entnommen aus:

Literatur [5]:

Tallarida, M., Atomkraft-Mikroskopie (AFM) – TU Cottbus S. 2

http://www.physik.tu-

cottbus.de/physik/xp2/newhp/fileadmin/Lehre/FPraktikum/Atomkraf

tmikroskopie.pdf

Abb. 4 Nicht- Kontaktmodus – schematische Abbildung der Nadel und des Cantileavers

Entnommen aus:

Literatur [5] Tallarida, M., Atomkraft-Mikroskopie (AFM) – TU Cottbus S. 3

http://www.physik.tu-

cottbus.de/physik/xp2/newhp/fileadmin/Lehre/FPraktikum/Atomkraf

tmikroskopie.pdf

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Hiermit erkläre ich, dass ich die vorliegende Facharbeit selbstständig angefertigt , keine anderen als die angegebenen Hilfsmittel benutzt und die Stellen der Facharbeit, die im Wortlaut oder im wesentlichen Inhalt aus anderen Werken entnommen wurden, mit genauer Quellenangabe kenntlich gemacht habe.

Bohmte, den 2. Oktober 2009

Kevin Straßer