Din en Iso 25178-700 e 2020-11

DEUTSCHE NORM Entwurf November 2020
DIN EN ISO 25178-700

D
ICS 17.040.20; 17.040.40 Einsprüche bis 2020-12-23
Entwurf
Geometrische Produktspezifikation (GPS) –

Oberflächenbeschaffenheit –
Teil 700: Kalibrierung, Justierung und Verifizierung von flächenhaften
Topographiemessgeräten (ISO/DIS 25178-700:2020);
Deutsche und Englische Fassung prEN ISO 25178-700:2020
Geometrical product specifications (GPS) –
Surface texture: Areal –
Part 700: Calibration, adjustment and verification of areal topography measuring instruments
(ISO/DIS 25178-700:2020);
German and English version prEN ISO 25178-700:2020
Spécification géométrique des produits (GPS) –
État de surface: Surfacique –
Partie 700: Étalonnage, réglage et vérification d’instruments de mesure de topographie de
surface (ISO/DIS 25178-700:2020);
Version allemande et anglaise prEN ISO 25178-700:2020
Anwendungswarnvermerk
Dieser Norm-Entwurf mit Erscheinungsdatum 2020-10-23 wird der Öffentlichkeit zur Prüfung und
Stellungnahme vorgelegt.
Weil die beabsichtigte Norm von der vorliegenden Fassung abweichen kann, ist die Anwendung dieses Entwurfs
besonders zu vereinbaren.
Stellungnahmen werden erbeten
– vorzugsweise online im Norm-Entwurfs-Portal von DIN unter www.din.de/go/entwuerfe bzw. für Norm-
Entwürfe der DKE auch im Norm-Entwurfs-Portal der DKE unter www.entwuerfe.normenbibliothek.de,
sofern dort wiedergegeben;
– oder als Datei per E-Mail an natg@din.de möglichst in Form einer Tabelle. Die Vorlage dieser Tabelle kann im
Internet unter www.din.de/go/stellungnahmen-norm-entwuerfe oder für Stellungnahmen zu Norm-
Entwürfen der DKE unter www.dke.de/stellungnahme abgerufen werden;
– oder in Papierform an den DIN-Normenausschuss Technische Grundlagen (NATG), 10772 Berlin oder
Saatwinkler Damm 42/43, 13627 Berlin.
Die Empfänger dieses Norm-Entwurfs werden gebeten, mit ihren Kommentaren jegliche relevanten
Patentrechte, die sie kennen, mitzuteilen und unterstützende Dokumentationen zur Verfügung zu stellen.
Gesamtumfang 84 Seiten
DIN-Normenausschuss Technische Grundlagen (NATG)
– Entwurf –
E DIN EN ISO 25178-700:2020-11
Nationales Vorwort
Dieses Dokument (prEN ISO 25178-700:2020) wurde vom Technischen Komitee ISO/TC 213 „Dimensional
and geometrical product specifications and verification“ in Zusammenarbeit mit dem Technischen Komitee
CEN/TC 290 „Geometrische Produktspezifikationen und -prüfung“ erarbeitet, dessen Sekretariat von AFNOR
(Frankreich) gehalten wird.
Das zuständige deutsche Normungsgremium ist der Arbeitsausschuss NA 152-03-03 AA „Oberflächen" im

DIN-Normenausschuss Technische Grundlagen (NATG).
Um Zweifelsfälle in der Übersetzung auszuschließen, ist die englische Originalfassung beigefügt. Die
Nutzungsbedingungen für den deutschen Text des Norm-Entwurfes gelten gleichermaßen auch für den
englischen Text.
Für die in diesem Dokument zitierten Dokumente wird im Folgenden auf die entsprechenden deutschen
Dokumente hingewiesen:
ISO 3274:1996 siehe DIN EN ISO 3274:1998-04
ISO 5436-1 siehe DIN EN ISO 5436-1
ISO 8015 siehe DIN EN ISO 8015
ISO 14638 siehe DIN EN ISO 14638
ISO/IEC 17025 siehe DIN EN ISO/IEC 17025
ISO 17450-1:2011 siehe DIN EN ISO 17450-1:2012-04
Aktuelle Informationen zu diesem Dokument können über die Internetseiten von DIN (www.din.de) durch
eine Suche nach der Dokumentennummer aufgerufen werden.
2
– Entwurf –
E DIN EN ISO 25178-700:2020-11
Nationaler Anhang NA
(informativ)
Literaturhinweise
DIN EN ISO 3274:1998-04, Geometrische Produktspezifikationen (GPS) — Oberflächenbeschaffenheit:

Tastschnittverfahren — Nenneigenschaften von Tastschnittgeräten (ISO 3274:1996); Deutsche Fassung
EN ISO 3274:1997
DIN EN ISO 4287:210-07, Geometrische Produktspezifikation (GPS) — Oberflächenbeschaffenheit:

Tastschnittverfahren — Benennungen, Definitionen und Kenngrößen der Oberflächenbeschaffenheit
(ISO 4287:1997 + Cor 1:1998 + Cor 2:2005 + Amd 1:2009); Deutsche Fassung
EN ISO 4287:1998 + AC:2008 + A1:2009
DIN EN ISO 5436-1, Geometrische Produktspezifikation (GPS) — Oberflächenbeschaffenheit:

Tastschnittverfahren; Normale — Teil 1: Maßverkörperungen

Tastschnittverfahren; Normale — Teil 2: Software-Normale
DIN EN ISO 8015, Geometrische Produktspezifikation (GPS) — Grundlagen — Konzepte, Prinzipien und Regeln
DIN EN ISO 10360-7, Geometrische Produktspezifikation (GPS) — Annahme- und Bestätigungsprüfung für
Koordinatenmessgeräte (KMG) — Teil 7: KMG mit Bildverarbeitungssystemen
DIN EN ISO 10360-8, Geometrische Produktspezifikation und -prüfung (GPS) — Annahme- und
Bestätigungsprüfung für Koordinatenmesssysteme (KMS) — Teil 8: KMG mit optischen Abstandssensoren
DIN EN ISO 14253-1, Geometrische Produktspezifikationen (GPS) — Prüfung von Werkstücken und
Messgeräten durch Messen — Teil 1: Entscheidungsregeln für den Nachweis von Konformität oder
Nichtkonformität mit Spezifikationen
DIN EN ISO 14253-5, Geometrische Produktspezifikation (GPS) — Prüfung von Werkstücken und Messgeräten
durch Messen — Teil 5: Unsicherheit bei der Verifikationsprüfung von anzeigenden Messgeräten
DIN EN ISO 14406:2011-04, Geometrische Produktspezifikation (GPS) — Erfassung (ISO 14406:2010);

Deutsche Fassung EN ISO 14406:2010
DIN EN ISO 14638, Geometrische Produktspezifikation (GPS) — Matrix-Modell
DIN EN ISO 14978:2006-11, Geometrische Produktspezifikation (GPS) — Allgemeine Grundsätze und

Anforderungen für GPS-Messeinrichtungen (ISO 14978:2006); Deutsche Fassung EN ISO 14978:2006
DIN EN ISO 17450-1:2012-04, Geometrische Produktspezifikation (GPS) — Grundlagen — Teil 1: Modell für
die geometrische Spezifikation und Prüfung (ISO 17450-1:2011); Deutsche Fassung EN ISO 17450-1:2011
DIN EN ISO 25178-2:2012-09, Geometrische Produktspezifikation (GPS) — Oberflächenbeschaffenheit:

Flächenhaft — Teil 2: Begriffe, Definitionen und Oberflächen-Kenngrößen (ISO/DIS 25178-2:2019); Deutsche
Fassung EN ISO 25178-2:2012

Flächenhaft — Teil 3: Spezifikationsoperatoren (ISO 25178-3:2012); Deutsche Fassung EN ISO 25178-3:2012
3
– Entwurf –
E DIN EN ISO 25178-700:2020-11

Flächenhaft — Teil 6: Klassifizierung von Methoden zur Messung der Oberflächenbeschaffenheit
(ISO 25178-6:2010); Deutsche Fassung EN ISO 25178-6:2010

Flächenhaft — Teil 70: Maßverkörperungen (ISO 25178-70:2014); Deutsche Fassung EN ISO 25178-70:2014
DIN EN ISO 25178-71, Geometrische Produktspezifikation (GPS) — Oberflächenbeschaffenheit: Flächenhaft —

Teil 71: Software-Normale
DIN EN ISO 25178-72, Geometrische Produktspezifikation (GPS) — Oberflächenbeschaffenheit: Flächenhaft —

Teil 72: XML-Dateiformat x3p

Flächenhaft — Teil 73: Begriffe für Oberflächenfehler an Maßverkörperungen (ISO 25178-73:2019); Deutsche
Fassung EN ISO 25178-73:2019

Flächenhaft — Teil 600: Messtechnische Merkmale für flächentopographische Messverfahren

Flächenhaft — Teil 601: Merkmale von berührend messenden Geräten (mit Taster) (ISO 25178-601:2010);
Deutsche Fassung EN ISO 25178-601:2010

Flächenhaft — Teil 603: Merkmale von berührungslos messenden Geräten (phasenschiebende
interferometrische Mikroskopie)

Flächenhaft —Teil 604: Merkmale von berührungslos messenden Geräten (Weißlicht-Interferometrie)
DIN EN ISO/IEC 17025, Allgemeine Anforderungen an die Kompetenz von Prüf- und Kalibrierlaboratorien
4
– Entwurf –
2020-10
prEN ISO 25178-700:2020
Titel de: Geometrische Produktspezifikation (GPS) — Oberflächenbeschaffenheit —

Teil 700: Kalibrierung, Justierung und Verifizierung von flächenhaften
Topographiemessgeräten (ISO/DIS 25178-700:2020)
Titel en: Geometrical product specifications (GPS) — Surface texture: Areal —

Part 700: Calibration, adjustment and verification of areal topography
measuring instruments (ISO/DIS 25178-700:2020)
Titel fr: Spécification géométrique des produits (GPS) — État de surface:

Surfacique — Partie 700: Étalonnage, réglage et vérification d'instruments
de mesure de topographie de surface (ISO/DIS 25178-700:2020)
E DIN EN ISO 25178-700:2020-11 – Entwurf –
prEN ISO 25178-700:2020 (D)
Inhalt
Seite
Europäisches Vorwort............................................................................................................................................................4
Vorwort .......................................................................................................................................................................................5
Einleitung....................................................................................................................................................................................6
1 Anwendungsbereich ................................................................................................................................................8
2 Normative Verweisungen ......................................................................................................................................8
3 Begriffe .........................................................................................................................................................................9
3.1 Allgemeine messtechnische Begriffe .............................................................................................................. 10
3.2 Messtechnische Begriffe...................................................................................................................................... 11
4 Symbole und Abkürzungen................................................................................................................................ 11
5 Kalibrierung, Justierung und Verifizierung eines Messgeräts.............................................................. 12
5.1 Allgemeines.............................................................................................................................................................. 12
5.2 Anwendung der Verfahren zur Kalibrierung, Justierung und Verifizierung ................................... 13
5.3 Verfahren zur Messgerätekalibrierung......................................................................................................... 13
5.3.1 Kalibrierung mittels Messnormalen............................................................................................................... 13
5.3.2 Messverfahren für die Kalibrierung mittels Messnormalen ................................................................. 13
5.3.3 Kalibrierung mittels anderer Verfahren....................................................................................................... 13
5.4 Kalibrierbedingungen.......................................................................................................................................... 14
5.5 Justierung und Verifizierung ............................................................................................................................. 14
5.5.1 Allgemeines.............................................................................................................................................................. 14
5.5.2 Justierung systematischer Abweichungen ................................................................................................... 14
5.5.3 Verifizierung (Kalibrierung nach Justierung)............................................................................................. 14
5.5.4 Validierung............................................................................................................................................................... 15
6 Bestimmung der messtechnischen Merkmale eines Messgeräts......................................................... 15
6.1 Allgemeines.............................................................................................................................................................. 15
6.2 Angabe der Messbedingungen.......................................................................................................................... 15
6.3 Handhabung nicht gemessener Punkte......................................................................................................... 15
6.4 Handhabung von Streupunkten und Ausreißern ...................................................................................... 16
6.5 Messtechnische Merkmale ................................................................................................................................. 16
6.5.1 Messrauschen und Messgeräterauschen ...................................................................................................... 16
6.5.2 Ebenheitsabweichung.......................................................................................................................................... 20
6.5.3 Verstärkungskoeffizient ( z) der z-Achse ..................................................................................................... 22
6.5.4 Bestimmung der z-Linearitätsabweichung lz .............................................................................................. 27
6.5.5 Bestimmung des Verstärkungskoeffizienten x und y in x- und y-Richtung sowie der
Abbildungsabweichung x (x,y) und y (x,y) ................................................................................................ 29
6.5.6 Rechtwinkligkeit der z-Achse des Messgeräts bezogen auf die x-y-Flächenreferenz................... 33
6.6 Topographiebedingte Einflüsse auf die Messunsicherheit .................................................................... 33
6.6.1 Topographische räumliche Auflösung ........................................................................................................... 33
6.6.2 Topographietreue.................................................................................................................................................. 34
6.6.3 Graph der Übertragungsfunktion des Messgeräts (ITF, en: instrument transfer function)
fITF ................................................................................................................................................................................ 35
6.7 Steigungsabhängige Wirkungen....................................................................................................................... 36
Anhang A (informativ) Zusammenhänge mit dem GPS-Matrix-Modell ........................................................... 37
A.1 Allgemeines.............................................................................................................................................................. 37
A.2 Information über dieses Dokument und dessen Anwendung............................................................... 37
2
– Entwurf – E DIN EN ISO 25178-700:2020-11
prEN ISO 25178-700:2020 (D)
A.3 Position im GPS-Matrix-Modell ........................................................................................................................ 37

A.4 Verwandte Internationale Normen ................................................................................................................ 38
Literaturhinweise................................................................................................................................................................. 39
3
prEN ISO 25178-700:2020 (D)
Europäisches Vorwort
Dieses Dokument (prEN ISO 25178-700:2020) wurde vom Technischen Komitee ISO/TC 213 „Dimensional
and geometrical product specifications and verification“ in Zusammenarbeit mit dem Technischen Komitee
CEN/TC 290 „Geometrische Produktspezifikationen und -prüfung“ erarbeitet, dessen Sekretariat von AFNOR
gehalten wird.
Dieses Dokument ist derzeit zur parallelen Umfrage vorgelegt.
Anerkennungsnotiz
Der Text von ISO/DIS 25178-700:2020 wurde von CEN als prEN ISO 25178-700:2020 ohne irgendeine
Abänderung genehmigt.
4
prEN ISO 25178-700:2020 (D)
Vorwort
ISO (die Internationale Organisation für Normung) ist eine weltweite Vereinigung nationaler
Normungsinstitute (ISO-Mitgliedsorganisationen). Die Erstellung von Internationalen Normen wird
üblicherweise von Technischen Komitees von ISO durchgeführt. Jede Mitgliedsorganisation, die Interesse an
einem Thema hat, für welches ein Technisches Komitee gegründet wurde, hat das Recht, in diesem Komitee
vertreten zu sein. Internationale staatliche und nichtstaatliche Organisationen, die in engem Kontakt mit ISO
stehen, nehmen ebenfalls an der Arbeit teil. ISO arbeitet bei allen elektrotechnischen Normungsthemen eng
mit der Internationalen Elektrotechnischen Kommission (IEC) zusammen.
Die Verfahren, die bei der Entwicklung dieses Dokuments angewendet wurden und die für die weitere Pflege
vorgesehen sind, werden in den ISO/IEC-Direktiven, Teil 1 beschrieben. Es sollten insbesondere die
unterschiedlichen Annahmekriterien für die verschiedenen ISO-Dokumentenarten beachtet werden. Dieses
Dokument wurde in Übereinstimmung mit den Gestaltungsregeln der ISO/IEC-Direktiven, Teil 2 erarbeitet
(siehe www.iso.org/directives).
Es wird auf die Möglichkeit hingewiesen, dass einige Elemente dieses Dokuments Patentrechte berühren
können. ISO ist nicht dafür verantwortlich, einige oder alle diesbezüglichen Patentrechte zu identifizieren.
Details zu allen während der Entwicklung des Dokuments identifizierten Patentrechten finden sich in der
Einleitung und/oder in der ISO-Liste der erhaltenen Patenterklärungen (siehe www.iso.org/patents).
Jeder in diesem Dokument verwendete Handelsname dient nur zur Unterrichtung der Anwender und
bedeutet keine Anerkennung.
Für eine Erläuterung des freiwilligen Charakters von Normen, der Bedeutung ISO-spezifischer Begriffe und
Ausdrücke in Bezug auf Konformitätsbewertungen sowie Informationen darüber, wie ISO die Grundsätze der
Welthandelsorganisation (WTO, en: World Trade Organization) hinsichtlich technischer Handelshemmnisse
(TBT, en: Technical Barriers to Trade) berücksichtigt, siehe www.iso.org/iso/foreword.html.
ISO 25178-700 wurde vom Technischen Komitee ISO/TC 213, Dimensional and geometrical product
specifications and verification erarbeitet.
Eine Auflistung aller Teile der Normenreihe ISO 25178 ist auf der ISO-Internetseite abrufbar.
Rückmeldungen oder Fragen zu diesem Dokument sollten an das jeweilige nationale Normungsinstitut des
Anwenders gerichtet werden. Eine vollständige Auflistung dieser Institute ist unter
www.iso.org/members.html zu finden.
5
prEN ISO 25178-700:2020 (D)
Einleitung
Dieses Dokument ist eine Norm für die Geometrische Produktspezifikation (GPS) und als eine allgemeine
GPS-Norm anzusehen (siehe ISO 14638). Es beeinflusst Kettenglied F der Normenketten über die
Oberflächenbeschaffenheit von Profilen und Flächen.
Das in ISO 14638 angegebene ISO-GPS-Matrix-Modell gibt einen Überblick über das ISO-GPS-System, von
dem dieses Dokument ein Bestandteil ist. Die fundamentalen ISO/GPS-Regeln nach ISO 8015 gelten für
dieses Dokument und die Default-Entscheidungsregeln nach ISO 14253-1 gelten für Spezifikationen, die in
Übereinstimmung mit diesem Dokument angefertigt wurden, sofern nicht anders angegeben.
Für weitere Informationen zu der Beziehung dieses Dokuments zu anderen Normen und zum GPS-Matrix-
Modell siehe Anhang A.
Beim GPS-Konzept werden die Auslegungswerte der geometrischen Parameter von Werkstücken und deren
Toleranzen mit den Messungen jener Parameter an den entsprechenden gefertigten Werkstücken und deren
zugehörigen Messunsicherheiten verglichen. Daher ist für ein zuverlässiges Ergebnis die Kalibrierung des in
diesem Prozess verwendeten Messgeräts notwendig. Die Kalibrierung bietet eine ununterbrochene
Rückverfolgbarkeitskette der betreffenden Werte zu weltweit anerkannten allgemeinen
Bezugseinheitswerten. Im Sinne dieser Norm bedeutet Kalibrierung strenggenommen die Bestimmung der
Messabweichung vom Bezugswert. Gemeinsprachlich wird der Begriff Kalibrierung häufig für die
Kombination der Vorgänge „Kalibrierung“ und „Justierung“ verwendet.
Diese Norm beschreibt die Kalibrierung, siehe ISO/IEC Guide 99:2007, 2.39, Justierung, siehe
ISO/IEC Guide 99:2007, 3.11, und Verifizierung, siehe ISO/IEC Guide 99:2007, 2.44, für
Topographiemessgeräte im Allgemeinen.
Die in ISO 25178-600 definierten messtechnischen Merkmale stehen in Zusammenhang mit Ergebnissen von
Messungen, die mittels Topographiemessgeräten durchgeführt wurden. Daher ist es erforderlich, dass das
Messgerät in kalibriertem Zustand vorliegt, was die Rückverfolgbarkeit der Messergebnisse sicherstellt. Die
Kalibrierung ist die Grundlage möglicher Korrekturen durch die Justierung des Messgeräts sowie die
Verifizierung nach der Justierung. Die Restabweichung nach der Verifizierung kann als Beitrag zur
Messunsicherheit verwendet werden, wodurch die Quantifizierung der Merkmale auf rückführbare Weise
ermöglicht wird.
Die messtechnischen Merkmale erfassen alle Faktoren, welche ein Messergebnis beeinflussen können
(Einflussgrößen), und können in geeigneter Weise durch ein spezifisches Messmodell verbreitet werden, um
die Messunsicherheit abzuschätzen. Darüber hinaus sind in ISO 25178, Teile 60X, Einflussgrößen für jeden
Messgerätetyp definiert. Diese Einflussgrößen sind angegeben, um zu zeigen, wie sie die messtechnischen
Merkmale beeinflussen, und bei ordnungsgemäßer Anwendung dieser Merkmale im Messmodell für die
Abschätzung der Unsicherheit nicht erforderlich.
Dieses Dokument beschreibt Default-Verfahren für die Kalibrierung, Justierung und Verifizierung von
Messgeräten bei Verwendung von Maßverkörperungen, die über ein nationales metrologischen Institut oder
ein qualifiziertes Laboratorium zum „Meter“ rückführbar sind, siehe ISO/IEC Guide 99:2007, 2.41. Default-
Verfahren werden empfohlen, wenn keine anderen Kalibrierverfahren eindeutig definiert wurden.
Alternative Kalibriertechniken mit eindeutigem Rückverfolgbarkeitspfad sind in Abhängigkeit von den

Fähigkeiten der Messgeräte ebenso zulässig, siehe 5.1 und 5.3.3. Beispieltechniken umfassen jene, die auf
einer unabhängigen Ausführung der Zähleinrichtung unter Verwendung einer natürlichen
Emissionswellenlänge beruhen, deren Wert mit bekannter Unsicherheit bestimmt wurde.
6
prEN ISO 25178-700:2020 (D)
Spezifische Einflüsse, verursacht beispielsweise durch Umgebungsbedingungen, werden nicht

berücksichtigt. Allerdings müssen diese vom Anwender, der unter diesen Umgebungsbedingungen arbeitet,
berücksichtigt werden.
7
prEN ISO 25178-700:2020 (D)
1 Anwendungsbereich
Dieser Teil von ISO 25178 legt allgemeine Verfahren für die Kalibrierung, Justierung und Verifizierung von
flächenhaften Topographiemessgeräten nach ISO 25178-6 sowie für die Bestimmung ihrer messtechnischen
Merkmale fest. Dieser Teil von ISO 25178 betrachtet gemeinsame messtechnische Merkmale von
Topographiemessgeräten, insbesondere entsprechend der Beschreibung nach ISO 25178, Teile 601 bis 607.
In ihrer Gesamtheit umfassen diese Normen sowohl mikroskopische Messgeräte als auch Punktsensor-
Messgeräte mit Einrichtungen für die laterale Abtastung.
Dieses Dokument bietet ein Verfahren zur Abschätzung der Unsicherheit für einen weiten aber nicht
erschöpfenden Bereich von Oberflächen. Der Bereich von Oberflächen wird vom verwendeten Messgerät
abhängig sein, siehe 6.6.2 zur Beschreibung der Topographietreue.
Für messgerätespezifische Grundsätze können andere Teile innerhalb der Normenreihe ISO 25178-700
entwickelt werden.
Beispielsweise deckt dieses Dokument ausschließlich Messgeräte ohne zusätzliche bogenförmige Bewegung
ab, die in einer künftigen Überarbeitung von ISO 25178-701 beschrieben sein können.
Dieses Dokument schließt keine Verfahren für flächenhaft integrierende Methoden ein, obwohl diese
ebenfalls in ISO 25178-6 definiert sind. Lichtstreuung gehört beispielsweise zu einer Klasse von Techniken,
die als flächenhaft integrierende Methoden zur Messung der Oberflächentopographie bekannt sind.
2 Normative Verweisungen
Die folgenden Dokumente werden im Text in solcher Weise in Bezug genommen, dass einige Teile davon
oder ihr gesamter Inhalt Anforderungen des vorliegenden Dokuments darstellen. Bei datierten
Verweisungen gilt nur die in Bezug genommene Ausgabe. Bei undatierten Verweisungen gilt die letzte
Ausgabe des in Bezug genommenen Dokuments (einschließlich aller Änderungen).
ISO 230-10, Test code for machine tools — Part 10: Determination of the measuring performance of probing
systems of numerically controlled machine tools
ISO 3274:1996, Geometrical Product Specifications (GPS) — Surface texture: Profile method — Nominal
characteristics of contact (stylus) instruments
ISO 4287:1997, Geometrical Product Specifications (GPS) — Surface texture: Profile method — Terms,
definitions and surface texture parameters
ISO 5436-1, Geometrical Product Specifications (GPS) — Surface texture: Profile method; Measurement
standards — Part 1: Material measures
ISO 5436-2, Geometrical product specifications (GPS) — Surface texture: Profile method; Measurement
standards — Part 2: Software measurement standards
ISO 8015, Geometrical product specifications (GPS) — Fundamentals — Concepts, principles and rules
ISO 10360-7, Geometrical product specifications (GPS) — Acceptance and reverification tests for coordinate
measuring machines (CMM) — Part 7: CMMs equipped with imaging probing systems
ISO 10360-8, Geometrical product specifications (GPS) — Acceptance and reverification tests for coordinate
measuring systems (CMS) — Part 8: CMMs with optical distance sensors
ISO 11952, Surface chemical analysis — Scanning-probe microscopy — Determination of geometric quantities
using SPM: Calibration of measuring systems
8
prEN ISO 25178-700:2020 (D)
ISO 14253-1, Geometrical product specifications (GPS) — Inspection by measurement of workpieces and
measuring equipment — Part 1: Decision rules for verifying conformity or nonconformity with specifications
ISO 14253-5, Geometrical product specifications (GPS) — Inspection by measurement of workpieces and
measuring equipment — Part 5: Uncertainty in verification testing of indicating measuring instruments
ISO 14406:2010, Geometrical product specifications (GPS) — Extraction
ISO 14638, Geometrical product specifications (GPS) — Matrix model
ISO 14978:2006, Geometrical product specifications (GPS) — General concepts and requirements for GPS
measuring equipment
ISO 17025, General requirements for the competence of testing and calibration laboratories
ISO 17450-1:2011, Geometrical product specifications (GPS) — General concepts — Part 1: Model for
geometrical specification and verification
ISO 25178-2:2012, Geometrical product specifications (GPS) — Surface texture: Areal — Part 2: Terms,
definitions and surface texture parameters
ISO 25178-3:2012, Geometrical product specifications (GPS) — Surface texture: Areal — Part 3: Specification
operators
ISO 25178-6:2010, Geometrical product specifications (GPS) — Surface texture: Areal — Part 6: Classification
of methods for measuring surface texture
ISO 25178-70:2013, Geometrical product specification (GPS) — Surface texture: Areal — Material measures
ISO 25178-71, Geometrical product specifications (GPS) — Surface texture: Areal — Part 71: Software
measurement standards
ISO 25178-72, Geometrical product specifications (GPS) — Surface texture: Areal — Part 72: XML file format
x3p
ISO 25178-73:2020, Geometrical product specifications (GPS) — Surface texture: Areal — Part 73: Terms and
definitions for surface defects on material measures
ISO 25178-600:2020, Geometrical product specifications (GPS) — Surface texture: Areal — Part 600:
Metrological characteristics for areal topography measuring methods
ISO 25178-601:2010, Geometrical product specifications (GPS) — Surface texture: Areal — Part 601: Nominal
characteristics of contact (stylus) instruments
ISO 25178-603, Geometrical product specifications (GPS) — Surface texture: Areal — Part 603: Nominal
characteristics of non-contact (phase-shifting interferometric microscopy) instruments
ISO 25178-604:2013, Geometrical product specifications (GPS) — Surface texture: Areal — Part 604: Nominal
characteristics of non-contact (coherence scanning interferometry) instruments
3 Begriffe
Für die Anwendung dieses Dokuments gelten die Begriffe nach ISO 3274, ISO 4287, ISO 5436-2, ISO 10360-1,
ISO 14406, ISO 14638, ISO 14978, ISO 17450-1, ISO 25178-2, ISO 25178-6, ISO 25178-70, ISO 25178-71,
ISO 25178-72, ISO 25178-73 und ISO 25178-600, ISO 25178-601, ISO 25178-603, ISO 25178-604 und die
9
prEN ISO 25178-700:2020 (D)
folgenden Begriffe bezogen auf die Kalibrierung, Verifizierung und Unsicherheitsberechnung aller
flächenhaften Oberflächentopographie-Messprinzipien.
ISO und IEC stellen terminologische Datenbanken für die Verwendung in der Normung unter den folgenden
Adressen bereit:
— ISO Online Browsing Platform: verfügbar unter https://www.iso.org/obp
— IEC Electropedia: verfügbar unter http://www.electropedia.org/
3.1 Allgemeine messtechnisc he Begriffe
3.1.1
Kalibrierung
Tätigkeit, die unter festgelegten Bedingungen in einem ersten Schritt eine Beziehung zwischen den durch
Messnormale zur Verfügung gestellten Größenwerten mit ihren Messunsicherheiten und den
entsprechenden Anzeigen mit ihren beigeordneten Messunsicherheiten herstellt und in einem zweiten
Schritt diese Information verwendet, um eine Beziehung herzustellen, mit deren Hilfe ein Messergebnis aus
einer Anzeige erhalten wird
Anmerkung 1 zum Begriff: Das Ergebnis einer Kalibrierung kann in Form einer Angabe, einer Kalibrierfunktion, eines
Kalibrierdiagramms, einer Kalibrierkurve oder einer Kalibriertabelle ausgedrückt werden. In einigen Fällen kann sie aus
einer additiven oder multiplikativen Korrektion der Anzeige mit der beigeordneten Messunsicherheit bestehen.
Anmerkung 2 zum Begriff: Kalibrierung ist nicht mit Justierung eines Messsystems zu verwechseln, die oft
fälschlicherweise „Selbst-Kalibrierung“ genannt wird, und auch nicht mit Verifizierung der Kalibrierung.
Anmerkung 3 zum Begriff: Für die Gesamtkalibrierung eines Topographiemessgeräts sind einzelne Auswertungen
der einzelnen messtechnischen Merkmale mit jeweils einem Ergebnis und einer beigeordneten Unsicherheit notwendig.
Anmerkung 4 zum Begriff: Kalibrierung erfolgt zur Feststellung der Rückführbarkeit einer Messung.
3.1.2
Justierung
Satz von Tätigkeiten, die an einer Messeinrichtung durchgeführt werden, damit sie festgelegte Anzeigen
liefert, die gegebenen Werten einer zu messenden Größe entsprechen
Anmerkung 1 zum Begriff: Justierung eines Messsystems ist nicht mit Kalibrierung zu verwechseln, die eine
Voraussetzung für Justierung ist.
Anmerkung 2 zum Begriff: Justierung ist prinzipspezifisch und wird typischerweise von den Messgeräteherstellern
durchgeführt, daher enthält ISO 25178-700 keine verbindlichen Regeln.
Anmerkung 3 zum Begriff: Nach einer Justierung eines Messsystems wird dieses gewöhnlich erneut kalibriert.
3.1.3
Verifizierung
<Topographiemessgeräte> Bereitstellung objektiver Nachweise, dass ein messtechnisches Merkmal
festgelegte Spezifikationen erfüllt
Anmerkung 1 zum Begriff: Verifizierungsverfahren dienen dem Nachweis der Gültigkeit der Kalibrierung nach der
Justierung.
Anmerkung 2 zum Begriff: In ISO 17450 (GPS-Grundlagen) wird die Verifizierung jedoch den Messergebnissen eines
hergestellten Bauteils im Verhältnis zur jeweiligen Anforderung zugeordnet.
10
prEN ISO 25178-700:2020 (D)
3.1.4
Leistungsanforderung
<Topographiemessgeräte> eindeutige Reihe von Anforderungen, die ein Topographiemessgerät erfüllen
muss
Anmerkung 1 zum Begriff: Das Hauptaugenmerk liegt hierbei auf einer Reihe von Merkmalen, welche das geforderte,
vereinbarte oder beanspruchte Verhalten eines Topographiemessgeräts beschreiben. Jedes Merkmal ist einer
Messgröße zugeordnet.
Anmerkung 2 zum Begriff: Allerdings stehen Spezifikationen in anderen GPS-Dokumenten (z. B. ISO 17450-1,
ISO 14638) in Zusammenhang mit Anforderungen an hergestellte Werkstücke.
3.1.5
Validierung
<Topographiemessgeräte> Bereitstellung eines objektiven Nachweises, dass Messgeräte mit festgelegten
Anforderungen für einen vorgesehenen Verwendungszweck geeignet sind
BEISPIEL 1 Validierung kann sich auf einen modifizierten Messprozess zum Nachweis, dass ein Messgerätetyp statt
eines anderen Messgerätetyps für eine bestimmte Art Topographiemessung verwendet werden kann, beziehen.
BEISPIEL 2 Prüfungen der Wiederholpräzision und Vergleichpräzision werden häufig als Elemente einer
Validierungsprüfung angewendet.
Anmerkung 1 zum Begriff: Siehe auch ISO/IEC Guide 99:2007, International vocabulary of metrology — Basic and
general concepts and associated terms (VIM), 2.45 [1].
3.2 Messtechnische Begriffe
3.2.1
Korrekturfaktor
Faktor, der zur Korrektur der Skalierung einer Messachse verwendet wird
Anmerkung 1 zum Begriff: Der Korrekturfaktor ist das inverse Element des Verstärkungskoeffizienten (siehe
ISO 25178-600:2020).
3.2.2
nicht gemessene Punkte
Daten, für die keine Messwerte vorliegen
3.2.3
Streudaten
Punkte, die als mit dem Messprinzip messbar qualifiziert wurden, aber signifikant von dem Wert abweichen,
der aufgrund von A-priori-Kenntnissen der wahrscheinlichste Wert ist. Streudaten können einzelne Punkte
oder eine kleine Gruppe von Punkten sein, die als mit dem Messgerät messbar qualifiziert wurden. Sie
werden als Streudaten identifiziert anhand von A-priori-Kenntnissen über die zu erwartende Oberfläche mit
ihrer Differenz zwischen zu erwartender und gemessener Oberfläche
Anmerkung 1 zum Begriff: Streudaten können beispielsweise Ausreißer oder Spitzen sein.
Anmerkung 2 zum Begriff: Streudaten können durch Umgebungsbedingungen verursacht werden, z. B. durch
Schwingungen, Sonneneinstrahlung oder Wechselwirkung von Oberfläche und Messgerät.
4 Symbole und Abkürzungen

Die messtechnischen Merkmale sind in ISO 25178-600 definiert. Die messtechnischen Merkmale dürfen
wechselseitige Abhängigkeiten aufweisen.
11
prEN ISO 25178-700:2020 (D)
5 Kalibrierung, Justierung und Verifizierung eines Messgeräts
5.1 Allgemeines
In der Praxis bezieht sich die Kalibrierung des Messgeräts auf eine Reihe von Tätigkeiten, die zur
Bestimmung des Beitrags der messtechnischen Merkmale zur Messunsicherheit in Zusammenhang mit den
Gerätemessungen erforderlich sind. Tabelle 1 enthält die vollständige Liste messtechnischer Merkmale.
Tabelle 1 — Liste messtechnischer Merkmale für Oberflächentopographie-Messprinzipien
Wesentlicher
Verweisung in
Messtechnische Merkmalea Symbol potenzieller
ISO 25178-600:2018
Fehler entlang
Verstärkungskoeffizient x, y, z 3.1.10 (siehe Bild 2) x, y, z
Linearitätsabweichung lx, ly , lz 3.1.11 (siehe Bild 2) x, y, z
Ebenheitsabweichung zFLT 3.1.12 z
Messrauschen NM 3.1.15 z
Topographische räumliche Auflösung WR 3.1.20 z
x-y-Abbildungsabweichungena x(x,y), y(x,y) 3.1.13 x, y, z
Topographietreue TFi 3.1.26 x, y, z
ANMERKUNG Die maximal messbare Profilsteigung ist eine wichtige festzulegende Begrenzung für
Topographiemessgeräte. Ein Anwender braucht diesen Parameter jedoch nicht zu messen, sofern dieser nicht Teil
eines Messmodells nach ISO/IEC Guide 98-3:2008, Uncertainty of measurement — Part 3: Guide to the expression of
uncertainty in measurement (GUM:1995):2008, 4.1 [2], ist.
a In Abhängigkeit von der Messanwendung können auch andere Achsenbewegungsfehler (siehe ISO 230-10 sowie ISO 10360-7
und ISO 10360-8) wesentlich sein, sind jedoch hier für Topographiemessungen, die als mit dem Messgerät messbar klassifiziert
wurden, nicht aufgeführt. Sie werden als Streudaten identifiziert anhand von A-priori-Kenntnissen über die zu erwartende
Oberfläche mit ihrer Differenz zwischen zu erwartender und gemessener Oberfläche.
Dieses Dokument definiert Default-Verfahren für die Kalibrierung. Es beschreibt zudem das Grundprinzip
für Justierung, Verifizierung und Leistungsanforderung, siehe Bild 1. Weitere für die Kalibrierung
angewendete Verfahren müssen den Anforderungen nach dem maßgebenden Teil von ISO 10360
entsprechen sowie aufgezeichnet und validiert werden.
ANMERKUNG 1 Die Bestimmung der messtechnischen Merkmale ist nicht vorgesehen um eine Bewertung der Fehler
aufgrund von Kalibrierung und Berechnungsalgorithmen vorzunehmen. Diese Algorithmen können unter Verwendung
von Software-Messnormalen verifiziert werden, siehe ISO 5436-2, ISO 25178-71 und ISO 25178-72.
ANMERKUNG 2 Leistungsanforderungen werden typischerweise von den Messgeräteherstellern bereitgestellt.
12
prEN ISO 25178-700:2020 (D)
ANMERKUNG 1 Ist keine Justierung erforderlich, dient die ursprüngliche Kalibrierung als Verifizierung. In diesem Fall
trägt das Ergebnis der Kalibrierung zur Berechnung der Messunsicherheit bei.
ANMERKUNG 2 Wird eine Justierung durchgeführt, kann die Verifizierung durch eine anschließende Kalibrierung nach
der Justierung erfolgen. In diesem Fall trägt das neue Ergebnis zur Berechnung der Messunsicherheit bei.
Bild 1 — Flussdiagramm des Verfahrens zur Kalibrierung, Justierung und Verifizierung
5.2 Anwendung der Verfahren zur Kalibrierung, Justierung und Verifizierung
Hier sind Verfahren für Verstärkung, Linearitätsabweichung, Rauschen, Ebenheit und x-y-
Abbildungsabweichungen definiert. Für jedes dieser messtechnischen Merkmale ist ein Verfahren zur
Bestimmung seines Wertes definiert. In Abhängigkeit von den Merkmalen können diese Verfahren sowohl
für die Kalibrierung als auch für die Verifizierung nach der Justierung angewendet werden.
Keine Default-Verfahren sind festgelegt für die Rechtwinkligkeit der z-Achse des Messgeräts hinsichtlich der
x-y-Flächenreferenz, der topographischen räumlichen Auflösung und der Topographietreue.
ANMERKUNG 1 Topographiebedingte Einflüsse auf die Messunsicherheit, wie die Topographietreue, die
Übertragungsfunktion des Messgeräts oder Steigungsabhängkeiten, sind in Abschnitt 7 aufgeführt.
ANMERKUNG 2 Die Verfahren zur Bestimmung messtechnischer Merkmale sind in Abschnitt 6 beschrieben.
5.3 Verfahren zur Messgerätekalibrierung
5.3.1 Kalibrierung mittels Messnormalen
Die Verwendung von Messnormalen ist das Default-Verfahren. Während der Bestimmung der
messtechnischen Merkmale der Messgeräte sind kalibrierte Messnormale nach ISO 25178-70:2014 zu
verwenden. Die Abweichung von den in der Kalibrierbescheinigung angegebenen Werten muss
aufgezeichnet werden, und die Unsicherheit der Kalibrierungswerte muss berücksichtigt werden. Die
Messnormale müssen unter Berücksichtigung der Merkmale der zu messenden Oberfläche ausgewählt
werden.
ANMERKUNG 1 Die Anforderungen sind in ISO 25178-70:2014, Abschnitt 5, für die Maßverkörperungen und in
ISO 25178-701:2010, 5.2.1.2, für berührend messende Geräte (mit Taster) beschrieben.
ANMERKUNG 2 Optische Plangläser müssen für die Verwendung nach 6.5.1 nicht kalibriert werden.
5.3.2 Messverfahren für die Kalibrierung mittels Messnormalen
In der Kalibrierbescheinigung des Messnormals festgelegte Messverfahren sollten befolgt werden, während
dieses für die Bestimmung messtechnischer Merkmale eingesetzt wird.
5.3.3 Kalibrierung mittels anderer Verfahren
Nach ISO/IEC 17025 dürfen auch andere Verfahren für die Kalibrierung angewendet werden. Diese
Verfahren sollten angegeben und validiert werden.
13
prEN ISO 25178-700:2020 (D)
5.4 Kalibrierbedingungen
Die Bestimmung messtechnischer Merkmale muss für jedes einzelne Messgerät und jede
Messgeräteanordnung (Konfiguration), das/die in der Praxis verwendet wird, durchgeführt werden.
Stationäre Umgebungsbedingungen müssen mit typischen Arbeitsbedingungen vergleichbar sein. Die
Auswertungs-Software muss mit der in der Praxis eingesetzten identisch sein.
Die Kalibrierung zur Bestimmung der Messgerätespezifikation sollte unter den günstigsten verfügbaren
Umgebungsbedingungen erfolgen.
ANMERKUNG 1 Die Messgeräteanordnung (Konfiguration) ist im Allgemeinen anwendungsspezifisch.
ANMERKUNG 2 Dynamische Umgebungsbedingungen wie Schwingungen können einen signifikanteren Einfluss auf die
Unsicherheitsberechnung haben.
BEISPIEL Beispiele unterschiedlicher Anordnungen (Konfigurationen):
— Verwendung von Objektiven mit unterschiedlichen Vergrößerungen
— Verwendung unterschiedlicher Tastspitzenradien
— Verwendung unterschiedlicher Abtastrichtungen
— Verwendung unterschiedlicher Abtastgeschwindigkeiten
— Unterschiedliche (stationäre) Umgebungsbedingungen, wie z. B. Temperatur
5.5 Justierung und Verifizierung
5.5.1 Allgemeines
Nach der Kalibrierung ermöglicht die Justierung die Korrekturen systematischer und reproduzierbarer
Fehler.
ANMERKUNG Bei Messgeräten ist typischerweise das Messvolumen, innerhalb dessen es kalibriert und justiert
werden darf, im Datenblatt des Herstellers angegeben.
5.5.2 Justierung systematischer Abweichungen
Vor der Justierung sollte die Kalibrierung nach 5.3 und 5.4 erfolgen. Diese Bedingungen müssen angegeben
werden. Die Kalibrierung kann abschnittsweise oder über das gesamte Messvolumen erfolgen. Das
Arbeitsvolumen der für die Messgerätejustierung verwendeten Messung muss angegeben werden.
ANMERKUNG Einige der Justierungen, wie die Justierung eines Verstärkungskoeffizienten, könnten vorhergehende
Kalibrierungen ersetzen.
5.5.3 Verifizierung (Kalibrierung nach Justierung)
Nach der Justierung ist eine Verifizierung (Kalibrierung nach Justierung) durchzuführen. Das Ergebnis kann
zur Messunsicherheit beitragen. Stationäre Umgebungsbedingungen sollten möglichst genau den
Bedingungen entsprechen, bei denen das Messgerät anschließend verwendet wird.
Die Verifizierung sollte unter den günstigsten Umgebungsbedingungen erfolgen. Die

Verifizierungsbedingungen müssen angegeben werden.
ANMERKUNG Ist keine Justierung erforderlich, dient die ursprüngliche Kalibrierung als Verifizierung. In diesem Fall
14
prEN ISO 25178-700:2020 (D)
5.5.4 Validierung
Eine Validierung zur Anwendung bei ungewöhnlichen Messverfahren ist durchzuführen (siehe 5.3.3).
Zusätzlich kann eine Validierung von Zahlen in einem Datenblatt erfolgen.
6 Bestimmung der messtechnischen Merkmale eines Messgeräts
6.1 Allgemeines
Die messtechnischen Merkmale eines Messgeräts mit möglichem Einfluss auf Messergebnis und Unsicherheit
sind wie folgt zu bestimmen
— innerhalb des für die vorgesehene Anwendung definierten Messvolumens;
— an unterschiedlichen Positionen innerhalb des Messvolumens, sofern anwendbar;
— entsprechend einem vereinbarten oder anerkannten Messplan;
— für verschiedene Abtastgeschwindigkeiten oder -richtungen, sofern anwendbar.
ANMERKUNG 1 Die Variabilität des Messnormals über den kalibrierten Bereich ist bei der Planung der Anzahl und
Anordnung wiederholter Messungen zu berücksichtigen.
ANMERKUNG 2 Allgemeine Messpläne sind in den folgenden Abschnitten angegeben und detaillierte Messpläne
können vom Messprinzip entsprechend der Beschreibung in den prinzipspezifischen Normen abhängig sein.
ANMERKUNG 3 Die Umgebung kann die Kalibrierung beispielsweise durch Temperatur, Temperaturänderungen,
akustischer Lärm und Schwingungen beeinflussen.
ANMERKUNG 4 Bei Abtastmessgeräten mit einer Positioniereinrichtung in z-Richtung könnte beispielsweise eine
langmaßstäbliche Linearitätsabweichung aber auch eine kurzmaßstäbliche Linearitätsabweichung erhalten werden.
6.2 Angabe der Messbedingungen
Die Messbedingungen und maßgebenden Messgeräteeinstellungen sind anzugeben, einschließlich

Umgebungsbedingungen und der spezifischen Maßverkörperungen mit Seriennummer und Datum der
Kalibrierung, sofern maßgebend.
Schwingungen und Beleuchtungsbedingungen beispielsweise können im Allgemeinen maßgebende Einflüsse

haben und müssen qualitativ angegeben werden.
ANMERKUNG 1 Beispiele für die qualitative Angabe im Bericht können sein: Keine Schwingungen oder starke
Schwingungen, keine externe Beleuchtung, siehe auch 6.5.1.2.1.
ANMERKUNG 2 Zusätzliche Beispiele für Messgeräteeinstellungen und Umgebungsbedingungen können Temperatur,

Luftfeuchte, Abtastschritt, Abtastgeschwindigkeit für Abtastmessgeräte sein (zu Definitionen siehe ISO 25178-604,
2.5.12 und 2.5.13).
6.3 Handhabung nicht gemessener Punkte
Interpolation und Füllen nicht gemessener Punkte innerhalb der maßgebenden Bereiche sollten bei der
Bestimmung der messtechnischen Merkmale vermieden werden. Falls jedoch Interpolation und Füllen
angewendet werden, muss das angegeben werden. Messungen, bei denen eine wesentliche Anzahl der
Punkte nicht gemessen werden oder Streupunkte sind, sollten verworfen werden.
15
prEN ISO 25178-700:2020 (D)
6.4 Handhabung von Streupunkten und Ausreißern
In Abhängigkeit der Vorkenntnisse und späteren Anwendungen sollten Streupunkte und Ausreißer
innerhalb des interessierenden Bereichs aus den gemessenen Punkten entfernt und auf dieselbe Weise wie
nicht gemessene Punkte gehandhabt werden. Falls Streupunkte oder Ausreißer entfernt werden, muss das
angegeben werden.
Bei nicht gemessenen Punkten wird keine Interpolation impliziert. Durch Interpolation oder andere
mathematische Algorithmen wird der Status eines nicht gemessenen Punktes nicht zum Status eines
gemessenen Punktes geändert. Falls Interpolation angewendet wird, muss das angegeben werden.
6.5 Messtechnische Merkmale
6.5.1 Messrauschen und Messgeräterauschen
6.5.1.1 Allgemeines
Das Messrauschen muss abgeschätzt werden, wenn es typische Messergebnisse für die gegebenen
Anwendungen beeinflusst.
Die Abschätzung des Messgeräterauschens muss unter den günstigsten Bedingungen für die Beschreibung
der Messgeräteleistung durchgeführt werden, siehe ISO 25178-600:2018.
ANMERKUNG Messgeräterauschen bezieht sich auf das interne Rauschen, addiert zum Ausgangssignal, das durch
das Messgerät verursacht wird, wenn dieses idealerweise in eine rauschfreie Umgebung gebracht wird, während sich
das Messrauschen allgemeiner auf während des üblichen Einsatzes des Messgeräts zum Ausgangssignal addiertes
Rauschen bezieht. Daher erfolgt die Annäherung des Messgeräterauschens anhand des kleinsten erreichbaren
Messrauschens unter den idealsten Bedingungen. Diese Begriffe sind in ISO 25178-600:2018, Abschnitt 3.1, festgelegt.
6.5.1.2 Bestimmung von Messrauschen und Messgeräterauschen
6.5.1.2.1 Verwendung von Filtern oder Operatoren
In Anwendungen, in denen Filter oder Operatoren eingesetzt werden, sollte die Bestimmung des
Messrauschens nach 6.5.1.2.3 unter denselben Filterbedingungen erfolgen, die für die Messungen verwendet
werden. Die verwendeten Filter müssen mit den angewendeten Verfeinerungsindizes und Operatoren
angegeben werden, siehe 6.5.1.2.3.1.
Eine quantitative Angabe des Messrauschens muss sämtliche Filter einschließen, welche die Ortsfrequenzen
beeinflussen können, über die das Rauschen bestimmt wird.
Sind für eine Messung niedrige Rauschwerte erforderlich, können zusätzliche Rauschminderungsfilter oder
Mittelung über bestimmte Zeiten angewendet werden, was anzugeben ist, siehe 6.5.1.2.3.4.
Eine Spezifikation des Messgeräterauschens muss die jeweilige Datenerfassungszeit, die Anzahl der
unabhängigen Datenpunkte und das Default-Filterverfahren für die Oberflächentopographie einschließen,
siehe Literaturhinweis [3].
ANMERKUNG Das S-Filter als Tiefpassfilter verringert das Rauschen, kann jedoch die topographische räumliche
Auflösung beeinflussen, falls diese Auflösung durch die laterale Abtastung begrenzt ist. Bei der Abschätzung des
Rauschens für die größte laterale Auflösung kann es zu bevorzugen sein, Messungen ohne Anwendung eines S-Filters
durchzuführen.
BEISPIEL In einem Spezifikationsblatt kann eine quantitative Angabe des Messgeräterauschens Folgendem
entsprechen: gesamte Messfläche, 1 s Datenerfassung (bei 10 Mittelwerten je Sekunde) und ein 3×3-Pixel-
Medianwertfilter.
16
prEN ISO 25178-700:2020 (D)
6.5.1.2.2 Maßverkörperung für die Abschätzung des Messgeräterauschens
In Abhängigkeit vom angewendeten Messprinzip sollte als Default-Verfahren für die Bestimmung des
Messgeräterauschens eine Maßverkörperung mit glatter und ebener Oberfläche verwendet werden, deren
Oberflächeneigenschaften ein optimales Signal/Rausch-Verhältnis ergeben.
ANMERKUNG 1 Andere Arten von Oberflächen sind ebenfalls anwendbar, sofern festgelegt. Beispielsweise kann ein
Mindestmaß an Rauheit für Messprinzipien wie Fokusvariation erforderlich sein.
ANMERKUNG 2 Maßverkörperungen mit Antireflexionsbeschichtung für optische Messungen oder Stick-slip für
mechanische Messungen bieten möglicherweise kein optimales Signal/Rausch-Verhältnis.
BEISPIEL Maßverkörperungen vom Typ AFL nach ISO 25178-70.
6.5.1.2.3 Verfahren für die Bestimmung des Messrauschens
6.5.1.2.3.1 Allgemeines
Das Subtraktionsverfahren, 6.5.1.2.3.3, ist das Default-Verfahren für die Bestimmung des Messrauschens von
Geräten für flächenhafte Messungen.
Eine quantitative Angabe des Messrauschens muss sämtliche räumlichen oder zeitlichen Filter einschließen,
welche die Ortsfrequenzen beeinflussen können, über die das Rauschen bestimmt wird, siehe
Literaturhinweis [3].
Bei der Bewertung des Messrauschens als Annäherung an das Messgeräterauschen sollte die
Maßverkörperung nach 6.5.1.2.2 ausgerichtet werden, um einen kleinstmöglichen Messbereich zu erhalten
und so den Einfluss von Schwingungen auf das Ergebnis zu minimieren.
ANMERKUNG 1 Einige Messgeräte verwenden interne Filter, die nicht durch den Anwender abgeschaltet werden
können, aber mindestens eine quantitative Angabe der Merkmale dieser Filter ist erforderlich.
ANMERKUNG 2 Glättungsfilter können die laterale Auflösung des Messgeräts beeinflussen.
6.5.1.2.3.2 Bewertete Parameter
Der bewertete Parameter ist NM nach 6.5.1.2.3.3.
6.5.1.2.3.3 Abschätzung des Messrauschens mittels Subtraktionsverfahren
Das Default-Verfahren für die Bestimmung des Messrauschens ist die Messung einer ebenen
Maßverkörperung, die zweimal an derselben Stelle mit der kleinstmöglichen Zeitdifferenz zwischen den
beiden aufeinanderfolgenden Messungen durchzuführen ist. Die zur Erfassung der Signaldaten für jede
einzelne Messung erforderliche Zeit (definiert als die „Datenerfassungszeit“) muss angegeben werden
ebenso wie jegliche Filterung, welche den Rauschwert verändert. Die zwei gemessenen Topographien
werden voneinander subtrahiert. Idealerweise wird dadurch das Ergebnis unabhängig von der exakten
Topographie der Maßverkörperung, sodass weder Filterung noch jegliche weitere Form-Einfluss-
Beseitigung der Maßverkörperung erforderlich ist. Die vertikale Drift sowie jegliche Drift in der
Oberflächenneigung kann durch Entfernen einer Ebene der kleinsten Quadrate von den Messungen oder der
Messdifferenz beseitigt werden. Die Division des mittleren Quadratwertes der verbleibenden Differenzen
durch 2 ergibt das Messrauschen NM.
Das Messrauschen wird in der Praxis durch Berechnung der mittleren quadratischen Höhe Sq (bzw. Rq bei
Profilmessungen) der Differenz zwischen zwei Abbildungen bestimmt, und das Rauschen wird anschließend
mittels Division dieses Sq-Wertes durch 2 erhalten. Sq wird auf der S-L-Oberfläche bewertet. Die
17
prEN ISO 25178-700:2020 (D)
Verfeinerungsindizes sollten möglichst genau den anschließend für Messungen verwendeten

Verfeinerungsindizes entsprechen.
Bei Abtastpunktsensoren muss das Messgeräterauschen dementsprechend je nach Anwendung mittels

Profilmessungen oder flächenhafter Abtastmessungen bestimmt werden.
ANMERKUNG 1 Eine mathematische Beschreibung des Subtraktionsverfahrens zur Abschätzung des Messrauschens:
1 1 1 2
M = 1
( , ) 2
( , ) d d (1)
2 2
Wobei A die gemessene Fläche und Sq den mittleren Quadratwert der Differenzen bezeichnet.
ANMERKUNG 2 Mathematische Beschreibung des Verfahrens für diskret erfasste Daten:
1 1 2
M = 1 , 2 , (2)
2 =1 =1
ANMERKUNG 3 Die Division durch 2 berücksichtigt die Tatsache, dass jede der zwei Messungen zum Rauschen
beiträgt.
ANMERKUNG 4 Obwohl sich die Beschreibung des Messgeräterauschens nach ISO 25178-701 (darin als dynamisches
Rauschen beschrieben) auf berührend messende Geräte (mit Taster) bezieht, wird das Konzept nun in ISO 25178-700
als Messrauschen für alle Abtastpunktsensoren verallgemeinert.
ANMERKUNG 5 Bei Messgeräten, die Daten mittels Abtastung über einen Bereich von Oberflächenhöhen erfassen, z. B.
CSI und konfokale Mikroskope, kann die Datenerfassungszeit als eine Höhenabtastgeschwindigkeit, z. B. 10 Mikrometer
je Sekunde, ausgedrückt werden.
ANMERKUNG 6 Die Begriffe „vertikale Auflösung“, „Oberflächenhöhenauflösung“ u. Ä. sind mitunter in der technischen
Literatur und Messgerätebroschüren zu finden. Die „vertikale Auflösung“ bezieht sich qualitativ auf die kleinste sinnvoll
messbare Veränderung der Oberflächenhöhe in einer Topographie. Es handelt sich nicht um eine definierte numerische
Spezifikation. Es wird empfohlen, keinen numerischen Wert einer Messgröße anzugeben, siehe Literaturhinweis [4].
6.5.1.2.3.4 Abschätzung des Messrauschens N MA (n) durch das Mittelungsverfahren
Um eine stabile Rauschabschätzung zu ermitteln und eine Bewertung der Stabilität des Rauschens zu
ermöglichen, wird das Objekt mehrfach (n, n 3) an derselben Stelle mit der kleinstmöglichen Zeitdifferenz
zwischen den wiederholten Messungen gemessen. Die zur Erfassung der Signaldaten für jede einzelne
Messung erforderliche Zeit (definiert als die „Datenerfassungszeit“) muss angegeben werden ebenso wie
jegliche Filterung, welche den Rauschwert verändert. Die gemessenen Topographien werden gemittelt und
dieser Mittelwert wird von jeder Messung subtrahiert. Idealerweise wird dadurch das Ergebnis unabhängig
von der exakten Topographie der Maßverkörperung, sodass weder Filterung noch jegliche weitere Form-
Einfluss-Beseitigung der Maßverkörperung erforderlich ist. Die vertikale Drift sowie jegliche Drift in der
Oberflächenneigung kann durch Entfernen einer Ebene der kleinsten Quadrate von den einzelnen
Messungen beseitigt werden. Der mittlere Quadratwert der Differenzen mit dem Mittelwert, korrigiert um
die Freiheitsgrade, ist das Messrauschen NM.
ANMERKUNG 1 Mathematische Beschreibung des Verfahrens für diskret erfasste Daten:
!
!
"2
1 2
, , ( , ) ( , )
=1 =1 =1
=1 (3)
MA ( )= =
1 1
Dabei ist zm der Mittelwert der z-Koordinaten der n Messungen.
18
prEN ISO 25178-700:2020 (D)
diesem Fall gilt ( , ) = 1#2 1 ( , ) + 2 ( , ) .

ANMERKUNG 2 Bei n = 2 liefert Gleichung (3) das gleiche Ergebnis wie Gleichung (2), wobei beachtet wird, dass in
ANMERKUNG 3 Lässt das Messgerät den Zugang zu einzelnen Datenpunkten und/oder die Subtraktion von
Topographien nicht zu, aber die Mittelung von Topographien, kann auch die folgende Gleichung verwendet werden:
!
"2 ( , ) $ "2 ( , )
M =
=1
(4)
1
Es gelten ANMERKUNG 4 und ANMERKUNG 5 nach 6.5.1.2.3.3.
6.5.1.2.4 Stabilisierung der Rauschabschätzung
Für die Aufzeichnung der Stabilität der Rauschabschätzung sollte die Messung mindestens dreimal (n 3)
wiederholt werden; das Messrauschen in Abhängigkeit von der Anzahl der Messungen i wird bestimmt
durch
" &
( , ) '
( , )
% =
(1
(5)
1
Dabei ist NMi die i-te Messung des Messrauschens und zm der gewichtete Mittelwert.
Wird das Rauschen anhand von Messpaaren wie nach Gleichung (2) bestimmt, sollte diese Rauschmessung
mit einer Anzahl p 2 wiederholt werden, und das Messrauschen kann abgeschätzt werden durch
))))
*
1
%,
M =
2 (6)
=1
Dabei ist
))))
M das stabilisierte Messrauschen;
NM,i die i-te Messung des Messrauschens, jeweils durchgeführt nach 6.5.1.2.3.
ANMERKUNG 1 Durch die wiederholten Messungen werden die Rauschwerte lediglich stabilisiert, ohne sie zu
verringern.
ANMERKUNG 2 Die Stabilität des Rauschens ist durch die Bestimmung der Standardabweichung der Rauschwerte NMi
gegeben.
ANMERKUNG 3 Die Aufzeichnung der Stabilität des Rauschens kann möglicherweise nichtperiodische
Umgebungseinflüsse oder zeitabhängige Einflüsse aufzeigen.
ANMERKUNG 4 Werden alle möglichen paarweisen Kombinationen von n Messungen (n ist eine gerade Zahl)
durchgeführt, ergibt Gleichung (6) das gleiche Ergebnis wie Gleichung (3), und wird das Rauschen anhand von
Messpaaren wie nach Gleichung (2) bestimmt, sollte diese Rauschmessung mit einer Anzahl p 2 wiederholt werden,
und das Messrauschen kann abgeschätzt werden durch
))))
*
1
%,
M =
2 (6)
=1
Dabei ist
19
prEN ISO 25178-700:2020 (D)
))))
M das stabilisierte Messrauschen;
NM,i die i-te Messung des Messrauschens, jeweils durchgeführt nach 6.5.1.2.3.
ANMERKUNG 5 Werden alle möglichen paarweisen Kombinationen von n Messungen (n ist eine gerade Zahl)
durchgeführt, ergibt Gleichung (6) das gleiche Ergebnis wie Gleichung (3) und Gleichung (4).
ANMERKUNG 6 Lässt das Messgerät den Zugang zu einzelnen Datenpunkten und/oder die Subtraktion von
Topographien nicht zu, aber die Mittelung von Topographien, und gilt Sq(zi(x,y))>Sq(zm(x,y)) für jeweils i = 1 .. n, kann
auch die folgende Gleichung verwendet werden:
"2 ( , ) "2 ( , )
% (1
= (7)
1
ANMERKUNG 7 Gleichung (7) ist auch eine Annäherung und kann im Vergleich zu Gleichung (5) geringfügig
abweichende Absolutwerte ergeben, aber die Stabilität wird ebenfalls überwacht.
6.5.2 Ebenheitsabweichung
6.5.2.1 Bestimmung der Ebenheitsabweichung
6.5.2.1.1 Allgemeines
Die Ebenheitsabweichung ist in ISO 25178-600 definiert.
6.5.2.1.2 Maßverkörperung für die Bestimmung der Ebenheitsabweichung
Ein ebenes Messnormal, vorzugsweise optisch glatt, muss für die Bestimmung der Ebenheitsabweichung
verwendet werden.
ANMERKUNG Das Messnormal muss nicht optisch glatt sein, wenn das Prinzip eine gewisse Rauheit erfordert, um
Ergebnisse zu liefern.
BEISPIEL Typ AFL nach ISO 25178-70.
6.5.2.1.3 Verfahren zur Bestimmung der Ebenheitsabweichung
Vor der Messwerterfassung muss das Messnormal mechanisch in Bezug auf das Koordinatensystem des
Messgeräts ausgerichtet werden. Nach der Erfassung muss die gemessene Topographie vor der Bewertung
von zFLT auch mathematisch angeglichen werden. Der bewertete Parameter für die Ebenheitsabweichung
zFLT ist Sz, bestimmt nach 6.5.2.1.4.
6.5.2.1.4 Verbesserung der Abschätzung der Ebenheitsabweichung
Für die Verbesserung der Abschätzung der Ebenheitsabweichung sollte das Messnormal an mehreren
unabhängigen unterschiedlichen lateralen Stellen gemessen werden. Ein mittleres Topographieabbild wird
durch Mittelung jedes Punktes (z. B. Pixel in Abbildungssystemen) im Abbild erreicht. Das Default-
Mittelungsverfahren ist die Berechnung des Mittelwertes. Der Sz-Parameter der resultierenden gemittelten
Topographie ist die verbesserte Ebenheitsabweichung zFLT. Die Anzahl der für die Verbesserung
verwendeten Messungen muss angegeben werden.
ANMERKUNG 1 Bei Verwendung des beschriebenen Verfahrens ist Sz die Summe aus dem Höchstwert der
Vertiefungshöhe und dem Höchstwert der Spitzenhöhe der beschriebenen Oberfläche.
ANMERKUNG 2 Die Verschiebung wird zur Verringerung des Einflusses kleiner Abweichungen der
Maßverkörperungen von der Idealform verwendet. Die Mittelung beispielsweise verringert den Einfluss möglicher
Ebenheitsabweichungen der Maßverkörperung und auch den Einfluss von Messrauschen.
20
prEN ISO 25178-700:2020 (D)
ANMERKUNG 3 Ein angemessener Wert für die laterale Verschiebung kann anhand der Auswertung der
Autokorrelationslänge in der Topographie des Messnormals abgeleitet werden. Die Autokorrelationslängenfunktion Sal
liefert einen Mindestwert für die Verschiebung des Messnormals.
ANMERKUNG 4 In der Praxis kann die laterale Verschiebung beispielsweise 1/10 des Sichtfeldes betragen.
ANMERKUNG 5 Systeme mit begrenzten Positionierungsfähigkeiten können eine Verschiebung nur in einer Richtung
einsetzen.
ANMERKUNG 6 Bei Messprinzipien mit x-y-Abtastpunkten beträgt ein typischer Verschiebungswert mehr als
100 Abtastpunkte.
ANMERKUNG 7 Dieses Verfahren beispielsweise verringert nicht die Einflüsse von Zylindrizität/Rundheit und
Drehmoment.
ANMERKUNG 8 Die Randomisierung kann auch durch Drehen des Messnormals verbessert werden.
6.5.2.1.5 Verwendung von Filtern und Operatoren
In Anwendungen, in denen Filter oder Operatoren eingesetzt werden, kann die Bestimmung der Ebenheit
nach 6.5.2.1.3 und 6.5.2.1.4 unter denselben Filterbedingungen erfolgen, die für die Messungen verwendet
wurden. Das verwendete Filter und sein Nesting-Index sowie die verwendeten Operatoren müssen
angegeben werden.
BEISPIEL Der Nesting-Index des S-Filters kann nach ISO 25178-3:2012, Tabelle 3, für eine bestimmte
Anwendung ausgewählt werden, sofern nicht anderweitig in Abschnitten zur Kalibrierung der jeweiligen
Messprinzipien festgelegt, siehe Normenreihe ISO 25178-700.
6.5.2.2 Kalibrierung der Ebenheitsabweichung
Das in 6.5.2.1.3 und 6.5.2.1.4 beschriebene Verfahren ist das Default-Verfahren für die Kalibrierung der
Ebenheitsabweichung. Der bewertete Parameter zFLT muss angegeben werden. Die Kalibrierung muss unter
Berücksichtigung von 5.3 und 5.4 erfolgen. Die Fläche (Länge und Breite), über welche die
Ebenheitsabweichung kalibriert wird, muss angegeben werden. Bei Messung im größeren Maßstab muss der
Nesting-Index aller verwendeten S-Filter angegeben werden.
6.5.2.3 Justierung der Ebenheitsabweichung
Die nach 6.5.2.1.3 gemessene Topographie der Ebenheitsabweichung oder die nach 6.5.2.1.4 berechnete
gemittelte Topographie kann für die Justierung verwendet werden. Für die Justierung muss diese
Topographie von nachfolgenden Messungen subtrahiert werden.
ANMERKUNG Die Justierung ist nur gültig für die während der Kalibrierung verwendeten Messbedingungen.
6.5.2.4 Verifizierung der Ebenheitsabweichung
Nach der Justierung darf die Ebenheitsabweichung entsprechend den Verfahren nach 6.5.2.1.3 oder 6.5.2.1.4
verifiziert werden. Der Wert für zFLT muss angegeben werden.
ANMERKUNG Ist keine Justierung erforderlich, dient die ursprüngliche Kalibrierung als Verifizierung. In diesem Fall
6.5.2.5 Ebenheitsabweichung in Leistungsvergleichen
Die unter den günstigsten Bedingungen bestimmte Ebenheitsabweichung sollte angegeben werden für
Messgerätebeschreibung oder Leistungsvergleich, siehe ISO 25178-600:2020, 3.1.15.
ANMERKUNG Die Ebenheitsabweichung wird typischerweise nach der Justierung festgelegt.
21
prEN ISO 25178-700:2020 (D)
6.5.2.6 Großmaßstäbliche Ebenheitsabweichung
In einigen Fällen wird nur die großmaßstäbliche Ebenheitsabweichung für ebene Oberflächen betrachtet,
wenn kleinere Strukturen nicht von Interesse sind. Dies erfolgt gewöhnlich durch Verwendung eines S-
Filters mit großem Nesting-Index. Andere Verfahren zur Bestimmung der großmaßstäblichen
Ebenheitsabweichung müssen angegeben und validiert werden.
ANMERKUNG 1 Typischerweise wird das Gauß-S-Filter mit einer Wellenlänge angewendet, die 1/10 der Diagonalen
des Sichtfeldes entspricht.
ANMERKUNG 2 Alternativ kann eine Polynomanpassung statt des S-Filters für die Annäherung der großmaßstäblichen
Ebenheitsabweichung angewendet werden. Dies repräsentiert die Formabweichung.
ANMERKUNG 3 Die großmaßstäbliche Ebenheitsabweichung wird beispielsweise für die Justierung optischer
Messgeräte verwendet.
ANMERKUNG 4 Beispiele für Justierungen sind die Verzerrung aufgrund des optischen Strahlengangs innerhalb des
Messgeräts oder der reproduzierbare Teil der Bewegungsfehler einer Translationsstufe.
6.5.3 Verstärkungskoeffizient ( z) der z-Achse
6.5.3.1 Allgemeines
Die Bestimmung des Verstärkungskoeffizienten ( z) für die z-Achse beruht auf der Verwendung eines
kartesischen Messkoordinatensystems mit 3 unabhängigen Koordinatenachsen. Berührend messende
Systeme mit zusätzlicher bogenförmiger Bewegung beispielsweise sind in der x- und der z-Richtung nicht
unabhängig. Bogenförmige Bewegung ist nicht durch diese Norm abgedeckt und kann in einer künftigen
Überarbeitung von ISO 25178-701 behandelt werden.
Für Default-Verfahren zur Kalibrierung der z-Achse werden Maßverkörperungen verwendet. Beim Default-
Verfahren wird berücksichtigt, dass es ebenfalls im Labor des Anwenders für wiederkehrende
Routinemessungen angewendet werden kann.
Andere Verfahren zur Kalibrierung der Verstärkung und der Linearitätsabweichung der z-Achse dürfen statt
der Maßverkörperungen angewendet werden. Beispiele umfassen Kalibrierung mittels interferometrischer
Techniken, die anhand der optischen Wellenlänge rückverfolgbar sind, oder mittels jedes anderen
eingebetteten Sensors, für den ein rückverfolgbarer Pfad zur Zähleinrichtung vorhanden ist, einschließlich
einer Angabe der Unsicherheit.
Einige Messgeräte schließen mehr als eine Positioniereinrichtung mit unterschiedlichen z-Abtastbereichen
ein. Die Bestimmung des Verstärkungskoeffizienten der z-Achse des Messgeräts kann für beide Stufen
unabhängig erfolgen. Wenn beispielsweise beide Stufen für eine einzelne Messung mit Stitching in
z-Richtung verwendet werden, muss die Bestimmung für die kombinierte Abtastung erfolgen, siehe auch
6.5.3.4.1.
ANMERKUNG Beispiel für ein Messgerät mit zwei Translationsstufen: piezogetriebene Stufe für Abtastbereiche im
Mikrometerbereich und motorgetriebene Stufe für Abtastbereiche im Millimeterbereich.
6.5.3.2 Maßverkörperungen
Für das Default-Verfahren muss eine Maßverkörperung mit kalibrierter Tiefe (d. h. AFL, PDG, SPM, PGR, PGC,
AGP, ACG, AGC usw.) verwendet werden. Der für den Verstärkungskoeffizienten z zu bewertende Parameter
ist die Tiefe d. Messungen sind an den kalibrierten Bereichen der Maßverkörperung entsprechend der
Lieferantenangabe vorzunehmen. Andere Maßverkörperungen, wie z. B. Maßverkörperungen für die
Rauheit, dürfen nicht zur Bestimmung des Verstärkungskoeffizienten z verwendet werden.
ANMERKUNG 1 Die Verwendung einer mehrstufigen Maßverkörperung kann vorteilhaft sein.
22
prEN ISO 25178-700:2020 (D)
ANMERKUNG 2 Maßverkörperungen sind in ISO 25178-70 (2014) beschrieben.
ANMERKUNG 3 Eine Kombination von mehr als einem Messnormal ist zulässig.
6.5.3.2.1 Geometrische und werkstoffbezogene Anforderungen
Die Maßverkörperung ist so auszuwählen, dass ihre Struktur die Bestimmung der Stufentiefe oder -höhe
nicht beeinflusst. Zu betrachtende Parameter sind beispielsweise Seitenverhältnis (Höhe zu Breite),
Ebenheit, Rauheit und Werkstoffeigenschaften, siehe ISO 25178-70.
ANMERKUNG 1 Für den Fall, dass die Anforderungen an Breite und Seitenverhältnis nicht erfüllt werden können,
siehe z. B. Literaturhinweis [5].
ANMERKUNG 2 Die Struktur der Maßverkörperung kann das Ergebnis beeinflussen, wenn die Größe der Struktur nahe
der Grenze der kleinmaßstäblichen Topographie des Messgeräts liegt (siehe ISO 25178-600, 3.1.21 und 6.6.2.2).
ANMERKUNG 3 Raue und nicht ebene Oberflächen können die Messunsicherheit erhöhen.
6.5.3.2.2 Ausrichtung der Maßverkörperung
Der Auswertungsbereich der Maßverkörperung sollte so ausgerichtet werden, dass er rechtwinklig zur
z-Achse des Messgeräts liegt.
BEISPIEL Eine ausreichend rechtwinklige Ausrichtung ist gleichbedeutend mit weniger als 3 Interferenzstreifen
im Sichtfeld eines Interferenzmikroskops. Zu Beispielen siehe ISO 25178-603 und ISO 25178-604.
6.5.3.3 Verfahren zur Bestimmung des Verstärkungskoeffizienten ( z) für die z-Achse des
Messgeräts
Die Messung der Stufentiefen oder -höhen d ist das Default-Verfahren für die Bestimmung des
Verstärkungskoeffizienten z oder des Korrekturfaktors. Zu diesem Zweck wird die gemessene Tiefe mit der
kalibrierten Tiefe der Maßverkörperung verglichen. Der Koeffizient wird bestimmt anhand des Quotienten
aus dem Parameter der gemessenen Tiefe d und dem Wert der kalibrierten Tiefe dcal.
Eine einstufige Maßverkörperung könnte für einige gegebene Anwendungen ausreichen. Alternativ werden
mehrere Stufenhöhen oder eine mehrstufige Maßverkörperung bevorzugt, wenn das Messgerät zur
Bestimmung von Texturparametern eingesetzt wird. In diesem Fall wird der Verstärkungskoeffizient
bestimmt, indem eine Gerade an die ermittelten Stufentiefen oder -höhen nach der Methode der kleinsten
Quadrate angepasst wird.
ANMERKUNG Das Maß von Texturparametern liegt typischerweise im Nanometer- oder Mikrometerbereich. Eine
mehrstufige Maßverkörperung kann kleinere und größere Stufentiefen oder -höhen abdecken.
6.5.3.3.1 Typ PGR: Rille, gerade (rechteck- oder trapezförmig) Messbereiche
Die Default-Messbereiche für eine rechteckförmige Maßverkörperung vom Typ PGR entsprechend dem
Pofilnormal nach ISO 5436-1 sowie dem Normal nach ASME B46.1-2009 [6] sind in Bild 2 dargestellt. Die
Default-Bereiche für eine trapezförmige Maßverkörperung sind in Bild 3 dargestellt.
ANMERKUNG 1 Bild 2 entspricht Bild 3 mit senkrechten Wänden.
ANMERKUNG 2 Die Verwendung anderer Messbereiche entsprechend der Auslegung der Maßverkörperung und dem
Messprinzip ist unter der Voraussetzung ordnungsgemäßer Dokumentation zulässig.
23
prEN ISO 25178-700:2020 (D)
Legende
A, B Bezugsflächen für Ausrichtung
C Rillen-(Plateau-)Fläche
w Rillen-(Plateau-)Breite
l Länge der Messflächen
d Tiefe
Bild 2 — Default-Messflächen für eine Maßverkörperung vom Typ PGR mit mittiger Rille
Legende
A, B Bezugsflächen für Ausrichtung
C Rillen-(Plateau-)Fläche
w Rillen-(Plateau-)Breite
l Länge der Messflächen
d Tiefe
Bild 3 — Default-Messflächen für eine Maßverkörperung vom Typ PGR für eine trapezförmige
Maßverkörperung
24
prEN ISO 25178-700:2020 (D)
6.5.3.3.2 Typ PGR: Rille, gerade (rechteck- oder trapezförmig) Analyseverfahren
6.5.3.3.2.1 Flächenverfahren
Parallele Ebenen der kleinsten Quadrate sollten an die Datenpunkte der Flächen A, B und C angepasst
werden.
Alternativ ist eine Ebene der kleinsten Quadrate an die Flächen A und B anzupassen und anschließend eine
Ausrichtung (Neigungskorrektur) durchzuführen, bevor die mittlere Tiefe (bzw. Höhe) der Datenpunkte von
Fläche C abgeschätzt wird. Alternativ ist eine Ebene der kleinsten Quadrate an die Flächen 1 und 2
anzupassen und anschließend eine Ausrichtung (Neigungskorrektur) durchzuführen, bevor die mittlere
Tiefe (bzw. Höhe) der Datenpunkte von Fläche 3 abgeschätzt wird.
Die Bestimmung der Höhen bzw. Tiefen kann durch Berechnung des Abstands zwischen dem Schwerpunkt
der Rillen- oder Plateaufläche und der angepassten Flächenreferenz erfolgen.
6.5.3.3.2.2 Profilverfahren
Parallele Linien der kleinsten Quadrate sollten an die Datenpunkte der Flächen A, B und C angepasst werden.
Linien der kleinsten Quadrate sind an die Flächen A und B anzupassen und anschließend ist eine
Ausrichtung durch Drehen (Neigungskorrektur) durchzuführen, bevor die Tiefe (bzw. Höhe) der
Datenpunkte von Fläche C abgeschätzt wird.
Eine Reihe von mindestens 9 parallelen Profilen mit unabhängig ausgewerteter Tiefe (bzw. Höhe) d für jedes
Profil muss durchgeführt werden. Die mittlere Tiefe (bzw. Höhe) d wird berechnet und angegeben.
Der Abstand zwischen den Profilen muss so gewählt werden, dass der Großteil der vom Normalhersteller
der Maßverkörperung festgelegten Fläche abgedeckt wird.
Bei einem Rillen- oder Plateau-Normal, das über seine Länge wesentliche Linearitätsabweichungen aufweist,
ist die Auswertung von d mittels Profilmessungen das Default-Verfahren für diese Art Kalibrierung.
ANMERKUNG Siehe ISO 21920-2 (in Erarbeitung) zur Extraktion von Linienprofilen aus einer Flächenmessung.
6.5.3.3.3 Flächen- und Profilkalibrierverfahren
Das Flächenverfahren ist das bevorzugte Verfahren, ausgenommen bei Messgeräten, die Topographie-
abbilder anhand von Linienprofilen erzeugen, wofür das Profilverfahren bevorzugt wird.
Die Maßverkörperung muss vorzugsweise unter Anwendung desselben Verfahrens kalibriert werden, für
das sie verwendet wird.
6.5.3.3.4 Sonstige Maßverkörperungen für die Kalibrierung der z-Achse des Messgeräts
Verschiedene Maßverkörperungen dürfen statt Kalibrierkörpern vom Typ PGR für die Kalibrierung der
z-Achse verwendet werden. Kalibriertechniken für flächenhafte Topographiemessgeräte sollten dem im
Zertifikat der Maßverkörperung beschriebenen Kalibrierverfahren entsprechen.
Beispiele nach ISO 25178-70 umfassen u. a. Folgendes:
— Typ PDG: Doppelrille;
— Typ AGP: Rillen, rechtwinklig;
— Typ ACG: Kreuzraster.
25
prEN ISO 25178-700:2020 (D)
Einseitige Stufen wurden ebenfalls als Normale für die Höhenkalibrierung verwendet, siehe
Literaturhinweise [7], [8] und [9]. Zur Vermeidung von systematischer Messabweichung aufgrund von
Oberflächenkrümmung werden Geraden an Profildaten angepasst, die vorzugsweise die gleiche
Verschiebung vom Stufenübergang aufweisen. Einseitige Stufen auf der Grundlage von
Atomgittereigenschaften mit Höhen im Nanometerbereich, siehe Literaturhinweis [10], und
Subnanometerbereich, siehe Literaturhinweis [11], sind besonders vorteilhaft, wenn doppelseitige Stufen
schwierig herzustellen und nicht verfügbar sein können. Aus einseitigen Stufen bestehende Treppen sind
ebenfalls nützlich bei der gleichzeitigen Messung der z-Verstärkung und der Linearitätsabweichung, siehe
Literaturhinweis [12].
ANMERKUNG 1 Beste Ergebnisse werden erzielt, wenn dieselbe Definition für die Stufenhöhe/Rillentiefe
(einschließlich Breite w) angewendet wird durch:
a) das Labor, in dem die Maßverkörperung kalibriert wird;
b) den Anwender.
Wird nicht dieselbe Definition angewendet, kann die resultierende Messunsicherheit beeinflusst werden.
ANMERKUNG 2 Eine trapezförmige Maßverkörperung entsprechend der Beschreibung nach Literaturhinweis [13]
kann eine Alternative für Messgeräte mit großem Messvolumen sein. Das Messvolumen ist in ISO 25178-600:2020,
3.1.8, definiert.
6.5.3.4 Kalibrierung der Skala über den Bereich der z-Achse des Messgeräts
Die Kalibrierung der z-Skala der Messgeräte erfolgt durch Bestimmung des Verstärkungskoeffizienten nach
6.5.3.3.
6.5.3.4.1 Bereich und Abstand der Messpositionen für die Kalibrierung der z-Skala des Messgeräts
Der gesamte vorgesehene z-Bereich für die Anwendung des Messgeräts sollte für die Bestimmung des
Verstärkungskoeffizienten der z-Achse des Messgeräts verwendet werden. Der Abstand der Positionen
innerhalb der z-Skala sollte so gewählt werden, dass der gesamte vorgesehene z-Bereich abgedeckt wird.
Bei Messgeräten mit größerem Abtastbereich, siehe z. B. Literaturhinweis [14], der die Rillentiefen der
Maßverkörperungsnormale übersteigt, wird das Verfahren bei verschiedenen Höhen innerhalb des
Abtastbereichs der Messgeräte durchgeführt. Die Messungen sollten an sinnvollen Positionen über den
gesamten vorgesehen z-Bereich erfolgen. Für die Messgerätebeschreibung durch den Hersteller
beispielsweise werden mehr Positionen empfohlen, und der vorgesehene z-Bereich sollte der gesamte
Abtastbereich sein. Maßverkörperungen mit mehr als einer Stufenhöhe können verwendet werden.
ANMERKUNG 1 Abweichung von einer linearen Verstärkungskurve resultiert aus linearen Abweichungen entlang der
z-Achse. Daher kann die Kalibrierung der z-Skala an verschiedenen Positionen innerhalb des z-Bereichs für die
Kalibrierung der Linearitätsabweichung verwendet werden, siehe 6.5.4 und 6.5.4.2.2.
ANMERKUNG 2 Maßverkörperungen mit erheblich kleineren Stufenhöhen als der Abtastbereich des Messgeräts
werden häufig für die Kalibrierung der Messgeräte eingesetzt, die für die Bestimmung der Texturparameter vorgesehen
sind. Dieser Abschnitt beschreibt daher Probenprüfungen bei verschiedenen Höhen innerhalb des Abtastbereichs des
Messgeräts und deckt die Anforderung nach 6.5.4.2.1 ab.
BEISPIEL Beträgt die Rillentiefe 10 % des vorgesehenen z-Bereichs, würden drei Messungen über den Bereich
30 % des vorgesehenen z-Bereichs abdecken.
26
prEN ISO 25178-700:2020 (D)
6.5.3.4.2 Bereich und Abstand der Messpositionen für die Kalibrierung einer reduzierten z-Skala
des Messgeräts
Wird das Messgerät lediglich innerhalb eines bestimmten z-Bereichs eingesetzt, kann die Kalibrierung
innerhalb des reduzierten z-Bereichs erfolgen. Falls ein Bereich bevorzugter Leistung ermittelt werden kann,
darf dieser daher mit seinem lokalen Korrekturkoeffizienten verwendet werden.
Der lokale Verstärkungskoeffizient kann die Messunsicherheit bei diesem spezifischen Bereich verbessern.
Dieses Verfahren liefert jedoch keine Angaben zur Messunsicherheit außerhalb dieses Bereichs, und
außerhalb dieses Bereichs können unerwartete Fehler vorliegen.
Dieses Verfahren darf für eine schnelle Routinekalibrierung angewendet werden, die durchgeführt wird, um
zu überprüfen, ob sich die Messgeräteleistung seit der vorherigen Kalibrierung nicht verändert hat. Werden
in diesem Fall jedoch Abweichungen von den früheren Werten festgestellt, muss der gesamte
z-Abtastbereich kalibriert werden.
ANMERKUNG Dieses Verfahren wird für die Routinekalibrierung für eine bestimmte Messaufgabe angewendet, für
die eine kleinere z-Abtastung innerhalb des z-Bereichs des Messgeräts an einer vorgegebenen Position erforderlich ist.
6.5.3.5 Justierung der z-Skala der z-Achse des Messgeräts
Die Justierung des Verstärkungskoeffizienten der z-Achse des Messgeräts erfolgt durch Multiplizieren des
zuvor festgelegten Koeffizienten mit dem gemessenen Korrekturfaktor. Bei an mehr als einer Position
vorgenommenen Messungen werden die Messwerte der Stufenhöhen aller Positionen gemittelt, und anhand
dieses Mittelwertes wird der Korrekturfaktor bestimmt, der für die Justierung verwendet wird.
6.5.3.6 Verifizierung der z-Skala der z-Achse des Messgeräts
Nach der Justierung darf der Verstärkungsfaktor entsprechend den Verfahren nach 6.5.3.3 verifiziert
werden. Die gemessene Stufenhöhe d sollte innerhalb einer kleinen abgeschätzten Unsicherheit gleich dcal
sein.
6.5.4 Bestimmung der z-Linearitätsabweichung lz
6.5.4.1 Allgemeines
Die Linearitätsabweichung ist in ISO 25178-600:2018, 3.1.11, definiert. Idealerweise haben alle gemessenen
Verstärkungskoeffizienten für verschiedene Stufenhöhen und an verschiedenen Positionen innerhalb des
z-Abtastbereichs denselben Wert, siehe 6.5.3.3. Allerdings können Umkehrspiel oder Nichtlinearitäten der
Translationsstufe zu Abweichungen führen. Die Linearitätsabweichung erhöht die Messunsicherheit.
ANMERKUNG Starke Linearitätsabweichungen können bei motorgetriebenen Translationsstufen mit großem

Abtastbereich auftreten und auch z. B. durch Spindelalterung verursacht werden.
6.5.4.2 Bestimmung der z-Linearitätsabweichung lz
Zuerst muss der Verstärkungskoeffizient nach 6.5.3 bestimmt werden. Für die Feststellung von
Linearitätsabweichungen sind Messungen an einer Anzahl von Positionen und Stufenhöhen erforderlich,
während für die Bestimmung des Verstärkungskoeffizienten eine einzelne Messung ausreichen kann. Die
z-Linearitätsabweichung lz wird als die maximale lokale Linearitätsabweichung bestimmt. Der bewertete
Parameter ist die maximale Abweichung der gemessenen Tiefen von der kalibrierten Tiefe dcal nach der
Justierung des Verstärkungskoeffizienten, siehe Bild 4, Legendenpunkt 5, siehe auch ISO 25178-600:2020,
Bild 2. Maßverkörperungen mit mehr als einer Stufenhöhe können verwendet werden.
Die maximale lokale Linearitätsabweichung über den gesamten z-Messbereich muss angegeben werden.
27
prEN ISO 25178-700:2020 (D)
ANMERKUNG 1 Die Linearitätsabweichungen der z-Positioniereinheit können mittels einer externen

Positionsmesseinrichtung, wie z. B. Laserinterferometer, gemessen werden. Bild 4 mit durchgehender
Verstärkungskurve stellt eine solche Messung dar.
ANMERKUNG 2 Sowohl Verstärkung als auch Linearität können anhand der Ergebnisse derselben Art Messungen
bestimmt werden.
ANMERKUNG 3 Bei Messgeräten mit mehreren z-Abtastachsen kann jede Achse separat spezifiziert werden.
ANMERKUNG 4 Innerhalb bestimmter Grenzen kann ein geneigter Bezugskalibrierkörper, z. B. ein optischen Planglas,
im Vergleich zu seinem ausgerichteten Profil einen schnellen Hinweis auf die Nichtlinearität der z-Achse geben.
Legende
a kalibrierter Wert der Höhe z
b gemessener Wert der Höhe z
1 ideale Übertragungsfunktion
2 tatsächliche Übertragungsfunktion des Messgeräts mit langen und kurzen Wellenlängenabweichungen
3 Ausgleichsgerade, von welcher der Verstärkungskoeffizient z (Steigung) abgeleitet wird (vor
Justierung)
4 tatsächliche Übertragungsfunktion des Messgeräts nach Justierung der Verstärkung z
5 lokale Linearitätsabweichung lz (nach Justierung)
Bild 4 — Schematische Darstellung der Linearitätsabweichung der z-Achse
6.5.4.2.1 Größen der zu messenden Stufenhöhen
Die zu messenden Stufenhöhen innerhalb des z-Bereichs der Messanwendung müssen ausreichend klein für
die Feststellung kleinmaßstäblicher Linearitätsabweichungen sein.
BEISPIEL Eine spindelgetriebene Achse weist typischerweise eine kurzwellige Nichtlinearität entsprechend ihrer
Teilung und eine langwellige Nichtlinearität über die gesamte Spindellänge auf.
6.5.4.2.2 Positionen innerhalb des z-Bereichs des Messgeräts
Die Messung sollte an fünf oder mehr Positionen innerhalb des z-Bereichs erfolgen. Kritische z-Positionen
mit hoher Linearitätsabweichung müssen bestimmt werden. Erforderlichenfalls sollten zusätzliche
Messungen um diese kritischen Positionen vorgenommen werden.
Mit diesem Verfahren kann die Linearitätsabweichung für die Routinekalibrierung geprüft werden. Für die
Justierung könnten mehr Positionen erforderlich sein.
28
prEN ISO 25178-700:2020 (D)
ANMERKUNG 1 Eine Kombination von mehr als einem Messnormal kann zulässig sein.
ANMERKUNG 2 Die maximale lokale Linearitätsabweichung könnte im Nahbereich liegen.
6.5.4.2.3 Verfahren zur Bestimmung von Linearitätsabweichungen einer vertikalen Achse mit
großem Bereich von Topographiemessgeräten mit einfachen Stufenhöhennormalen
Ein Verfahren zur Bestimmung von Linearitätsabweichungen einer vertikalen Achse mit großem Bereich von
Topographiemessgeräten mit einfachen Stufenhöhennormalen ist in Literaturhinweis [15] angegeben.
6.5.4.3 Nicht-Default-Verfahren
Die Anwendung anderer Kalibrierverfahren für die Kalibrierung der Linearitätsabweichung der z-Achse
muss angegeben werden.
BEISPIEL Die Linearitätsabweichungen der z-Abtasteinheit können mittels einer externen

Positionsmesseinrichtung, wie z. B. Laserinterferometer, gemessen werden.
6.5.4.4 Justierung der Linearitätsabweichung der z-Achse
Es gibt Fälle, in denen die Linearitätsabweichung nicht justiert werden kann, aber Teil der
Messunsicherheitsberechnung ist.
Wenn die Linearitätsabweichung reproduzierbar ist und eine reproduzierbare Nullposition vorliegt, kann
ein Ausgleich der Linearitätsabweichung lz anhand der Werte aus der Kalibrierung erfolgen. Komplexe
Modelle dürfen für den Ausgleich systematischer Linearitätsabweichungen höherer Ordnung angewendet
werden.
6.5.4.5 Verifizierung der Linearitätsabweichung der z-Achse
Nach der Justierung muss die Verifizierung entsprechend dem Verfahren nach 6.5.4.2 erfolgen.
6.5.5 Bestimmung des Verstärkungskoeffizienten x und y in x- und y-Richtung sowie der

Abbildungsabweichung x (x,y) und y (x,y)
6.5.5.1 Allgemeines
Die Abbildungsabweichungen x(x,y) und y(x,y) der x- und y-Achsen des Messgeräts werden durch deren
jeweilige Geradheits- und Linearitätsabweichungen verursacht. Dieser Abschnitt umreißt ein Verfahren zur
Beschreibung der Abbildungsabweichungen. Diese Abbildungsabweichungen werden zur Ableitung der
Verstärkungskoeffizienten und Linearitätsabweichungen in x- und y-Richtung verwendet.
ANMERKUNG 1 Bei optischen Messgeräten wird die Abbildungsabweichung typischerweise durch Abbildungsfehler in
den optischen Elementen verursacht.
ANMERKUNG 2 Bei berührend messenden Geräten (Tastern) und optischen Punktsensoren mit beweglicher Stufe
werden die Abbildungsabweichungen der x- und y-Achsen durch deren jeweilige Geradheits- und Linearitäts-
abweichung verursacht. Dies ist auch bei Rastersondengeräten der Fall.
ANMERKUNG 3 Der Beitrag der Abbildungsabweichungen zur Gesamt-Messunsicherheit kann je nach betrachtetem
Parameter (z. B. Stufenhöhe oder Sa-Parameter) vernachlässigbar sein.
ANMERKUNG 4 Beispiele für Abbildungsabweichungen sind in Bild 5 angegeben.
29
prEN ISO 25178-700:2020 (D)
a) ideales Raster ohne Abbildungsabweichungen b) trapezförmige Verzerrung des Rasters

aufgrund von Abbildungsabweichungen
c) kissenförmige Verzerrung d) tonnenförmige Verzerrung aufgrund von

Abbildungsabweichungen, wie sie möglicherweise
durch Abbildungsfehler verursacht werden
können
Bild 5 — Beispiele für x-y-Rasterpositionen zur Darstellung von Abbildungsabweichungen
6.5.5.2 Maßverkörperungen
Das Default-Verfahren für die Bestimmung der Verstärkungsfaktoren und Abbildungsabweichungen der x-
und y-Achsen erfolgt mit Maßverkörperungen mit kalibrierten Abständen in der x-y-Ebene (d. h. ACG). Die x-
und y-Achsen der Maßverkörperungen müssen parallel zu den Messgeräteachsen ausgerichtet werden, um
mögliche Kosinusfehler oder Korrekturen zu vermeiden. Die kalibrierten Positionen der Raster-
Schnittpunkte werden durch c(x,y) für die Raster-Schnittpunkte mit den Indizes x, y ausgedrückt. Die
ermittelten Positionen der Raster-Schnittpunkte werden durch p(x,y) ausgedrückt. Die bewerteten
Parameter für jeden Raster-Schnittpunkt sind die Differenzen der Koordinaten x(x,y) und y(x,y) der
kalibrierten Positionen bezogen auf die ermittelte Position.
Die Anzahl der Schnittpunkte sollte mindestens 25 betragen bei gleichmäßiger Verteilung über den
Messbereich wie in Bild 6 und Bild 7 dargestellt.
30
prEN ISO 25178-700:2020 (D)
Legende
durchgehende Linien kalibriertes Maßverkörperungsraster
gepunktete Linien gemessener Rasterkalibrierkörper
Pfeil Differenzvektor zwischen Raster-Schnittpunktkoordinaten c 2, 2 und gemessenen
Raster-Schnittpunktkoordinaten p2, 2
Bild 6 — Differenzvektoren zwischen kalibrierten Raster-Schnittpunktkoordinaten der

Maßverkörperungen cx,y und gemessenen Raster-Schnittpunktkoordinaten px,y
6.5.5.3 Bewertetes Messvolumen
Messungen sind am kalibrierten Bereich der Maßverkörperungen vorzunehmen. Die Messungen müssen
mindestens 95 % der x- und y-Achsenlängen des Messbereichs der Messgeräte sowie mindestens drei
z-Positionen innerhalb des xyz-Arbeitsbereichs des Messgeräts abdecken. Wird ein kleinerer Anteil am
Messbereich des Messgeräts verwendet, muss dies angegeben werden. Streupunkte sollten beseitigt werden.
31
prEN ISO 25178-700:2020 (D)
ANMERKUNG Bei einigen Arten von Messgeräten, wie z. B. Mikroskopen, erweist sich das Verfahren als von der
z-Position unabhängig und die Messung an nur einer z-Position kann ausreichen.
6.5.5.4 Verfahren zur Bestimmung des Verstärkungskoeffizienten x und y sowie der

Abbildungsabweichung x (x,y) und y (x,y) der x- und y-Achsen
Das folgende Default-Verfahren wird zur Bestimmung des Verstärkungskoeffizienten und der
Linearitätsabweichung der x- und y-Achsen angewendet.
1) Für jeden Rasterknoten muss die Position px,y bestimmt werden.
Translation der gemessenen Rasterpositionen px,y so bestimmt, dass die transformierten Positionen *´,,-
2) Die Verstärkungskoeffizienten x und y in x- und y-Richtung werden mittels Skalierung, Drehung und
bei Anwendung des Verfahrens der kleinsten Quadrate einen Mindestwert der mittleren Quadratsumme
der Abbildungsabweichungslängen [ x(x,y)2 + y(x,y)2] von den kalibrierten Positionen cx,y zeigen, siehe
ANMERKUNG 1.
3) Die Linearitätsabweichungen lx und ly werden als die größten Werte von x(x,y) bzw. y(x,y) definiert.
Andere kalibrierte Verfahren können angewendet werden, wenn ihre Rückverfolgbarkeit nachgewiesen
wird. Ein alternatives Verfahren unter Verwendung von PSm nach ISO 4287 ist beschrieben in VDI guideline
2655-3, siehe Literaturhinweis [16].
ANMERKUNG 1 Die Drehung ist notwendig, wenn die x-,y-Achsen der Maßverkörperung von den x-,y-Achsen des
Messgeräts abweichen.
ANMERKUNG 2 Dieses Verfahren ist gültig für Messgeräte, wie z. B. Mikroskope, welche die Topographie anhand eines
erweiterten/endlichen Sichtfeldes ohne x-y-Translation erfassen. Punkt- oder Linien-(Punkt-Array-)Sensoren mit x- und
y-Translationsstufen und lateralen Positionssensoren können unterschiedliche Verfahren anwenden.
ANMERKUNG 3 Zur präzisen Bestimmung der Positionen von Rasterknoten können zahlreiche Software-Algorithmen
aus der Bildverarbeitung verwendet werden.
6.5.5.5 Kalibrierung der Verstärkungskoeffizienten, Linearitätsabweichungen der x- und y-Achsen

des Messgeräts
Das Default-Verfahren für die Kalibrierung der Verstärkungen x und y sowie der Abbildungsabweichung
x (x,y) und y (x,y) ist in 6.5.5.4 beschrieben. Die Anwendung anderer Kalibrierverfahren muss angegeben
werden.
ANMERKUNG Andere Verfahren zur Bestimmung der Abstände oder von P sm eines Rasters paralleler Linien, z. B
nach VDI guideline 2655-1.3, siehe Literaturhinweis [16], können alternativ angewendet werden. Dieses Verfahren
berücksichtigt nicht die Rechtwinkligkeitsabweichung PERxy.
6.5.5.6 Justierung von Verstärkungskoeffizient und Abbildungsabweichung der x- und y-Achsen

des Messgeräts
Die Korrekturfaktoren als das inverse Element der Verstärkungskoeffizienten x und y sind als
Multiplikationsfaktoren zur Justierung der gemessenen x- und y-Koordinaten zu verwenden. Lokale
Justierung der Linearitätsabweichungen kann durch Justierung der x- und y-Position jedes Messpunktes
entsprechend der gemessenen Linearitätsabweichungsvektoren ( x(x,y) und y(x,y)) nach 6.5.5.4 erfolgen.
ANMERKUNG Die Justierung der Linearitätsabweichungen ist nur bei Anwendungen mit hohen Anforderungen an
die geometrische Genauigkeit in der x-y-Ebene erforderlich.
32
prEN ISO 25178-700:2020 (D)
6.5.5.7 Verifizierung von Verstärkungskoeffizient und Linearität der x- und y-Achsen des
Messgeräts
Nach der Justierung muss die Verifizierung entsprechend den Verfahren nach 6.5.5.4 erfolgen.
6.5.5.8 Abbildungsabweichung der x- und y-Achsen im Leistungsvergleich
Die unter den günstigsten Bedingungen bestimmten maximalen Linearitätsabweichungen lx und ly sollten für
die Messgerätebeschreibung oder den Leistungsvergleich angegeben werden.
6.5.6 Rechtwinkligkeit der z-Achse des Messgeräts bezogen auf die x-y-Flächenreferenz
Eine Abweichung von der Rechtwinkligkeit der z-Achse des Messgeräts (Orthogonalität) würde zu
Formverzerrungen der gemessenen Topographie führen. Bei optischen Topographiemessgeräten wird die
Rechtwinkligkeitsabweichung der z-Achse aufgrund ihres geringen Einflusses auf die Oberflächen-
topographie typischerweise vernachlässigt.
Im Allgemeinen werden bei optischen Prinzipien nach ISO 25178-70:2014 keine Maßverkörperungen
berücksichtigt, die für die Bestimmung der Rechtwinkligkeit der z-Achse der Bezugsführungsebene geeignet
sind. Maßverkörperungen, die für die Verwendung mit Rastersondenmikroskopie (SPM, en: scanning-probe
microscopy) vom Typ „Pyramide“ nach ISO 11952 ausgelegt sind, müssen für optische Prinzipien zu ändern
und zu prüfen sein.
ANMERKUNG 1 Es ist wichtig, zwischen den mechanischen und optischen Messgeräteachsen einerseits und den
Achsen des Koordinatensystems des zu messenden Bauteils zu unterscheiden. In ISO 25178-600:2018, Definition 3.1.2,
ist die z-Achse als eine mechanische oder optische Achse des Messgeräts definiert.
ANMERKUNG 2 Aufgrund des geringen Einflusses der Rechtwinkligkeitsabweichungen und des Mangels an
anwendbaren Maßverkörperungen sind hier keine Verfahren für die Bestimmung der Rechtwinkligkeitsabweichung
festgelegt.
6.6 Topographiebedingte Einflüsse auf die Messunsicherheit
6.6.1 Topographische räumliche Auflösung
Die topographische räumliche Auflösung muss anhand eines der verschiedenen Parameter beschrieben
werden, die in dem mit „Topographische räumliche Auflösung“ betitelten Abschnitt in ISO 25178-600:2018,
3.1.20, aufgeführt sind.
Die Übertragung von flächenhaften Oberflächentopographiemessgeräten bei bestimmten Oberflächen-

strukturen, einschließlich starker Steigungen, und diskreter Geometrieelemente, wie z. B. Stufenhöhen, ist
ein wesentlicher Beitragsfaktor zur Messunsicherheit.
Ein Default-Verfahren für die Kalibrierung wurde noch nicht festgelegt. Allerdings enthält
VDI guideline 2655-1.3 eine detaillierte Beschreibung zur Kalibrierung der topographischen räumlichen
Auflösung und zur Berechnung der damit verbundenen Parameter. Falls erforderlich, kann diese Richtlinie
angewendet werden.
Obwohl die Messgeräteübertragung in Abhängigkeit von vielen Faktoren variieren kann, kann die
Bewertung der Topographietreue TFi beispielsweise innerhalb gut definierter Grenzen möglich und hilfreich
sein.
33
prEN ISO 25178-700:2020 (D)
6.6.1.1 Kleinmaßstäbliche Topographietreue Tfil und lateraler Periodengrenzwert DLIM
6.6.1.1.1 Allgemeines
Der laterale Periodengrenzwert DLIM für die Übertragungsfunktion des Messgeräts ist in
ISO 25178-600:2018, 3.1.21, und in ISO 25178-3:2012, 3.1, definiert. Die angegebene Definition für die auf
50 % abfallende Messgeräteübertragung beruht jedoch auf der Annahme eines monotonen Abfalls der
Übertragungsfunktion, der nicht immer bei unterschiedlichen optischen Messgeräten beobachtet wird:
einige optische Verfahren erzeugen sogar einen Anstieg der Übertragungsfunktion, siehe beispielsweise
Literaturhinweise [19] und [20]. Daher muss die Definition für einige Messprinzipien modifiziert werden.
Alternativ kann die allgemeiner definierte kleinmaßstäbliche Topographietreue TFIL verwendet werden,
siehe 6.6.2.2.
Die kleinmaßstäbliche Topographietreue TFIL ist in ISO 25178-600, 3.1.27, definiert.
Die gemessene Messgeräteübertragung kann vom verwendeten Typ der Maßverkörperung (rechteckförmig,
sinusförmig usw.) abhängig sein. Der laterale Periodengrenzwert DLIM ist auf sinusförmigen Oberflächen
definiert, die kleinmaßstäbliche Genauigkeitsgrenze TFIL jedoch unterliegt keinen Begrenzungen auf
sinusförmige Maßverkörperungen.
ANMERKUNG Der laterale Periodengrenzwert DLIM ist typischerweise nicht justierbar.
6.6.1.1.2 Maßverkörperungen
Maßverkörperungen für die Stufenhöhe mit unterschiedlicher Strukturbreite (Gitterkonstanten,

Wellenlängen für sinusförmige Strukturen) können für die Bestimmung verwendet werden. Als Alternativen
zu sinusförmigen Wellenformen können variable Maßverkörperungen oder sternförmige Rillentypen (ASG
oder Siemens-Stern) verwendet werden. Ein Verfahren unter Verwendung des ASG-Typs ist in NPL good
practice guides number 127 (CSI), siehe Literaturhinweis [19] oder 128 (konfokale Messgeräte), siehe
Literaturhinweis [20], angegeben.
ANMERKUNG Eine verallgemeinerte Beschreibung ist in 6.5.8 für die Bestimmung des kleinmaßstäblichen
Topographiegrenzwertes TFIL nach ISO 25178-600:2018, 3.1.27, angegeben.
6.6.2 Topographietreue
6.6.2.1 Allgemeines
Die Topographietreue TFi nach ISO 25178-600:2018, 3.1.26, beschreibt den durch das Messgerät
beeinflussten Fehler eines gemessenen Topographieabbildes. Die Topographietreue ist abhängig von der
Wechselwirkung von Oberflächentopographie und Messgerät. Als Hinweis auf die Genauigkeit der
Abschätzung der tatsächlichen Oberfläche ist die Topographietreue ein wichtiges Element in der Berechnung
der Messunsicherheit.
Eine Maßverkörperung darf für die Bestimmung der Topographietreue verwendet werden. Die Form der
Maßverkörperung sollte der Form der zu messenden Oberfläche nahekommen. Zur Quantifizierung der
Topographietreue wird ein Topographieabbild der kalibrierten Maßverkörperung als Bezug verwendet.
ANMERKUNG 1 Es bestehen keine normativen Verfahren für die Bestimmung der Topographietreue unter
Verwendung bestimmter Oberflächenstrukturen.
ANMERKUNG 2 Eine Beispielstruktur ist ein Gitter mit quadratischem Profil, dessen Tiefe und laterale Abstände mit
denen der vorgesehenen Oberflächenstruktur vergleichbar sind.
34
prEN ISO 25178-700:2020 (D)
6.6.2.2 Kleinmaßstäbliche Genauigkeitsgrenze Tfil
Der laterale Periodengrenzwert TFil, siehe 6.5.7.1, die kleinmaßstäbliche Genauigkeitsgrenze berücksichtigt
positive und negative Abweichungen der gemessenen Oberfläche von der bekannten Oberfläche. Da diese
Abweichungen vom Messprinzip abhängig sein können, ist ein allgemeiner Wert für die Abweichung zur
Festlegung der kleinmaßstäblichen Genauigkeit nicht angegeben und vom Anwender anzugeben.
6.6.2.2.1 Bestimmung der kleinmaßstäblichen Genauigkeitsgrenze Tfil
Für die Bestimmung des lateralen Periodengrenzwertes Tfil wird die Übertragung als Funktion der
Strukturbreiten einer Maßverkörperung mit geeigneter Tiefe ermittelt. Es wird empfohlen, eine
Maßverkörperung zu verwenden, welche die vorgesehenen Oberflächen möglichst nah widerspiegelt.
Die Maßverkörperungen sind in 6.6.1.1.2 beschrieben.
ANMERKUNG Die kleinmaßstäbliche Topographiekurve kann berechnet werden, indem die gemessene Topographie
an die bekannte Topographie der Maßverkörperungen angepasst wird. Die Abweichung der angepassten Topographie-
kurve der Messung an die bekannte Struktur der Maßverkörperung wird ermittelt. Es gibt keine Default-
Maßverkörperung für diesen Zweck.
6.6.3 Graph der Übertragungsfunktion des Messgeräts (ITF, en: instrument transfer function) fITF
6.6.3.1 Allgemeines
Der Graph der Übertragungsfunktion des Messgeräts fITF beschreibt die Höhenübertragung eines Messgeräts
als Funktion der Ortsfrequenz der Oberflächentopographie, siehe ISO 25178-600, 3.1.19, und z. B.
Literaturhinweis [19]. Eine grundlegende Anforderung für die Anwendung des fITF-Graphs für die
Kalibrierung ist, dass die Messgeräteübertragung über den vollen Frequenzbereich der Auswertung linear
ist, sodass die Übertragung bei jeder Frequenzkomponente unabhängig von allen anderen
Frequenzkomponenten ist. Aufgrund zahlreicher Einflussfaktoren auf den Graph der Übertragungsfunktion
des Messgeräts fITF wird typischerweise eine sinusförmige Maßverkörperung mit homogener Reflexion
verwendet. Bei interferometrischen Messungen beispielsweise sollte die Amplitude der Sinusform
typischerweise kleiner als die mittleren Wellenlängen des einfallenden Lichts sein. Eine detailliertere
Beschreibung ist in Literaturhinweis [13] angegeben. Dadurch können in Abhängigkeit vom Messgerät
Grenzwerte für die maximale Oberflächensteigung, die Oberflächentopographie oder den Bereich der
Oberflächenhöhen bestehen.
ANMERKUNG 1 Der Graph der Übertragungsfunktion des Messgeräts f ITF kann durch Vergleich des
Ortsfrequenzinhalts eines gemessenen Oberflächentopographieabbilds dividiert durch den theoretischen
Ortsfrequenzinhalt der Objektoberfläche berechnet werden. Es gibt keine Default-Maßverkörperung für diesen Zweck.
ANMERKUNG 2 Eine geeignete Maßverkörperung für die Kalibrierung des Graphs der Übertragungsfunktion des
Messgeräts f ITF kann ein scharfkantiges Stufengeometrieelement einschließen, das in die Oberflächentopographie
konstruiert ist. Stufenelemente umfassen eine ununterbrochene Folge von Ortsfrequenzen. Damit die Auswertung des
Graphs der Übertragungsfunktion des Messgeräts f ITF die Anforderung an die Linearität in optischen Messgeräten erfüllt,
sollte die Höhenstufe nicht höher als ein Achtel der mittleren Quellenwellenlänge sein, siehe z. B. ISO 25178-604:2012.
ANMERKUNG 3 Eine geeignete Maßverkörperung für die Kalibrierung des Graphs der Übertragungsfunktion des
Messgeräts f ITF kann eine Reihe sinusförmiger Oberflächengeometrieelemente mit einer Reihe von Ortsfrequenzen sein,
die in die Oberflächentopographie konstruiert sind. Maßverkörperungen sollten kompatibel mit den Grenzwerten der
linearen Messgeräteübertragung sein, einschließlich insbesondere eines Grenzwertes der höchstzulässigen
Oberflächensteigung.
35
prEN ISO 25178-700:2020 (D)
6.6.3.2 Bestimmung des lateralen Periodengrenzwertes Dlim
Der laterale Periodengrenzwert ist in ISO 25178-600:2020, 3.1.21, definiert. Die Bestimmung der klein-
maßstäblichen Genauigkeitsgrenze DLim kann ähnlich der Bestimmung der kleinmaßstäblichen Genauigkeits-
grenze TFIL erfolgen.
Für die Bestimmung des lateralen Periodengrenzwertes DLim wird die Übertragung als Funktion der
Strukturbreiten einer Maßverkörperung mit geeigneter Tiefe ermittelt. Es wird empfohlen, eine
Maßverkörperung zu verwenden, welche die vorgesehenen Oberflächen möglichst nah widerspiegelt.
Die Maßverkörperungen sind in 6.6.1.1.2 beschrieben.
6.7 Steigungsabhängige Wirkungen
Flächenhafte Messgeräte dürfen systematische Höhenabweichungen in Abhängigkeit von der

Oberflächensteigung und der Position im Messbereich aufweisen. Für die Bestimmung der Messunsicherheit
oder die Spezifikation der maximalen steigungsabhängigen Höhenabweichung h, max kann ein Mess- und
Auswertungsverfahren unter Verwendung einer kugelförmigen Maßverkörperung angewendet werden,
siehe Literaturhinweise [16] und [20].
ANMERKUNG 1 Es gibt keine normativen Default-Formen oder -Verfahren für die Bestimmung steigungsabhängiger
Wirkungen.
ANMERKUNG 2 Methodologien für die Bestimmung steigungsabhängiger Wirkungen unter Verwendung

kugelförmiger Artefakte sind z. B. Literaturhinweis [16], 8.3.2, zu entnehmen.
36
prEN ISO 25178-700:2020 (D)
Anhang A
(informativ)
Zusammenhänge mit dem GPS-Matrix-Modell
A.1 Allgemeines
Das in ISO 14638 angegebene ISO-GPS-Matrix-Modell gibt einen Überblick über das ISO-GPS-System, von
dem dieses Dokument ein Bestandteil ist.
Die fundamentalen ISO/GPS-Regeln nach ISO 8015 gelten für dieses Dokument und die Default-
Entscheidungsregeln nach ISO 14253-1 und ISO 14253-5 gelten für Spezifikationen, die in Übereinstimmung
mit diesem Dokument angefertigt wurden, sofern nicht anders angegeben.
A.2 Information über dieses Dokument und dessen Anwendung

Dieses Dokument definiert die Verfahren, spezifische Terminologie sowie die messtechnischen Merkmale
von Messgeräten zur Messung der flächenhaften Oberflächentopographie.
A.3 Position im GPS-Matrix-Modell

Dieses Dokument ist eine allgemeine ISO-GPS-Norm mit Einfluss auf das Kettenglied F der Normenketten
über Oberflächenbeschaffenheit von Profilen und Flächen im GPS-Matrix-Modell (siehe Tabelle A.1). Die in
diesem Dokument angegebenen Regeln und Grundsätze gelten für alle Segmente der ISO-GPS-Matrix, die
einen ausgefüllten Punkt (•) enthalten.
Tabelle A.1 — Position im Matrix-Modell für ISO-GPS-Normen
Kettenglieder
A B C D E F G
Überein-
Anforde- Merkmale
Symbole stimmung
rungen an von Mess- Kalibrie-
und und Nicht- Messung
Geometrie- Geometrie- geräte rung
Angaben überein-
elemente elementen
stimmung
Größenmaß
Abstand
Form
Richtung
Ort
Lauf
Oberflächen-
beschaffenheit:
Profil
Oberflächen-
beschaffenheit: • •
Fläche
Oberflächen-
unvollkommen-
heiten
37
prEN ISO 25178-700:2020 (D)
A.4 Verwandte Internationale Normen

Die verwandten Internationalen Normen gehen aus den in Tabelle A.1 angegebenen Normenketten hervor.
38
prEN ISO 25178-700:2020 (D)
Literaturhinweise
Verweisungen:
[1] ISO/IEC Guide 99:2007, International vocabulary of metrology — Basic and general concepts and
associated terms (VIM)
[2] ISO/IEC Guide 98-3:2008, Uncertainty of measurement — Part 3: Guide to the expression of
uncertainty in measurement (GUM:1995)
[3] DE GROOT Peter, DISCIACCA Jack (2018), Surface-height measurement noise in interference
microscopy, Proc. SPIE 10749, Interferometry XIX, 107490Q
[4] DE GROOT Peter (2017), The Meaning and Measure of Vertical Resolution in Optical Surface
Topography Measurement, Applied Sciences 7(1), 54
[5] LIU Jian, LI Mengzhou, LI Qiang and TAN Jiubin (2016), Decoupling criterion based on limited energy
loss condition for groove measurement using optical scanning microscopes, Meas. Sci. Technol. 27,
125014
[6] ASME B46.1-2009, [102] Surface Texture (Surface Roughness, Waviness, and Lay)
[7] TEAGUE E.C., Evaluation, Revision, and Application of the NBS Stylus/Computer System for the
Measurement of Surface Roughness, NBS Technical Note 902 (U.S. Dept. of Commerce, Washington,
DC, 1976).
[8] BENNETT J.M., (1985) Comparison of instruments for measuring step heights and surface profiles,
Appl. Opt. 24, No. 22, 3766-3772
[9] VORBURGER T.V., RENEGAR T.B., ZHENG A.X., SONG J.-F., SOONS J.A., SILVER R.M. “NIST Surface
Roughness and Step Height Calibrations, Measurement Conditions and Sources of Uncertainty”,
www.nist.gov/pml/div683/grp02/upload/nistsurfcalib.pdf, (uploaded, 19 March 2014).
[10] VORBURGER V., HILTON A., DIXSON R.G., ORJI N.G., POWELL J.A., TRUNEK A.J., NEUDECK P.G. and
ABEL P.B. (2010), Calibration of 1 nm SiC step height standards, Proc. SPIE 7638, 76381D-1
[11] ORJI N., DIXSON R., FU J. and VORBURGER T. (2004), Traceable Pico-meter Level Step Height
Metrology, Wear 257, 1264-1269
[12] BOEDECKER S., REMBE C., SCHMID H., HAGENEY T. and KÖHNLEIN T. (2011), Calibration of the
z-axis for large-scale scanning white-light interferometers, Journal of Physics: Conference Series 311,
012027; doi:10.1088/1742-6596/311/1/012027
[13] BRAND U., SCHNÄDELBACH H., SCHÖDEL R., FEIST C. and HINZMANN G., New depth-setting standards
with grooves up to 5 mm depth Proc. Euspen 438-441 (2006)
[14] BAUER W. (2011) Special Properties of Coherence Scanning Interferometers for large Measurement
Volumes, J. Phys.: Conf. Ser. 311, 012030
[15] BAUER W., HÜSER D., GERBERT D. (2020) (To be published), Procedure to determine linearity
deviations of a large range vertical axis of topography instruments using simple step height standards
ASPE conference (2020)
39
prEN ISO 25178-700:2020 (D)
[16] VDI guideline 2655-1.3, (2020), Optical measurement of microtopography - Calibration of interference
microscopes for form measurement, VDI/VDE-Gesellschaft Mess- und Automatisierungstechnik,(2020)
[17] MAUCH F., LYDA W., OSTEN W., Model based assistance system for confocal measurements of rough
surfaces. Proceedings of SPIE Vol. 87880U. In: Lehmann, P.; Osten, W.; Albertazzi, A. (Eds.): Optical
Measurement Systems for Industrial Inspection VIII. 2013.
[18] KEKSEL A. et al 2018, Modeling of topography measuring instrument transfer functions by time
series models Meas. Sci. Technol.
[19] GIUSCA C. L., LEACH R. K. (2013), Calibration of stylus instruments for areal surface texture
measurement Measurement Good Practice Guide No. 127 (National Physical Laboratory)
[20] GIUSCA C. L., LEACH R. K. (2013), Calibration of imaging confocal microscopes for areal surface texture
measurement Measurement Good Practice Guide No. 129 (National Physical Laboratory
[21] LEHMANN P., Vertical scanning white-light interference microscopy on curved microstructures, Opt.
Lett. 35, 1768-1770 (2010)
Zusätzliche Verweisungen: Kalibrierung (allgemein)
[22] DE GROOT P. J., Progress in the specification of optical instruments for the measurement of surface
form and texture, Proc. SPIE 9110, 91100M-1-12 (2014)
[23] LEACH R. K. (2011), Optical Measurement of Surface Topography (Springer: Berlin)
[24] GIUSCA C. L., LEACH R. K. (2013) Calibration of stylus instruments for areal surface texture
[25] GIUSCA C. L., LEACH R. K. (2013) Calibration of phase stepping interferometers and coherence scanning
interferometers for areal surface texture measurement Measurement Good Practice Guide No. 128
(National Physical Laboratory)
[26] GIUSCA C. L., LEACH R. K. (2013), Calibration of imaging confocal microscopes for areal surface texture
[27] LEACH R. K., GIUSCA C. L., HAITJEMA H., EVANS C., JIANG X. (2015), Calibration and verification of
areal surface texture measuring instruments Ann. CIRP 64 797-813
[28] LEACH R. K., HAITJEMA H., GIUSCA C. L. (2020), A metrological characteristics approach to uncertainty
in surface metrology. In: Osten W Optical Inspection of Microsystems (CRC Press), 2nd edition,
Chap. 3
[29] SEEWIG J. and EIFLER M., Calibration of areal surface topography measuring instruments, Proc. SPIE
10449, 1044911-1044911-9 (2017).
[30] WIORA G., BAUER W., SEEWIG J. et al., Definition of a comparable datasheet for optical surface
measurement devices. www.optassyst.de/fairesdatenblatt, (2016).
Verweisungen: Messrauschen
[31] BENDAT J. S. & PIERSOL A. C., Random data: analysis and measurement procedures. New York: Wiley,
2010. 640 p.
40
prEN ISO 25178-700:2020 (D)
[32] GIUSCA C. L., LEACH R. K., HELERY F., GUTAUSKAS T., NIMISHAKAVI L. (2012), Calibration of the
scales of areal surface topography measuring instruments: Part 1 - Measurement noise and residual
flatness Meas. Sci. Technol. 23, 035008
[33] GIUSCA C. L., CLAVERLEY J. D., SUN W., LEACH R. K., HELMLI F., CHAVIGNER M. P. J. (2014), Practical
estimation of measurement noise and flatness deviation on focus variation microscopes Ann. CIRP 63
545-548
[34] HAITJEMA H., MOREL M. A. A., Noise bias removal in profile measurements, Measurement: Journal of
the International Measurement Confederation, 2005, 38 (1), pp. 21-29
[35] MACULOTTI G., FENG X., GALETTO M., LEACH R. K. (2018) Noise evaluation of a point autofocus
surface topography measuring instrument Meas. Sci. Technol. 29, 065008
Verweisungen: Skalenkalibrierungen (Verstärkung und Linearität)
[36] DE GROOT P. and BEVERAGE J., Calibration of the amplification coefficient in interference microscopy
by means of a wavelength standard, Proc. SPIE 9526, 952610-952610-11 (2015).
[37] FORBES A. B., HARRIS P. M. and LEACH R. K., NPL Report CMSC 33/03: The comparison of algorithms
for the assessment of Type A1 surface texture reference artefacts. 2003
[38] GIUSCA C. L., LEACH R. K. and HELERY F., Calibration of the scales of areal surface topography
measuring instruments: Part 2. Amplification, linearity and squareness,” Measurement Science and
Technology 23(6), 065005 (2012).
[39] HENNING A. J. and GIUSCA C. L., Considerations on the proposed linear theory of surface measurement
for coherence scanning interferometers. Applied optics 56.10 (2017): 2960-2967
[40] MACULOTTI G., FENG X., SU R., GALETTO M., LEACH R. K. (2020) Residual flatness and scale
calibration for a point autofocus surface topography measuring instrument Meas. Sci. Technol. 30,
075005
[41] SHAKARJI C. G., SRINIVASAN V., Theory and algorithms for weighted total least-squares fitting of
lines, planes, and parallel planes to support tolerancing standards, J. Comput. Inf. Sci. Eng. 13 (2013)
031008-1
[42] STONE J. A., DECKER J. E., GILL P. et al., Advice from the CCL on the use of unstabilized lasers as
standards of wavelength: the helium-neon laser at 633 nm, Metrologia 46(1), 11-18 (2009).
[43] TAKACS P. Z., LI M. X., FURENLID K. et al., Step-height standard for surface-profiler calibration, Proc.
SPIE 1995, 235-244 (1993).
[44] WAN D.-S., FREY E., and NOVAK E., Accuracy evaluation of white light interferometer reference signal,
(2004).
Verweisungen: Ebenheitsabweichung
[45] CREATH K., and WYANT J. C., Absolute measurement of surface roughness, Applied Optics 29(26),
3823 (1990).
[46] EVANS J.C., PVr-a robust amplitude parameter for optical surface inspection, Optical Engineering
48(4), 043605, (2009)
41
prEN ISO 25178-700:2020 (D)
[47] GIUSCA C. L., LEACH R. K., HELERY F., GUTAUSKAS T., NIMISHAKAVI L. (2011) Calibration of the
scales of areal surface topography measuring instruments: Part 1-Measurement noise and residual
[48] MACULOTTI G., FENG X., SU R., GALETTO M., LEACH R. K. (2020) Residual flatness and scale
calibration for a point autofocus surface topography measuring instrument Meas. Sci. Technol. 30,
075005
Verweisungen: Topographische räumliche Auflösung
[49] COUPLAND J. M., MANDAL R., POLODHI K., LEACH R. K. (2013) Coherence scanning interferometry:
linear theory of surface measurement Appl. Opt. 52 3662-3670
[50] DE GROOT P., COLONNA DE LEGA X., SYKORA D. M. et al., The Meaning and Measure of Lateral
Resolution for Surface Profiling Interferometers, Optics and Photonics News 23(4), 10-13 (2012).
[51] GIUSCA C. L., LEACH R. K. (2013) Calibration of the scales of areal surface topography measuring
instruments: Part 3 – Resolution Meas. Sci. Technol. 24, 105010
[52] KRÜGER-SEHM R., BACUCZ P., JUNG L., WILHELMS H. (2007) Chirp calibration standards for surface
measuring instruments Techn. Mess. 74 572–576
[53] LEACH R.K., GIUSCA C.L., HENNING A., SHERLOCK B., COUPLAND J.M. 2013 ISO definition of
resolution for surface topography measuring instruments Proc. FRINGE, Stuttgart, Germany, Sep.
405-410
[54] SU R, THOMAS M, LIU M, DRS J, BELLOUARD E, PRUSS C, COUPLAND J M, LEACH R K 2020 Lens
aberration compensation in interference microscopy Opt. Lasers Eng. 128, 106015
[55] XU Z. W., FANG F. Z., GAO H. F., ZHU Y. B., WU W., WECKENMANN A. (2012) Nano fabrication of star
structure for precision metrology developed by focused ion beam direct writing Ann. CIRP 61 511–514
Verweisungen: Topographietreue
[56] BADAMI V.G., LIESENER J., EVANS C. J. et al., Evaluation of the measurement performance of a
coherence scanning microscope using roughness specimens, Proceedings of ASPE, Denver, CO, pp. 23–
26, 2011 (2011).
[57] Fujii A., Suzuki H., Yanagi K. (2011) Development of measurement standards for verifying functional
performance of surface texture measuring instruments J. Phys.: Conf. Ser. 311 012009
[58] GLASCHKE T., DECK L., DE GROOT P., Characterizing the resolving power of laser Fizeau
interferometers. Fifth European Seminar on Precision Optics Manufacturing, Proc. SPIE. 2018; 10829
[59] LEACH R.K., DE GROOT P., HAITJEMA H. (2018), Infidelity and the calibration of surface topography
measuring instruments Proc. ASPE, Las Vegas, USA, Nov.
[60] LEHMANN P., KÜHNHOLD P., and XIE W., Reduction of chromatic aberration influences in vertical
scanning white-light interferometry, Measurement Science and Technology 25(6), 065203 (2014)
[61] RHEE H.-G., VORBURGER T. V., LEE J. W. et al., Discrepancies between roughness measurements
obtained with phase-shifting and white-light interferometry, Applied Optics 44(28), 5919-5927
(2005)
[62] SEEWIG J., EIFLER M. WIORA G., Unambiguous evaluation of a chirp measurement standard, Surface
Topography: Metrology and Properties, 2 (2014), 045003
42
prEN ISO 25178-700:2020 (D)
Verweisungen: Steigungsabhängigkeit
[63] LEHMANN P., Vertical scanning white-light interference microscopy on curved microstructures, Opt.
Lett. 35, 1768-1770 (2010)
[64] SU R., WANG Y., COUPLAND J. M., LEACH R. K. (2017), On tilt and curvature dependent errors and the
calibration of coherence scanning interferometers Opt. Express 25 3297-3310
43
– Entwurf –
ISO/DIS 25178-700:2020(E)
Contents Page
Foreword ........................................................................................................................................................................................................................................ iv
Introduction..................................................................................................................................................................................................................................v
1 Scope ................................................................................................................................................................................................................................. 1
2 Normative references ...................................................................................................................................................................................... 1
3 Terms and de initions ..................................................................................................................................................................................... 2
3.1 General metrological definitions ............................................................................................................................................. 3
3.2 Measurement related terms and definitions................................................................................................................. 4
4 Symbols and abbreviated terms ........................................................................................................................................................... 4
5 Calibration, adjustment and veri ication of an instrument ..................................................................................... 4
5.1 General ........................................................................................................................................................................................................... 4
5.2 Use o the methods or calibration, adjustment and verification ................................................................ 5
5.3 Instrument calibration procedure ......................................................................................................................................... 6
5.3.1 Calibration by measurement standards ...................................................................................................... 6
5.3.2 Measurement procedures for calibration with measurement standards....................... 6
5.3.3 Calibration by other methods ............................................................................................................................... 6
5.4 Calibration conditions ...................................................................................................................................................................... 6
5.5 Adjustment and Verification........................................................................................................................................................ 7
5.5.1 General...................................................................................................................................................................................... 7
5.5.2 Adjustment o systematic deviations ............................................................................................................. 7
5.5.3 Verification (Calibration a ter adjustment) .............................................................................................. 7
5.5.4 Validation ............................................................................................................................................................................... 7
6 Determination of the metrological characteristics of an instrument ........................................................... 7
6.1 General ........................................................................................................................................................................................................... 7
6.2 Reporting of the measurement conditions ..................................................................................................................... 8
6.3 Handling of non-measured points.......................................................................................................................................... 8
6.4 Handling of spurious points and outliers ........................................................................................................................ 8
6.5 Metrological characteristics ........................................................................................................................................................ 8
6.5.1 Measurement noise and instrument noise................................................................................................ 8
6.5.2 Flatness deviation ........................................................................................................................................................ 12
6.5.3 Amplification coe ficient ( z) of the z-axis ............................................................................................ 14
6.5.4 Determination o z-linearity deviation lz ................................................................................................... 19
6.5.5 Determination o the amplification coe ficient x and y in x- and y-
direction and mapping deviation x (x,y) and y (x,y) ................................................................ 21
6.5.6 Perpendicularity o the instrument z-axis with respect to the x-y areal
reference .............................................................................................................................................................................. 25
6.6 Topography induced influences on measurement uncertainty ................................................................. 25
6.6.1 Topographic spatial resolution......................................................................................................................... 25
6.6.2 Topography fidelity..................................................................................................................................................... 26
6.6.3 Instrument transfer function (ITF) curve fITF........................................................................................ 27
6.7 Slope-dependent effects............................................................................................................................................................... 27
Annex A (informative) Relation to the GPS matrix model ...........................................................................................................28
Bibliography ............................................................................................................................................................................................................................. 29
iii
ISO/DIS 25178-700:2020(E)
Foreword
ISO (the International Organization for Standardization) is a worldwide federation of national standards
bodies (ISO member bodies). The work o preparing International Standards is normally carried out
through ISO technical committees. Each member body interested in a subject or which a technical
committee has been established has the right to be represented on that committee. International
organizations, governmental and non-governmental, in liaison with ISO, also take part in the work.
ISO collaborates closely with the International Electrotechnical Commission (IEC) on all matters o
electrotechnical standardization.
The procedures used to develop this document and those intended for its further maintenance are
described in the ISO/IEC Directives, Part 1. In particular, the different approval criteria needed for the
di erent types o ISO documents should be noted. This document was dra ted in accordance with the
editorial rules of the ISO/IEC Directives, Part 2 (see www.iso.org/directives).
Attention is drawn to the possibility that some o the elements o this document may be the subject o
patent rights. ISO shall not be held responsible or identi ying any or all such patent rights. Details o
any patent rights identified during the development o the document will be in the Introduction and/or
on the ISO list of patent declarations received (see www.iso.org/patents).
Any trade name used in this document is in ormation given or the convenience o users and does not
constitute an endorsement.
For an explanation o the voluntary nature o standards, the meaning o ISO specific terms and
expressions related to con ormity assessment, as well as in ormation about ISO's adherence to the
World Trade Organization (WTO) principles in the Technical Barriers to Trade (TBT), see www.iso.org/
iso/foreword.html.
ISO 25178-700 was prepared by Technical Committee ISO/TC 213, Dimensional and geometrical product
specifications and verification.
A list of all parts in the ISO 25178 series can be found on the ISO website.
Any eedback or questions on this document should be directed to the user’s national standards body. A
complete listing of these bodies can be found at www.iso.org/members.html.
iv
ISO/DIS 25178-700:2020(E)
Introduction
This document is a geometrical product specification (GPS) standard and is to be regarded as a general
GPS standard (see ISO 14638). It influences the chain link F o the chains o standards on areal sur ace
texture and profile sur ace texture.
The ISO/GPS matrix model given in ISO 14638 gives an overview o the ISO/GPS system o which this
document is a part. The undamental rules o ISO/GPS given in ISO 8015 apply to this document and
the de ault decision rules given in ISO 14253-1 apply to the specifications made in accordance with this
document, unless otherwise indicated.
For more detailed in ormation o the relation o this document to other standards and the GPS matrix
model, see Annex A.
In the GPS concept the design values of geometric parameters on workpieces and their tolerances are
compared with the measurement of those parameters on the corresponding manufactured workpieces
and their associated measurement uncertainties. For a reliable result it is there ore necessary to
calibrate the measurement instrument involved in this process. Calibration realizes an unbroken
traceability chain o the concerned values to worldwide accepted common re erence unit values. In this
standard calibration strictly means the determination o the measurement deviation rom the re erence
value. In common language calibration is often used for the combination of the operations "calibration"
and "adjustment".
This standard describes the calibration, see ISO/IEC Guide 99:2007, 2.39, adjustment, see
ISO/IEC Guide 99:2007, 3.11 and verification, see ISO/IEC Guide 99:2007, 2.44, in general or topography
measuring instruments.
Metrological characteristics defined in ISO 25178-600 are connected with results o measurement
executed with topography measuring instruments. So, it is necessary to have the instrument in a
calibrated state, which guarantees the traceability o the measurement results. The calibration is the
basis or possible correction by adjustment o the instrument and the verification a ter the adjustment.
The residual deviation a ter verification can be used as a contribution to the measurement uncertainty,
which enables one to quanti y the characteristics in a traceable way.
The metrological characteristics capture all o the actors that can influence a measurement result
(influence quantities) and can be propagated appropriately through a specific measurement model to
estimate measurement uncertainty. Also, in ISO 25178 parts 60X, influence quantities are defined or
each instrument type. These influence quantities are given to show how they a ect the metrological
characteristics and are not needed or uncertainty estimation i the metrological characteristics are
properly used in the measurement model.
This document describes de ault procedures or instrument calibration, adjustment, and verification
when using material measures traceable to the meter through a national metrology institute or
qualified laboratory, see ISO/IEC Guide 99:2007, 2.41. De ault methods are recommended when no
other calibration procedures have been clearly defined.
Alternative calibration techniques with clear traceability path are equally acceptable, depending on the
capabilities of the instrumentation, see 5.1 and 5.3.3. Example techniques include those based on an
independent realization of the meter using a natural emission wavelength, the value for which has been
established with a known uncertainty.
Specific influences caused or example by environmental conditions are not considered. However, these
must be considered by the user working under such environmental conditions.
v
– Entwurf –
DRAFT INTERNATIONAL STANDARD ISO/DIS 25178-700:2020(E)
Geometrical product speci ications (GPS) — Surface

texture: Areal —
Part 700:
Calibration, adjustment and veri ication of areal
topography measuring instruments
1 Scope
This part o ISO 25178 specifies generic procedures or the calibration, adjustment and verification
o areal topography measuring instruments defined in ISO 25178-6, and or the determination o
their metrological characteristics. This part of ISO 25178 considers metrological characteristics that
topography measuring instruments have in common, notably those described in ISO 25178, Parts 601
to 607. Collectively, those standards encompass both microscope based instruments and point sensing
instruments with lateral scanning devices.
This document presents a method to estimate uncertainty or a large range o sur aces, but not all. The
range of surfaces will be dependent on the instrument used, see Clause 6.6.2 describing the topography
fidelity.
For instrument specific principles, other parts may be developed in the 700 series o ISO 25178.
For example, this document covers only instruments without additional arcuate motion, which may be
described in a future revision of the ISO 25178-701.
This document does not include procedures for area-integrating methods, although those are also
defined in ISO 25178-6. For example, light scattering belongs to a class o techniques known as area-
integrating methods or measuring sur ace topography.
2 Normative references
The ollowing documents are re erred to in the text in such a way that some or all o their content
constitutes requirements o this document. For dated re erences, only the edition cited applies. For
undated re erences, the latest edition o the re erenced document (including any amendments) applies.
ISO 230-10, Test code or machine tools — Part 10: Determination o the measuring per ormance o probing
systems o numerically controlled machine tools
ISO 3274:1996, Geometrical Product Specifications (GPS) — Sur ace texture: Profile method — Nominal
characteristics o contact (stylus) instruments
ISO 4287:1997, Geometrical Product Specifications (GPS) — Sur ace texture: Profile method — Terms,
definitions and sur ace texture parameters
ISO 5436-1, Geometrical Product Specifications (GPS) — Sur ace texture: Profile method; Measurement
standards — Part 1: Material measures
ISO 5436-2, Geometrical product specifications (GPS) — Sur ace texture: Profile method; Measurement
standards — Part 2: So tware measurement standards
ISO 8015, Geometrical product specifications (GPS) — Fundamentals — Concepts, principles and rules
ISO 10360-7, Geometrical product specifications (GPS) — Acceptance and reverification tests or coordinate
measuring machines (CMM) — Part 7: CMMs equipped with imaging probing systems
1
ISO/DIS 25178-700:2020(E)
ISO 10360-8, Geometrical product specifications (GPS) — Acceptance and reverification tests or coordinate
measuring systems (CMS) — Part 8: CMMs with optical distance sensors
ISO 11952, Sur ace chemical analysis — Scanning-probe microscopy — Determination o geometric
quantities using SPM: Calibration o measuring systems
ISO 14253-1, Geometrical product specifications (GPS) — Inspection by measurement o workpieces and
measuring equipment — Part 1: Decision rules or veri ying con ormity or noncon ormity with specifications
ISO 14253-5, Geometrical product specifications (GPS) — Inspection by measurement o workpieces and
measuring equipment — Part 5: Uncertainty in verification testing o indicating measuring instruments
ISO 14406:2010, Geometrical product specifications (GPS) — Extraction
ISO 14638, Geometrical product specifications (GPS) — Matrix model
ISO 14978:2006, Geometrical product specifications (GPS) — General concepts and requirements or GPS
measuring equipment
ISO 17025, General requirements or the competence o testing and calibration laboratories
ISO 17450-1:2011, Geometrical product specifications (GPS) — General concepts — Part 1: Model or
geometrical specification and verification
ISO 25178-2:2012, Geometrical product specifications (GPS) — Sur ace texture: Areal — Part 2: Terms,
definitions and sur ace texture parameters
ISO 25178-3:2012, Geometrical product specifications (GPS) — Sur ace texture: Areal — Part 3:
Specification operators
Classification o methods or measuring sur ace texture
ISO 25178-70:2013, Geometrical product specification (GPS) -- Sur ace texture: Areal -- Material measures
ISO 25178-71, Geometrical product specifications (GPS) — Sur ace texture: Areal — Part 71: So tware
measurement standards
ISO 25178-72, Geometrical product specifications (GPS) — Sur ace texture: Areal — Part 72: XML file
ormat x3p
ISO 25178-73:2020, Geometrical product specifications (GPS) — Sur ace texture: Areal — Part 73: Terms
and definitions or sur ace de ects on material measures
Metrological characteristics or areal topography measuring methods
Nominal characteristics o contact (stylus) instruments
ISO 25178-603, Geometrical product specifications (GPS) — Sur ace texture: Areal — Part 603: Nominal
characteristics o non-contact (phase-shi ting inter erometric microscopy) instruments
Nominal characteristics o non-contact (coherence scanning inter erometry) instruments
3 Terms and de initions

For the purposes o this document, the terms and definitions given in ISO 3274, ISO 4287, ISO 5436-2,
ISO 10360-1, ISO 14406, ISO 14638, ISO 14978, ISO 17450-1, ISO 25178-2, ISO 25178-6, ISO 25178-70,
ISO 25178-71, ISO 25178-72, ISO 25178-73 and ISO 25178-600, ISO 25178-601, ISO 25178-603,
2
ISO/DIS 25178-700:2020(E)
ISO 25178-604 and the ollowing terms and definitions related to the calibration, verification and
uncertainty calculation o all areal sur ace topography measurement principles apply.
ISO and IEC maintain terminological databases for use in standardization at the following addresses:
— ISO Online browsing platform: available at https://www.iso.org/obp
— IEC Electropedia: available at http://www.electropedia.org
3.1 General metrological de initions

3.1.1
calibration
operation that, under specified conditions, in a first step, establishes a relation between the quantity
values with measurement uncertainties provided by measurement standards and corresponding
indications with associated measurement uncertainties and, in a second step, uses this information to
establish a relation for obtaining a measurement result from an indication
Note 1 to entry: A calibration may be expressed by a statement, calibration unction, calibration diagram,
calibration curve, or calibration table. In some cases, it may consist o an additive or multiplicative correction o
the indication with associated measurement uncertainty.
Note 2 to entry: Calibration is not to be con used with adjustment o a measuring system, o ten mistakenly called
“sel -calibration”, nor with verification o calibration.
Note 3 to entry: For the overall calibration o a topography measuring instrument, individual evaluations o the
individual metrological characteristics, each with a result and an assigned uncertainty, are needed.
Note 4 to entry: Calibration is per ormed to establish traceability o a measurement.
3.1.2
adjustment
set o operations carried out on a measuring system so that it provides prescribed indications
corresponding to given values o a quantity to be measured
Note 1 to entry: Adjustment o a measuring system is not to be con used with calibration, which is a prerequisite
for adjustment.
Note 2 to entry: Adjustment is principle specific and typically per ormed by the instrument manu acturers and
therefore no binding rules are given in ISO 25178-700.
Note 3 to entry: A ter an adjustment o a measuring system, the measuring system is usually recalibrated.
3.1.3
veri ication
<topography measuring instruments> provision o objective evidence that a metrological characteristic
ulfils stated specifications
Note 1 to entry: Verification procedures are used to demonstrate the validity o the calibration a ter adjustment.
Note 2 to entry: However, in ISO 17450 (GPS-General Concepts) verification is associated with the measurement
results o a manu actured part in relation to its requirement.
3.1.4
performance speci ication
<topography measuring instruments> explicit set o requirements to be satisfied by a topography
measuring instruments
Note 1 to entry: The emphasis here is on a set o characteristics that describe the requested, agreed or claimed
behaviour o a topography measuring instrument. Each characteristic is associated with a measurand.
Note 2 to entry: However, in other GPS-documents (e.g. ISO 17450-1, ISO 14638) specifications are associated
with requirements on manu actured work-pieces.
3
ISO/DIS 25178-700:2020(E)
3.1.5
validation
<topography measuring instruments> provision o objective evidence that instruments with specified
requirements are adequate or an intended use
EXAMPLE 1 Validation may re er to a modified measurement process to demonstrate that one type o
instrument can be used in place o another type o instrument or a particular type o topography measurement.
EXAMPLE 2 Repeatability and reproducibility tests are o ten used as elements o a validation test.
Note 1 to entry: See also ISO/IEC Guide 99:2007, International vocabulary o metrology — Basic and general
concepts and associated terms (VIM), 2.45[1].
3.2 Measurement related terms and de initions

3.2.1
correction factor
actor used to correct the scaling o a measurement axis
Note 1 to entry: The correction actor is the inverse o the amplification coe ficient (see ISO 25178-600, 2020) .
3.2.2
non-measured points
data or which no measured values exist
3.2.3
spurious data
points that have been qualified as measurable by the measurement principle, but deviate significantly
rom the value, which is the most likely value based on a priori knowledge. Spurious data maybe
single points or a small group o points that have been classified as measurable by the measurement
instrument. They are identified as spurious data by a priori knowledge about the expected sur ace with
their di erence between the expected sur ace and the measured sur ace
Note 1 to entry: For example, spurious data can be outliers or spikes.
Note 2 to entry: Spurious data can be caused by environmental conditions, or example by vibration, sun light, or
by interaction o sur ace and instrument.
4 Symbols and abbreviated terms

The metrological characteristics are defined in ISO 25178-600. The metrological characteristics may
show interdependencies.
5 Calibration, adjustment and veri ication of an instrument
5.1 General
In practice calibration o the instrument re ers to a series o operations required to establish the
contribution o the metrological characteristics to the measurement uncertainty associated with the
instrument measurements. Table 1 contains the full list of metrological characteristics.
4
ISO/DIS 25178-700:2020(E)
Table 1 — List of metrological characteristics for surface topography measurement principles

Main potential
Metrological characteristic a Symbol Reference in ISO 25178-600:2018
error along
Amplification coe ficient x, y, z 3.1.10 (see Figure 2) x, y, z
Linearity deviation lx, ly, lz 3.1.11 (see Figure 2) x, y, z
Flatness deviation zFLT 3.1.12 z
Measurement noise NM 3.1.15 z
Topographic spatial resolution WR 3.1.20 z
x-y mapping deviations a x (x,y), y (x,y) 3.1.13 x, y
Topography fidelity T Fi 3.1.26 x, y, z
NOTE The maximum measurable slope is an important limitation to be specified or a topography measuring
instruments. However, a user does not need to measure this parameter unless it is part of a measurement model according
ISO/IEC Guide 98-3:2008, Uncertainty o measurement — Part 3: Guide to the expression o uncertainty in measurement
(GUM:1995): 2008, Clause 4.1[2].
a Depending on the measurement application, other axis motion errors (see ISO 230-10 and ISO 10360-7 and ISO 10360-8)
may also be significant but are not listed here or topography measurements classified as measurable by the measurement
instrument. They are identified as spurious point by a priori knowledge about the expected sur ace with their di erence
between the expected sur ace and the measured sur ace.
This document defines de ault methods or calibration. It also describes the general principle or
adjustment, verification and per ormance specification, see Figure 1. Other methods used for calibration
shall meet the requirements given in the relevant part o ISO 10360 and shall be noted and validated.
NOTE 1 Determination of the metrological characteristics is not intended to assess the errors due to the
calibration and computational algorithms. These algorithms can be verified using so tware measurement
standards, see ISO 5436-2, ISO 25178-71 and ISO 25178-72.
NOTE 2 Per ormance specifications are typically provided by instrument manu acturers.
NOTE 1 I no adjustment is necessary, the initial calibration constitutes the verification. In this case the
calibration result contributes to the measurement uncertainty calculation.
NOTE 2 I adjustment is done, verification can be done by a subsequent calibration a ter adjustment. In this
case the new result contributes to the measurement uncertainty calculation.
Figure 1 — Flow chart of calibration, adjustment and veri ication procedure
5.2 Use of the methods for calibration, adjustment and veri ication
Methods are defined here or amplification, linearity deviation, noise, flatness, and x-y mapping
deviations. For each of these metrological characteristics a method for the determination of its value
is defined. Dependent on the characteristics these methods can be used both to calibrate and to veri y
after adjustment.
No de aults are defined or perpendicularity o the instrument z-axis with respect to the x-y areal
re erence, topographic spatial resolution and the topography fidelity.
NOTE 1 Topography induced influences on measurement uncertainty as the topography fidelity, the
instrument transfer function or slope dependencies are listed in Clause 7.
5
ISO/DIS 25178-700:2020(E)
NOTE 2 The methods for determination of metrological characteristics are described in Clause 6.
5.3 Instrument calibration procedure
5.3.1 Calibration by measurement standards
The use of measurement standards is the default procedure. Calibrated measurement standards, as
defined in ISO 25178-70:2014, shall be used during the determination o the metrological characteristics
o the instruments. The deviation rom the values stated in the calibration certificate shall be recorded,
and the uncertainty o the calibration values shall be taken into account. The measurement standards
shall be selected by taking into account the characteristics o the sur ace to be measured.
NOTE 1 The requirements or the material measures are described in ISO 25178-70:2014, Clause 5 and or
contact (stylus) instruments in ISO 25178-701:2010, Clause 5.2.1.2.
NOTE 2 Optical flats do not need to be calibrated or the use described in 6.5.1.
5.3.2 Measurement procedures for calibration with measurement standards
Measurement procedures specified on the calibration certificate o the measurement standard should
be adhered to whilst using it for the determination of metrological characteristics.
5.3.3 Calibration by other methods
According to ISO/IEC 17025 other procedures or calibration may also be employed. These procedures
should be reported and validated.
5.4 Calibration conditions

Determination of the metrological characteristics shall be performed for each individual instrument
and each instrument setup (configuration) used in practice. Stationary environmental conditions shall
be similar to typical working conditions. The evaluation so tware shall be the same as it is used in
practice.
Calibration or determining instrument specification should be done under the best available
environmental conditions.
NOTE 1 The instrument setup (configuration) is generally application specific.
NOTE 2 Dynamic environmental conditions like vibrations may have a more significant influence on the
uncertainty calculation.
EXAMPLE Examples o di erent setups (configurations):
• Use o objectives with di erent magnifications
• Use o di erent stylus tip radii
• Use of different scanning directions
• Use of different scanning speeds
• Di erent (stationary) environmental conditions, such as temperature
6
ISO/DIS 25178-700:2020(E)
5.5 Adjustment and Veri ication
5.5.1 General
A ter calibration the adjustment allows or the corrections o systematic and reproducible errors.
NOTE Typically or instruments the measurement volume within which the instrument may be calibrated
and adjusted is given by the manu acturer’s datasheet.
5.5.2 Adjustment of systematic deviations
Before adjustment, calibration should be done according to 5.3 and 5.4. These conditions shall be
reported. The calibration can proceed over sections or over the complete measurement volume. The
working volume of the measurement used for the instrument adjustment shall be reported.
NOTE Some o the adjustments, such as the adjustment o an amplification coe ficient, could supersede
previous calibrations.
5.5.3 Veri ication (Calibration after adjustment)
A ter adjustment a verification (calibration a ter adjustment) shall be done. The result may contribute
to the measurement uncertainty. Stationary environmental conditions should be as close as possible to
the conditions, at which the instrument is used afterwards.
The verification should be done under the best environmental conditions. The verification conditions
shall be reported.
NOTE I no adjustment is necessary, the initial calibration constitutes the verification. In this case the
calibration result contributes to the measurement uncertainty calculation
5.5.4 Validation
A validation for use under unusual measurement procedures shall be performed (see 5.3.3). In addition
a validation to numbers in a datasheet can be done
6 Determination of the metrological characteristics of an instrument
6.1 General
The metrological characteristics o an instrument that may influence the measurement result and its
uncertainty shall be determined
• within the measurement volume defined or the intended application;
• at different positions within the measurement volume, if applicable;
• according to an agreed or accepted measurement scheme;
• for different scanning speeds or directions, if applicable.
NOTE 1 Variability o the measurement standard across the calibrated area shall be taken into account when
planning the number and position of repeated measurements.
NOTE 2 General measurement schemes are given in the following clauses and detailed measurement schemes
may depend on the measurement principle, which are described in principle specific standards.
NOTE 3 The environment like temperature, temperature changes, acoustic noise and vibrations may influence
the calibration.
7
ISO/DIS 25178-700:2020(E)
NOTE 4 For scanning instruments with a stage in the z-direction, or example, long scale linearity deviation
but also short scale linearity deviation might be obtained.
6.2 Reporting of the measurement conditions

The measurement conditions and relevant instrument settings shall be reported including
environmental conditions and the specific material measures including serial number and date o the
calibration, if relevant.
For example, vibration and lighting conditions generally may have relevant influences and shall be
reported qualitatively
NOTE 1 Examples or qualitative reporting maybe: No vibrations or strong vibrations, no external light
illumination), see also 6.5.1.2.1.
NOTE 2 Additional examples or instrument settings and environmental conditions can be temperature,
humidity, scan increment, scan speed or scanning instruments (definitions see ISO 25178-604, Clauses 2.5.12
and 2.5.13).
6.3 Handling of non-measured points

Interpolation and filling o non-measured points within the relevant areas should be avoided or the
determination o the metrological characteristics. However, i interpolation and filling is applied, it shall
be reported. Measurements, where a significant number o the points are non-measured or spurious,
should be discarded.
6.4 Handling of spurious points and outliers

Depending on the previous knowledge and later applications spurious points and outliers within the
region o interest should be removed rom the measured points and should be treated in the same way
as non-measured points. If spurious points or outliers are removed it shall be reported.
For non-measured points no interpolation is implied. Interpolation or other mathematical algorithms
do not change the status of a non-measured point to a measured point. If interpolation is applied, it
shall be reported.
6.5 Metrological characteristics
6.5.1 Measurement noise and instrument noise
6.5.1.1 General
The measurement noise shall be estimated i it influences typical measurement results or the given
applications.
Estimation of instrument noise shall be performed under the best conditions for the characterization of
instrument performance, see ISO 25178-600:2018.
NOTE Instrument noise re ers to the internal noise added to the output signal caused by the instrument i
ideally placed in a noise- ree environment, whereas measurement noise re ers more generally to noise added
to the output signal occurring during the normal use of the instrument. The instrument noise is therefore
approximated by the minimum achievable measurement noise under the most ideal circumstances. These terms
are defined in ISO 25178-600:2018, Clause 3.1.
8
ISO/DIS 25178-700:2020(E)
6.5.1.2 Determination of measurement and instrument noise
6.5.1.2.1 Application of ilters or operators
In applications where filters or operators are used, the measurement noise determination according
to 6.5.1.2.3 should proceed under the same filter conditions as those used or measurements. The used
filters with the applied nesting indices and the used operators shall be reported, see 6.5.1.2.3.1.
A quantitative statement o measurement noise shall include any filters that may influence the spatial
requencies over which the noise is determined.
I a measurement requires low noise values, additional noise reduction filters or averaging over certain
times may be used and shall be reported, see 6.5.1.2.3.4.
An instrument noise specification shall include the relevant data acquisition time, the number o
independent data points, and any de ault filtering o the sur ace topography, see Re erence [3].
NOTE The S-filter as a low-pass filter reduces the noise, but can a ect the topographic spatial resolution, i
this resolution is limited by the lateral sampling. When estimating the noise or the highest lateral resolution it
may be pre erable to per orm measurements without applying an S-filter.
EXAMPLE In a specification sheet a quantitative statement o instrument noise can be indicated as ollows:
Full measurement area, 1s data acquisition (at 10 averages per second), and a 3x3 pixel median filter.
6.5.1.2.2 Material measure for instrument noise estimation
Depending on the applied measurement principle a material measure with a smooth and flat sur ace,
and having surface properties that give an optimum signal/noise ratio, should be used as a default for
the instrument noise determination.
NOTE 1 Other types o sur aces may also be used i specified. For example, a minimum amount o roughness
may be required or measurement principles such as ocus variation.
NOTE 2 Material measures with an antireflection coating or optical measurements or stick-slip or

mechanical measurement may not provide an optimum signal/noise ratio.
EXAMPLE Type AFL material measures as defined in ISO 25178-70.
6.5.1.2.3 Procedure for the determination of measurement noise
6.5.1.2.3.1 General
The subtraction method, 6.5.1.2.3.3, is the default method for determination of measurement noise of
areal measuring instruments.
A quantitative statement o measurement noise shall include any spatial or temporal filters that may
influence the spatial requencies over which the noise is determined, see Re erence [3].
When assessing measurement noise as an approximation to instrument noise, the material measure
according to 6.5.1.2.2 should be aligned to provide a minimal measurement range so that there is a
minimum effect of vibrations on the result.
NOTE 1 Some instruments use internal filters, which cannot be switch o by the user, but at least a quantitative
statement about the characteristics o these filters is required.
NOTE 2 Smoothing filters can influence the lateral resolution o the instrument.
6.5.1.2.3.2 Assessed parameter
The assessed parameter is NM according to 6.5.1.2.3.3.
9
ISO/DIS 25178-700:2020(E)
6.5.1.2.3.3 Estimation of measurement noise by the subtraction method
The de ault method or the determination o measurement noise is the measurement o a flat material
measure, which shall be measured twice at the same location with the shortest possible time difference
between the two sequential measurements. The time required to acquire the signal data or each
individual measurement (defined as the ‘data acquisition time’) shall be reported, as well as any filtering
that alters the noise value. The two measured topographies are subtracted rom each other. Ideally this
makes the result independent o the exact topography o the material measure such that no filtration
nor any urther orm removal o the material measure is required. The vertical dri t and any dri t in the
sur ace tilt can be eliminated by removing a least squares plane rom the measurements or rom the
measurement di erence. The rms o the remaining di erences divided by 2 is the measurement
noise NM.
The measurement noise is determined in practice by calculating root-mean square height Sq (or Rq for
profile measurements) o the di erence o two maps and the noise is then obtained by division o this
Sq-value by 2 . Sq is assessed on the S-L surface. The nesting indices should be as close as possible to
those nesting indices used afterwards for measurements.
For scanning point sensors, the instrument noise shall be determined accordingly by profile
measurements, or scanning areal measurements, depending on the application.
NOTE 1 A mathematical description of the subtraction method for estimating the measurement noise:
1 1 1
∫∫ ( z1 ( x , y ) − z2 ( x , y ))
2
NM ≈ Sq = dy dx (1)
2 2 A
A
With: A denoting the measured area and Sq the root mean square o the di erences.
NOTE 2 Mathematical description o the procedure or discretely-sampled data:
Nx N y
1 1 2
NM =
2 Nx N y ∑∑ ( z1 ( x j , yk ) − z2 ( x j , yk )) (2)
j =1 k =1
NOTE 3 The division by 2 accounts for the fact that each of the two measurements contributes to the noise.
NOTE 4 Although the description o instrument noise in ISO 25178-701 (there described as dynamic noise)
re ers to contact (stylus) instruments, that concept is now generalized in ISO 25178-700 as measurement noise
for all scanning point sensors.
NOTE 5 For instruments that acquire data by scanning through a range o sur ace heights, or example CSI
and con ocal microscopes, the data acquisition time may be expressed as a height-scanning rate, or example
10 micrometre per second.
NOTE 6 The terms “vertical resolution”, “surface height resolution” and similar are sometimes found in
technical literature and in instrument brochures. “Vertical resolution” re ers qualitatively to the smallest
variation in sur ace height in a topography that can be meaning ully measured. It is not a defined numerical
specification. It is suggested not to give a numerical quantity value, see Re erence [4].
6.5.1.2.3.4 Estimation of measurement noise N MA ( n ) by the averaging method
To obtain a stable noise estimate, and to enable an assessment o the noise stability, the object
is measured several times (n, n 3) at the same location with the shortest possible time di erence
between the repeated measurements. The time required to acquire the signal data or each individual
measurement (defined as the ‘data acquisition time’) shall be reported, as well as any filtering that
alters the noise value. The measured topographies are averaged, and this average is subtracted from
each measurement. Ideally this makes the result independent o the exact topography o the material
measure such that no filtration nor any urther orm removal o the material measure is required. The
vertical dri t and any dri t in the sur ace tilt can be eliminated by removing a least squares plane rom
10
ISO/DIS 25178-700:2020(E)
the individual measurements. The rms of the differences with the mean, corrected for the degrees of
freedom, is the measurement noise NM.
NOTE 1 Mathematical description o the procedure or discretely-sampled data
n 1 N N 2
∑ i=1 Nx N y ∑ j=x1∑ k=y1( zi ( x j , yk ) − zm ( x j , yk )) n
∑ i=1Sq2 ( zi ( x , y )− zm ( x , y ))
NMA ( n ) = = (3)
n−1 n−1
Where zm is the mean value of the z-coordinates of the n measurements.
NOTE 2 For n = 2, Equation (3) gives the same result as (2), noting that for this case
zm ( x , y ) = ½ ( z1 ( x , y ) + z2 ( x , y ) ) .
NOTE 3 If the instrument does not enable access to individual data points and/or does not enable the
subtraction o topographies, however it enables averaging o topographies, then the ollowing equation can be
used as well:
NM =
∑ i=1Sq2 ( zi ( x , y )) − n ⋅ Sq2 ( zm ( x , y )) (4)
n−1
NOTES 4 and 5 of 6.5.1.2.3.3 apply.
6.5.1.2.4 Stabilization of the noise estimate
For recording the stability o the noise estimation, the measurement should be repeated at least three
times (n 3), and the measurement noise as a unction o the measurement number i is determined by
Sq ( zi ( x , y ) − zm ( x , y ) )
NMi = (5)
1 − n−1
where NMi is the ith measurement of the measurement noise and zm the weighted mean average.
If the noise is determined from pairs of measurements as in Equation (2), this noise measurement
should be repeated p 2 times, and the measurement noise can be approximated by
p
1
NM =
p ∑NM2 , i (6)
i =1
where
NM is the stabilized measurement noise;
NM,i is the ith measurement of the measurement noise each as performed according to section 6.5.1.2.3.
NOTE 1 The repeated measurements only stabilize the noise value without reducing it.
NOTE 2 The noise stability is given by the determination o the standard deviation o the noise values NMi.
NOTE 3 The recording o the noise stability may show non-periodic environmental influences or time
dependent influences.
NOTE 4 When all possible pair combinations from n (n even) measurements are taken, Equation (6) gives the
same result as Equation (3) and If the noise is determined from pairs of measurements as in Equation (2), this
noise measurement should be repeated p 2 times, and the measurement noise can be approximated by
11
ISO/DIS 25178-700:2020(E)
p
1
NM =
p ∑NM2 , i (6)
i =1
where
NM is the stabilized measurement noise;
NM,i is the ith measurement of the measurement noise each as performed according to section
6.5.1.2.3,
NOTE 5 When all possible pair combinations from n (n even) measurements are taken, Equation (6) gives the
same result as Equation (3) and Equation (4).
NOTE 6 If the instrument does not enable access to individual data points and/or does not enable the
subtraction o topographies, however it enables averaging o topographies, and Sq(zi(x,y))>Sq(zm(x,y)) or every
i = 1 .. n then the ollowing equation can be used as well:
Sq2 ( zi ( x , y ) ) − Sq2 ( zm ( x , y ) )
NMi = (7)
1 − n−1
NOTE 7 Equation (7) is also an approximation and may give a bit di erent absolute values as Equation (5), but
the stability is monitored as well.
6.5.2 Flatness deviation
6.5.2.1 Determination of latness deviation
6.5.2.1.1 General
The flatness deviation is defined in ISO 25178-600.
6.5.2.1.2 Material measure for determination of latness deviation
A flat measurement standard pre erably optically smooth shall be used or the determination o the
flatness deviation.
NOTE The measurement standard does not need to be optically smooth i the principle requires a certain
roughness to yield results.
EXAMPLE Type AFL defined in ISO 25178-70.
6.5.2.1.3 Procedure for determination of latness deviation
Be ore measurement acquisition, the measurement standard shall be mechanically levelled with respect
to the coordinate system o the instrument. A ter acquisition, the measured topography shall also be
levelled mathematically be ore assessment o zFLT. The assessed parameter or flatness deviation zFLT is
Sz determined as described in 6.5.2.1.4.
6.5.2.1.4 Improvement of latness deviation estimation
For the improvement o flatness deviation estimation, the measurement standard should be measured
at several independent di erent lateral locations. An average topography image is obtained by averaging
each point (e.g. pixel in imaging systems) in the image. The de ault method or averaging is to calculate
the mean. The Sz parameter o the resulting averaged topography is the improved flatness deviation
zFLT. The number of measurements used for improvement shall be reported.
NOTE 1 Using the described procedure Sz is the sum o the maximum pit-height value and o the maximum
peak-height value of the characterized surface.
12
ISO/DIS 25178-700:2020(E)
NOTE 2 The shi t is used to reduce the influence o small deviations o the material measures rom the ideal
shape. The averaging, or example, reduces the influence o possible flatness deviations o the material measure
and also reduces the influence o measurement noise.
NOTE 3 An appropriate value for the lateral shift can be derived from evaluation of the autocorrelation length
in the topography o the measurement standard. The autocorrelation length unction Sal provides a minimum
value for the displacement of the measurement standard.
NOTE 4 For example, in practice, the lateral shi t can be 1/10 o the field o view.
NOTE 5 Systems with limited positioning capabilities may use a shi t in only one direction.
NOTE 6 For x-y scanning point principles, a typical value or the shi t is more than 100 sampling points.
NOTE 7 For example, this method does not reduce influences rom cylindricity/sphericity and torque.
NOTE 8 The randomization can be improved by rotating the measurement standard as well.
6.5.2.1.5 Application of ilters and operators
In applications where filters or operators are used, the flatness determination according to 6.5.2.1.3
and 6.5.2.1.4 can proceed under the same filter conditions as those used or measurements. The used
filter and its nesting index and the used operators shall be reported.
EXAMPLE The nesting index o the S-filter can be chosen according Table 3 in ISO 25178-3:2012 or a
certain application, i not otherwise specified in calibration clauses o the specific measurement principles, see
ISO 25178-700 series.
6.5.2.2 Calibration of latness deviation
The procedure described in Clause 6.5.2.1.3 and in Clause 6.5.2.1.4 is the default method for the
calibration o the flatness deviation. The assessed parameter zFLT shall be reported. The calibration shall
be done in consideration of 5.3 and 5.4. The area (length and width) over which the flatness deviation is
calibrated shall be reported. For larger scale measurement, the nesting index o any S-filters used shall
be reported.
6.5.2.3 Adjustment of latness deviation
The topography o flatness deviation measured according to 6.5.2.1.3 or the averaged topography
calculated in 6.5.2.1.4 can be used or adjustment. For the adjustment this topography shall be
subtracted rom subsequent measurements.
NOTE The adjustment is only valid or the measurement conditions applied during the calibration.
6.5.2.4 Veri ication of latness deviation
A ter adjustment, the flatness deviation may be verified according to the procedures described in
6.5.2.1.3 or 6.5.2.1.4. The value of zFLT shall be reported.
NOTE I no adjustment is necessary, the initial calibration constitutes the verification. In this case the
calibration result contributes to the measurement uncertainty calculation.
6.5.2.5 Flatness deviation in performance benchmarks
The flatness deviation determined under the best conditions should be reported or the instrument
characterization or performance benchmark, see ISO 25178-600:2020, Clause 3.1.15.
NOTE The flatness deviation is typically specified a ter adjustment.
13
ISO/DIS 25178-700:2020(E)
6.5.2.6 Large scale latness deviation
In some cases, only large scale flatness is considered or flat sur aces where smaller structures are
not o interest. This is normally accomplished by applying an S-filter with a large nesting index. Other
methods or the determination o the large scale flatness deviation shall be reported and validated.
NOTE 1 Typically, the Gaussian S-filter is applied with a wavelength equivalent to 1/10 o the diagonal o the
field o view.
NOTE 2 Alternatively, a polynomial fit can be used instead o the S-filter to approximate the large-scale
flatness deviation. This represents the shape deviation.
NOTE 3 For example, large scale flatness deviation is used to adjust optical instruments.
NOTE 4 Examples o adjustments are the distortion caused by the optical beampath within the instrument or
the reproducible part of the motion errors of a translation stage.
6.5.3 Ampli ication coef icient ( z) of the z-axis
6.5.3.1 General
The determination o the amplification coe ficient ( z) or the z-axis is based on the use o a Cartesian
measuring coordinate system with 3 independent coordinate axes. Contacting systems with additional
arcuate motion, or example, are not independent in the x- and z- directions. Arcuate motion is not
covered by this standard and may be described in a uture revision o ISO 25178-701.
Default methods for calibration of the z-axis employ material measures. The de ault method considers,
that it can be used also in the user’s laboratory or periodic routine measurements.
Other procedures or calibrating the amplification and linearity deviation o the z-axis may be used in
place o material measures. Examples include calibration using inter erometric techniques traceable
through the optical wavelength, or any other embedded sensor or which there is a traceable path to the
meter that includes a statement o uncertainty.
Some instruments include more than one translation stage with different z-scan ranges. The
determination o the amplification coe ficient o the instrument z-axis can be determined or both
stages independently. I both stages are used or a single measurement using stitching in the z-direction,
e.g., the determination has to be done for the combined scan, see also Clause 6.5.3.4.1.
NOTE Example o an instrument with two translation stages: Piezo driven stage or scan ranges in the
micrometer scale and a motor driven stage for scan ranges in the millimetre scale.
6.5.3.2 Material measures
For the default procedure a material measure with calibrated depth (i.e. AFL, PDG, SPM, PGR, PGC, AGP,
ACG, AGC etc.) shall be used. The parameter to be assessed or the amplification coe ficient z is the
depth d. Measurements shall be per ormed on the calibrated areas o the material measure as they are
indicated by the supplier. Other material measures such as material measures or roughness shall not
be used or the determination o the amplification coe ficient z .
NOTE 1 The use o a multistep material measure may be convenient.
NOTE 2 Material measures are described in ISO 25178-70 (2014).
NOTE 3 A combination of more than one measurement standard is allowed.
14
ISO/DIS 25178-700:2020(E)
6.5.3.2.1 Requirements of geometry and material
The material measure shall be selected, such that its structure does not influence the step depth or
step- height determination. For example, parameters to be considered are the aspect ratio (height to
width), flatness, roughness and materials characteristics, see ISO 25178-70.
NOTE 1 I the width and aspect ratio requirements cannot be ulfilled, see or example Re erence [5].
NOTE 2 The structure o the material measure can influence the result, i the size o the structure is close
to the small scale topography limit o the measuring instrument (see ISO 25178-600 Clause 3.1.21 and Clause
6.6.2.2).
NOTE 3 Rough and non-flat sur aces can increase the measurement uncertainty.
6.5.3.2.2 Alignment of material measure
The evaluation region of the material measure should be adjusted to be perpendicular to the
instrument z-axis.
EXAMPLE A su ficiently perpendicular adjustment is equivalent to less than 3 ringes in the field o view in
an inter erence microscope. For examples, see ISO 25178-603 and ISO 25178-604.
6.5.3.3 Procedure for determination of ampli ication coef icient ( z) for the instrument z-axis
Measurement of step depths or step heights d is the default method for determination of the
amplification coe ficient z or correction actor. This is done by comparing the measured depth with
the calibrated depth o the material measure. The coe ficient is determined rom the quotient o the
measured depth parameter d and the calibrated depth value dcal.
A single step material measure might be su ficient or some given applications. Alternatively, several
step- heights or a multistep material measure is preferred if the instrument is used for the determination
o texture parameters. In this case the amplification coe ficient is determined by fitting a line to the
determined step depths or step heights using the least squares method.
NOTE The dimension o texture parameters are typically in the nanometre or micrometre range. A multistep
material measure may cover smaller and larger step depth or heights.
6.5.3.3.1 Type PGR: Groove, straight (rectangular or trapezoidal)-measurement areas
The de ault measurement areas or a rectangular type PGR material measure consistent with the
ISO 5436-1 profile standard as well as with the ASME B46.1-2009 standard [6] are shown in Figure 2.
The default areas for a trapezoidal material measure are shown in Figure 3.
NOTE 1 Figure 2 is identical to Figure 3 with vertical walls.
NOTE 2 Other measurement areas may be used consistent with the design o the material measure and the
measurement principle i properly documented.
15
ISO/DIS 25178-700:2020(E)
Key
A,B reference areas for levelling
C groove (plateau) area
w groove (plateau) width
l length of measurement areas
d depth
Figure 2 — Default measurement areas for a type PGR material measure having a central groove
Key
A, B reference areas for levelling
C groove (plateau) area
w groove (plateau) width
l length of measurement areas
d depth
Figure 3 — Default measurement areas for a type PGR material measure for a trapezoidal
material measure
16
ISO/DIS 25178-700:2020(E)
6.5.3.3.2 Type PGR: Groove, straight (rectangular or trapezoidal) analysis methods
6.5.3.3.2.1 Area method
Least Square parallel planes should be fitted to the data points o areas A, B and C.
Alternatively a Least-Square plane shall be fitted to areas A and B and subsequently a levelling (tilt
correction) shall be carried out before estimating the mean depth (respective height) of the data points
o region C. Alternatively a Least-Square plane shall be fitted to areas 1 and 2 and subsequently a
levelling (tilt correction) shall be carried out before estimating the mean depth (respective height) of
the data points of region 3.
The determination o the height or depths can be done by calculating the distance o the centroid
(centre o gravity point) o the groove or plateau area to the fitted re erence area.
6.5.3.3.2.2 Pro ile method
Least square parallel straight lines should be fitted to the data points o areas A, B and C.
Least-Squares lines shall be fitted to areas A and B and subsequently a levelling by rotation (tilt
correction) shall be carried out before estimating the depth (respective height) of the data points of
region C.
A set o at least 9 parallel profiles, with independently evaluated depth (resp. height) d or each profile,
shall be performed. The average depth (respective height) d is calculated and reported.
The distance between the profiles shall be chosen such, that most o the area specified by the standard
manufacturer of the material measure is covered.
For a groove or plateau standard that exhibits significant linearity deviations over its length, the
evaluation o d by profile measurements is the de ault method or this type o calibration.
NOTE See ISO 21920-2 (under development) or extraction o line profiles rom an areal measurement.
6.5.3.3.3 Areal and pro ile calibration methods
The areal method is the pre erred method, except or instruments generating topography images rom
line profiles, where the profile method is pre erred.
The material measure shall, pre erably, be calibrated using the same method as it is used or.
6.5.3.3.4 Other material measures for the instrument z-axis calibration
A variety o material measures may be employed or z-axis calibration in place o type PGR specimens.
Calibration techniques or areal topography measuring instruments should be consistent with the
calibration procedure, which is described in the certificate o the material measure.
Non exhaustive examples provided in ISO 25178-70 include the ollowing:
— Type PDG: Double Groove;
— Type AGP: Grooves, perpendicular;
— Type ACG: Cross grid.
Single sided steps have also been used as height calibration standards, see References [7], [8] and [9] To
avoid bias due to sur ace curvature, straight lines are fitted to profile data pre erably equally displaced
from the step transition. Single sided steps based on atomic lattice properties with nanometre, see
Reference [10] and subnanometre, see Reference [11], heights are particularly use ul where double
17
ISO/DIS 25178-700:2020(E)
sided steps may be di ficult to abricate and unavailable. Staircases composed o single sided steps are
also use ul or simultaneous measurement o z-amplification and linearity deviation, see Re erence [12].
NOTE 1 Best results are obtained when the same definition or the step height/groove depth (including the
width w) is employed by:
a) the laboratory where the material measure is calibrated;
b) the user.
I the same definition is not used, the resulting measurement uncertainty may be influenced.
NOTE 2 A trapezoidal material measure as described in Reference [13] may be an alternative or instruments
with a large measuring volume. The measuring volume is defined in ISO 25178-600:2020 Clause 3.1.8.
6.5.3.4 Calibration of the scale over the range of the instrument z-axis
The calibration of the z-scale o the instruments is done by the determination o the amplification
coe ficient as described in Clause 6.5.3.3.
6.5.3.4.1 Range and distance of measurement positions for the calibration of the z-scale
of the instrument
The complete intended z-range or the instrument's application should be used or the determination o
the amplification coe ficient o the instrument z-axis. The distance o the positions within the z-scale
should be selected to cover the complete intended z-range.
For instruments with a larger scan range, see or example Re erence [14], than the groove depths of
the material measure standards the procedure is done at different heights within the scan range of the
instruments. The measurements should be done at reasonable positions spanning the intended z-range.
For instrument characterization by the manu acturer, or example, more positions are recommended,
and the intended z-range should be the total scan range. Material measures with more than one step
height can be used.
NOTE 1 Deviation rom a linear amplification curve results rom linearity deviations along the z-axis. Thus,
the calibration of the z-scale at different positions within the z-range can be used or the calibration o linearity
deviation, see 6.5.4 and 6.5.4.2.2.
NOTE 2 Material measures with much smaller step heights than the scan range of the instrument are often
used or the calibration o the instruments, which are intended or determination o texture parameters. Thus,
this clause describes sample tests at different heights within the scan range of the instrument and covers the
requirement o 6.5.4.2.1.
EXAMPLE I the groove depth is 10% o the intended z-range, three measurements across the range would
cover 30% o the intended z-range.
6.5.3.4.2 Range and distance of measurement position for the calibration of a reduced z-scale
of the instrument
I the instrument is only used in a certain z-range the calibration can be done within the reduced
z-range. Thus, i a region o pre erable per ormance can be located, it may be used with its local
correction coe ficient.
The local amplification coe ficient can improve the measurement uncertainty at this specific range.
However, this procedure yields no in ormation about the measurement uncertainty outside this range,
and outside this range there may be unexpected errors.
18
ISO/DIS 25178-700:2020(E)
This procedure may be used or a ast routine calibration, which is done or checking, that the
instrument performance was not changing since the last calibration. However, if in this case deviations
from the previous values are detected the complete z-scan range shall be calibrated.
NOTE This procedure is used or routine calibration or a given measurement task requiring a smaller z-scan
within the z-range o the instrument at a predefined position.
6.5.3.5 Adjustment of the z-scale of the instruments z-axis
The adjustment o the amplification coe ficient o the instrument z-axis is per ormed by multiplying
the previously specified coe ficient by the measured correction actor. For measurements obtained at
more than one position, the measured step height values from all positions are averaged and from this
average the correction factor is obtained and used for adjustment.
6.5.3.6 Veri ication of the z-scale of the instruments z-axis
A ter adjustment, the amplification actor may be verified according to the procedures described in
6.5.3.3. The measured step height d should equal dcal within a small estimated uncertainty.
6.5.4 Determination of z-linearity deviation lz
6.5.4.1 General
The linearity deviation is defined in ISO 25178-600:2018, Clause 3.1.11. Ideally, all measured
amplification coe ficients or di erent step heights and at di erent positions within the z-scan range
have the same value, see 6.5.3.3. However, hysteresis e ects or nonlinearities o the translation stage
can lead to deviations. The linearity deviation increases the measurement uncertainty.
NOTE Strong linearity deviations may occur with motorized translation stages with a large scan range and
may also result rom spindle aging, e.g.
6.5.4.2 Determination of z-linearity deviation lz
First the amplification coe ficient shall be determined according to 6.5.3. For the detection o linearity
deviations, measurement at a number o positions and step heights are required, whereas a single
measurement may su fice or the determination o the amplification coe ficient. The z-linearity
deviation lz is determined as the maximum local linearity deviation. The assessed parameter is
the maximum deviation o measured depths to the calibrated depth dcal after adjustment of the
amplification coe ficient, see Figure 4, key 5, see also ISO 25178-600:2020, Figure 2. Material measures
with more than one step height can be used.
The maximum local linearity deviation over the complete z-measurement range shall be reported.
NOTE 1 The linearity deviations o the z-scan unit may be measured with an external position measurement
device, such as a laser interferometer. Figure 4 with continuous amplification curve represents such a
measurement.
NOTE 2 Both, amplification and linearity can be determined rom the results o the same type o
measurements.
NOTE 3 For instruments with multiple z-scan axes, each axis can be specified separately.
NOTE 4 Within limitations, a tilted re erence specimen, e.g. an optical flat, compared to its levelled profile,
may give a ast indication o the nonlinearity o the z-axis.
19
ISO/DIS 25178-700:2020(E)
Key
a calibrated value of height z
b measured value of height z
1 ideal response curve
2 actual response curve of the instrument with long and short wavelength deviations
3 best fit line rom which the amplification coe ficient z (slope) is derived (before adjustment)
4 actual response curve o the instrument a ter adjustment o amplification z
5 local linearity deviation lz (after adjustment)
Figure 4 — Schematic representation of z-axis linearity deviation
6.5.4.2.1 Sizes of step heights to be measured
The step heights to be measured within the z-range of the measurement application shall be small
enough to detect all small scale linearity deviations.
EXAMPLE A spindle driven axis typically has a short wavelength nonlinearity corresponding to its pitch and
a long wavelength non-linearity over the whole length o the spindle.
6.5.4.2.2 Positions within the instrument z-range
The measurement should be done at five or more positions within the z-range. Critical z-positions,
where the linearity deviation is high need to be identified. I required, additional measurements should
be done around these critical positions.
With this procedure the linearity deviation can be tested or routine calibration. For adjustment more
positions might be needed.
NOTE 1 A combination o more than one measurement standard may be allowed.
NOTE 2 The maximum local linearity deviation might be short range.
6.5.4.2.3 Procedure to determine linearity deviations of a large range vertical axis of

topography measurement instruments using simple step height standards
A procedure to determine linearity deviations o a large range vertical axis o topography measuring
instruments using simple step height standards is given in Reference [15].
20
ISO/DIS 25178-700:2020(E)
6.5.4.3 Non-default methods
The use of other calibration methods for calibrating the z-axis linearity deviation shall be reported.
EXAMPLE The linearity deviations o the z-scan unit may be measured with an external position
measurement device, such as a laser interferometer.
6.5.4.4 Adjustment of linearity deviation of the z-axis
There are cases, where the linearity deviation cannot be adjusted, but it is part o measurement
uncertainty calculation.
I the linearity deviation is reproducible and i a reproducible zero position exists, the linearity deviation
lz can be compensated using the values rom calibration. Complex models may be used to compensate
or systematic higher order linearity deviations.
6.5.4.5 Veri ication of linearity deviation of the z-axis
A ter adjustment the verification shall be done with the procedure described in 6.5.4.2.
6.5.5 Determination of the ampli ication coef icient x and y in x- and y- direction and
mapping deviation x (x,y) and y (x,y)
6.5.5.1 General
The mapping deviations, x(x,y) and y(x,y), of the instrument’s x- and y-axes are caused by their
individual straightness and linearity deviations. In this clause, a procedure to characterize the mapping
deviations is outlined. These mapping deviations are used to derive the amplification coe ficients and
linearity deviations in the x- and y-directions.
NOTE 1 For optical instruments, the mapping deviation is typically caused. by the aberrations in the optical
elements.
NOTE 2 For contact (stylus) instruments and optical point sensors with a moving stage the mapping deviations
o the x- and y-axes are caused by their individual straightness and linearity deviation. This is the case also or
scanning probe systems.
NOTE 3 The contribution o the mapping deviations to the overall measurement uncertainty may be negligible
depending on the parameter considered (e.g. a step height or the Sa parameter).
NOTE 4 Examples o mapping deviations are given in Figure 5.
21
ISO/DIS 25178-700:2020(E)
a) ideal grid without mapping deviations b) trapezoidal distortion of the grid

due to mapping deviations
c) cushion shaped distortion d) barrel shaped distortion due to mapping

deviations as they may possibly be caused
by aberration
Figure 5 — Examples of x-y grid positions illustrating mapping deviations
6.5.5.2 Material measures
The de ault method or the determination o the amplification actors and mapping deviations o the x
and y axes is with material measures with calibrated distances in the x - y plane (i.e. ACG). The x and y
axes o the material measures shall be aligned parallel to the instrument axes to avoid possible cosine
error or corrections. The calibrated positions o the grid intersection points are expressed by c(x,y)
for the grid intersection points with the indices x, y. The determined positions of the grid intersection
points are expressed by p(x,y). The assessed parameters for each grid intersection points are the
coordinate differences x(x,y) and y(x,y) of the calibrated positions with respect to the determined
position.
The number o intersection points should be at least 25 distributed evenly over the measurement area
as illustrated in Figure 6 and Figure 7.
22
ISO/DIS 25178-700:2020(E)
Key
Full lines calibrated material measure grid
Dotted lines measured grid test specimen
Arrow difference vector between grid intersection coordinates c-2,-2 and measured grid intersection
coordinates p2,-2
Figure 6 — Difference vectors between calibrated material measure grid intersection

coordinates c x,y and measured grid intersection coordinates px,y
6.5.5.3 Assessed measurement volume
Measurements shall be done on the calibrated area of the material measures. The measurements shall
span at least 95% o the x and y axes lengths o the measurement area o the instruments and at least
23
ISO/DIS 25178-700:2020(E)
three z-positions inside the instrument xyz working range. If a smaller fraction of the measurement
area of the instrument is used, it shall be reported. Spurious points should be eliminated.
NOTE For some types o instruments such as microscopes the method is seen to be independent o the
z-position and the measurement at only one z-position may be su ficient.
6.5.5.4 Procedure for the determination of the ampli ication coef icient x and y and mapping
deviation x (x,y) and y (x,y)of the x and y axes
The ollowing de ault procedure is used to determine the amplification coe ficient and linearity
deviation of the x and y axes:
1) For each grid knot point the position px,y shall be determined.
2) The amplification coe ficients, x, and y, in the x and y directions are determined by scaling,
rotation, and translation of the measured grid positions px,y in a way that the trans ormed positions
pu' ,v show a minimum value or the mean square sum o the mapping deviation lengths, [ x(x,y)2 +
2
y(x,y) ] from the calibrated positions cx,y using the least squares method, see NOTE 1.
3) The linearity deviations, lx and ly, are defined as the largest values o x(x,y) and y(x,y), respectively.
Other calibrated methods can be applied, i their traceability is verified An alternative method using
PSm according ISO 4287 is describes in VDI guideline 2655-3, see Reference [16].
NOTE 1 The rotation is needed if the x-,y- axes o the material measure are di erent to the x-,y- axes o the
instrument.
NOTE 2 This method is valid or instruments such as microscopes that acquire topography rom an extended/
finite field o view without x-y translation. Point or line (point array) sensors with x and y translation stages and
lateral position sensors may use di erent methods.
NOTE 3 For the precise determination of the grid knots positions various software algorithms from image
processing may be used.
6.5.5.5 Calibration of the ampli ication coef icients, linearity deviations of the instrument
x and y axes
The de ault method or the calibration o the amplifications x and y and the mapping deviation x
(x,y) and y (x,y) is described in 6.5.5.4.The use of other calibration methods shall be reported.
NOTE Other methods to determine the distances or Psm o a grid o parallel lines, or example: VDI guideline
2655-1.3, see Reference [16] may be used alternatively. This method does not consider the perpendicularity
deviation PERxy.
6.5.5.6 Adjustment of ampli ication coef icient and mapping deviation of the instrument
x and y axes
The correction actors as the inverse o the amplification coe ficients, x and y, shall be used as
multiplying actors to adjust the measured x and y coordinates. Local adjustment o the linearity
deviations can be done by adjusting the x and y position o each measurement point according to the
measured linearity deviation vectors ( x(x,y) and y(x,y)), described in 6.5.5.4.
NOTE The adjustment o the linearity deviations is only needed or applications with high geometric
accuracy requirements in the x-y plane.
6.5.5.7 Veri ication of ampli ication coef icient and linearity of the instrument x and y axes
A ter adjustment the verification shall be done with the procedures described in 6.5.5.4.
24
ISO/DIS 25178-700:2020(E)
6.5.5.8 Mapping deviation of the x and y axes in performance benchmark
The maximum linearity deviations, lx and ly, determined under the best conditions should be reported
for the instrument characterization or performance benchmark.
6.5.6 Perpendicularity of the instrument z-axis with respect to the x-y areal reference
A deviation o the perpendicularity o the instrument z-axis [orthogonality] would lead to shape
distortions o the measured topography. For optical topography measuring instruments, the
perpendicularity deviation o the z-axis is typically ignored due to its small influence on sur ace
topography.
Generally, or optical principles in ISO 25178-70:2014 there are no material measures considered that
are suitable or the determination o the perpendicularity o the z-axis to the areal re erence guide.
Material measures designed or use with SPMs "pyramid type" as described in ISO 11952 shall to be
modified and tested or optical principles.
NOTE 1 It is important to di erentiate between the mechanical and optical instrument axes on one hand and
the coordinate system axes o the component being measured. In ISO 25178-600:2018 definition 3.1.2, the z-axis
is defined as a mechanical or optical axis o the instrument.
NOTE 2 Due to the small influence o the perpendicularity deviations and the lack o applicable material
measures, methods or determination o the perpendicularity deviation are not specified here.
6.6 Topography induced in luences on measurement uncertainty
6.6.1 Topographic spatial resolution
The topographic spatial resolution shall be characterized by any o several parameters listed in the
clause entitled topographic spatial resolution in ISO 25178-600:2018, Clause 3.1.20.
The response o areal sur ace topography instruments to specific sur ace structures, including steep
slopes and discrete eatures such as step heights, is a significant contributor to the uncertainty o
measurement.
A de ault method or calibration has not yet been defined. However, the VDI guideline 2655 1.3 provides
a detailed description about the calibration of the topographical spatial resolution and the calculation
o the connected parameters. I necessary, this guideline can be used.
Although the instrument response can vary as a unction o many actors, assessment o topography
fidelity T Fi, or example, within well-defined limits may be possible and use ul.
6.6.1.1 Small scale topography idelity T il and lateral period limit DLIM
6.6.1.1.1 General
The lateral period limit DLIM or the instrument trans er unction is defined in ISO 25178-600:2018,
Clause 3.1.21 and in ISO 25178-3:2012, Clause 3.1. However, the given definition or the decreasing
response o the instrument to 50% assumes a monotonic decrease o the response, which is not always
observed for different optical instruments: some optical methods even produce an increasing response,
see References [19] and [20] or instance. Thus, the definition has to be modified or some measurement
principles.
Alternatively, the more generally defined small scale topography fidelity T FIL can be used, see Clause
[6.6.2.2].
The small-scale topography fidelity T FIL is defined in ISO 25178-600 Clause 3.1.27.
25
ISO/DIS 25178-700:2020(E)
The measured instrument response can depend on the type o material measure used (rectangular,
sinusoidal, etc). The lateral period limit DLIM is defined on sinusoidal sur aces, the small-scale fidelity
limit T FIL , however, has no restrictions to sinusoidal material measures.
NOTE The lateral period limit DLIM is typically not adjustable.
6.6.1.1.2 Material measures
Material measures for step height with different structure width (grating constants, wavelengths for
sinusoidal structures) can be used for the determination. As alternatives to sinusoidal waveforms one
can use chirped material measures or star shape groove types (ASG or Siemens star). A procedure using
the ASG type is described in the NPL good practice guides number 127 (CSI), see Re erence [19], or 128
(confocal instruments), see Reference [20].
NOTE A generalized description is given in 6.5.8 or determining the small-scale topography limit TFIL
defined in ISO 25178-600:2018 Clause 3.1.27.
6.6.2 Topography idelity
6.6.2.1 General
The topography fidelity T Fi defined in ISO 25178-600:2018 Clause 3.1.26 describes the instrument
influenced error o a measured topography image. The topography fidelity depends on the interaction
o the sur ace topography with the instrument. As it is an indication o the accuracy o the estimation
o the real sur ace, the topography fidelity is an important eature in the measurement uncertainty
calculation.
A material measure may be used or the determination o the topography fidelity. The shape o the
material measure should be close to the shape o the sur ace to be measured. To quanti y the topography
fidelity, a topography image o the calibrated material measure is used as the re erence.
NOTE 1 There are no normative procedures or the determination o topography fidelity using specific sur ace
structures.
NOTE 2 An example structure is a square-profile grating having a depth and lateral spacing similar to those o
the intended surface structure.
6.6.2.2 Small scale idelity limit T il
The lateral period limit T Fil, see 6.5.7.1, the small scale fidelity limit considers positive and negative
deviations o the measured sur ace rom the known sur ace. As these deviations may depend on the
measurement principle no general value or the deviation defining the small-scale fidelity is given and
shall be indicated by the user.
6.6.2.2.1 Determination of the small-scale idelity limit T il
For the determination of the lateral period limit Tfil the response is detected as a function of the
structure widths of a material measures with an appropriate depth. It is recommended to use a material
measure, which reflects the intended sur aces as much as possible.
The material measures are described in 6.6.1.1.2.
NOTE The small-scale topography curve may be calculated by fitting the measured topography to the
known topography o the material measures. The deviation o the fitted topography curve o the measurement to
the known structure of the material measure is obtained. There is no default material measure for this purpose.
26
ISO/DIS 25178-700:2020(E)
6.6.3 Instrument transfer function (ITF) curve fITF
6.6.3.1 General
The instrument transfer function ITF curve describes an instrument’s height response as a function
o the spatial requency o the sur ace topography, see ISO 25178-600 Clause 3.1.19 and or instance
Reference [19] A undamental requirement or the use o the ITF curve for calibration is that the
instrument response to be linear over the ull requency range o the evaluation, such that the response
to each requency component is independent o all other requency components. Due to many influence
factors on the instrument transfer function ITF curve typically a material measure with sinusoidal
with a homogeneous reflection is used. For example, or inter erometric measurements the amplitude
o the sinus should typically smaller than the mean wavelengths o the incident light. A more detailed
description is given in Reference [13]. So, depending on the instrument, this may impose limits on the
maximum sur ace slope, the sur ace topography, or the range o sur ace heights.
NOTE 1 The instrument transfer function ITF curve may be calculated directly by comparison o the spatial
requency content o a measured sur ace topography map divided by the theoretical spatial requency content o
the object surface. There is no default material measure for this purpose.
NOTE 2 A suitable material measure for the calibration of the instrument transfer function ITF curve may
include a sharp step eature designed into the sur ace topography. Step eatures comprise a continuum o
spatial requencies. For the evaluation o the instrument trans er unction ITF curve to be consistent with the
requirement o linearity in optical instruments, the height step should be no more than one-eighth the mean
source wavelength in height, see for instance ISO 25178-604: 2012
NOTE 3 A suitable material measure for calibration of instrument transfer function ITF curve may be a range
o sinusoidal sur ace eatures having a range o spatial requencies designed into the sur ace topography. The
material measures should be compatible with the limits of linear instrument response, including in particular, a
limit on the maximum allowable sur ace slope.
6.6.3.2 Determination of the lateral period limit Dlim
The lateral period limit is defined in ISO 25178-600 (2020) Clause 3.1.21. The determination o the
small-scale fidelity limit DLim can be done similar to determination o the small-scale fidelity limit T FIL .
For the determination of the lateral period limit DLim the response is detected as a function of the
structure widths of a material measures with an appropriate depth. It is recommended to use a material
measure, which reflects the intended sur aces as much as possible.
The material measures are described in Clause 6.6.1.1.2.
6.7 Slope-dependent effects

Areal measuring instruments may show systematic height deviations depending on the sur ace slope
and on the position in the measurement area. For the measurement uncertainty determination or
or the specification o the maximum slope dependent height deviation h, max a measurement and
evaluation procedure using a spherical material measure can be applied, see References [16] and [20].
NOTE 1 There are no normative default shapes or procedures for the determination of slope dependent effects.
NOTE 2 E.g., methodologies or determining slope dependent e ects using spherical arte acts are provided by
Reference [16] Clause 8.3.2.
27
ISO/DIS 25178-700:2020(E)
Annex A
(informative)
Relation to the GPS matrix model
A.1 General
The ISO GPS matrix model given in ISO 14638 gives an overview o the ISO GPS system o which this
document is a part.
The undamental rules o ISO GPS given in ISO 8015 apply to this document and the de ault decision
rules given in ISO 14253-1 and ISO 14253-5 apply to specifications made in accordance with this
document, unless otherwise indicated.
A.2 Information about this document and its use

This document defines the methods, specific terminology and metrological characteristics or
instruments used to measure areal sur ace topography.
A.3 Position in the GPS matrix model

This document is a general ISO GPS standard, which influences chain link F o the chains o standards on
profile and areal sur ace texture in the GPS matrix model (see Table A.1). The rules and principles given
in this document apply to all segments o the ISO GPS matrix which are indicated with a filled dot (•).
Table A.1 — Position in the ISO GPS Standards matrix model

Chain links
A B C D E F G
Symbols Conformance
Feature Feature Measurement
and and non- Measurement Calibration
requirements properties equipment
indications conformance
Size
Distance
Form
Orientation
Location
Run-out
Profile sur-
ace texture
Areal surface
• •
texture
Surface
imperfections
A.4 Related international standards

The related International Standards are those of the chains of standards indicated in Table A.1.
28
ISO/DIS 25178-700:2020(E)
Bibliography
References:
[1] ISO/IEC Guide 99:2007, International vocabulary o metrology — Basic and general concepts and
associated terms (VIM)
[2] ISO/IEC Guide 98-3:2008, Uncertainty o measurement — Part 3: Guide to the expression o
uncertainty in measurement (GUM:1995)
[3] d G Peter, D S Jack2018) , Sur ace-height measurement noise in inter erence
microscopy, Proc. SPIE 10749, Inter erometry XIX, 107490Q
[4] P G P.2017) , The Meaning and Measure of Vertical Resolution in Optical Surface
Topography Measurement, Applied Sciences 7(1), 54
[5] L Jian, L Mengzhou, L Qiang, T Jiubin2016), , Decoupling criterion based on limited
energy loss condition or groove measurement using optical scanning microscopes, Meas. Sci.
Technol. 27, 125014
[6] ASME B46.1-2009, [102] Sur ace Texture (Sur ace Roughness, Waviness, and Lay)
[7] T E.C. Evaluation, Revision, and Application o the NBS Stylus/Computer System or the
Measurement o Sur ace Roughness, NBS Technical Note 902 (U.S. Dept. of Commerce, Washington,
DC, 1976).
[8] B J.M.1985) , Comparison o instruments or measuring step heights and sur ace profiles,
Appl. Opt. 24, No. 22, 3766-3772
[9] V T.V., R T.B., Z A.X., S J.-F., S J.A., S R.M. “NIST Sur ace
Roughness and Step Height Calibrations, Measurement Conditions and Sources o Uncertainty”,
www.nist .gov/pml/div683/grp02/upload/nistsurfcalib.pdf, (uploaded, 19 March 2014).
[10] V V., H A., D R.G., O N.G., P J.A., T A.J., N P.G.,
A P.B.2010). , Calibration of 1 nm SiC step height standards, Proc. SPIE 7638, 76381D-1
[11] O N., D R., F J., V T.2004). , Traceable Pico-meter Level Step Height
Metrology, Wear 257, 1264-1269
[12] B S., R C., S H., H T., Kö T.2011) , Calibration o the z-axis
for large-scale scanning white-light interferometers, Journal o Physics: Con erence Series 311,
012027; doi:10.1088/1742-6596/311/1/012027
[13] B U, S ä H, S ö R, F C, H G New depth-setting standards
with grooves up to 5 mm depth Proc. Euspen 438-441 (2006)
[14] B W2011) , Special Properties of Coherence Scanning Interferometers for large
Measurement Volumes, J. Phys.: Con . Ser. 311, 012030
[15] B W., Hü D., G D. 2020) (To be published) Procedure to determine linearity
deviations o a large range vertical axis o topography instruments using simple step height
standards ASPE conference (2020)
[16] VDI guideline 2655-1.3, (2020), Optical measurement o microtopography - Calibration
o inter erence microscopes or orm measurement, VDI/VDE-Gesellschaft Mess- und
Automatisierungstechnik,(2020
[17] M F., L W., O W. Model based assistance system or con ocal measurements o rough
sur aces. Proceedings of SPIE Vol. 87880U. In: Lehmann, P.; Osten, W.; Albertazzi, A. (Eds.):
Optical Measurement Systems or Industrial Inspection VIII. 2013.
29
ISO/DIS 25178-700:2020(E)
[18] K A. et al. 2018 , Modeling o topography measuring instrument trans er unctions by time
series models Meas. Sci. Technol.
[19] G C L, L R K 2013) Calibration o stylus instruments or areal sur ace texture
[20] G C L, L R K 2013 Calibration o imaging con ocal microscopes or areal sur ace texture
measurement Measurement Good Practice Guide No. 129 (National Physical Laboratory
[21] L P., Vertical scanning white-light inter erence microscopy on curved microstructures,
Opt. Lett. 35, 1768-1770 (2010)
Additional References: Calibration (general)
[22] d G P. J., Progress in the specification o optical instruments or the measurement o
sur ace orm and texture," Proc. SPIE 9110, 91100M-1-12 (2014)
[23] L R K, 2011 Optical Measurement o Sur ace Topography ( Springer: Berlin)
[24] G C L, L R K, 2013 Calibration o stylus instruments or areal sur ace texture
measurement Measurement Good Practice Guide No. 127 ( National Physical Laboratory)
[25] G C L, L R K, 2013 Calibration of phase stepping interferometers and coherence
scanning inter erometers or areal sur ace texture measurement Measurement Good Practice
Guide No. 128 ( National Physical Laboratory)
[26] G C L, L R K, 2013 Calibration of imaging confocal microscopes for areal surface
texture measurement Measurement Good Practice Guide No. 129 ( National Physical Laboratory)
[27] L R K, G C L, H H, E C, J X2015 , Calibration and verification o areal
sur ace texture measuring instruments Ann. CIRP 64 797-813
[28] L R K, H H, G C L, 2020 A metrological characteristics approach to
uncertainty in sur ace metrology. In: O W, Optical Inspection o Microsystems ( CRC Press),
2nd edition, Chap. 3
[29] S J., E M. Calibration o areal sur ace topography measuring instruments," Proc. SPIE
10449, 1044911-1044911-9 (2017).
[30] W G., B W., S J. et al. Definition o a comparable datasheet or optical sur ace
measurement devices. www.optassyst.de/fairesdatenblatt, (2016).
References: Measurement noise
[31] B J S, P A C, Random data: analysis and measurement procedures. New York:
Wiley, 2010. 640 p.
[32] G C L, L R K, H F, G T, N L2012 , Calibration of the scales
o areal sur ace topography measuring instruments: Part 1 - Measurement noise and residual
[33] G C L, C J D, S W, L R K, H F, C M P J2014 , Practical
estimation o measurement noise and flatness deviation on ocus variation microscopes Ann.
CIRP 63 545-548
[34] H H., M M.A.A., Noise bias removal in profile measurements, Measurement:
Journal of the International Measurement Confederation, 2005, 38 (1), pp. 21-29
[35] M G, F X, G M, L R K2018 , Noise evaluation of a point autofocus
sur ace topography measuring instrument Meas. Sci. Technol. 29, 065008
References: Scale calibrations (ampli ication and linearity)
30
ISO/DIS 25178-700:2020(E)
[36] d G P., B J., Calibration o the amplification coe ficient in inter erence microscopy
by means o a wavelength standard," Proc. SPIE 9526, 952610-952610-11 (2015).
[37] F A. B., H P. M., L R. K. NPL Report CMSC 33/03: The comparison o algorithms
or the assessment o Type A1 sur ace texture re erence arte acts. 2003
[38] G C. L., L R. K., H F.“, Calibration o the scales o areal sur ace topography
measuring instruments: Part 2. Amplification, linearity and squareness,” Measurement Science
and Technology 23(6), 065005 (2012).
[39] H A. J. and Claudiu-Laurentiu Giusca. "Considerations on the proposed linear theory o sur ace
measurement or coherence scanning inter erometers." Applied optics 56.10 (2017): 2960-2967
[40] M G, F X, S R, G M, L R K2020 , Residual flatness and scale calibration
or a point auto ocus sur ace topography measuring instrument Meas. Sci. Technol. 30, 075005
[41] S C. G., S V., Theory and algorithms or weighted total least-squares fitting
of lines, planes, and parallel planes to support tolerancing standards, J. Comput. Inf. Sci. Eng. 13
(2013) 031008-1
[42] S J. A., D J. E., G P. et al. “, Advice from the CCL on the use of unstabilized lasers as
standards of wavelength: the helium-neon laser at 633 nm,” Metrologia 46(1), 11-18 (2009).
[43] T P. Z., L M. X., F K. et al. , Step-height standard or sur ace-profiler calibration,"
Proc. SPIE 1995, 235-244 (1993).
[44] W D.-S., F E., N E. Accuracy evaluation o white light inter erometer re erence
signal," (2004).
References: Flatness deviation
[45] C K., W J. C.“, Absolute measurement of surface roughness,” Applied Optics 29(26),
3823 (1990).
[46] E J.C., PVr-a robust amplitude parameter for optical surface inspection, Optical Engineering
48(4), 043605, (2009)
[47] G C L, L R K, H F, G T, N L2011 , Calibration of the scales
o areal sur ace topography measuring instruments: Part 1-Measurement noise and residual
[48] M G, F X, S R, G M, L R K2020 , Residual flatness and scale calibration
or a point auto ocus sur ace topography measuring instrument Meas. Sci. Technol. 30, 075005
References: Topographic spatial resolution
[49] C J M, M R, P K, L R K2013 , Coherence scanning inter erometry:
linear theory o sur ace measurement Appl. Opt. 52 3662-3670
[50] d G P., C L X., S D. M. et al. “, The Meaning and Measure of Lateral
Resolution or Sur ace Profiling Inter erometers,” Optics and Photonics News 23(4), 10-13 (2012).
[51] G C L, L R K2013 , Calibration o the scales o areal sur ace topography measuring
instruments: Part 3 – Resolution Meas. Sci. Technol. 24, 105010
[52] K ü -S R, B P, J L, W H2007 , Chirp calibration standards or sur ace
measuring instruments Techn. Mess. 74 572–576
[53] L R.K., G C.L., H A., S B., C J.M. 2013 ISO definition o
resolution or sur ace topography measuring instruments Proc. FRINGE, Stuttgart, Germany,
Sep. 405-410
31
ISO/DIS 25178-700:2020(E)
[54] S R, T M, L M, D J, B E, P C, C J M, L R K2020 , Lens

aberration compensation in inter erence microscopy Opt. Lasers Eng. 128, 106015
[55] X Z W, F F Z, G H F, Z Y B, W W, W A2012 , Nano abrication o star
structure or precision metrology developed by ocused ion beam direct writing Ann. CIRP 61 511–
514
References: Topography idelity
[56] B V.G., L J., E C.J. et al. Evaluation o the measurement per ormance o a
coherence scanning microscope using roughness specimens", Proceedings o ASPE, Denver, CO,
pp. 23–26, 2011 (2011).
[57] [Fujii A, Suzuki H, Yanagi K 2011 Development o measurement standards or veri ying unctional
per ormance o sur ace texture measuring instruments J. Phys.: Con . Ser. 311 012009
[58] G T., D L., d G P. Characterizing the resolving power o laser Fizeau inter erometers.
Fifth European Seminar on Precision Optics Manufacturing, Proc. SPIE. 2018; 10829
[59] L R.K., d G P., H H. 2018 Infidelity and the calibration o sur ace topography
measuring instruments Proc. ASPE, Las Vegas, USA, Nov.
[60] L P., Kü P., X W.“, Reduction o chromatic aberration influences in vertical
scanning white-light inter erometry,” Measurement Science and Technology 25(6), 065203 (2014)
[61] R H.-G., V T. V., L J. W. et al. “, Discrepancies between roughness measurements
obtained with phase-shi ting and white-light inter erometry,” Applied Optics 44(28), 5919-
5927 (2005)
[62] S J., E M., W G., Unambiguous evaluation of a chirp measurement standard,
Sur ace Topography: Metrology and Properties, 2 (2014), 045003
References: Slope dependence
[63] L Peter, Vertical scanning white-light inter erence microscopy on curved
microstructures," Opt. Lett. 35, 1768-1770 (2010)
[64] S R, W Y, C J M, L R K2017 , On tilt and curvature dependent errors and the
calibration o coherence scanning inter erometers Opt. Express 25 3297-3310
32

Din en Iso 25178-700 e 2020-11

Hochgeladen von

Dokumentinformationen

Originaltitel

Copyright

Verfügbare Formate

Dieses Dokument teilen

Dokument teilen oder einbetten

Freigabeoptionen

Stufen Sie dieses Dokument als nützlich ein?

Sind diese Inhalte unangemessen?

Copyright:

Verfügbare Formate

Din en Iso 25178-700 e 2020-11

Hochgeladen von

Copyright:

Verfügbare Formate

DEUTSCHE NORM Entwurf November 2020

DIN EN ISO 25178-700

Geometrische Produktspezifikation (GPS) –

Stellungnahmen werden erbeten

Das zuständige deutsche Normungsgremium ist der Arbeitsausschuss NA 152-03-03 AA „Oberflächen" im

DIN EN ISO 3274:1998-04, Geometrische Produktspezifikationen (GPS) — Oberflächenbeschaffenheit:

DIN EN ISO 4287:210-07, Geometrische Produktspezifikation (GPS) — Oberflächenbeschaffenheit:

DIN EN ISO 5436-1, Geometrische Produktspezifikation (GPS) — Oberflächenbeschaffenheit:

DIN EN ISO 5436-2, Geometrische Produktspezifikation (GPS) — Oberflächenbeschaffenheit:

DIN EN ISO 14406:2011-04, Geometrische Produktspezifikation (GPS) — Erfassung (ISO 14406:2010);

DIN EN ISO 14638, Geometrische Produktspezifikation (GPS) — Matrix-Modell

DIN EN ISO 14978:2006-11, Geometrische Produktspezifikation (GPS) — Allgemeine Grundsätze und

DIN EN ISO 25178-2:2012-09, Geometrische Produktspezifikation (GPS) — Oberflächenbeschaffenheit:

DIN EN ISO 25178-3:2012-11, Geometrische Produktspezifikation (GPS) — Oberflächenbeschaffenheit:

DIN EN ISO 25178-6:2010-06, Geometrische Produktspezifikation (GPS) — Oberflächenbeschaffenheit:

DIN EN ISO 25178-70:2014-06, