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Inductances, capacits et filtres

ELEC2700 - Hyperfrquences

Chapitre 2: filtres

Plan Ralisation de capacits et inductances localises Ralisation de capacits et inductances multilignes - thorie des lignes couples - capacits interdigites - inductances intgres Application la synthse de filtres - filtre passe-bande (rsonateurs coupls) - filtre passe-bas (succession de L,C) introduction au projet
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Chapitre 2: filtres

Obstacles shunts dans les guides donde


Obstacle symtrique y d Mode fondamental: TE10 Pas de variation suivant y ni pour le mode ni pour lobstacle, donc modes de type n=0 (TE, car m.n { 0 pour TM) symtrie suivant x (m impair) Ce sont donc des modes TEm0 et donc de lnergie magntique Y=jB

a Ladmittance est donne par CL sur TEmo

B $  g a cotg 2 Td 2a P
INDUCTANCE

Obstacle asymtrique Mode fondamental: TE10 d D a Pas de variation suivant y ni pour le mode ni pour lobstacle, donc modes de type n=0 (TE) Ce sont donc des modes TEm0, m quelconque INDUCTANCE

B $  g a cotg 2 Td 2a 1  sec 2 Td 2a cotg 2 TD a P


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Chapitre 2: filtres

Inductances localises en technologie microruban Inductance shunt microruban court-circuit suivi dune faible longueur de ligne
L

Z P ! Z c tanh KL } jZ c FL ! j[Z c L / v ph ! j[L p

Inductance srie microruban

voir projet
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non valable haute frquence


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Inductances localises en technologie coplanaire Inductance srie


Allongement du trajet du courant sur conducteur central

Inductance shunt
L+(l
p

court-circuit suivi dune faible longueur de ligne

Z L ! Z c tanh K ( L  (l ) } jZ c F ( L  (l ) ! j[Z c ( L  (l ) / v ph ! j[LP

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Plan Ralisation de capacits et inductances localises Ralisation de capacits et inductances multilignes - thorie des lignes couples - capacits interdigites - inductances intgres Application la synthse de filtres - filtre passe-bande (rsonateurs coupls) - filtre passe-bas (succession de L,C) introduction au projet
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Obstacles shunts dans les guides donde


y d b Mode fondamental: TE10

Pas de variation suivant x pour lobstacle, donc modes de type m=1 x symtrie suivant y (n pair) Ce sont donc des modes TE1n et TM1n.. Chacun de a ces modes a une composante suivant x, mais au total, Ex doit tre nulle Les composantes Ex des modes TE1n et TM1n de mme ordre m sannulent:
e E x1n ! V1e C1n ? T a cos Tx a sin nTy b A n

E xh1n ! V1h C1n ? nT b cos Tx a sin nTy b A n


Cette condition permet de calculer les constantes des modes et les nergies emmagasines CAPACITE Y=jB

B $ b P g ln cosec Td 2b 4
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Pg
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Capacits localises en technologie microruban Capacit shunt microruban circuit ouvert suivi dune faible longueur de ligne
L+(L

Z P ! Z c coth K ( L  (l ) } Z c / j c F ( L  (l ) ! Z c v ph / j[ ( L  (l ) ! 1 / j[C P

Capacit srie microruban

version chip ou intgre: capa MIM


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Capacits MIM
UltraSource, Inc., USA

Capacit MIM Metal-Insulator-Metal

isolant mtal

mtal

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Capacits localises en technologie coplanaire

Couplage par champ de bord Effet gap

L+(l

Circuit ouvert suivi dune faible longueur de ligne

Z L ! Z c coth K ( L  (l )
p

} Z c / jF ( L  (l ) ! Z c v ph / j[ ( L  (l ) ! 1 / j[C p

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Chapitre 2: filtres

Inductance en technologie MEMS

Structure releve grce aux contraintes rsiduelles entre mtal et substrat obtenues aprs process Solnoide dans lair moins de pertes

Technologie UCL, source Prof. J.P. Raskin

MEMS= Micro-Electro-Mechanical Systems


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Capacit variable en technologie MEMS


Vbias

source Prof. J.P. Raskin


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dphasage sur coplanaire induit par capacit


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Plan Ralisation de capacits et inductances localises Ralisation de capacits et inductances multilignes - thorie des lignes couples - capacits interdigites - inductances intgres Application la synthse de filtres - filtre passe-bande (rsonateurs coupls) - filtre passe-bas (succession de L,C) introduction au projet
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Exemples
d

s w

via

mtal infrieur

Inductance spirale

Inductance mandre

Capacit de dcouplage DC block


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Capacit interdigite
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Circuit quivalent de deux lignes couples


Lmdz L1dz Cmdz L2dz z

C1dz

C2dz

z+dz

Equations des tensions/courants

Inductance mutuelle Lm tient compte du flux induit par une ligne sur lautre Capacit de couplage Cm tient compte du champ lectrique entre lignes

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Equations de ligne de transmission pour deux lignes couples En frquentiel:

Systme dquations diffrentielles du premier ordre coefficients constants, rduit en systme homogne dordre 2 Admet 4 solutions: F- F-F-- F-qui sont les valeurs propres du systme
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Circuit quivalent de deux lignes couples Dans le cas classique o on a

On peut redessiner le circuit comme ceci, en sparant les lments capacitifs et inductifs:
(a)
V1 2Cmdz Cdz
x

2Cmdz Cdz V2

(b)
(L-Lm)dz V1 Lmdz (L-Lm)dz

V2
Lmdz dz

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Circuit quivalent de deux lignes couples Lexcitation impaire (V1=-V2) fournit la symtrie dans le plan transverse:
(a)
V1 2Cmdz Cdz
x

2Cmdz Cdz V2

Potentiel nul

(b)
(L-Lm)dz V1 Lmdz (L-Lm)dz

V2
Lmdz dz

Chacune des deux lignes peut tre dcrite par

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Chapitre 2: filtres

Circuit quivalent de deux lignes couples Lexcitation paire (V1=V2) fournit la symtrie dans le plan transverse:
(a)
V1 2Cmdz Cdz 2Cmdz Cdz V2

(b)
(L-Lm)dz V1 Lmdz (L-Lm)dz

Chacune des deux lignes peut tre dcrite par (les capacits Cm ont une diffrence de potentiel nul leurs bornes)

V2
Lmdz dz

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Configuration des champs dans les microrubans couples

(a)

h
Mode pair r

ooZ eoZ

50.0

0.2 0.1 6.0 4.0 1.0 50.0

3 h/w
1.0 4.0

h/s

6.0

0.2 0.1

1 05 02 03 04 06
ooZ ,eoZ 07

01

(b)
CMP

(c)
r Mode impair

(d)
CEP

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Configuration des champs dans les lignes couples Lignes fente couples
pmahc euqitngam
r r

Guides coplanaires coupls


mode pair w3 w2 w1

PMC

PEC

pmahc euqirtcel riapmi edom riap edom

r CEP mode impair CMP champ lectrique champ magntique

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Chapitre 2: filtres

Coupleur lignes parallles


1
L

2
0

accs direct: de 1 vers 3 accs coupl: de 1 vers 4

-1 0

-2 0

Transfert total de 1 vers 4 pour `Fe- Fo|=T/L


S11 S13 S14

dB

-3 0

-4 0

-5 0

-6 0 0 5 10 15 20 G Hz 25 30 35 40

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Coupleur lignes parallles


1
L

2
0 -5 -1 0 -1 5 -2 0 dB -2 5 -3 0 -3 5 -4 0 -4 5 -5 0 0 5 10 15 20 G Hz 25 30

accs direct: de 1 vers 3 accs coupl: de 1 vers 4

L 2xL

Transfert total de 1 vers 4 pour `Fe- Fo|=T/L couplage plus basse frquence si L augmente
35 40

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Plan Ralisation de capacits et inductances localises Ralisation de capacits et inductances multilignes - thorie des lignes couples - capacits interdigites - inductances intgres Application la synthse de filtres - filtre passe-bande (rsonateurs coupls) - filtre passe-bas (succession de L,C) introduction au projet
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Filtre DC-bloquant
1
L

3 ouvert 4

2 ouvert
0 -5 -1 0 -1 5 -2 0 dB -2 5 -3 0 -3 5 -4 0 -4 5 0 5 10 G Hz 15 20 S11 S14

Transfert total de 1 vers 4 pour L!P

adaptation

pas de transmission en DC
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Capacits interdigites

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Capacit MOS ralise comme un transistor MOS interdigit (plusieurs doigts de grille)

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Plan Ralisation de capacits et inductances localises Ralisation de capacits et inductances multilignes - thorie des lignes couples - capacits interdigites - inductances intgres Application la synthse de filtres - filtre passe-bande (rsonateurs coupls) - filtre passe-bas (succession de L,C) introduction au projet
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Topologie spirale
d L s w mtal infrieur via Cin Rin Rout Cout Cunderpass RL

Liao: L ! 8.5 A n 5 3 Aire A en cm2 et nombre de tours n Inductances planaires ralises sur substrat micro-onde ou intgre sur Si ou GaAs.
Rfs: B. C. Wadell, Transmission Line Design Handbook, Artech House, 1991. Liao S. Y., Microwave Circuit Analysis and Amplifier Design, Prentice Hall, 1987.
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Gnralisation 3 (n) lignes couples Circuit quivalent des 3 lignes couples

1+2

Y param.

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Modlisation de la spirale 1. Dcomposition de linductance en sections de lignes couples

2. Calcul des matrices Y et mise en cascade


In Out

Cunderpass
(a) (b) 3. Conversion de la matrice Y globale en circuit quivalent

L Cin

RL Rout Cout

Rin

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Inductances intgres

w s Eh Ev

Utilisation possible de plusieurs couches mtalliques + vias pour les spires

hox h

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Chapitre 2: filtres

Validation du modle lignes couples

Rsonance: si f > fr, L devient capa


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Chapitre 2: filtres

Influence du nombre de tours

d L s w Cin Rin

Cunderpas RL Rout Cout

L augmente avec N, mais C aussi fr diminue


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Chapitre 2: filtres

Influence du nombre de tours


Le facteur de qualit est influenc par les pertes conducteur
10
Measurements - 35T Measurements - 55T Simulations - 35T Simulations - 55T

7.5

Facteur de qualit dinductances 3,5 et 5,5 tours sur Si faible rsistivit Cunderpas

Quality Factor

2.5

L
0

RL Rout Cout

-2.5

Cin

Rin

-5

10

100

Frequency (Ghz)

R augmente avec N, car la longueur totale du conducteur spirale augmente

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Lignes planaires - Caractristiques du substrat


circuits hybrides: paisseur H=127 Qm 254 Qm 508 Qm 1.27 Qm alumine quartz teflon et PTFE

Ir = 9.8 tgH = 10-4 Ir = 3.78 tgH = 10-4 Ir = 2.2p10.8 tgH = 10-3

circuits intgrs (substrat semiconducteur) pertes substrat fonction de sa rsistivit (qui dpend du dopage) V = 1/W: paisseur H: Si AsGa InP 20 ;cm p 10000 ;cm 300 p 500 Qm

Ir = 11.7 Ir = 12.9 Ir = 13.1


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tgH = Wj [Ir

Langle de perte dpend donc de la frquence


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Influence du substrat Le facteur de qualit est influenc par les pertes du substrat

Cunderpas L Cin Rin RL Rout Cout

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Application aux capteurs La rsonance est influence par la valeur de la capa Application aux capteurs ADN: dtection de la variation de fr

Process bio avant aprs avant 20 nm TiO2 aprs

Rsonance [GHz] 10,17

Dcalage

30 nm Al2O3

3,64=35% 6,53 10,39 4,31=41% 6,08

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Chapitre 2: filtres

Exemples de filtres planaires passebas

passebande

Stopbande

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Chapitre 2: filtres

Filtre DC-bloquant 1 2

-1 -2 -3 -4 dB -5 -6 -7 -8 -9 1 2 3 4 5 G Hz 6 7 8 S11 S12

Transfert total de 1 vers 2 pour L!P

Si L varie, fcentrale varie

L= 5 mm, 4 mm, 3.25 mm


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Rsonateurs planaires - Filtre passe-bande


in Chaque paire de rsonateurs forme un circuit rsonant une frquence

out

f1 f2 f3

f2
passe-bande profil tchebycheff

nj

nj

nj

nj

nj

in

out

f1

f2

f3

f3

f2

f1

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Chapitre 2: filtres

Filtre passe-bande

Filtre intgr ralis laide dlments discrets

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