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DELTASCOPE® FMP30
ISOSCOPE® FMP30
DUALSCOPE® FMP40
Dokument-Nummer: 901-094
Ausgabedatum: 09-2016
Hersteller:
Helmut Fischer GmbH Telefon: +49 (0) 70 31 3 03 - 0
Institut für Elektronik und Messtechnik Fax: +49 (0) 70 31 3 03 - 710
Industriestraße 21 www.helmut-fischer.de
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© 2016 by Helmut Fischer GmbH Institut für Elektronik und Messtechnik, Sindel-
fingen, Deutschland
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PERMASCOPE®, ISOSCOPE® und DUALSCOPE® sind eingetragene Marken
der Firma Helmut Fischer GmbH Institut für Elektronik und Messtechnik in
Deutschland und/oder anderen Ländern.
Bluetooth® ist eine eingetragene Marke der Bluetooth SIG, USA.
Hinweis: Aus dem Fehlen der Markenzeichen ® und ™ kann nicht geschlossen
werden, dass eine Bezeichnung ein freier Markenname ist.
1 Sicherheitshinweise . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1
1.1 Symbole und Schreibweisen in der
Bedienungsanleitung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1
1.2 Bestimmungsgemäße Verwendung . . . . . . . . . . . . . . . . 1
1.3 Allgemeiner Hinweis . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2
1.4 Anforderungen an das Bedienpersonal . . . . . . . . . . . . . 2
1.5 Netzanschluss . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2
1.6 Umgebungsbedingungen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3
1.7 Handhabung der Sonden . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4
1.8 Handhabung, Lagerung und Transport der
Kalibriernormale . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4
1.9 Reparaturen am Messgerät . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
1.10 Garantie . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
6 Applikationen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 44
6.1 Anlegen einer Applikation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 44
6.2 Auswählen der gewünschten Applikation . . . . . . . . . 47
6.3 Löschen einer Applikation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 48
6.4 Liste der angelegten Applikationen . . . . . . . . . . . . . . . 49
6.5 Zuweisen von Applikationsbezeichnungen . . . . . . . . . 51
6.6 Applikationsspezifische Einstellungen . . . . . . . . . . . . 52
6.7 Verkettung der Applikationen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 62
9 Messen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 105
9.1 Vorbereiten einer Messung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 105
9.2 Einflussgrößen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 106
9.3 Durchführen einer Messung . . . . . . . . . . . . . . . . . . 106
9.4 Protokollierung der Messungen mit einem Drucker . . 118
9.5 Fehlmessungen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 121
9.6 Messen mit freilaufender Anzeige . . . . . . . . . . . . . . 124
10 Auswertung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 136
10.1 Auswertung des aktuellen Blocks „Blockergebnis“ . 136
10.2 Auswertung der aktuellen Applikation „Endergebnis“ 143
11 Datenübertragung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 150
11.1 USB-Verbindung zum PC . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 151
11.2 Installieren der USB-Treiber . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 151
11.3 COM-Modul (Option, RS232-Anschluss) . . . . . . . . . . 152
11.4 Übertragung der Messwerte zum Computer . . . . . . . 152
11.5 Senden vom PC zum Messgerät . . . . . . . . . . . . . . . . 154
11.6 Anschluss eines Druckers . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 160
14 Glossar . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 219
Stichwortverzeichnis . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 243
Sicherheitshinweise
1.1 Symbole und Schreibweisen in der Bedienungsanleitung
In dieser Bedienungsanleitung werden folgende Symbole und Schreibwei-
sen verwendet:
Kennzeichnet einen Verweis auf eine Seite oder ein Kapitel dieser
Bedienungsanleitung.
Aufzählung.
Die Werte für die gemessenen Schichtdicken und die Texte der Hinweis-
zeilen der Anzeige sind als Beispiele für mögliche Anzeigen zu verstehen.
Es kann durchaus sein, dass andere Werte in der Anzeige oder auf dem
Ausdruck erscheinen, ohne dass falsch vorgegangen wurde.
Das Gerät darf nur von hierfür geschultem Personal bedient wer-
den!
1.5 Netzanschluss
Sicherheitshinweise
EMV
Das Messgerät entspricht dem Gesetz über die elektromagnetische Verträg-
lichkeit von Geräten (2014/30/EU). Die gemessenen Schichtdickenwerte
werden durch die in der Norm EN 61000-6-2 (die Bezug nimmt auf die
Normen EN 61000-4-2, EN 61000-4-3 und EN 61000-4-4) angegebenen
maximalen Werte der dort genannten Störgrößen nicht beeinflusst.
Insbesondere ist das Messgerät sehr gut gegen starke elektromagnetische
Felder (z. B. Motoren, Starkstromleitungen, Rundfunksender) abgeschirmt.
Niederspannung
Das Messgerät entspricht der Niederspannungsrichtlinie 2014/35/EU.
Sonden-
anschluss-
leitung
R 50 mm !
Die Messpole der Sonden werden bei der Messung direkt auf das Messob-
jekt aufgesetzt. Um den Verschleiß der Messpole bei der berührenden Mes-
sung so gering wie möglich zu halten, ist folgendes zu beachten:
Sonden stets zügig, aber dennoch sanft auf die Oberfläche des
Messgegenstandes aufsetzen! Harte Stöße vermeiden!
Sicherheitshinweise
Um den einwandfreien Zustand der Kalibriernormale zu gewährleisten, ist
folgendes zu beachten:
Um den Verschleiß der Kalibriernormale durch die berührende Messung
so gering wie möglich zu halten, sollten sie nur zur Kalibrierung einge-
setzt werden, und nicht für Testmessungen!
1.10 Garantie
In den folgenden Fällen übernimmt die Helmut Fischer GmbH Institut für
Elektronik und Messtechnik keine Garantie:
Nicht bestimmungsgemäße Verwendung von Messgerät oder Zubehör.
Anschluss von Zubehör, das nicht von der Helmut Fischer GmbH Institut
für Elektronik und Messtechnik empfohlen bzw. zugelassen ist.
Reparaturen oder bauliche Änderungen am Messgerät oder
Zubehör, die von nicht autorisierter Stelle vorgenommen wurden.
Anzeigenelement Erläuterung
Glocke:
Toleranzgrenzen sind aktiviert ( ab Seite 114).
Vorhängeschloss:
Eingeschränkter Bedienmodus ist eingeschaltet, d. h. die
Tasten MENU, ZERO und CAL sind nicht aktiv, die Service-
funktionen können nicht aufgerufen werden, Applikatio-
nen können nicht gelöscht werden
( ab Seite 184).
Pfeilkreis:
„Freilaufende” Anzeige ist eingeschaltet, kontinuierliche
Messwertanzeige bei aufgesetzter Sonde
( ab Seite 124).
Alternativ:
Anzeige für Flächenmessung
Anzeige für automatische Messung
Batterie:
Batterie muss gewechselt bzw. Akku muss geladen wer-
den, da Spannung unter einen Mindestwert gesunken ist
( ab Seite 25).
Sanduhr:
Messung ist zur Zeit nicht möglich, da geräteinterne Routi-
ne abläuft.
Kette:
Applikationen, die mit derselben Sonde angelegt
wurden, sind miteinander verkettet, d. h. in diesen
Applikationen wird dieselbe Normierung bzw. Korrektur-
kalibrierung zur Ermittlung der Messwerte verwendet
( ab Seite 62).
Blätter:
Matrix-Messmodus ist aktiviert ( ab Seite 131).
Schlüssel:
Messwertblock ist abgeschlossen.
Hinweiszeilen:
...SCOPE ... Gerätetyp
FKA... Version der geräteinternen Software
Taste Funktion
.. beim Normieren:
1x DEL - Löschen des letzten Messwertes,
2x DEL - Löschen der Messreihe des Grundwerkstoffs
.. beim Kalibrieren:
1x DEL - Löschen des letzten Messwertes,
2x DEL - Löschen der Messreihe des aktuellen Kalibriernormals.
Wiederholtes Drücken von DEL: Löschen der Messreihen der vor-
hergehenden Kalibriernormale ( ab Seite 121).
.. in allen Menüs:
DEL - Zurück zum vorhergehenden Menü oder Abbrechen des
Vorganges.
.. und danach :
Beenden der Anzeige des Blockergebnisses (Rückkehr zum
Messbild) ohne den aktuellen Messwertblock abzuschließen (ak-
tuelle Messreihe kann fortgesetzt werden).
.. und danach :
Anzeigen des Blockergebnisses des vorhergehenden oder fol-
genden Messwertblocks der aktuellen Applikation.
Durch wiederholtes Drücken von können nacheinander alle
Blockergebnisse der aktuellen Applikation abgerufen werden.
.. und danach :
Aufrufen der Funktion "Kalibrierung überprüfen".
Toleranzgrenzen
Auflösung
Blockgröße
i Einzelwerte
Ausreißer
5 x ENTER:
Aufrufen der Servicefunktionen
Die Geräteeinstellungen im Menü Servicefunktionen sind durch
ein Passwort geschützt. Nach 5-maligem Drücken von ENTER
wird „157“ angezeigt. Erhöhen Sie diesen Wert durch 2 x
Drücken von auf das werkseitig eingestellte Passwort „159“
und bestätigen Sie mit ENTER.
2.3 Zubehör
2.3.1 Sonden
2.3.2 Kalibriernormale
Zur Kalibrierung werden Kalibriernormale (in Form von Folien oder Hartpa-
pier verschiedener Dicke) eingesetzt, die auf den unbeschichteten Messge-
genstand aufgelegt werden, um eine Schicht mit bekannter Dicke zu simu-
lieren.
Für jeden Sondentyp gibt es einen sondenspezifischen Satz Kalibriernor-
male für die Masterkalibrierung (muss optional bestellt werden) und einen
sondenspezifischen Kalibriernormal-Satz für die Korrekturkalibrierung (im
Lieferumfang einer Sonde enthalten), der speziell für diesen Sondentyp zu-
sammengestellt wurde.
Weitere Kalibriernormale in unterschiedlichen Dicken erhalten Sie auf An-
frage bei der Helmut Fischer GmbH Institut für Elektronik und Messtechnik
oder bei Ihrem zuständigen Lieferanten.
Garantie-
fehlergrenze
Die Foliendicke der Kalibriernormale wird bei der Helmut Fischer GmbH In-
stitut für Elektronik und Messtechnik mit einem mechanischen Axialmesstas-
ter bestimmt. Der Axialmesstaster wurde mit Endmaßen des Genauigkeits-
grades I, die gemäß nationalen Normen zertifiziert wurden, auf seine
Funktion überprüft.
Die auf den Kalibriernormalen angegebene Garantiefehlergrenze bezieht
sich nur auf die gekennzeichnete Referenzfläche.
2.3.3 Drucker
Eine Übersicht, welche Drucker für den Anschluss an das Messgerät geeig-
net sind, können Sie dem Menü Servicefunktionen / DRUCKEN ( Kapitel
12.5.1 ‘Druckerauswahl’, ab Seite 177) entnehmen.
Hinweise bezüglich Funktionsweise, Wartung und Pflege des Druckers
können der Bedienungsanleitung des Druckers entnommen werden.
2.5.2 Optionen
Als Optionen sind erhältlich:
Steckernetzgerät
Verschiedene Messsonden
Folien - auch mit Zertifikat - für die Kalibrierung und zur Über-
prüfung der Kalibrierung
Sondenspezifischer Satz Kalibriernormale für die Masterkalibrierung
- auch mit Zertifikat
1,5 V NiMh-Akku (4 Stück/Gerät)
3.2 Wirbelstromverfahren
Durch den Erregerstrom wird ein hochfrequentes Magnetfeld erzeugt, das
im Material Wirbelströme induziert. Die Ausbildung dieser Wirbelströme
ist abhängig vom Abstand (Schichtdicke) zwischen Messsonde und Grund-
werkstoff. Das Messsignal, welches die Rückwirkung des Magnetfeldes der
Wirbelströme auf das ursprüngliche Magnetfeld erfasst, wird in einen
schichtdickenproportionalen Messwert umgewandelt.
