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UHV- UND HV-KAMMERN 15

Sub-D
1
UHV UND HOCHVAKUUM KAMMERN

CM + DIL
Durchf.
2
15.1 UHV UND HV KAMMERN -> Seite 15.2
Edelstahl UHV Kammern

Durchf.
Coax
Edelstahl HV Kammern

3
Zusatzoptionen fr Kammern

elemente Hochspannung
Thermo- Hochstrom
15 5
Zubehr
Kabel
4
15.2 SONDERANFERTIGUNGEN -> Seite 15.3

6
Kammer-Sonderanfertigungen fr Vakuum
Kammer-Ausrstung und Anordnung fr Vakuum

Faseroptik
Fenster
Nichtmagnetische Kammern

7
Mu-Metall Schilde
Mu-Metall Kammern

Ventile
8
Manipulation
Mech. Durchf.
9
15.3 STANDARD KAMMERN -> Seite 15.4
Kammern mit Schnellverschluss-Tr (FEL)

technik
Mess-
Komplette Schleusensysteme

10
Variationen der Standard-Ausfhrung

Komponenten
CF
11
Komponenten
12
KF
Komponenten
ISO-K
13
CF-KF-ISO

Kammer Typen
Adapter
14

Geometrie Material Anwendung


Kammern
HV / UHV

Zylinder Edelstahl, Aluminium, Mu-Metall Generell fr UH und UHV


15

Kugel Edelstahl, Aluminium, Mu-Metall Oberfl.-Forschung AFM/ STM


Bi-Metall
Atlas

Wrfel mit Tr Edelstahl, Aluminium HV, Beschichtung, Deposition


16

- 15.1 -
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15.2 UHV UND HV KAMMERN UK:
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Sub-D
1

UHV und HV Kammern


Allectra bietet kundenspezifische Kammern fr UHV und HV
CM + DIL
Durchf.

Systeme an
Edelstahl 316L oder 304
2

Standard Design
Kugel-Kammern werden
Anfertigung von techn. Zeichnungen nach Kunden-Skizze hergestellt aus gedrckten
Durchf.

oder Planung
Coax

Edelstahl-Halbschalen -
3

Die Kammern sind gereinigt fr UHV, unter Verwendung eine typische Bauform fr
von umweltfreundlichen Lsungsmitteln. die Oberflchenforschung
Hochspannung elemente
Hochstrom Thermo-

Allg. Spezifikation fr Edelstahl Kammern


4

Vakuum UHV 5 x 10-12 mbar


HV 5 x 10-9 mbar
Aufbau Edelstahl 304 (1.4301)
5

oder 316L (1.4404)


Material CF Flansche Edelstahl 316L
Zubehr

optional 316LN (1.4429)


Kabel

Orientierung CF Flansche
6

Festflansche haben keine Lcher in der vertikalen


Achse
Faseroptik

Wandstrke
Fenster

fr Durchmesser 160 2 mm
7

fr Durchmesser > 160 3.2 mm


Groe Behlter 5.0 mm
Ventile

Standard Toleranzen +/- 0.5 mm linear Allectra fertigt anhand von Kundenskizzen technische
8

Winkeltoleranzen +/-0.5 Zeichnungen an. Selbstversndlich auch 3D tauglich.


(Kleinere Toleranzen auf Anfrage mglich)
Schweien WIG-Schweien von der Innenseite
Manipulation
Mech. Durchf.

bzw. durchgeschweit, wenn kein


9

Schweien von Innenseite mglich


Oberflche UHV-rein und handpoliert
Elektropoliert auf Anfrage
technik
Mess-
10

Optionen beim Kammerbau


Vakuum HV oder UHV
Komponenten

Elektropoliert
CF
11

Kugelkammern fr Oberflchenforschung oder UHV


STM/AFM
Kasten- oder Wrfelaufbau der Kammer mit Tr,
Komponenten

komplett mit O-Ring gedichtet


12
KF

Mu-Metall Konstruktion oder Edelstahl mit Mu-Metall


Fr diese Kammer war eine besonderes hohe
Abschirmung Genauigkeit der Mae gefordert - Sonderanfertigung mit
Flansche CF, KF, ISO(K) oder nach Kundenwunsch kundenspezifischen Flanschen
Komponenten
ISO-K

Anschlsse ausgerichtet auf Kammer-Mitte oder


13

andere festgelegte Punkte, gerade oder abgewinkelte


Anordnung
Wasserkhlung entweder doppelwandig oder
CF-KF-ISO
Adapter

aufgeltete Khlleitungen
14

Montageplatte
Lieferung mit Blindflanschen, mit N2 geflutet
Kammern
HV / UHV
15

Schicken Sie uns eine Skizze mit Ihrer An-


Bi-Metall

frage zum Erstellen einer 3-D-Zeichnung.


