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VENTILE
Sub-D
1
UHV und Hochvakuum Ventile
CM + DIL
Durchf.
8 2
Durchf.
Coax
3
8.1 UHV UND HOCHVAKUUM SCHIEBER -> Seite 8.2
elemente Hochspannung
Thermo- Hochstrom
UHV und Hochvakuum Schieber - Manueller Antrieb
4
UHV und Hochvakuum Schieber - Pneumatisch mit Lagemelder
UHV und Hochvakuum Schieber - Dichtungs-Stze
Hochvakuum Rechteckschieber - Pneumatisch mit Lagemelder
5
Zubehr
Kabel
6
8.2 UHV UND HOCHVAKUUM RECHTECK-VENTILE -> Seite 8.4
SMC Rechteckventile - Aluminium - Manueller Antrieb
Faseroptik
Fenster
SMC Rechteckventile - Aluminium - Pneumatischer Antrieb
7
UHV Rechteck-Ventile - Edelstahl - Manueller Antrieb
UHV Rechteck-Ventile - Edelstahl - Pneumatisch
Ventile
8
Manipulation
Mech. Durchf.
9
8.3 GANZMETALL-VENTILE -> Seite 8.5
technik
Mess-
10
UHV Ganzmetallventile - Rechteckventile Manuell
UHV Miniatur Leckventil
UHV Przisions Leckventil
Komponenten
CF
11
Komponenten
12
KF
Komponenten
ISO-K
13
CF-KF-ISO
Adapter
14
Kammern
HV / UHV
15
Bi-Metall
Atlas
16
- 8.1 -
8.2
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UHV UND HV SCHIEBER UK:
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Sub-D
1
- Viton Plattendichtung
3
- Metall Gehusedichtung
- Lagemelder ist Standard bei pneum. Version
- Ersatzteile erhltlich
Hochspannung elemente
Hochstrom Thermo-
MANUELL
Gren DN16CF - DN350CF
DN16KF - DN600ISO FLANSCH DICKE mm ART. NUMMER EURO
Material Edelstahl 16CF 39,6 515-GV-C16 983,00
5
Plattendichtung Viton
6
- 515-GV-C100, manuell
- 511-GV-C160-P, peneumatisch
- 511-GV-C200, manuell
Bi-Metall
Atlas
16
- 8.2 - ...CF Dichtungen und Schrauben: Sec. 11.......KF Klammern: Sec. 12.......
8.3
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UHV UND HV SCHIEBER
Sub-D
1
UHV und Hochvakuum Schieber-Ventile
Dichtungsstze
CM + DIL
Durchf.
Rechteck Schieber-Ventile pneumatisch
2
Allectra Schieberventile sind leicht zu warten. Der gesamte
Mechanismus kann ausgebaut werden, ohne dass das
Ventil aus dem System entfernt werden muss.
Durchf.
Coax
Die Konstruktion und alle Schraubverbindungen sind
3
metrisch.
Ersatzteile stehen zur Verfgung.
elemente Hochspannung
Thermo- Hochstrom
Spezifikation fr UHV/ HV Schieber-Ventile UHV CF Schieber-Ventile
4
Dichtungsstze DICHTUNGSSETS (1 Viton, 1 Metall)
Dichtungen Das Set enthlt jeweils zwei Dich-
FLANSCH DICHTUNGEN ART. NUMMER EURO
tungen (UHV: 1x Viton, 1x Metall)
16CF 2 515-GVG-C16 21,00
Ersatzteile Fr alle Ventile sind Ersatzteile wie
5
40CF 2 515-GVG-C40 38,00
Lager, Federn, Membranblge und
Pneumatik-Zylinder erhltlich. 63ICF 2 515-GVG-C63 42,00
Zubehr
100CF 2 515-GVG-C100 66,00
Kabel
160CF 2 515-GVG-C160 80,00
6
200CF 2 515-GVG-C200 94,00
250CF 2 515-GVG-C250 POR
Faseroptik
Fenster
7
HV KF/ISO Shieber-Ventile
DICHTUNGSSETS (2xViton)
Ventile
8
Dichtungsset mit 16KF 2 515-GVG-K16 18,00
Viton O-Ring und 40KF 2 515-GVG-K40 28,00
Metalldichtung 50KF 2 515-GVG-K50 34,00
Manipulation
Mech. Durchf.