Glossar
4.1 Spannungsversorgung
Die Spannungsversorgung für das Messgerät kann auf folgende Arten er-
folgen:
4.1.1 Netzanschluss
Um eine Beschädigung des Messgeräts oder Verfälschung der Messergeb-
nisse durch falsche Spannung zu vermeiden, darf das Messgerät nur über
das dazugehörige Steckernetzteil der Helmut Fischer GmbH Institut für
Elektronik und Messtechnik ans Netz angeschlossen werden. Die Netz-
spannung muss mit der auf dem Typenschild des Steckernetzteils angege-
benen Netzspannung übereinstimmen.
Vorgehensweise Batteriewechsel
2. Messgerät mit Geräterückseite nach oben auf den Tisch legen. Batte-
riefachdeckel auf der Rückseite gemäß folgender Abbildung öffnen
und abnehmen.
- - -
-
LR6 1.5V
LR6 1.5V
+
LR6 1.5V
LR6 1.5V
+ + +
Verwenden Sie nur Batterien des Typs MIGNON, 1,5 V, LR6 - AA - AM3 -
MN1500 oder 4 Einzelakkus 1,2 V, HR6 - AA.
Anderenfalls kann es zu Beschädigungen am Gerät kommen.
Anschlussbuchse
Messgerät
Ausnahme: Wenn in der Anzeige das Symbol für das Messverfahren blinkt,
wird die angeschlossene Sonde nicht erkannt. In diesem Fall muss:
für die angeschlossene Sonde eine neue Applikation angelegt werden
( 6.1 ‘Anlegen einer Applikation’, ab Seite 44) und/oder
die Sonde dem Messgerät bzw. der entsprechenden Applikation zuge-
wiesen werden ( 5.2 ‘Neue Sonde zuweisen’, ab Seite 40) oder
die bisher mit der entsprechenden Applikation verknüpfte Sonde wie-
der angeschlossen werden.
Anzeige Erläuterung
4.3.3 Messmodi
( Kapitel 12.7.5 ‘Messgröße’, ab Seite 197)
Je nach eingestelltem Messmodus kann nach dem Einschalten des Messge-
rätes folgendes erscheinen:
ein Schichtdickenmesswert d,
eine Zählrate X
Xn und Xs
4.4 Reinigung
Falls Messgerät oder Zubehör verschmutzt werden sollten, sind sie mit ei-
nem Kunststoffpflegemittel und einem weichen Lappen zu reinigen.
Folgendes sollte bei der Reinigung beachtet werden:
Kurzschlussgefahr!
Wasser oder andere Flüssigkeiten dürfen nicht ins Innere von
Messgerät oder Zubehör gelangen! Messgerät oder Zubehör bei
der Reinigung nicht in Flüssigkeiten tauchen oder legen, um Ver-
schmutzungen durch Einweichen abzulösen! Keine Flüssigkeiten
über Messgerät oder Zubehör schütten!
Keine aggressiven Mittel zur Reinigung des Messgeräts oder des Zube-
hörs verwenden, da sonst das Kunststoffgehäuse angegriffen wird!
Beispiel:
Sonde
FGAB1.3
Mögliche Problemursachen:
Nach einer Reparatur hat die Sonde eine andere Kenn-Nummer erhal-
ten.
Eine neu gekaufte Sonde ist noch nicht zugewiesen worden.
Wird eine Applikation geöffnet, deren Messwerte nicht mit der angeschlos-
senen Sonde aufgenommen wurden, blinkt das Symbol für die Kennzeich-
nung des Messverfahrens (z. B. [NF/Fe] oder [Iso/NF]).
Ist eine Dualsonde an das Messgerät angeschlossen, wird nach dem Ein-
schalten in der Anzeige das eingestellte Dualprinzip angezeigt
( 4.3.1 ‘Messverfahren der angeschlossenen Sonde’, ab Seite 32):
Isolierschicht (Iso-Schicht)
Nichtferromagnetisches Metall (NF-Schicht)
Ferromagnetischer Grundwerkstoff
Applikationen
Tastenfolge/ Ausschnitt der Erläuterung
Tätigkeit Anzeige
[Appl:]: Applikationsnummer
[Appl:]: Applikationsnummer
Applikationen
Damit Schichtdicken-Messwerte aufgenommen werden können, muss vor
Durchführen einer Messung eine Sonde angeschlossen und eine Applikati-
on ausgewählt werden, die mit der angeschlossenen Sonde angelegt wur-
de.
Falls nach dem Einschalten des Messgeräts oder nach dem Auswäh-
len einer Applikation die Anzeige des Messverfahrens ( Seite 32)
in der Anzeige blinkt, wurde mit der angeschlossenen Sonde noch
keine Applikation angelegt. Messungen können bei blinkender
Anzeige nicht durchgeführt werden.
Falls noch keine Applikation mit der angeschlossenen Sonde angelegt wur-
de, gibt es die folgenden Möglichkeiten:
Anlegen einer neuen Applikation mit der angeschlossenen Sonde
( 6.1 ‘Anlegen einer Applikation’, ab Seite 44),
Überschreiben einer bestehenden Applikation mit der angeschlossenen
Sonde ( 6.3 ‘Löschen einer Applikation’, ab Seite 48),
Anschluss einer Sonde, mit der bereits eine Applikation angelegt
wurde ( 4.2 ‘Sondenanschluss’, ab Seite 29).
[Appl:]: Applikationsnummer
[n=]: Anzahl der in der Applikation gespei-
cherten Messwerte
[Appl:]: Applikationsnummer
Applikationen
Tastenfolge/ Ausschnitt der Erläuterung
Tätigkeit Anzeige
[Appl:]: Applikationsnummer
Applikationen
Jeder Applikation kann eine kundenspezifische Bezeichnung zugewiesen
werden, die aus maximal 16 ASCII-Zeichen zusammengesetzt sein darf.
Die Zuweisung der Applikationsbezeichnung ist auf folgende Arten mög-
lich:
Einsatz der Software FischerDataCenter (Lieferumfang)
Folgende Einstellungen sind nur für die aktuelle Applikation gültig, d. h. ap-
plikationsspezifisch:
Einstellungen, die nach Drücken der Taste MENU vorgenommen wer-
den.
Messprogramm ( Seite 60)
6.6.1 Toleranzgrenzen
Mit aktivierten Toleranzgrenzen kann einfach und schnell festgestellt wer-
den, ob die gemessenen Schichtdicken innerhalb eines vorgegebenen To-
leranzbereiches liegen ( 9.3.6 ‘Messung mit aktivierten Toleranzgren-
zen’, ab Seite 114).
Falls die obere und untere Toleranzgrenze beim Einstellen vertauscht wer-
den, wird im Gerät automatisch der kleinere Wert als untere Toleranzgren-
ze und der größere Wert als obere Toleranzgrenze eingesetzt!
Applikationen
Mit der Auflösung der Messwertanzeige wird festgelegt, in welcher Auflö-
sung die Messwerte in der Anzeige angezeigt werden.
Auflösung 0,0 ... 1,0 ... 9,99 10 ... 99,99 100 ... 1000 ...
0,999 999,9 9999
6.6.4 Einzelwert-Modus
Bei Messungen im Einzelwert-Modus wird der Mittelwert aus mehreren Ein-
zelmessungen anstelle der Einzelmesswerte gespeichert. Die Anzahl der
Einzelmesswerte muss zwischen 2 und 20 liegen ( 9.3.8 ‘Messung im
Einzelwert-Modus’, ab Seite 116).
Wird der Wert von „i“ während einer Messreihe geändert, so kommt
auch hier - aus statistischen Gründen - die Aufforderung, alle vorher-
gehenden Messwerte zu löschen. Wird dies nicht befolgt, kann der
Wert für „i“ nicht geändert werden.
Applikationen
Bei aktiver Ausreißerkontrolle werden die erkannten Ausreißer sowohl in
der Anzeige angezeigt als auch akustisch gemeldet ( 9.3.9 ‘Messung
mit aktivierter Ausreißerkontrolle’, ab Seite 117).
Folgende Methoden stehen für die Ausreißerkontrolle zur Auswahl:
Grubbs-Test ( Glossar)
6.6.6 Messprogramme
Je nach eingestelltem Messprogramm werden die Messwerte in der Anzei-
ge entsprechend dargestellt.
Folgende Messprogramme können in der Servicefunktion eingestellt wer-
den ( 12.7.5 ‘Messgröße’, ab Seite 197):
Schichtdicke d
normierte Zählrate Xn
Zählrate X
d und Xs
Xn und Xs
Beispiel:
Wenn für jede Charge eines Bauteils eine separate Applikation angelegt
wurde (jeweils mit derselben Sonde), um die einzelnen Chargen unterein-
ander zu vergleichen, ist es sinnvoll, die Applikationen miteinander zu ver-
ketten. Da es sich um gleichartige Bauteile handelt, die lediglich aus unter-
schiedlichen Chargen stammen, sollte immer dieselbe Normierung bzw.
Korrekturkalibrierung verwendet werden.
Applikationen
Die Verkettung wird über die Servicefunktion des Messgerätes aktiviert und
deaktiviert ( 12.6.4 ‘Verkettung von Applikationen’, ab Seite 189).
2
3
4 7
5 8
6 9
Applikationen
, da sie mit derselben FD10-Sonde (Seriennummer 505) ange-
legt wurden.
Applikation 2 ist mit keiner anderen Applikation verkettet, da keine
weitere Applikation mit der FGAB1.3-Sonde (Seriennummer 101)
angelegt wurde.
7.4 Normierung
Bei der Normierung wird ein neuer Nullpunkt für die Kalibrierkurve der ak-
tuellen Applikation bestimmt und in der aktuellen Applikation gespeichert.
Die Koeffizienten der Masterkennlinie im EEPROM des Sondensteckers blei-
ben unverändert.
Benötigte Materialien
Referenzteil: unbeschichtetes Teil aus der Produktion.
[s]: Standardabweichung
[n]: Anzahl der Messungen
[Grundwerkstoff (Fe/NF)]: Messungen sol-
len auf einem unbeschichtetem Messobjekt
(Fe oder NF - Anzeige des Grundwerkstoff-
typs) durchgeführt werden.
Bei Verwendung von Dualsonden wird der
Grundwerkstofftyp erst nach der 1. Mes-
sung angezeigt.
[s]: Standardabweichung
[n]: Anzahl der Messungen
[Grundwerkstoff]: Messungen sollen auf ei-
nem unbeschichtetem Messobjekt durchge-
führt werden. Der verwendete
Grundwerkstoff (NF) oder (Fe) wird ange-
zeigt.
[Löschen: DEL]: Löschen des letzten Mess-
wertes mit DEL, 2x DEL löscht alle für die
Normierung aufgenommenen Messwerte.
[OK: ENTER]: Normierung kann mit ENTER
beendet werden.
Benötigte Materialien
Referenzteil (unbeschichtetes Teil aus der Produktion)
Kalibrierfolien (= Kalibriernormale)
[s]: Standardabweichung
[n]: Anzahl der Messungen
[s]: Standardabweichung
[n]: Anzahl der Messungen
Bei der Kalibrierung auf Schicht erfolgt ein Abgleich auf den Grundwerk-
stoff durch eine vorhandene Schicht, durch Messung eines auf diese Schicht
aufgelegten Kalibriernormals (Sondenlieferumfang).
Eine Kalibrierung auf Schicht wird jeweils für die geöffnete Applikation
durchgeführt. Die dabei ermittelten Korrekturfaktoren werden in der geöff-
neten Applikation gespeichert.
Wann durchzuführen
Eine "Kalibrierung auf Schicht" ist dann notwendig, wenn kein unbe-
schichteter Messgegenstand als Referenzteil zur Verfügung steht, z. B.
bei der Eingangskontrolle oder bei Messungen vor Ort.
Beachten Sie, dass eine Kalibrierung auf Schicht keinen so guten Abgleich
auf den Grundwerkstoff ermöglicht, wie eine Kalibrierung mit einem unbe-
schichteten Referenzteil. Der dadurch erhaltene zusätzliche Messfehler
hängt von der bei der Kalibrierung vorliegenden Schichtdicke sowie der
Dicke des verwendeten Kalibriernormals ab, so dass hier kein allgemein-
gültiger Wert für diesen zusätzlichen Messfehler angegeben werden
kann.
Wenn möglich, sollte unbedingt ein unbeschichtetes Referenzteil zur Kali-
brierung verwendet werden.