Atlas
16

-15.2 - ...Standard CF Fittings, 4- und 6-Wege-Kreuze: Sec. 11......


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SONDERANFERTIGUNGEN 15.3

Sub-D
1
Spezialanfertigungen/ Instrumente und Bauten fr Vakuum/ Nichtmagnetische Kammern
Sonderanfertigungen fr Vakuum

CM + DIL
Durchf.
Allectra entwirft und fertigt spezielle Ausrstungen fr UHV-

2
Kammern oder kann alternativ HV- und UHV-Teile nach
Kundenzeichnung anfertigen. Bei einer entsprechenden
Anfrage kann Allectra eine detailierte Fertigungszeichnung

Durchf.
Coax
anhand Ihrer Skizze erstellen.

3
Hier einige Beispiele von Spezialanfertigungen durch
Allectra:
Differential gesteuertes Beamline-Element fr SOLEIL

elemente Hochspannung
Thermo- Hochstrom
Synchrotron

4
Miniatur Rechteck UHV-Kammer fr eine industrielle
Anwendung
Durch einen Schrittmotor gesteuerten
Schliemechanismus fr eine Synchrotron Anwendung

5
Kammer incl. vollstndiges Pumpsystem und Flutsteuer-
Einheit

Zubehr
Kabel
6
Nicht-magnetische Kammern

Faseroptik
Fenster
Allectra bietet eine Anzahl von Mglichkeiten zur Erstellung

7
eines mglichst wenig magnetischen Umfeldes an. Kleine Kammer fr
Edelstahl-Kammern 316L mit 316LN Flanschen den industriellen
Aluminium-Kammern mit Bimetall-Flanschen Gebrauch mit

Ventile
integrierter Sub-D
(siehe Seite 156)

8
Durchfhrung.
Edelstahl-Kammern mit Mu-Metall Schirmung
Mu-Metall-Kammern

Manipulation
Mech. Durchf.
9
Mu-Metall Schirmung
Die von Allectra angebotenen Edelstahl-Kammern in

technik
Zylinderform knnen auch mit einer Mu-Metall-Schirmung

Mess-
10
auf der Innenseite geliefert werden, ebenso besteht die
Mglichkeit der Anfertigung von Mu-Metall Kammern mit
einem Restmagnetfeld von kleiner als 5 Milli-Gauss im

Komponenten
Inneren.
Diese Variante kann nur umgesetzt weden, wenn die

CF
11
Anschlussflansche bestimmte Mae nicht berschreiten.
Allectra kann diese Mglichkeiten auf Anfrage prfen.

Um das Magnetfeld so gering wie mglich zu halten, wird Komponenten


12
KF

die Verwendung von Edelstahl mit einer geringen


Permeabilitt (316LN) fr die Flansche empfohlen.
Komponenten
ISO-K
13

Mu-Metall Kammern
UHV-Kammern knnen, mit Ausnahme der Flansche, aus
Mu-Metall hergestellt werden. Bei diesen Kammern wird ein
CF-KF-ISO
Adapter

sehr geringes Restmagnetfeld im Inneren erzielt.


14

Die Herstellungstechnik dieser Mu-Metall-Kammern ist sehr


aufwndig, daher werden in der Regel Edelstahl-Kammern
mit Abschirmungen verwendet.
Kammern
HV / UHV

Mu-Metall-Kammern werden als Analyse-Kammern in der


15

Oberflchenforschung verwendet. Groe Mu-Metall Kammer


Diese sind aus 5 mm starkem Mu-Metall gebaut, um eine
ausreichende Festigkeit zu erhalten. Sorgfltige Planung ist
Bi-Metall

notwendig, weil Mu-Metall deutlich weicher als Edelstahl ist.


Atlas

Siehe Section 16 fr Beispiele


16

Aluminium-Kammern.

...Blind-Flansche 316L: Sec. 11.......Blind-Flansche 316LN: Sec. 11....... - 15.3 -


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15.4 FEL KAMMERN UK:
F:
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Sub-D
1

Fast Entry Lock (FEL) Kammern


Modifizierte Standardkomponenten
CM + DIL
Durchf.

Allectra bietet fr Proben-Transferkammern und Schleusen


2

ein Standard-Design mit integrierter Schnellverschluss-Tr an.


Versionen mit vergrerter Tr bieten leichten Zugang zum
Wechseln der Proben; ein Sichtfenster in der Tr erlaubt freie
Durchf.
Coax

Sicht auf die Probentrger.


3

Modifizierte Standard-Komponenten wie 4-Wege Kreuze


sind eine preiswerte Alternative fr einfache Kammern,
zustzliche Ports knnen leicht angebracht werden.
Hochspannung elemente
Hochstrom Thermo-

Spezifikation FEL Kammern


4

Vakuum UHV 5 x 10-12 mbar FEL Kammer


Material Edelstahl mit Schnellverschluss-Tr einschl.
Dichtung Tr Viton Sichtfenster
5

Trangeln Aluminium
Sichtfenster 7056 Glas
Dichtg. Fenster Kovar - geschweite Dichtung
Zubehr
Kabel

Temp. 200C max.


6

FEL Kammern werden einschl. der Schnellverschluss-Tr FEL Kammern


geliefert. Edelstahl mit Viton-Dichtung Tr & Sichtfenster
Faseroptik
Fenster

Schnellverschlusstr (QAD) EURO


7

TR (2)* VENTIL (4)* ART. NUMMER


Flansch Tr Fenster 63CF 63CF 640-LLC-63-63-VP 2.200,00
CF63 60 mm 63 mm 100CF 63CF 640-LLC-100-63-VP 2.300,00
CF100 95 mm 90 mm
Ventile

100CF 100CF 640-LLC-100-100-VP 2.550,00


8

CF160 150 mm 135 mm 100CF 160CF 640-LLC-100-160-VP 2.850,00


160CF 160CF 640-LLC-160-160-VP 2.950,00
(Siehe Spezifikation auf Section 9 fr QADs.)
* Port Nummern - siehe nebenstehende Tabelle
Manipulation
Mech. Durchf.
9

FEL Kammer-Konstruktion
FEL Kammern sind entworfen worden fr einen schnellen
und komfortablen Zugang und den grtmglichen
technik
Mess-

Sichtdurchmesser der Tren.


10

Diese Kammern bestehen meist aus 316L Edelstahl-Kugeln


mit Ports fr
Port 1 Pumpe
Komponenten

Port 2 Vorgesehen fr die Tr


CF
11

Port 3 Magnetischer Transporter


Port 4 Ventilschieber
Port 5 40CF fr Meapparate oder Sichtfenster
Komponenten

Port 6 16CF fr Gaseinlass


12
KF

Port 7 16CF fr Meapparate oder freibleibend

Komplette Schleusensysteme Komplette Bewegungssysteme incl. Ventilschieber (GV)


Komponenten

FEL-Kammer und Tr mit Sichtfenster Edelstahl mit Viton gedicht. Tr, Sichtfenster & 600 mm Weg
ISO-K
13

UHV-Ventilschieber mit Viton-Dichtung


TR (2)* Ventil (4)* ART. NUMMER EURO
Standard Magn. Transporter mit einem Weg von 600 mm
63CF 63CF 640-LLS-63-63-VP-600 POR
Blindflansche fr die ungenutzten Ports
POR
CF-KF-ISO

100CF 63CF 640-LLS-100-63-VP-600


Adapter

POR
14

100CF 100CF 640-LLS-100-100-VP-600


Modifizierte Standard Fittings 160CF 100CF 640-LLS-160-100-VP-600 POR
Allectra kann den preiswerten Bau von kundenspezi- 160CF 160CF 640-LLS-160-160-VP-600 POR
fischen Vakuum Kammern anbieten, welche auf Standard
Kammern
HV / UHV

* Port Nummern - siehe nebenstehende Tabelle


CF oder ISO Fittings (Section 13) basieren. Ports knnen
15

hinzugefgt, weggelassen oder in anderen Gren Bewegungssysteme knnen auch ohne


angebaut werden. Senden Sie uns Ihre Skizze zu, wir Sichtfenster oder Ventilschieber geliefert
erstellen Ihnen gerne ein entsprechendes Angebot.
Bi-Metall

werden. Auf Anfrage werden auch kunden-


Atlas

eigene Bauteile verwendet, um die Kosten


16

so gering wie mglich zu halten.

-15.4 - ...Schnellverschlusstren (QADs): Sec. 9....Magnetische Transporter: Sec. 9...