63ISO 2 515-GVG-ISO63 36,00
9
100ISO 2 515-GVG-ISO100 48,00
160ISO 2 515-GVG-ISO160 66,00
200ISO 2 515-GVG-ISO200 72,00
technik
Mess-
250ISO 2 515-GVG-ISO250 POR
10
Komponenten
Spezifikation Rechteck-Schieber Hochvakuum Rechteck-Schieberventile
CF
11
PNEUMATISCH MIT LAGEMELDER
Vakuum Hochvakuum, bis 10-9 mbar
Ausheiztemp. 150C offen und geschlossen FFNUNG DICKE ART, NUMMER EURO
(Sensor 60C max)
Komponenten
32 X 220 60 515-RAGV-32x220 POR
Pneumatik Aluminium-Zylinder
12
KF
33 X 332 60 515-RAGV-33x332 POR
Luftdruck 4.8 6.9 bar
46 X 223 60 515-RAGV-46x223 POR
Einstellbare Schliezeit
50 X 336 60 515-RAGV-50x336 POR
Steuerventil 24V DC Standard
Komponenten
ISO-K
16KF 40 mm
6
25KF 50 mm
Hochvakuum-Reckeck-Veintile
40KF 65 mm
Aluminium - PNEUMATISCH
50KF 70 mm
Faseroptik
Fenster
geschlossen.
technik
Mess-
Dichtung Viton
16CF VITON 511-AV-C16-V 378,00
CF
11
16CF 40mm
12
KF
lieferbar.
15
Bi-Metall
Atlas
16
- 8.4 - ...CF Dichtungen und Schrauben: Sec. 11......KF Klammern: Sec. 12......
8.5
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GANZMETALL-VENTILE
Sub-D
1
Ganzmetall -Ventile - Manuelle
Rechteckventile
CM + DIL
Ohne Elastomer O-Ring sind diese Ganzmetall
Durchf.
Rechteckventile fr UHV Anwendungen bestens geeignet.
2
Kupfer Dichtung gegen Edelstahl-Schneide
Flansche mit Durchgangslcher, beide drehbar
Durchf.
Ausheizbar bis 450oC
Coax
3
Leicht auswechselbare Kupfer Dichtscheibe
elemente Hochspannung
Thermo- Hochstrom
Spezifikatiohn Ganzmetallventile UHV Ganzmetall Ventile
4
Rechteckventile - manuell
Vakuum UHV (10-12 mbar gegen Atm.)
Leckrate < 10-11 mbar l/s FLANSCH ROHR ART. NUMMER EURO
Material Edelstahl und Kupfer - 19.1 512-AMV16 485,00
5
Max. Temp. 450C offen 16CF 19.1 512-AMV16-C16 575,00
300C geschlossen - 41.3 512-AMV40 598,00
Einbau Eckma (Schnittpunkt der Achsen)
Zubehr
40CF 41.3 512-AMV40-C40 690,00
Kabel
16CF 38 mm
6
40CF 63 mm
Cu-Dichtung auswechselbar durch seitl. Flansch
Faseroptik
Leitwert 16CF 5 l/s
Fenster
40CF 34 l/s
7
UHV Ganzmetallventile
Ventile
Ersatz Kupferdichtplatten
8
FLANSCH DICHTUNG ART. NUMMER EURO
16CF Cu 512-AMV16-PAD POR
Manipulation
Mech. Durchf.
40CF Cu 512-AMV40-PAD POR
9
Schlie-Drehmoment
Alle Ganzmetallventile werden mit einer verstellbaren
technik
Mess-
Markierung geliefert, zum Schlieen wird die Schraube
10
soweit gedreht, bis die beiden Markierungen berein-
stimmen. Alternativ kann auch ein Drehmoment-
Komponenten
Schlssel verwendet werden. Erforderliches
Drehmoment:
CF
11
512-AMV16 2.4 bis 3.7 Nm
512-AMV40 7.7 bis 12.1 Nm
Komponenten
12
KF
512-AMV40-C40
Komponenten
ISO-K
werden
16CF oder 40CF Flansche
Ersatzteile sind lieferbar
Hochspannung elemente
Hochstrom Thermo-
Vakuum UHV
9
Max. Temp. offen 450C Das Przisions-Leckventil mit 16CF Gasauslass ist nur mit
Max. Temp. geschlossen 250C UNC Gewinden lieferbar. Ein entsprechendes
Material Edelstahl, Saphir-Dichtung Schraubenset wird mitgeliefert.
Komponenten
Gaseinlass 16CF
CF
11
vollstndigen Datenblatt
zu diesen Ventilen.
Kammern
HV / UHV
15
Bi-Metall
Atlas
16
- 8.6 - ...CF Ganzmetallventile :Seite 8.5...CF Dichtungen und Schrauben: Sec. 11...
9
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BEWEGUNG & MANIPULATION
Sub-D
1
Linear-Durchfhrungen, Drehdurchfhrungen und Manipulatoren
CM + DIL
Durchf.
2
9.1 LINEAR-DURCHFHRUNGEN: MANUELL/
9
MOTORISIERT/ PNEUMATISCH -> Seite 9.2
Durchf.
Coax
3
UHV balggedichtete COMPACT Versionen - Manueller Drehantrieb
UHV balggedichtete COMPACT Versionen - Schrittmotorantrieb
UHV balggedichtete Linear-Durchfhrungen - Push-Pull Antrieb
elemente Hochspannung
Thermo- Hochstrom
UHV balggedichtete Linear-Durchfhrungen - Pneumatischer Antrieb
Umbaustze Manuell <-> Pneumatik <-> Push-Pull
4
9.2 DREHDURCHFHRUNGEN -> Seite 9.4
Drehdurchfhrungen - UHV balggedichtete Typen
5
Drehdurchfhrungen - UHV, mit verlngertem Schaft
Drehdurchfhrungen - Magnetisch gekoppelt
Zubehr
Kabel
6
9.3 Z-MANIPULATOREN -> Seite 9.5
Z-Manipulatoren - UHV balggedichtet (Linear-Translatoren)
Faseroptik
Fenster
Z-Manipulatoren - Miniatur-Versionen
differentiell gepumpte Dreh-Schiebe-Durchfhrungen
7
Ventile
9.4 UHV-MANIPULATOREN UND ZUBEHR -> Seite 9.6
8
Kompakt UHV X-Y-Z Manipulatoren
Przisions UHV X-Y-Z Manipulatoren
Manipulation
Mech. Durchf.
UHV Z-Manipulatoren mit groem Verfahrweg
9
X-Y Tische
Przisions-Drehdurchfhrungen Standard
Przisions-Drehdurchfhrungen mit Zweitrotation
technik
Mess-
10
9.5 TRANSFERSTANGEN & SCHNELLVERSCHUSSTR -> Seite 9.8
Komponenten
UHV Magnet-Transporter
CF
11
Hochvakuum Magnet-Transporter
Option Linearfhrung
Komponenten
Schnellverschluss-Tr ohne Fenster
Schnellverschluss-Tr mit Fenster
12
KF
- 9.1 -
9.2
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UK: uk@allectra.com
LINEAR-DURCHFHRUNGEN F: fr@allectra.com
Sub-D
1
6 mm Achse
Vakuum UHV
Temp. 220C max (Schrittmotor FLANSCH HUB ART. NUMMER EURO
abgebaut) 16CF 25 mm 612-CLD25-C16 595,00
5
Achse 6 mm
6
6 mm Achse
7
Manueller Knopf inclusive Auch auf KF und auf anderen Flanschgren lieferbar
Endlagenschalter optional
MOTORISIERTE Version, Schrittmotor
Komponenten
6 mm Achse
12
KF
Endlagenschalter. Flanschen.
Mit einem Sub-D
Wir knnen Sonderachsen zu gnstigen
Stecker werden
Preisen anbieten, Bitte fragen Sie an!
sowohl der Motor wie
Bi-Metall
Atlas
Schalter angeschlos-
sen
Sub-D
1
Linear-Durchfhrungen, Push-Pull und
Pneumatisch
CM + DIL
Diese Lineardurchfhrungen werden verwendet, wenn eine
Durchf.
schnelle Bewegung ber die volle Bewegungslnge
2
erforderlich ist.
Bei diesen Durchfhrungen ist der Antrieb auswechselbar,
auch ein Drehantrieb ist mglich.
Durchf.
Coax
Manuelle Version, Push-Pull
3
Pneumatische Version
Ganzmetall gedichtete Balgversionen
elemente Hochspannung
Thermo- Hochstrom
Spezifikation Push-Pull Linear-Durchfhrung 16CF UHV Lineardurchfhrungen
4
Manueller PUSH-PULL Antrieb
Vakuum UHV
Temperatur 220C max FLANSCH HUB ART. NUMMER EURO
Material Edelstahl 16CF 25 mm 612-LD25-PP-C16 595,00
5
Dichtung geschweit
16CF 50 mm 612-LD50-PP-C16 695,00
Balg Membranbalg
16CF 100 mm 612-LD100-PP-C16 899,00
Achse 6 mm
Zubehr
Lebensdauer >10.000 Auch auf 40CF und anderen Flanschen erhltlich
Kabel
Antrieb Push-Pull ( optional Drehantrieb,
6
Pneumatischer Antieb)
Faseroptik
Fenster
7
16KF Lineardurchfhrungen
Manueller PUSH-PULL Antrieb
Ventile
FLANSCH HUB ART. NUMMER EURO
8
16KF 25 mm 612-LD25-PP-K16 595,00
16KF 50 mm 612-LD50-PP-K16 695,00
Manipulation
Mech. Durchf.
16KF 100 mm 612-LD100-PP-K16 899,00
9
Auch auf 25KF, 40KF und anderen Flanschen erhltlich
technik
Mess-
10
612-LD100-PP-C16, Push-Pull Antrieb mit 100 mm Weg
Komponenten
PNEUMATISCHER ANTRIEB
CF
11
Luftdruck 5-7 bar
Steuerventile 24 V DC, 24 V AC und FLANSCH HUB ART. NUMMER EURO
240 V AC zur Auswahl 16CF 25 mm 612-LD25-PM-C16 595,00
16CF 50 mm 612-LD50-PM-C16 698,00 Komponenten
12
KF
UHV Lineardurchfhrungen
Optionen
14
Lagemelder 614-LD-PI
HV / UHV
Drehdurchfhrungen
Allectra bietet sowohl Balg gedichtete als auch magnetisch
CM + DIL
Achs-Lnge 38 mm
Kabel
6
Vakuum UHV
Temp. bis 150C / FLANSCH DREHMOMENT ART. NUMMER EURO
250C mit abgen. Magneten
Komponenten
fhrung auch fr
- DC Motor anspruchsvolle
- Schrittmotor Anwendungen
Bi-Metall
Sub-D
1
Z-Manipulatoren (Linear Translatoren)
Z-Manipulatoren Miniatur-Versionen
CM + DIL
Durchf.
Differentiell gepumpte Dreh-Schiebe DF
2
Allectra bietet eine Reihe unterschiedlicher Komponenten
fr Bewegung im Vakuum an.
Durchf.
Balg gedichtete Z-Manipulatoren mit Verfahrweg bis
Coax
3
200 mm
Mini Z-Manipulatoren mit 50 mm Weg
Preiswerte differentiell gepumpte Push-Pull Durchfhrungen
elemente Hochspannung
Thermo- Hochstrom
Spezifikation Z-Manipulatoren Z-Manipulatoren
4
UHV, Balg gedichtet
Vakuum UHV
Temp. 220C max FLANSCH WEG ART. NUMMER EURO
Material Edelstahl 40CF 25 mm 621-LT-C40-25 1.460,00
5
Balg Membranbalg 40CF 50 mm 621-LT-C40-50 1.726,00
Flansche 16CF: 2x Gewindeflansche 40CF 100 mm 621-LT-C40-100 1.943,00
Zubehr
40CF: Oben Gewindeflansch 40CF 150 mm 621-LT-C40-150 2.438,00
Kabel
63CF: Durchgangslcher 40CF 200 mm 621-LT-C40-200
6
3285,00
Freier Durchgang 16CF: 16mm 63CF 50 mm 621-LT-C63-50 POR
40CF: 36mm (38mm auf Anfrage) 63CF 100 mm 621-LT-C63-100 POR
Faseroptik
63CF: 63mm
Fenster
7
Z-Manipulatoren
Ventile
UHV, Miniatur-Typen
8
FLANSCH WEG ART. NUMMER EURO
16CF 25 mm 621-LTM-C16-25 557,00
Manipulation
Mech. Durchf.
16CF 50 mm 621-LTM-C16-50 724,00
9
technik
Mess-
10
621-LTM-C16-25
Komponenten
CF
11
613-RLHD700-K40
700mm Weg
Version ohne Pumpanschluss
Komponenten
12
KF
W
Differentiell gepumpt, doppelt O-Ring gedichtet NE
ISO-K
13
O-Ring gedichtete
Dreh-Schiebe- FLANSCH WEG ART. NUMMER EURO
Durchfhrung, 40CF 200 mm 613-RLD200-DP-C40 389,00
CF-KF-ISO
Adapter
Freier Durchgang 36 mm
Vakuum UHV
Material Edelstahl, Eloxiertes Aluminium FLANSCH Z-HUB ART. NUMMER EURO
Temperatur 200C max. 40CF 50 mm 621-CMX-50-C40 4.565,00
5
Weg Gesamthhe
Fenster
50 mm 209 mm
7
100 mm 276 mm
150 mm 366 mm
200 mm 450 mm
Ventile
8
Freier Durchgang
12
KF
Standard 36mm
"Wide Bellows" Option 45mm
Komponenten
ISO-K
13
CF-KF-ISO
Adapter
14
uns.
15
Sub-D
1
UHV Z-Manipulatoren mit groem Hub
Diese Manipulatoren bieten einen Verfahrweg von 150 mm
bis 500 mm.
CM + DIL
Durchf.
40CF Flansche mit Durchgangslchern auf beiden Seiten
2
Bohrung 36 mm
0.1mm Z-Auflsung
Motorisierung als Option
Durchf.
Coax
3
Spezifikation Z-Manipulatoren mit groem Hub UHV Z-Manipulatoren
mit groem Hub
elemente Hochspannung
Thermo- Hochstrom
Vakuum UHV
4
Temp. 220C max FLANSCHE WEG ART. NUMMER EURO
Material Edelstahl, Eloxiertes Aluminium 40CF 150 mm 621-ZLT-C40-150 POR
Flansche 40CF mit Durchgangslchern 40CF 200 mm 621-ZLT-C40-200 POR
oben und unten 40CF 250 mm 621-ZLT-C40-250 POR
5
Balg Membranbalg mit 36mm 40CF 300 mm 621-ZLT-C40-300 POR
Z-Auflsung 0.1mm 40CF 400 mm 621-ZLT-C40-400 POR
Fhrung Doppelachsen 40CF 500 mm 621-ZLT-C40-500 POR
Zubehr
Kabel
6
Kompakt X-Y Tisch
Faseroptik
+/-10mm X-Y Weg
Fenster
40CF, 63CF oder 100CF Gewindeflansche
7
Ideal in Kombination mit Z-Manipulatoren mit groem Hub
Ventile
Spezifikation Kompakt X-Y Tische
8
Vakuum UHV
Material Edelstahl, Eloxiertes Aluminium
Manipulation
Mech. Durchf.
Temperatur 200C max. Kompakt X-Y Tische
9
Balg Membranbalg mit CF Gewindeflanschen
Antrieb +/- 10mm X-Y mit Mikrometer
Flansche CF mit Gewinde auf beiden Seiten FLANSCHE BOHRUNG ART. NUMMER EURO
technik
Bohrung 40CF 36mm 40CF 36 mm 622-XY-12-C40 2990,00
Mess-
10
63CF 50mm 63CF 50 mm 622-XY-12-C63 POR
100CF 90mm 100CF 90 mm 622-XY-12-C100 POR
Komponenten
Przisions-Drehdurchfhrungen
CF
11
Przisions-Drehdurchfhrungen mit verlngertem Schaft
werden nach Auftrag und entsprechend den Erfordernissen
gefertigt. Sie sind auch mit Zweitrotation erhltlich, mit Komponenten
12
KF
welcher sich eine Verkippung der Probe mit entsprechenden Przisions-Drehdurchfhrung, Lnge auf Bestellung
Probenhaltern realisieren lsst. UHV Balg gedichtet, Standard
EURO
Komponenten
POR
13
611-PRD-C40-XX
Temperatur
6
Standard 330-MCOTE-296
Ventile
8
Manipulation
Mech. Durchf.
Option Fhrungsstange
Passend zu HV und UHV Versionen
CF-KF-ISO
Adapter
Probenheizer
16
entsprechend
Kundenvorgabe
- 9.8 - ...Schleusensysteme: Sec. 15.......Ventil Schieber: Sec. 8......
9.9
DE: Info@allectra.com
UK: uk@allectra.com
F: fr@allectra.com SCHNELLVERSCHLUSS-TR
Sub-D
1
Schnellverschluss-Tren und Schleusen
Mit Schnellverschluss-Tren wird das Einbringen von Proben
CM + DIL
in die Kammer wesentlich erleichtert. Die Allectra Tren
Durchf.
geben max. mglichen Innendurchmesser, die groen
2
Fenster erlauben einen leichten Einblick in die Kammer.
Durchf.
Coax
abgefragt werden; damit kann z. B. das ffnen von Ventilen
3
bei geffneter Tr verhindert werden.
elemente Hochspannung
Thermo- Hochstrom
Allg. Spezifikation 640-QAD Schnellverschluss-Tr OHNE Sichtfenster
4
Viton Tr Dichtung, incl. Schraubenset
Vakuum UHV
Material Edelstahl, Alu Scharnier FLANSCH ID (mm) ART. NUMMER EURO
Fenster 7056 Glas 63CF 60 640-QAD63 625,00
5
Fenster-Dichtung Metall, geschweit 100CF 95 640-QAD100 885,00
Tr-Dichtung Viton O-Ring 160CF 150 640-QAD160 1.175,00
Temp. 200C max
Zubehr
Kabel
6
Schnellverschluss-Tr MIT Sichtfenster
Faseroptik
Fenster
Viton Tr Dichtung, incl. Schraubenset
7
FLANSCH SICHT- ART. NUMMER EURO
63CF 60 mm 640-QAD63-VP 785,00
100CF 90 mm 640-QAD100-VP 1.050,00
Ventile
8
160CF 135 mm 640-QAD160-VP 1.350,00
Manipulation
Mech. Durchf.
Gewinde zum Anbringen eines Microschalters.
Ein ausheizbarer Microschalter ist als Option
9
erhltlich.
technik
Mess-
10
Komponenten
640-QAD160-VP
CF
11
Weitere Infos zu den Schleusenkammern
finden Sie auf der Seite 154 in der Sektion 15
Komponenten
12
KF
Komponenten
Schleusenkammern
ISO-K
2.950,00
HV / UHV
640-LLC-100-63-VP
16
Feineinstellung. 616-PA-C40
Hochspannung elemente
Hochstrom Thermo-
Ohne Feststell-Mechanismus
Vakuum UHV
Material Edelstahl 316L FLANSCH HUB / WINKEL ART. NUMMER EURO
fr Balg und Flansch 40CF 50 mm +/- 22 630-SWS50-C40 365,00
5
630-SWS100-C40
6
Faseroptik
Vakuum UHV
Temp. 616-PA: 200C, 616-PPA: 150C
Material Edelstahl 316L Wellbalg
Ventile
616-PA-C63
13
616-PPA-C40
CF-KF-ISO
Adapter
Sub-D
1
In-Vakuum Schrittmotoren
Allectra bietet eine Auswahl an Schrittmotoren fr Vakuum-
CM + DIL
anwendungen an, von Feinvakuum bis zu UHV und Cryo-
Durchf.
Motoren. Sie sind eine Alternative zu Durchfhrungen. Diese
2
2-Phasen Schrittmotoren mit 200 Schritten (opt. 500 Schritte)
pro Umdrehung knnen mit einer Vielzahl an Treibern
betrieben werden; sie sind fr Halbschritt bis Microschritt
Durchf.
Coax
Betrieb geeignet. Die angegebenen Werte basieren auf der
3
gebruchlichen Bipolar-Ansteuerung.
elemente Hochspannung
Thermo- Hochstrom
Spezifikation Vakuum Schrittmotoren In-Vakuum Schrittmotoren, 200 Schritte/ Umdrehung
4
FEIN-VAKUUM Motor
Elektrisch 2 Phasen, 4 Leiter Motor
GRSSE HALTE MOMENT ART. NUMMER EURO
Material Edelstahlgehuse, Kapton Isolation
19 3.4 mNm 671-SM19-CL-200-1.2 POR
5
Phasenstrom 1.2 A (Standard)
32 45 mNm 671-SM32-CL-200-1.2 POR
Gren 19 mm bis zu 52 mm
52 405 mNm 671-SM52-CL-200-1.2 POR
Haltemoment siehe Produkt-Tabelle
Zubehr
zweite Achse Standard (auch ohne lieferbar)
Kabel
6
Schrittzahl 200/U Standard
500/U als Option fr einige Gren
In-Vakuum Schrittmotoren, 200 Schritte / Umdrehung
Faseroptik
Fenster
HOCH-VAKUUM Motor
7
GRSSE HALTE MOMENT ART. NUMMER EURO
19 3.4 mNm 671-SM19-HV-200-1.2 POR
Ventile
32 45 mNm 671-SM32-HV-200-1.2 POR
8
52 405 mNm 671-SM52-HV-200-1.2 POR
Manipulation
Mech. Durchf.
9
Vakuum Spezifikation In-Vakuum Schrittmotoren, 200 Schritte / Umdrehung
UHV mit Spezialfett
technik
Basis Vakuum
Mess-
10
Motor Typ GRSSE HALTE MOMENT ART. NUMMER EURO
Fein-Vakuum 10-3 mbar, max. 150C 19 3.4 mNm 671-SM19-UHVG-200-1.2 POR
Hoch-Vakuum 10-7 mbar, max. 200C 32 45 mNm 671-SM32-UHVG-200-1.2 POR
Komponenten
UHV (mit Fett) 10-10 mbar, max. 280C 52 405 mNm 671-SM52-UHVG-200-1.2 POR
CF
11
UHV (Trocken) 10-11 mbar, max. 280C
Thermoelement K Typ, eingebaut bei UHV Motoren
Strahlenbest. bis 10 6 J/kg bei UHV Typen
Komponenten
12
KF
In-Vakuum Schrittmotoren, 200 Schritte / Umdrehung
UHV mit Trockenschmierung
Komponenten
Optionen fr Motoren:
500 Schritte/U (nicht fr alle Gren erhltlich)
Kammern
(Grenabhngig)
15
Eine Achse
Basis Vakuum
HV 10-7 mbar VAKUUM WEG ART. NUMMER EURO
UHV(G)10-10 mbar HV 50 mm 673-SLIDE50-HV POR
5
Mae 75 x 27 x 40 mm max.
6
In-Vakuum Schlitten
Manipulation
Mech. Durchf.
X-Y Typ
9