Benötigte Materialien
Referenzteil (beschichtetes Teil aus der Produktion)
[s]: Standardabweichung
[n]: Anzahl der Messungen
[s]: Standardabweichung
[n]: Anzahl der Messungen
3. Berechnen Sie die Differenz der beiden Schichten. Diese muss dann
dem Gravurwert des Kalibriernormals entsprechen.
Liegt die berechnete Differenz (Dicke des Kalibriernormals) innerhalb
der auf dem Normal angegebenen Garantiefehlergrenzen, löschen Sie
die Messwerte der Vergleichsmessungen, bevor Sie mit den Messun-
gen auf Ihren Messgegenständen beginnen.
Liegt die berechnete Differenz nicht innerhalb der Garantiefehlergren-
zen, so führen Sie eine weitere Kalibrierung auf Schicht durch.
Werks-Masterkalibrierung
Eine Masterkalibrierung (Werks-Masterkalibrierung) wird bereits im Hause
Helmut Fischer GmbH Institut für Elektronik und Messtechnik mit sehr hoher
Präzision und - je nach Sondentyp - mit mindestens 8 oder mehr Kalibrier-
normalen durchgeführt. Sie ist vom Anwender nicht lösch- oder überschreib-
bar.
Anwender-Masterkalibrierung
Die Anwender-Masterkalibrierung können Sie mit Hilfe von 4 - 8 Kalibrier-
normalen selbst erstellen. Bei Auslieferung einer neuen Sonde ist dieser
Speicher leer. Hat der Anwender, entsprechend der nachfolgend beschrie-
benen Vorgehensweise, eine „eigene“ Masterkalibrierung erstellt, so kann
er diese bei Bedarf überschreiben oder auch löschen.
Zum Erstellen einer Anwender-Masterkalibrierung werden mindestens 4 Ka-
libriernormale benötigt. Diese sind im optionalen, sondenspezifischen Mas-
terkalibriernormalsatz enthalten. Der Xn-Wert jeweils eines dieser Kalibrier-
normale muss in einen der vorgeschriebenen Xn-Bereiche der
Masterkalibrierung fallen, damit alle 4 Xn-Bereiche „besetzt“ sind.
Um in einem bestimmten Messintervall der Sonde die Messgenauigkeit zu
erhöhen, können bis zu 4 weitere Kalibriernormale verwendet werden, de-
ren Dicken in diesem Intervall liegen. Dies bedeutet, dass in einem Xn-Be-
reich der Anwender-Masterkalibrierung bis zu max. 5 Kalibrierstandards
liegen können.
Wird die Anwender-Masterkalibrierung gelöscht und keine neue erstellt, so
wird automatisch wieder mit der Werks-Masterkalibrierung gemessen.
Die Masterkalibrierung ist für alle Applikationen gültig, die mit dersel-
ben Sonde angelegt wurden, mit der die Masterkalibrierung durchge-
führt wird (da die Koeffizienten im EEPROM des Sondensteckers
abgelegt werden)!
Dies gilt sowohl bei aktivierter als auch bei deaktivierter Verkettung.
Nach kompletter Durchführung einer Masterkalibrierung werden die
Normierungen und Korrekturkalibrierungen aller Applikationen auto-
Benötigte Materialien
unbeschichteter Messgegenstand, der den tatsächlich zu messenden
Teilen in Grundwerkstoff und Geometrie entspricht
sondenspezifischer Satz Kalibriernormale (Masterfolien)
[s]: Standardabweichung
[n]: Anzahl der Messungen
Wird nach dem Löschen der Masterkalibrierung das Menü durch nochma-
liges Drücken von DEL verlassen, so wird mit der Werks-Masterkalibrie-
rung - noch ohne Korrekturkalibrierung - weitergemessen.
[s]: Standardabweichung
[n]: Anzahl der Messungen
[s]: Standardabweichung
[n]: Anzahl der Messungen
[s]: Standardabweichung
[n]: Anzahl der Messungen
Beachten Sie den unter 7.7 auf Seite 88 angegebenen Hinweis bezüglich
der Anzahl der Kalibriernormale.
Wann durchzuführen
Ermittlung des aktuellen Kalibrierzustandes des Messsytems, d. h. wie
genau misst das Messsystem in der geöffneten Applikationsdatei
Ermittlung der Messunsicherheit des Messsystems für die Messaufgabe
der geöffneten Applikationsdatei, z. B. notwendig für Messungen deren
Messunsicherheit entsprechend des ISO/IEC Guide 98-3 ermittelt wer-
den
Wichtig zu wissen
Mit der Menüfunktion können Sie den Kalibrierzustand und die Mess-
genauigkeit des Messsystems überprüfen. Das Ergebnis der Überprü-
fung gilt nur für die geöffnete Applikationsdatei und deren
Messaufgabe.
Ist in der geöffneten Applikationsdatei eine Korrekturkalibrierung
gespeichert, muss die Überprüfung unter den gleichen Bedingungen
durchgeführt werden, unter denen die Korrekturkalibrierung durchge-
führt wurde. Zum Beispiel bei ähnlicher Temperatur, mit dem gleichen
Kalibriernormal, auf dem gleichen Grundwerkstoff usw.
Die ermittelte Messunsicherheit gilt nur für einen kleinen Bereich um
den Referenzwert des Standards, auf dem die Kontrollmessung durch-
geführt wurde. Möchten Sie die Messunsicherheit für einen Messbe-
reich ermitteln, führen Sie Kontrollmessungen auf zwei
Kalibriernormalen durch, die den Messbereich begrenzen. Die Mess-
unsicherheit für diesen Messbereich ermitteln Sie durch eine lineare
Interpolation aus den beiden Messunsicherheiten der Kontrollmessun-
gen auf den zwei Kalibriernormalen.
Genauigkeit
Die Kalibrierungsgenauigkeit ist durch die Unsicherheit des Kalibri-
ernormals begrenzt. Die Unsicherheit der Korrekturkalibrierung kann
nicht kleiner sein als die Unsicherheit der verwendeten Kalibriernor-
male. Um die Kalibrierungsgenauigkeit zu verbessern, müssen Sie
für die Korrekturkalibrierung Kalibriernormale mit kleineren Unsi-
cherheiten verwenden.
Parameter Beschreibung
Kalibrierung ist OK! Der Mittelwert der Kontrollmessung stimmt mit dem
Sollwert (= Referenzwert) des Kalibriernormals im
Rahmen der Unsicherheit (gemäß ISO/IEC Guide
98-3) überein. Das heißt, die Differenz zwischen
dem Mittelwert und dem Sollwert kann nicht von der
vorgegebenen Unsicherheit des Kalibriernormals un-
terschieden werden.
Kalibrierung ist nicht OK! Führen Sie eine neue Korrekturkalibrierung durch, da
der gemessene Mittelwert der Kontrollmessung eine
zu große Abweichung zum Sollwert des Kalibriernor-
mals aufweist. Führen Sie eine neue Korrekturkali-
brierung durch ( siehe Seite 75).
Messen
Beim Messen sind unbedingt die Hinweise aus
Kapitel 1 ‘Sicherheitshinweise’, ab Seite 1 zu beachten!
Messen
Messungen sollten innerhalb der Referenzfläche durchgeführt werden.
Messobjekt
Messobjekt
2. Sonde abheben
5. Sonde abheben
3. Sonde drehen
90°
6. Sonde drehen
90°
Messen
Solange die automatische Messwertübernahme aktiviert ist, erfolgt die
Messwertübernahme automatisch direkt nach dem Aufsetzen der Sonde auf
das Prüfteil.
Nach der Messwertübernahme ertönt bei jeder Messung ein akustisches Si-
gnal (sofern es nicht deaktiviert wurde) ( 9.3.4 ‘Akustische Signale nach
der Messwertübernahme’, ab Seite 113).
[Appl:]: Applikationsnummer
[Dicke]: Anzeige von Schichtdickenmess-
werten (Messprogramm der aktuellen Appli-
kation)
[Blck:]: Nummer des aktuellen Blocks
[n=]: Anzahl der in der Applikation gespei-
cherten Messwerte / Blockgröße
[Appl:]: Applikationsnummer
[Dicke]: Anzeige von Schichtdickenmess-
werten (Messprogramm der aktuellen Appli-
kation)
[Blck:]: Nummer des aktuellen Blocks
[n=]: Anzahl der in der Applikation gespei-
cherten Messwerte / Blockgröße
Messen
Nach der Messwertübernahme ertönt bei jeder Messung ein akustisches Si-
gnal (sofern es nicht deaktiviert wurde). Dieses Messwertübernahme-Signal
zeigt an, dass das von der Sonde kommende Signal erfasst wurde und die
Sonde wieder vom Prüfteil abgehoben werden kann.
Zusätzlich zum Messwertübernahme-Signal können noch die in der folgen-
den Tabelle angegebenen akustischen Signale ertönen. Gegebenenfalls er-
tönen die Signale hintereinander.
Wenn beispielsweise bei der Messung mit fester Blockgröße der letzte
Messwert eines Blocks die obere Toleranzgrenze überschritten hat, ertönt
das Messwertübernahme-Signal, gefolgt von zwei kurzen Signalen für das
Überschreiten der oberen Toleranzgrenze und zuletzt ein langes Signal als
Blockabschluss-Signal.
Das Messwertübernahme-Signal kann deaktiviert werden
( 12.7.1 ‘Akustisches Signal’, ab Seite 191).
Die anderen akustischen Signale können nicht deaktiviert werden!
Signal Bedeutung
Anzeige Erläuterung
Messen
Bei der Messung mit fester Blockgröße wird
die Blockbildung automatisch nach einer einstellbaren Anzahl von
Messwerten vom Messgerät durchgeführt (Einstellen der Blockgröße:
Seite 56),
[Appl:]: Applikationsnummer
[Dicke]: Anzeige von Schichtdickenmess-
werten (Messprogramm der aktuellen Appli-
kation)
[Blck:]: Nummer des aktuellen Blocks
[n=]: Anzahl der in der Applikation gespei-
cherten Messwerte / Blockgröße
Soviele Messungen durchführen, bis die
Blockbildung automatisch erfolgt.
[ ]: Block ist abgeschlossen; weitere
Messwerte können in diesem Block nicht
mehr aufgenommen werden.
[Appl:]: Applikationsnummer
[i=]: Anzahl der aufgenommenen Einzel-
messwerte / eingestellte Anzahl der zusam-
menzufassenden Einzelmesswerte
[Blck:]: Nummer des aktuellen Blocks
[n=]: Anzahl der in der Applikation gespei-
cherten Messwerte
Soviele Messungen durchführen, bis die An-
zahl der gespeicherten Messwerte um eins
erhöht wird ([i=0/n] wird wieder ange-
zeigt.) Der Mittelwert der durchgeführten
Einzelmessungen wird angezeigt und ge-
speichert.
Messen
Beim Messen mit aktivierter Ausreißerkontrolle:
werden die vom Messgerät erkannten Ausreißer in der Anzeige und
akustisch angezeigt ( 6.6.5 ‘Ausreißerkontrolle’, ab Seite 59),
Wenn bei der Messung Toleranzgrenzen aktiviert sind, werden die Mess-
werte beim Ausdruck zwischen bzw. neben den Toleranzgrenzen eingetra-
gen ( Abb. 9-5).
Messen
Blockbildung’, ab Seite 56), werden die Messwerte und Blockergebnisse
aller Blöcke der aktuellen Applikation nacheinander ausgedruckt:
Messen
9.5.1 Löschen von Fehlmessungen
Wenn eine Fehlmessung direkt nach der Messwertübernahme erkannt
wird, kann der Messwert durch Drücken von DEL gelöscht werden.
Der gelöschte Messwert wird dann auch nicht bei Bildung des Block- und
Endergebnisses berücksichtigt.
Durch wiederholtes Drücken von DEL können alle Messwerte des aktuellen
Blocks nacheinander gelöscht werden.
Beim Messen mit „freilaufender” Anzeige kann durch Abfahren der Ober-
fläche mit der Sonde die Schichtdickenverteilung über der Oberfläche ein-
fach ermittelt werden. Mit „freilaufender” Anzeige werden:
die Messwerte kontinuierlich angezeigt sowie
Messen
Beim Abfahren einer Oberfläche mit aufgesetzter Sonde unterliegen die
Messpole einem erhöhten Verschleiß.
Beim Messen mit freilaufender Anzeige sind die akustischen Signale zur
Anzeige der Toleranzgrenzenverletzung automatisch deaktiviert.
Eine Toleranzgrenzenverletzung wird dann nur durch und bzw.
in der Anzeige angezeigt.
Die letzte Messung, die vor dem Einschalten der „freilaufenden” Anzeige
mit einer Dualsonde durchgeführt wird, legt fest, welches Messverfahren
bei der Messung mit “freilaufender” Anzeige verwendet wird. Welches
Messverfahren bei der letzten Messung verwendet wurde, wird in der An-
zeige angezeigt ( 9.3.5 ‘Anzeige des verwendeten Messverfahrens bei
Messungen mit Dualsonden’, ab Seite 113).
Die automatische Erkennung des Grundwerkstoffs und Auswahl des richti-
gen Messverfahrens ist bei der Messung mit „freilaufender” Anzeige nicht
aktiv!
Wenn vor dem Einschalten der „freilaufenden” Anzeige mit dem magnetin-
duktiven Verfahren gemessen wurde, wird die Messung mit „freilaufender”
Anzeige ebenfalls nach dem magnetinduktiven Verfahren durchgeführt.
Die Dualsonde misst dann nur auf ferromagnetischen Grundwerkstoffen.
Auf anderen Grundwerkstoffen misst die Sonde nicht, d. h. in der Anzeige
bleibt [------] stehen.
Wenn vor dem Einschalten der „freilaufenden” Anzeige mit dem Wirbel-
stromverfahren gemessen wurde, wird die Messung mit „freilaufender” An-
zeige nach dem Wirbelstromverfahren durchgeführt. Die Dualsonde misst
nur auf nichtferromagnetischen Grundwerkstoffen korrekte Messwerte; auf
ferromagnetischen Grundwerkstoffen werden in diesem Fall falsche Mess-
werte aufgenommen.
Falls vor dem Einschalten der „freilaufenden” Anzeige keine Messung
durchgeführt wurde, wird die Messung mit „freilaufender” Anzeige nach
dem magnetinduktiven Verfahren durchgeführt.
Messen
Die für die Messung erforderlichen Vorbereitungen und die eigentliche
Durchführung einer Messung sind unabhängig vom gewählten Messmodus
und können den Kapiteln “ 9.1 ‘Vorbereiten einer Messung’, ab
Seite 105 und 9.3 ‘Durchführen einer Messung’, ab Seite 106 entnom-
men werden.
Der Messmodus kann nur in der Servicefunktion umgeschaltet werden
( 12.6.3 ‘Matrixmodus’, ab Seite 187).
Bei der Umschaltung des Standard- in den Matrix-Messmodus oder umge-
kehrt wird das Messgerät automatisch neuinitialisiert. Bei der Neuinitiali-
sierung werden sämtliche Applikationen und alle darin gespeicherten
Messwerte gelöscht, sowie sämtliche Einstellungen der Servicefunktionen
auf die Grundeinstellung zurückgesetzt. Nach der Neuinitialisierung, d. h.
auch nach dem Umschalten des Messmodus, müssen die benötigten Appli-
kationen wieder angelegt werden und die gewünschten Einstellungen in
den Servicefunktionen wieder vorgenommen werden!
Messen
Beim Umschalten auf den Matrix-Messmodus muss die Anzahl der Applika-
tionen und die Anzahl der Blöcke eingegeben werden. Für jede Applikati-
on wird die gleiche Anzahl von Blöcken angelegt. Jeder Block kann die
gleiche maximale Anzahl von Messwerten aufnehmen.
Die Anzahl der Applikationen und der Blöcke kann ohne erneute Neuiniti-
alisierung nicht nachträglich geändert werden.
Messen
Wenn der Matrix-Messmodus aktiviert ist, erscheint in der Anzeige.
Der Blockwechsel, d. h. die Auswahl des Blocks, in dem der nächste Mess-
wert gespeichert werden soll, kann bei der Messung im Matrix-Messmodus
manuell oder automatisch erfolgen ( 12.6.3 ‘Matrixmodus’, ab
Seite 187).
Automatischer Blockwechsel
Damit der nächste Messwert automatisch im nächsten Block gespeichert
wird, muss der automatischer Blockwechsel eingestellt werden. Mit automa-
tischem Blockwechsel ist eine freie Blockauswahl nicht möglich!
Nach dem akustischen Signal für die Messwertübernahme ertönt ein langes
akustisches Signal zur Anzeige des Blockwechsels ( 9.3.4 ‘Akustische
Signale nach der Messwertübernahme’, ab Seite 113).
Manueller Blockwechsel
Damit der Block, in dem der nächste Messwert gespeichert werden soll, frei
ausgewählt werden kann, muss der Blockwechsel manuell erfolgen. Der ge-
wünschte Block muss vor der Messung ausgewählt werden.
Wenn manueller Blockwechsel eingestellt ist, kann beispielsweise ein Mess-
wert in Block 7 und der nächste Messwert in Block 3 gespeichert werden.
Wenn bei der Messung mit fester Blockgröße der letzte Block noch nicht
abgeschlossen war, wird der nächste Messwert diesem Block hinzugefügt
(auch wenn die Auswertung mit ENTER beendet wurde). Ein Blockabschluss
erfolgt erst, wenn die Anzahl der Messwerte in diesem Block gleich der ein-
gestellten Blockgröße ist ( 9.3.7 ‘Messung mit fester Blockgröße’, ab
Seite 115).
Auswertung
Tastenfolge/ Ausschnitt der Erläuterung
Tätigkeit Anzeige
Hinweise:
[Block wechseln: ] bzw. [Block wechseln:
]: Anzeige des Blockergebnisses des
nächsten bzw. vorhergehenden Blocks mit
oder
[Einzelwerte: MENU]:
Anzeige der Einzelmesswerte des ausge-
werteten Blocks mit MENU (die Einzelmess-
werte können dann mit bzw.
nacheinander angezeigt werden, Rückkehr
zum Blockergebnis mit MENU).
[Lösche Block: DEL]:
Löschen der Messwerte des letzten nicht ab-
geschlossenen Blocks mit DEL (erscheint nur
bei der Auswertung nicht abgeschlossener
Blöcke).
[Ende: ENTER]: Anzeige des Blockergebnis-
ses beenden. Der aktuelle Block wird abge-
schlossen.
erscheint in der Anzeige, wenn der
Block abgeschlossen ist.
Auswertung
Bei aktivierter Ausreißerkontrolle werden erkannte Ausreißer nicht in
die Auswertung einbezogen!
Auswertung
das Blockergebnis eines früheren Blocks umgeschaltet wurde (durch Drü-
cken von ), kann auch das Blockergebnis dieses Blocks mit PRINT ausge-
druckt werden. Auf dem Ausdruck erscheint dann ebenfalls eine Liste der
Messwerte dieses Blocks.
Auswertung
Im Endergebnis sind die Ergebnisse der Auswertung aller in der aktuellen
Applikation enthaltenen Messwerte zusammengefasst.
Die Aufnahme eines neuen Messwertes oder Drücken der Taste ENTER wäh-
rend der Auswertung der aktuellen Applikation beendet die Anzeige des
Endergebnisses.
Wenn bei der Messung mit fester Blockgröße der letzte Block noch nicht
abgeschlossen war, wird der nächste Messwert diesem Block hinzugefügt
(auch wenn die Auswertung mit ENTER beendet wurde). Ein Blockabschluss
erfolgt erst, wenn die Anzahl der Messwerte in diesem Block gleich der ein-
gestellten Blockgröße ist ( 9.3.7 ‘Messung mit fester Blockgröße’, ab
Seite 115).
Bei der Messung mit fester Blockgröße werden nur die Messwerte der
abgeschlossenen Blöcke in die Auswertung der aktuellen Applikation
einbezogen.
[ENDE: ENTER]:
Abschließen des Endergebnisses ohne die
Messwerte zu löschen mit ENTER.
Auswertung
Entsprechend den Einstellungen im Servicemenü/Drucken/Endergebnis
( 12.5.5 ‘Endergebnis’, ab Seite 181) kann bei angeschlossenem und
eingeschaltetem Drucker nach Drücken von FINAL-RES das Blockergebnis
des aktuellen Blocks mit Datum und Uhrzeit „automatisch“ oder „auf
Nachfrage“ ausgedruckt werden.
Nur wenn Toleranzgrenzen aktiviert sind, wird beim Ausdruck des Ender-
gebnisses die Anzahl der Messwerte ausgegeben, die unter der unteren
bzw. über der oberen Toleranzgrenze liegen ( Abb. 10-5).
Produkt ..............................
Name ..............................
Appl.Nr. 0 -- Endergebnis --
von 27.06.08 11:26 bis 27.06.08 11:27
Produkt ..............................
Name ..............................
Appl.Nr. 0 -- Endergebnis --
von 27.06.08 11:12 bis 27.06.08 11:23
Auswertung
FISCHER DUAL- Gerätetyp
SCOPE FMP40
27.06.08 Aktuelles Datum
Produkt .....
Name .....
Appl. Nr. Nummer der Applikation
-- Endergebnis -- Ergebnis-Art
von ... bis ... Datum und Uhrzeit des letzten Blockabschlusses des
ersten und des letzten Blocks bzw. aktuelles Datum
und aktuelle Uhrzeit (falls der letzte Block nicht abge-
schlossen ist).
Mittelwert d./d.. Mittelwert/Mittelwert der Blockmittelwerte mit 95 %
Vertrauensbereich
Std. Abw. s Standardabweichung
G. Std. Abw. Geschätzte Standardabweichung (wird nur bei fes-
ter Blockgröße angegeben).
n Anzahl der ausgewerteten Messwerte
ni Blockgröße (Anzahl der Messwerte pro Block)
Std. Abw. sa Standardabweichung sa (wird nur angegeben, wenn
sich die Streuung der Blockmittelwerte laut Varianzana-
lyse nicht aus der Streuung innerhalb der Blöcke erklä-
ren lässt).
nBl Anzahl der ausgewerteten Blöcke.
Var.Koeff. V Variationskoeffizient
Kleinster Wert/ Kleinster Messwert (Minimum)/
Kleinster Block Kleinster Blockmittelwert
Größter Wert/ Größter Messwert (Maximum)/
Größter Block Größter Blockmittelwert
UGW/OGW Untere / Obere Toleranzgrenze
cp / cpk Prozessfähigkeitsindex
s^ Schätzwert für die Standardabweichung
HISTOGRAMM
n
37.9|
1 |*
38.2|
3 |*
38.3|
1 |*
38.4|
2 |*
38.5|
1 |*
38.7|
Normalverteilung
SUMMENHAEUFIGKEIT
Obere Klassengr. Summenh.
38.2 12.50 %
38.3 50.00 %
38.4 62.50 %
38.5 87.50 %
38.7 100.00 %
Abb. 10-7 Ausdruck eines Histogrammes mit Normalverteilung (Beispiel)
Auswertung
Messwerte nicht normalverteilt sind (Bei der Normalverteilung sind Schiefe
und Wölbung gleich Null!):
HISTOGRAMM
n
-3.0|
3 |***
-2.0|
1 |*
-1.1|
0|
0.68|
0|
34.6|
3 |***
39.6|
Keine Normalverteilung
Schiefe= 0.30 Wölbung= -1.9
SUMMENHAEUFIGKEIT
Obere Klassengr. Summenh.
-2.0 42.86 %
-1.1 57.14 %
0.68 57.14 %
34.6 57.14 %
39.6 100.00 %
Abb. 10-8 Ausdruck eines Histogrammes ohne Normalverteilung (Beispiel)
Datenübertragung
USB-Schnittstelle des Messgerätes mit der USB-Schnittstelle am PC verbin-
den.
Verwenden Sie dazu das im Lieferumfang des Messgerätes enthaltene USB-
Kabel.
Windows® XP:
Die Meldung zum Windows-Logo-Test ignorieren (Fenster „Hardware-
installation”). Schaltfläche „Installation fortsetzen“ anklicken und Installa-
tion fortsetzen.
Es werden Kenntnisse über die Bedienung des Computers sowie der ver-
wendeten Software benötigt, die im Bedarfsfall den entsprechenden
Bedienungsanleitungen entnommen werden müssen.
