Espectroscopía de

Energía Dispersiva de
Rayos X
Juan Pablo
Maria Camila
Juan Esteban Vasco Castaño
Laura Toro
Richard Vellojín
CONTENIDO
 Introducción
 Aspectos basicos
 Aspectos practicos del microanalisis de rayos x e ins
trumentacion
Analisis Cualitativo
 Analisis Cuantitativo
 Mapeo Elemental
 Aplicaciones (articulos)
INTRODUCCIÓN
ASPECTOS BASICOS
Aspectos prácticos del microanálisis de rayos x e
instrumentación
Para la iluminación de un objeto con un rayo de electrones, la extensión
espacial del volumen del cual una señal de interacción específica es ganada d
epende fuertemente del material en sí, al igual que en el diámetro del rayo d
e electrones, la energía primaria del electrón y el espesor de la muestra.
Aspectos prácticos del microanálisis de rayos x e
instrumentación

EDXS está basado en el uso de un detector semiconductor, que puede ser

cristal de silicio con litio (Si(Li)) o cristal de Ge de alta pureza.

Dentro del material del detector, los pares de electrones y agujeros se

generan por excitación de rayos X.
Aspectos prácticos del microanálisis de rayos x e
instrumentación
Aspectos prácticos del microanálisis de rayos x e
instrumentación

Para prevenir la condensación de hidrocarburos (e incluso la formación de esc

archa) del ambiente del microscopio sobre la superficie del cristal de Si (Li) y
Ge, los últimos son típicamente sellados en un tubo pre bombeado. Una vent
ana localizada en frente del detector permite luego la transmisión del rayo x.
Analisis Cualitativo
En el espectro EDX, la intensidad del rayo x se grafica contra la energía delmis
mo. Típicamente el espectro consiste de varios picos con la forma, aproximad
amente, de campanas gaussianas los cuales son característicos de los element
os presentes en el volumen analizado.
Analisis Cualitativo
Dependiendo de las condiciones de medición elegidas, existe cierta probabilid
ad de que los artefactos contribuyan a un espectro EDX. Estos comprenden ef
ectos que son intrínsecamente producidos por la detección de señales (especi
almente en forma de picos de escape) y picos de fluorescencia interna y, ade
más, los del procesamiento de señales, como picos de acumulación.
Analisis Cuantintativo
Como es habitual en todos los métodos espectroscópicos, para la cuantificaci
ón de la señal original característica de un elemento individual dentro del vol
umen excitado que puede correlacionarse con el contenido de este elemento
debe extraerse del espectro de datos sin procesar.
Mapeo Elemental
El mapeo se da a través de  la combinación de EDXS y SEM / STEM la cual pe
rmite la imagen de la distribución de elementos a lo largo de una línea o de
dos dimensiones en un campo de visión rectangular.