Datenübertragung
Bei der Übertragung der Messwerte im On-Line-Betrieb ist das Messgerät
während der Messung mit dem Computer verbunden und die Daten wer-
den sofort (on-line) über die Schnittstelle ausgegeben.
Wenn in der Servicefunktion „USB/Ausgabe/Einzelwerte“ eingestellt ist,
werden die Einzelmesswerte direkt nach der Messwertübernahme über die
Schnittstelle ausgegeben.
Wenn hingegen „USB/Ausgabe/Blockmittelwerte“ eingestellt ist, werden
die Blockmittelwerte nach Drücken von BLOCK-RES ( 10.1 ‘Auswertung
des aktuellen Blocks „Blockergebnis“’, ab Seite 136) über die Schnittstelle
ausgegeben; die Einzelmesswerte werden dann zwar angezeigt, aber
nicht ausgegeben. Einstellen der Art der gesendeten Messwerte:
12.4.1 ‘Ausgabe’, ab Seite 174.
11.4.2 Offline-Betrieb
Im Offline-Betrieb werden die bereits im Messgerät gespeicherten Daten
nachträglich (offline) über die Schnittstelle ausgegeben. Die Ausgabe der
Daten wird durch Drücken von PRINT ausgelöst.
11.5.1 Übertragungsformate
Alle Ein- und Ausgabedaten werden als ASCII-Strings übertragen,
gefolgt von CR- und einem LF-Steuerzeichen (Carriage Return Line
Feed; CR = ASCII13, LF = ASCII10).
Daten die vom Messgerät empfangen werden, dürfen max. 20 Zeichen
lang sein.
11.5.2 Steuerbefehle
Durch das Senden der Steuerbefehle vom PC zum Messgerät kann das
Messgerät fremdgesteuert Messwerte und andere Daten senden. Die ange-
forderten Messwerte bzw. Daten werden dann vom Messgerät über die
Schnittstelle gesendet und vom PC empfangen.
Sollte das Senden der Befehle “DAM”, “DAT”, “GAN”, “GBN”, “SAN”,
“SBN”, “SGS” oder “SWA” in einem Fehler resultieren, d. h. die entspre-
chende Funktion kann nicht ausgeführt werden, sendet das Messgerät das
ASCII-Zeichen „NAK” über die Schnittstelle an den Computer zurück.
Antwort: ACK (ASCII6)
Antwort im Fehlerfall: NAK (ASCII21)
Befehl Funktion
DAM0 ... Löschen aller Messwerte, die in der Applikation mit der angege-
DAM99 benen Nummer gespeichert sind.
Beispiel: Der Befehl “DAM2” löscht alle Messwerte der zweiten
Applikation.
DAT0 ... Anfordern von Datum und Uhrzeit des Blockabschlusses des Blo-
DAT999 ckes mit der Nummer 1 (... 1000).
Beispiel: Der Befehl “DAT2” gibt Datum und Uhrzeit des Block-
abschlusses des dritten Blockes der aktuellen Applikation aus.
GAN0 ... Anfordern der Bezeichnung der Applikation mit der Nummer 0
GAN99 (... 99). Wenn keine Bezeichnung vergeben wurde, wird ein
Leerstring ausgegeben.
Vergabe der Bezeichnungen mit Software FischerDataCenter
oder Befehl “SAN”.
Beispiel: Nach Erhalt des Befehls “GAN2” wird vom Gerät die
Bezeichnung der Applikation mit der Nummer 2 ausgegeben.
GBN0 ... Anfordern der Bezeichnung des Messwertblockes mit der Num-
GBN999 mer 1 (... 1000). Wenn keine Bezeichnung vergeben wurde,
wird ein Leerstring ausgegeben. Vergabe der Bezeichnungen mit
Software FischerDataCenter oder Befehl “SBN”.
Beispiel: Nach Erhalt des Befehls “GBN2” wird vom Gerät die
Bezeichnung des dritten Blockes der aktuellen Applikation aus-
geben.
IEX0 ... IEX99 Prüfen, ob die Applikation mit der Nummer 0 (... 99) im Messge-
rät angelegt ist. Wenn die Applikation angelegt ist, wird vom
Messgerät “1” ausgegeben; wenn sie nicht angelegt ist, wird
“0” ausgegeben.
SAN0 ... Vergeben einer Bezeichnung für die Applikation mit der Num-
SAN99 mer 0 (... 99). Nach dem Empfang des Befehls “SAN” sendet
das Messgerät das ASCII-Zeichen “ACK”. Die Übertragung der
Bezeichnung, die die Applikation erhalten soll, muss direkt da-
nach, innerhalb einer Sekunde, erfolgen. Die Bezeichnung muss
ebenfalls mit CR+LF abgeschlossen werden und darf maximal
16 ASCII-Zeichen enthalten.
Nach dem Empfang der Bezeichnung sendet das Messgerät wie-
der das ASCII-Zeichen “ACK”.
Beispiel: Der Befehl “SAN2” gefolgt von der gewünschten Be-
zeichnung weist der Applikation 2 eine neue Bezeichnung zu.
SBN0 ... Vergeben einer Bezeichnung für den Messwertblock mit der
SBN999 Nummer 1 (... 1000). Nach dem Empfang des Befehls “SBN”
sendet das Messgerät das ASCII-Zeichen “ACK”. Die Übertra-
gung der Bezeichnung, die der Block erhalten soll, muss direkt
danach, innerhalb einer Sekunde, erfolgen. Die Bezeichnung
darf maximal 16 ASCII-Zeichen enthalten und muss ebenfalls mit
CR+LF abgeschlossen werden. Nach dem Empfang der Bezeich-
nung sendet das Messgerät wieder das ASCII-Zeichen “ACK”.
Beispiel: Der Befehl “SBN2” weist dem dritten Block der aktuel-
len Applikation eine Bezeichnung zu.
Blöcke können nur bezeichnet werden, wenn der Matrix-Mess-
modus aktiviert ist. Ob der Matrix-Messmodus aktiviert ist kann
mit dem Befehl “GMX” abgefragt werden.
Aktivieren des Matrix-Messmodus: 12.6.3 ‘Matrixmodus’, ab
Seite 187.
SWA0 ... Auswählen der Applikation mit der Nummer 0 (... 99) im Mess-
SWA99 gerät.
Beispiel: Der Befehl “SWA2” bewirkt, dass im Messgerät die Ap-
plikation mit der Nummer 2 ausgewählt wird.
11.6.1 Druckausgabe
Aus folgenden Situationen heraus ist das Drucken möglich:
Protokollierung der angelegten Applikationen ( Seite 49),
Protokollierung von Normierung ( Seite 74), Korrekturkalibrierung
( Seite 81), Kalibrierung auf Schicht ( Seite 87) und Masterkali-
brierung ( Seite 97),
Ausgabe des Blockergebnisses nach Blockabschluss ( Seite 115),
Ausgabe der Einzelmesswerte nach der Messwertübernahme
( Seite 118),
Auswertung der Blöcke mit BLOCK RES ( Seite 139),
Endauswertung der Messwerte mit FINAL RES ( Seite 145),
Ausgabe der Gerätekonfiguration ( Seite 202).
Tastenfolge/ Erläuterung
Tätigkeit
Wählen Sie keine Sprache aus, deren Schriftzeichen Sie nicht verstehen,
z. B. kyrillisch! Sie könnten sonst Schwierigkeiten haben, wieder in eine
für Sie verständliche Sprache umzuschalten!
„mit Netzteil an“: Die Beleuchtung ist nur eingeschaltet, wenn ein Netz-
teil angeschlossen ist.
oder Immer an
ENTER Nach Bestätigung der Auswahl „immer an“
mit ENTER gelangen Sie sofort zurück ins
Menü, um weitere Einstellungen vorneh-
men zu können.
12.3 Auswertung
12.3.1 Blockergebnis
12.4.1 Ausgabe
12.5.4 Blockergebnis
Je nach Einstellung kann nach Drücken von BLOCK-RES
( 10.1.1 ‘Protokollierung des Blockergebnisses mit einem Drucker’, ab
Seite 139) das Blockergebnis ausgedruckt werden. Folgende Einstellmög-
lichkeiten werden unterschieden:
Der eingeschränkte Bedienmodus bleibt auch nach Aus- und wieder Ein-
schalten des Messgerätes aktiviert.
Die Anzahl der Applikationen und der Blöcke kann ohne erneute
Neuinitialisierung nicht geändert werden.
Die Kombination „Messeffekt aus“ und „Extern Start aus“ ist nicht
zulässig, da sonst keine Messwertübernahme erfolgen kann. Sollte
diese Kombination eingestellt werden, werden die Parameter vom
Messgerät automatisch auf „Messeffekt ein“ und „Extern Start aus“
zurückgesetzt.
Tastenfolge/ Erläuterung
Tätigkeit
13.1 Funktionsstörungen
Korrekturkalibrierung Korrekturkalibrierung 75
E 011 kann nicht abgeschlos- wiederholen und dabei
sen werden. Messungen korrekt
Meßwert nicht in
Intervall ! Ursache: Messung nicht durchführen(z. B. Son-
korrekt durchgeführt. de nicht vor oder nach
der Messung über dem
Normal schweben las-
sen; Mindest-Abhebe-
abstand einhalten!)
Ursache: Kalibriernor- Korrekturkalibrierung 75
male verwendet, die mit richtigen und intak-
nicht die erforderliche ten Kalibriernormalen
Schichtdicke aufweisen wiederholen.
oder defekt sind.
Ursache: Normierung Korrekturkalibrierung 71
auf Kalibriernormal statt wiederholen und dabei
auf unbeschichtetem Normierung auf unbe-
Prüfteil durchgeführt. schichtetem Prüfteil
durchführen.
Zweipunkt-Korrekturkali- Korrekturkalibrierung 75
W 005 brierung mit Kalibrier- mit geeigneten Kalibri-
1-Punkt
normalen durchgeführt, ernormalen wiederho-
Kalibrierung ! deren Schichtdicken len.
nicht weit genug ausein- Die Differenz der nor-
ander liegen (wird als mierten Zählraten Xn
Einpunkt-Kalibrierung der beiden Kalibriernor-
übernommen). male muss größer als
0,1 sein:
Xn Kalibriernormal 2
- Xn Kalibriernormal 1
Xn > 0,1
Glossar
Fachbegriffe und Formeln
Abgleich Kalibrierung
Applikation
Messaufgabe des Anwenders.
Applikation wird der Messgerätespeicher genannt, in dem die Koeffizienten
aus der Korrekturkalibrierung/Normierung (Abgleich des Messsystems auf
das Messobjekt / Schicht- / Grundwerkstoffabgleich, Systemabgleich), die
Parametereinstellungen und die Messwerte für eine bestimmte Messaufgabe
des Anwenders gespeichert sind.
Applikationsauswahl
Menüseite(n) im Messgerät, auf der alle bisher angelegten Applikationen
aufgelistet sind. Applikationsauswahl mit Taste APPL No.
Applikationsspeicher
Messgerätespeicher, beinhaltet alle für eine Messaufgabe relevanten Daten
und die Messwerte.
Ausreißer
Messwerte, die wesentlich kleiner oder größer als die übrigen Messwerte
der Messreihe sind und deshalb als unerwartet und unannehmbar betrachtet
werden können.
Ausreißerkontrolle
Wird eingesetzt, wenn die Verfälschung des Messergebnisses durch Ausrei-
ßer verhindert werden soll. Die Ausreißerkontrolle kann nach dem Grubbs-
Test oder der Sigma-Ausreißerkontrolle (Vorgabe einer bekannten Streuung)
durchgeführt werden. Messwerte, die bei der Ausreißerkontrolle als Ausrei-
ßer erkannt wurden, werden nicht in die statistische Auswertung einbezo-
gen.
Auswertung
Berechnung von statistischen Größen wie z. B. Mittelwert, Standardabwei-
chung usw. sowie die grafische Darstellung der Messwerte in z. B. einem
Summenhäufigkeitsnetz.
Auswertungsmenü
Auswahlmenü zur Auswertung und Darstellung der Messwerte sowie zur
Ausgabe der Messwerte, Auswertungen und Darstellungen über die USB-
Schnittstelle, auf einen USB-Stick oder auf einen Drucker. Aufruf des Auswer-
tungsmenüs mit Taste FINAL RES.
Baud
Einheit für die Geschwindigkeit, mit der Informationen (Daten) übertragen
werden können. 1 Baud entspricht einer Übertragungsrate von einem Bit pro
Sekunde.
Baudrate
Übertragungsrate. Wird vorwiegend im Zusammenhang mit Terminalpro-
grammen in der Datenübertragung verwendet. Da hier die Daten über eine
serielle Schnittstelle übertragen werden, wird mit Bit pro Sekunde gerechnet.
Bidirektionaler Datenaustausch
Daten können von beiden Teilnehmern gesendet und empfangen werden
(beispielsweise vom Messgerät zum PC und vom PC zum Messgerät).
Bit
(Binary Digit), Binärziffer. 1 Bit ist die kleinste Darstellungseinheit im binären
Zahlensystem. Der Wert eines Bits kann entweder 0 oder 1 sein. Das Bit als
kleinste Informationseinheit im Computer bildet die Grundlage jedes Com-
putersystems. 8 Bit werden zu einem Byte zusammengefasst und mehrere By-
tes zu einem Wort.
Block
Gruppierung von Messwerten. Mehrere Messwerte werden in einem Block
zusammengefasst. Das Blockende (Blockabschluss) wird im Display mit ei-
nem Schlüsselsymbol angezeigt.
Blockabschluss
Kennzeichnung nach n Messwerten. Der Blockabschluss wird in der Regel
im Display mit einem Schlüsselsymbol angezeigt.
Blockergebnis
Statistische Auswertung der Messwerte eines Blocks. Z. B.: Mittelwert, Stan-
dardabweichung, Variationskoeffizient, Spannweite, kleinster, größter
Messwert, Anzahl der Messwerte des Blocks.
Blockgröße
Anzahl der Messwerte, die in einem Block zusammengefasst werden.
Blockmittelwert d. oder , d
Block, offener
Gruppe von Messwerten, für die noch kein Blockabschluss erfolgt ist.
Glossar
Wagenrücklauf. CR ist ein Zeichen aus dem ASCII-Zeichensatz (ASCII13)
und hat folgende Funktion: beim Eingeben von Daten oder Befehlen wird die
Zeile, in der momentan gearbeitet wird, durch Drücken der CR-Taste (Enter-
oder Return-Taste auf der PC-Tastatur) abgeschlossen und die eingegebene
Information entsprechend verarbeitet. Der Cursor wird wieder an den Zei-
lenanfang gesetzt. CR wird meistens zusammen mit dem Zeichen LF (Line
Feed) eingesetzt, um die nächste Zeile am Zeilenanfang zu beginnen.
Chi-Quadrat-Test
Statistisch-mathematisches Prüfverfahren zur Feststellung einer vorliegenden
Normalverteilung der Messwerte (bei mehr als 30 Messwerten).
Cp: Fähigkeitsfaktoren
Cpk: Fähigkeitsfaktoren
Cu
Kupfer
S1
d. oder d
Arithmetischer Mittelwert der Einzelmesswerte, arithmetischer Mittelwert (d.,
d ) genannt. Der arithmetische Mittelwert d. ist die Aufsummierung aller Ein-
zelmesswerte di einer Messreihe (eines Blocks), geteilt durch die Anzahl der
Messungen.
d. Mittelwert (Blockmittelwert)
d 1 + d 2 + d 3 + ... + d n
- = 1---
n
d . = ----------------------------------------------------
n n i=1 i
d n Anzahl der Messwerte (eines
Blocks)
di Einzelmesswerte (eines Blocks)
d..
Mittelwert der Blockmittelwerte der ausgewählten Blöcke. Analog zum arith-
metischen Mittelwert (d.) werden hier die Blockmittelwerte aufsummiert und
durch die Anzahl der ausgewerteten Blöcke nBl dividiert.
1 n Bl
n Bl
-
d .. = ------ d .i
i=1
d.. Mittelwert der Blockmittelwerte
nBl Anzahl der Blöcke
d.i Blockmittelwerte
DUALSCOPE®
Geschützter Markenname der Helmut Fischer GmbH Institut für Elektronik
und Messtechnik Institut für Elektronik und Messtechnik für das Messgerät.
Einzelmesswert
Messwert, der nach einmaligem Messen an der Messstelle ermittelt und an-
gezeigt bzw. ausgedruckt wird.
Endergebnis
Auswertung aller Messwerte oder von ausgewählten Blöcken einer
Applikation (Messaufgabenspeicher).
Externstart
Auslösen der Messwertübernahme durch Drücken der Taste . Nur möglich,
sofern die Funktion Externstart im Gerät aktiviert ist.
Exzess Wölbung
Fähigkeitsfaktoren
Die Prozessfähigkeit wird mit den Faktoren Cp und Cpk beurteilt.
Der Fähigkeitsfaktor Cp ist ein Maß für die Streuung eines Prozesses sowie
für dessen Fähigkeit, Teile gemäß Spezifikation fortwährend herzustellen.
Der Fähigkeitsfaktor Cpk berücksichtigt die Lage des Mittelwertes zu den To-
leranzgrenzen.
OGW – d .. d .. – UGW-
Cp = OGW – UGW-
----------------------------------- und Cpk = ---------------------------
- ; ---------------------------
6 ̂ 3 ̂ 3 ̂
Glossar
Magnetisierbares Material aus Stahl oder Eisen.
Fehlertrompete Vertrauensgrenzen
Freilauf
Kontinuierliche Messwertanzeige bei aufgesetzter Sonde. Einschalten des
Freilaufs mit Menüfunktion Mess/Freilauf.
Gauß-Verteilung Normalverteilung
Genauigkeit
Qualitative Bezeichnung für das Ausmaß der Annäherung der Messergeb-
nisse an den wahren Wert. Die Genauigkeit wird üblicherweise unterteilt in
Richtigkeit und Präzision.
Glockenkurve Normalverteilung
Grenzwerte
Der obere Grenzwert (OGW) ist der größte Messwert, der untere Grenzwert
(UGW) ist der kleinste Messwert, der an der Messstelle erlaubt ist.
Größter Wert
Größter gemessener Wert einer Messreihe.
Grubbs-Test
Methode für die Ausreißerkontrolle. Verfahren von Grubbs, mit dem geprüft
wird, ob der größte bzw. der kleinste Einzelmesswert als Ausreißer angese-
hen werden kann.
Grundgesamtheit
Alle zu messenden Teile bzw. Messobjekte. In der Praxis z. B. alle Teile einer
Fertigungseinheit, Charge usw.
Gruppenseparator
Kennzeichnung des Blockabschlusses, der mit den Messdaten an den PC
übertragen werden kann. Standardmäßig ASCII-Zeichen 29.
GUM
Kurzform für den Leitfaden ISO/IEC Guide 98-3, "Guide to Expression of
Uncertainty in Measurement", in deutsch: "Leitfaden zur Angabe der Unsi-
cherheit beim Messen".
Histogramm
Grafische Darstellung aller Messwerte einer Applikation (Messaufgaben-
speicher) nach ihren Anteilen an Klassen (z. B. Schichtdickenbereiche), bei
der die Klassenhäufigkeiten durch Rechtecksinhalte veranschaulicht werden.
Die Klassenbreiten sollten gleich groß sein. Die Aussagefähigkeit statisti-
scher Ergebnisse hängt unter anderem von der Kurvenform dieser Verteilung
ab.
Iso
Isoliermaterial, elektrisch nicht leitend, nicht magnetisierbar.
Kalibrierkurve
(Kennlinie, Masterkennlinie) Quantitativer Zusammenhang zwischen dem
Messsignal der Sonde und einem Maßstab für die Schichtdicke, der durch
Kalibrierstandards repräsentiert wird.
log d
Die Schichtdicke d wird in Abhängigkeit von
der normierten Zählrate Xn als Kalibrierkurve
dargestellt. Der mittlere Teil der Kalibrier-
kurve bildet annähernd eine Gerade und
stellt den Bereich mit dem kleinsten relativen
Messfehler dar.
Xn
0 1
Solange noch keine Normierung (Schicht-/Grundwerkstoffabgleich, Mess-
systemabgleich) oder Korrekturkalibrierung (Abgleich des Messsystems auf
das Messobjekt) durchgeführt wurde, ist die Kalibrierkurve identisch mit der
Masterkennlinie. Bei einer Normierung oder Korrekturkalibrierung wird die
Kalibrierkurve an die individuelle Messaufgabe angepasst. Die Koeffizienten
der Normierung oder Korrekturkalibrierung werden in der aktiven Applikati-
on (Messaufgabenspeicher) gespeichert.
Kalibrierung
Die Bezeichnung Kalibrierung wird in dieser Bedienungsanleitung als über-
greifender Begriff für die Justage und Kalibrierung verwendet: Abgleich des
Messgeräts mit Kalibrierstandards zur Anpassung des Messsystems (Mess-
gerät und Sonde) auf die Messaufgabe.
Kalibrierstandard
(Kalibriernormale, Einstellnormale) Objekt möglichst gleicher Beschaffenheit
wie das Messobjekt, dass sich nur in der Schichtdicke unterscheidet und des-
Glossar
de.Kann auch einen Folie sein.
Kalibriernormale Kalibrierstandard
Kennlinie Kalibrierkurve
Klasse
Bereich zwischen einer unteren und einer oberen Klassengrenze (Grenzwer-
te). Die Messwerte einer Messreihe lassen sich alle in solche Klassen einord-
nen, wenn diese lückenlos den Messbereich überdecken. Die Klasseninhalte
(Häufigkeit oder Anzahl der Messwerte je Klasse) aufgetragen über den
Klassen nennt man Histogramm.
Kleinster Wert
Kleinster gemessener Wert einer Messreihe.
Kolmogoroff-Smirnoff-Test
Statistisch-mathematisches Prüfverfahren zur Feststellung einer vorliegenden
Normalverteilung der Messwerte (für 5 bis 30 Messwerte).
Kontrolle
Ein wesentlicher Bestandteil der Messmittelüberwachung. Sie erfolgt mittels
Kalibrierstandards oder besser noch mit Vergleichsproben und dient zur
Überprüfung der Kalibrierung und zur Sicherung der Messstabilität.
Korrekturkalibrierung
Einpunkt- oder Zweipunkt-Kalibrierung. Abgleich des Messgeräts mit 1 oder
2 Kalibrierstandards. Die Korrekturkalibrierung umfasst das Kalibrieren und
Justieren.
Bei der Korrekturkalibrierung wird die Masterkennlinie (Kalibrierkurve) an
die individuelle Messaufgabe angepasst. Die dabei erhaltenen Koeffizien-
ten werden in der aktiven Applikation (Messaufgabenspeicher) gespeichert.
Die Masterkennlien selbst bleibt davon unberührt.
Kurtosis Wölbung
LF Line Feed
eisenhaltiger Grundwerkstoff
Maßeinheit
Einheit, in der die Anzeige des Messwertes erfolgt. In der Schichtdickenmes-
sung sind µm und mils gebräuchlich. 100 µm = 3.9 mils.
Masterkennlinie
(Sondenkennlinie) Urkennlinie des Messsystems. Die Masterkennlinie ist die
Grundlage zur Ermittlung der Messwerte, da sie die Abhängigkeit zwischen
Sondensignal und Schichtdicke wiedergibt. Die Koeffizienten der Master-
kennlinie sind im Sondenstecker gespeichert.
Max
Größter Messwert einer Messreihe.
Maximum Max
Messen
Messen heißt vergleichen!
Verglichen wird das Sondensignal an der Messtelle mit dem Sondensignal
am Kalibrierstandard. Das Messgerät setzt das Sondensignal über die
Kalibrierkurve in das Messergebnis um, und zwar in der eingestellten Maß-
einheit.
Glossar
Eigenschaften des Messobjekts bezüglich Messgröße, Material, geome-
trische Abmessungen, Permeabilität usw. Danach richtet sich die Auswahl
des Messverfahrens, der Messwertdarstellung, der Sonde und des Messge-
rätes.
Messbereich
Bereich zwischen zwei Grenzwerten, innerhalb derer eine Messung mit der
spezifizierten Richtigkeit und Präzision durchführbar ist. Im engeren Sinne ist
damit die Spanne der Skala eines Analogmessgerätes gemeint. Der Mess-
bereich ist vom Messverfahren, der Bauart der Sonde und auch von der
Messaufgabe abhängig.
Messfehler
Unterschied zwischen dem eigentlichen und dem gemessenen Wert einer
Größe. Bei Messgeräten ist zwischen zufälligen (unvorhersehbaren) und sys-
tematischen (korrigierbaren) Messfehlern zu unterscheiden. Die zufälligen
Messfehler bestimmen die Wiederholpräzision. Die systematischen Messfeh-
ler beeinflussen die Richtigkeit und die Vergleichspräzision. In der Praxis
überwiegen die systematischen Messfehler bei weitem. Systematische Mess-
fehler lassen sich auf 1. fehlerhafte Kalibrierung, 2. Bedienungs- oder per-
sonenbezogene Fehler und 3. Abweichungen der Messbedingungen (Inho-
mogenität, Instabilität, Alterung des Materials usw.) zurückführen. Sie
wirken sich meist in eine Richtung aus. Die Einflüsse 1. und 2. lassen sich
durch entsprechende Handhabung vermeiden oder korrigieren oder im Er-
gebnis berücksichtigen.
Messgenauigkeit Genauigkeit
Messgerätespeicher Applikation
Messmittelüberwachung
Eine Aufgabe der Qualitätssicherung. Sie besteht darin, sich nach festgeleg-
ten Zeitintervallen zu vergewissern, ob das Messmittel (Messgerät, Sonde))
noch richtig arbeitet und korrekt kalibriert ist und gegebenenfalls geeignete
Maßnahmen zu ergreifen (Messgerät neu kalibrieren bzw. reparieren...).
Kontrolle
Messmodus
In diesem Zustand kann das Messgerät Messwerte aufnehmen und anzei-
gen. Die Darstellung im Display erfolgt entsprechend der eingestellten Mess-
wertdarstellung.
Messobjekt
Gegenstand, auf dessen Oberfläche Messungen durchgeführt werden, um
die Schichtdicke zu bestimmen.
Messsonde Sonde
Messstelle
Eine begrenzte und klar definierte Stelle innerhalb der Referenzfläche des
Messobjekts, an der die Schichtdicke bestimmt werden soll.
Messunsicherheit u
Messverfahren
Vorgehensweise und Verfahren, um vom Messobjekt Informationen über sei-
ne Eigenschaften zu gewinnen. Das Messverfahren beruht auf naturwissen-
schaftlichen Erkenntnissen und richtet sich nach der Messaufgabe.
Messwert
Zahlenmäßiger Ablesewert eines Messgeräts, ergänzt um die Maßeinheit.
Der Messwert kann aus dem Ergebnis einer Einzelmessung oder als arithme-
tischer Mittelwert der Ergebnisse mehrerer Einzelmessungen (wie z. B. beim
gemittelten Anzeigenwert (i Einzelwerte)) gewonnen werden.
Messwertdarstellung
Art und Weise der Darstellung und Auswertung von Messwerten.
Min
Kleinster Messwert einer Messreihe.
Minimum Min
Mittelwert d. oder d
Mittlere Spannweite R.
NE-Metalle
Nicht eisenhaltige, nicht magnetisierbare Metalle.
NF
Nicht magnetisierbares Material.
Ni
Nickel
Normal Kalibrierstandard
Glossar
Gaußsche Normalverteilung, Gauß-Verteilung, Glockenkurve.
Wahrscheinlichkeitsverteilung, die 1794 von C. F. Gauß gefunden wurde.
Wenn eine Größe X normalverteilt ist, dann liegen 68,3 % der beobachte-
ten Werte von X im Intervall der Streuung , um den Mittelwert der Größe
X. D. h., für 68,3 % der beobachteten Werte gilt – X + . Dieses In-
tervall ist in folgender Abbildung durch die grauen Flächen unterhalb der
Kurve gekennzeichnet.
Wahrscheinlichkeits-
Wahrscheinlichkeit P(X)
- + X
Normierung
Einstellung des Messgeräts auf die Materialeigenschaften des Schicht- und/
Offline
Zustand eines an das Messgerät angeschlossenen Gerätes (Drucker oder
PC), in dem es keine Daten empfangen kann.
Offener Block
Gruppe von Messwerten, für die noch kein Blockabschluss erfolgt ist.
OGW
Oberer Grenzwert, ist der größte Messwert, der an der Messstelle erlaubt
ist.
Online
Zustand eines an das Messgerät angeschlossenen Gerätes (Drucker oder
PC), in dem es Daten empfangen kann. Das Gerät ist in diesem Zustand be-
triebsbereit.
Parität (Parity)
Ein Verfahren zur Fehlerkontrolle bei der Datenübertragung, bei dem die
Quersumme aller fehlerlos übertragenen Bitgruppen immer gerade (englisch
even) oder ungerade (englisch odd) sein muss. Paritätsbits werden bei der
Datenübertragung an die Datenbits jedes zu übertragenden Zeichens oder
Bytes angeknüpft. Dieses Bit wird in jedem Wort jeweils so gesetzt, dass die
Summe der Einsen des Bytes stets eine gerade oder ungerade Zahl ergibt.
Die entspricht einer geraden oder ungeraden Parität. Welche Parität einge-
halten werden soll, muss vor der Datenübertragung festgelegt werden. Der
Empfänger kann durch eine Überprüfung der Parität feststellen, ob Bit-Über-
tragungsfehler aufgetreten sind.
Präzision
Übereinstimmung zwischen den einzelnen Messergebnissen bei genau fest-
gelegten Versuchsbedingungen; setzt sich zusammen aus Vergleichs-
präzision und Wiederholpräzision.
Prüfteil Messobjekt
Qualitätssicherung
Alle Maßnahmen in einem Betrieb, die damit zu tun haben, dass eine gere-
gelte Fertigung innerhalb der Qualitätsanforderungen stattfinden kann. Ein
Teilaspekt ist die Qualitätsüberwachung, von der wiederum die Schicht-
Glossar
R
Die Spannweite (Range) R ist gleich der Differenz zwischen dem größten
Messwert (Maximum) dmax und dem kleinsten Messwert (Minimum) dmin ei-
ner Messreihe.
R = dmax - dmin
R.
Mittlere Spannweite über alle Block-Spannweiten.
R.: Mittlere Spannweite
R. = ̂ d 2
̂ : Schätzwert der Standardabweichung der Grundgesamtheit
d2: Faktor, abhängig vom Stichprobenumfang, kann den gängi-
gen Tabellenwerken entnommen werden.
Range R
Referenzfläche
Ein definierter Teilbereich der Messobjektoberfläche mit bekannter Schicht-
dicke.
Richtigkeit
Übereinstimmung zwischen "wahrem" Wert und dem Mittelwert der Messer-
gebnisse, die unter praktischen Gegebenheiten unablässig gewonnen wer-
den. Dabei versteht man unter dem "wahren" Wert einen anhand von ma-
thematisch-theoretischen Ansätzen bekannten Wert. Da solche Werte sehr
selten vorliegen, wird üblicherweise ein aus nationalen oder internationalen
Gebrauchsnormalen abgeleiteter Wert als "richtig" angenommen. Dieser
"richtige" Wert wird oft auch als "wahrer" Wert bezeichnet.
USB-Schnittstelle
Schnittstelle wird zur Verbindung von Messgerät und PC, Drucker, USB-Stick
und USB-Tastatur eingesetzt.
̂ SS
Schätzwert für die Standardabweichung der Grundgesamtheit. Wird nur
im Endergebnis für Applikationen (Messaufgabenspeicher) ausgegeben, in
denen die automatische Blockbildung eingeschaltet ist.
s
Die Standardabweichung s ist ein Maß für die Streuung der einzelnen Mess-
werte einer Messreihe um ihren gemeinsamen Mittelwert. Sie ist gleich der
mittleren quadratischen Abweichung der Einzelmesswerte vom Mittelwert
und wird folgendermaßen berechnet:
s: Standardabweichung
1 - n
d.: Mittelwert über alle Einzelmesswerte
2
s = ----------- d . – d i
n–1 n: Anzahl der Einzelmesswerte
i=1
di: Einzelmesswerte
sa
Streuung der Mittelwerte verschiedener Gruppen („Blöcke” Block), korrigiert
bezüglich der Streuung der Einzelmesswerte. Damit sa berechnet werden
kann, muss die Streuung der Gruppenmittelwerte SII signifikant größer sein,
als die Streuung der Einzelwerte SI innerhalb der Gruppen.
Werden beispielsweise an mehreren Messpunkten jeweils die gleiche An-
zahl an Messungen pro Messpunkt durchgeführt und die Messungen pro
Messpunkt in einer Gruppe (Block) zusammengefasst, dann ist SI ein Maß
für die Messgerätestreuung und sa ist die, um die Messgerätestreuung berei-
Glossar
F beo – 1
sa = S I -------------------
-
n Bl
2
S II
- (Varianzanalytische
F beo = -------- Auswertung)
2
SI
Schiefe
Maß für die Asymmetrie einer eingipfligen Wahrscheinlichkeitsverteilung
um ihren Mittelwert. Eine positive Schiefe zeigt eine Verteilung an, deren
Gipfel sich mehr zu Werten größer dem Mittelwert hin erstreckt. Eine nega-
tive Schiefe zeigt eine Verteilung an, deren Gipfel sich mehr zu Werten klei-
ner dem Mittelwert hin erstreckt. Bei einer symmetrischen Verteilung ist die
Schiefe gleich Null (Normalverteilung).
Schnittstelle (Interface)
Übergangs- bzw. Verbindungsstelle zwischen Bauteilen, Schaltkreisen oder
Programmen. Über die Schnittstelle erfolgt der Austausch von Daten. Bei se-
riellen Schnittstellen werden die Daten in einzelnen Bits (d. h. ein Bit nach
dem anderen) übertragen, bei parallelen Schnittstellen werden mehrere Bits
gleichzeitig übertragen.
Sigma-Grenzen um Regressionsgerade
Die Sigma-Grenzen um die Regressionsgerade stellen den Vertrauensbe-
reich um die Gerade dar, in dem die Gerade mit einem Vertrauensniveau
von 95 % liegt (der Wert 95 % ist geräteintern im definiert).
Supervisorkennzahl
Passwort für einige Menüfunktionen, um ein versehentliches Ändern der Pa-
rametereinstellungen zu verhindern.
Werkseitig eingestelltes Passwort: 159
Das werkseitig eingestellte Passwort kann vom Anwender geändert werden.
Sondenfrequenz
Die Messsonde wird von einem Generator mit einem Wechselstrom be-
stimmter Frequenz gespeist. Die verwendete Frequenz richtet sich nach
Messaufgabe und Sondentyp.
Sondenkennlinie Masterkennlinie
Spannweite R
Standardabweichung s
Startbit
Ein Startbit wird bei der asynchronen seriellen Datenübertragung vor dem
zu übertragenden Datenwort gesendet. Mit dem Übergang von der logi-
schen Eins zur logischen Null des Startbits kann sich der Empfänger auf die
folgenden Datenbits synchronisieren.
Statistik
Ergebnis einer Messreihe, d. h. Zusammenfassung einer großen Zahl von
Einzelmesswerten in einige wenige Kenngrößen (z. B. Mittelwert, Stan-
dardabweichung usw.).
Statistische Auswertung
Berechnungen mit den Messwerten nach statistisch-mathematischen Metho-
den.
Stichprobe
Einige Teile aus der Grundgesamtheit. In der Praxis ein kleiner Teil eines Fer-
tigungsloses, der nach Zufallsregeln der Fertigung entnommen wird und des-
sen Messergebnisse auf das Los (Charge, Fertigungseinheit) hochgerechnet
werden.
Stopbit
Wird bei einer asynchronen seriellen Datenübertragung an das zu übertra-
gende Datenwort angeknüpft. Es werden 1 bis 2 Bit logisch Eins verwendet.
Nach den Stoppbits bleibt der Sender logisch Eins bis zum Startbit des
nächsten Zeichens.
Glossar
Studentfaktor t
Summenhäufigkeit
Die Summenhäufigkeit ist der Teileanteil (in Prozent) dessen Schichtdicke
kleiner oder gleich einem bestimmten Messwert ist. In einem Summenhäufig-
keitsnetz kann die Summenhäufigkeit bezogen auf die Schichtdicke abgele-
sen werden. Beispiel: man findet, dass 9 % der Teile eine Schichtdicke klei-
ner oder gleich 39 µm (1.56 mils) aufweisen.
Summenhäufigkeitsnetz
Grafische Darstellungsmethode, die dazu verwendet werden kann, Mess-
werte auf ihre Normalverteilung zu prüfen. Eine Normalverteilung stellt sich
im Summenhäufigkeitsnetz als Gerade dar.
t
Der Studentfaktor t kann den gängigen Tabellenwerken (wie z. B. Graf, Hen-
ning, Stange, Wilrich: Formeln und Tabellen der angewandten mathemati-
schen Statistik; Springer-Verlag) entnommen werden und wird wie folgt an-
gegeben:
t Beispiel: bei einem Vertrauensniveau von 95 % und n > 200 (und so-
1 – --- ; f
2 mit Freiheitsgrad 199, da f = n - 1) ist der Studentfaktor
t97,5; 199 = 1,96.
Teil Messobjekt
Testwert E
Kennzahl für die Messgenauigkeit/Qualität der Kalibrierung der geöffneten
Applikationsdatei. Dieser Testwert wird in der Funktion Kalibrierung über-
prüfen aus den Messwerten der Kontrollmessung und den Kennwerten des
Kalibriernormals, auf dem die Kontrollmessung durchgeführt wurde, berech-
net. Der Testwert ist das Ergebnis aus dem Verhältnis von Differenz zu
Unsicherheit (k=2).
E 1: Die Messgenauigkeit für die geöffnete Applikationsdatei ist für dieses
Kalibriernormal in Ordnung und kann durch dieses Normal auch nicht wei-
ter verbessert werden. Die Differenz zwischen dem Mittelwert aus der Kont-
rollmessung und dem Sollwert (= Referenzwert) des Kalibriernormals, auf
dem gemessen wurde, kann von der Unsicherheit der Kalibrierung
(Unsicherheit (k=2)) nicht unterschieden werden.
E > 1: Der Mittelwert aus der Kontrollmessung weist eine zu große Abwei-
chung zum Sollwert des Kalibriernormals auf, auf dem gemessen wurde.
xm – xr
Testwert E = ---------------------------------------------------------------------
-
2 2
U m k=2 + U r k=2
s xm
U m k=2 = 2 t 68,27 %, n - 1 -------------
n
Toleranzgrenzen Grenzwerte
u
Jedes Messgerät liefert zufällige Messfehler ( Genauigkeit). Der vermut-
lich "wahre" Wert () der Messgröße liegt mit einer bestimmten Wahr-
scheinlichkeit (dem Vertrauensniveau) in einem Intervall um den gemessenen
Mittelwert d. einer Messreihe. Das Intervall wird auch als Vertrauensbereich
bezeichnet. Die Grenzen dieses Intervalls haben den Abstand der Messun-
sicherheit u vom Mittelwert .
d. – u d. + u
Glossar
die Formel ein, so erhält man die relative Messunsicherheit urel in %.
tV
u rel = ---------- %
n
Übertragungsrate Baudrate
UGW
Unterer Grenzwert, ist der kleinste Messwert, der an der Messstelle erlaubt
ist.
Unsicherheit (k=2)
Parameter in der Ergebnisanzeige in der Menüfunktion Kalibrierung über-
prüfen. Er gibt die Unsicherheit der Kalibrierung der geöffneten Applikati-
onsdatei an (Messgenauigkeit der geöffneten Applikationsdatei). Diese kom-
binierte Unsicherheit berücksichtigt die Messunsicherheit (Um) der
Kontrollmessung und die vorgegebene Unsicherheit (Ur) des Kalibriernor-
mals (= Referenzteil) für ein Vertrauensniveau von 95,45%, entspricht dem
Erweiterungsfaktor k=2. Die Berechnungen erfolgen gemäß ISO/IEC Guide
98-3.
Unsicherheit (k=2) = (Um(k=2))² + (Ur(k=2))²
s xm
U m k=2 = 2 t 68,27 %, n - 1 -------------
n
Um: Messunsicherheit (k=2) der Kontrollmessung, die auf stochastischen Fehlern beruht
t: Studentfaktor (kann gängigen Tabellenwerken wie z. B. "Formeln und Tabellen der angewand-
ten mathematischen Statistik" von Graf, Henning, Stange und Wilrich entnommen werden). Zum
Beispiel ist bei einem 68,27%tigen Vertrauensniveau (k=1) und n = 10 der
Studentfaktor t68,27; 9 = 1,07.
s: Standardabweichung des Mittelwertes xm aus der Kontrollmessung
n: Anzahl der Kontrollmessungen auf dem Standard
Ur: Vorgegebene Unsicherheit (k=2) des Standards = direkter Eingabewert (U(k=2)) oder bei vor-
gegebener Toleranzangabe erfolgt die Berechnung nach Formel Gl. 1
T: Betrag der vorgegebenen Toleranzangabe des Standards
1,653:Faktor für das Vertrauensniveau von 95.45 % (k=2), der sich aus der Varianz der Rechteckver-
teilung ergibt. Für das Vertrauensniveau von 68,27 % (k=1) ist der Faktor 1.
u-Skala
Rechte Ordinatenskala im Ausdruck des Summenhäufigkeitsnetzes. Linear-
transformation der Messwerte in standardisierte Merkmalswerte u. Die
Transformation dient zu Vergleichs- und Analysezwecken. Die standardisier-
ten Merkmalswerte sind dimensionslos, ihr arithmetisches Mittel u ist Null
und ihre Standardabweichung (u) ist stets 1.
V
Variationskoeffizient. Prozentuale Streuung einer Messreihe, d. h. Stan-
dardabweichung bezogen auf den Mittelwert. V [%] ist eine charakteristi-
sche Prozesskonstante. Eine plötzliche Änderung von V [%] weist auf eine
Änderung der Prozessbedingungen hin. V wird folgendermaßen berechnet:
s- 100 % V: Variationskoeffizient
V = ----
d. s: Standardabweichung
d. Mittelwert
V̂ VDach
Schätzwert des Variationskoeffizienten.
Varianz
Mittlere quadratische Abweichung. Die Quadratwurzel aus der Varianz
wird Standardabweichung (s) genannt.
s2: Varianz
1 n
2 2
s = ------------ d i – d . d.: Mittelwert der Einzelmesswerte
n–1i=1
di: Einzelmesswerte
n Anzahl der Messwerte
Varianzanalytische Auswertung
Statistisches Verfahren zur Prüfung der Mittelwerte verschiedener Stichpro-
ben, ob diese vergleichbar sind oder signifikante Unterschiede aufweisen .
Dabei werden die Streuungen der Gruppenmittelwerte mit der mittleren
Streuung der Einzelwerte innerhalb der Gruppen verglichen.
Es wird der Prüfwert Fbeo ermittelt ( sa) und anhand eines Vergleichs mit
dem Tabellenwert FTab bestimmt, ob ein signifikanter Unterschied zwischen
Glossar
Beispiel: Varianzanalytische Auswertung bei Messung von k Stichproben
(Gruppen, „Blöcke” Block) mit jeweils n Einzelwerten.
k
SI2: Mittelwert der quadrierten Gruppenstreuungen sj2
S I = 1--- sj
2 2
k k: Anzahl der Stichproben
j=1
SII2: quadrierten Streuung der Gruppenmittelwerte
n k x – x 2
2 xj: Gruppenmittelwert der Gruppe
S II = -----------
k –1j=1 j
n Anzahl der Einzelwerte pro Gruppe
x Mittelwert der Gruppenmittelwerte
k
mit: x = 1--- xj
k
j=1
2
S II
F beo = --------
- Fbeo Prüfwert zur Entscheidung der Fragestellung
2
SI (im Messgerät eventuell mit Fb bezeichnet)
Ist die Bedingung Fbeo FTab erfüllt, gehören die Mittelwerte der Stichproben
einer gemeinsamen Grundgesamtheit an. Ist Fbeo > FTab, so sind die Mittel-
werte signifikant unterschiedlich. Die Streuung der Mittelwerte, korrigiert be-
züglich der Streuung der Einzelwerte, gibt der Kennwert sa ( sa) an.
FTab Tabellenwert der F-Verteilung mit Ff1, f2, 1-
f Freiheitsgrade mit f1 = (k-1) und f2 = k (n-1)
Signifikanzniveau
Variationskoeffizient V
Vergleichspräzision
Bezeichnung für die Unterschiede der einzelnen Messergebnisse unter Ver-
gleichsbedingungen. Vergleichsbedingungen, heißt Messungen an einem
Messobjekt nach einem festgelegten Verfahren, z. B. zu verschiedenen Zeit-
punkten oder mit verschiedenen Messgeräten oder von verschiedenen Beob-
achtern oder an verschiedenen Orten. Messergebnisse, die von verschiede-
nen Personen mit unterschiedlichen Geräten an unterschiedlichen Orten am
identischen Messobjekt gemessen wurden, müssen vergleichbar sein. Die
Vergleichspräzision ist die Grundlage zur Berechnung des Vertrauensbe-
reichs für den Erwartungswert.
Vertrauensbereich u
Vertrauensgrenzen
Bereich im Summenhäufigkeitsnetz in dem die Summenkurve liegt. Innerhalb
dieser Grenzen liegt mit 95%iger Sicherheit (Vertrauensniveau) der wahre
Unterschreitungsanteil für den jeweiligen Merkmalswert (z. B. Schichtdicke).
– d . 2
d--------------
d – d. 1 ̂
p unten = -------------- – 1,96 --- + ----------------------
̂ n 2n – 2
– d . 2
d--------------
d – d. 1 ̂
p oben = -------------- + 1,96 --- + ----------------------
̂ n 2n – 2
2
1 y pi
p oben i = y p i + 1,96 --- + -------------------
-
n 2n – 2
Vertrauensniveau u
Wahrscheinlichkeitsnetz Summenhäufigkeitsnetz
Wiederholbarkeit Wiederholpräzision
Glossar
Wiederholtes Messen unter immer gleichbleibenden Bedingungen an der
gleichen Messstelle führt zu zufälligen Abweichungen der Messwerte.
Gleichbleibende Bedingungen heißt, Messungen nach einem festgelegten
Verfahren am identischen Messobjekt, in kurzen Zeitabständen, mit demsel-
ben Messgerät, von demselben Beobachter am selben Ort durchzuführen.
Die Standardabweichung der Messwerte, die unter Wiederholbedingungen
aufgenommen werden, ist ein Maß für die Widerholpräzision. Große Stan-
dardabweichung oder Messunsicherheit eines Geräts bedeutet schlechte
Wiederholpräzision. Je kleiner die Standardabweichung, desto besser die
Wiederholpräzision. Die Wiederholpräzision hängt vom Messverfahren
und den Eigenschaften des Messgeräts, aber auch von den Eigenschaften
des Messobjekts ab. Die Wiederholpräzision verbessert man mit Mittelwert-
bildung von Messreihen (i-Einzelwert).
Schichtmaterial
d Grundwerkstoff
induzierte Wirbelströme
Wölbung
Maß wie spitz (Exzess) oder flach (Kurtosis) eine Verteilung im Vergleich zur
Normalverteilung ist. Eine positive Wölbung weist auf eine relativ schmale
und spitze Verteilung hin. Eine negative Wölbung weist auf eine relativ fla-
che und breite Verteilung hin. Bei der Normalverteilung ist die Wölbung
gleich Null.
XN Zählrate
Zählrate
X (Phi). Sondensignal, angezeigt als Anzahl elektrischer Impulse. Phi steht in
direktem Zusammenhang mit der Messgröße. Die Werte für Phi schwanken
zwischen den beiden Extremen Xmin und Xmax.
Die Messwertanzeige der Zählrate X dient in aller Regel dazu festzustellen,
ob für eine spezielle Messaufgabe überhaupt ein Messeffekt zu verzeichnen
ist.
Die Zahlenwerte der normierten Zählrate XN liegen zwischen 0 und 1 und
berechnen sich nach folgender Formel:
Zweipunkt-Kalibrierung Korrekturkalibrierung
X
Xn 98
Z
Zählrate 242
Zubehör 15
Zweipunkt-Kalibrierung 67
Zweipunktkalibrierung 225
μm 226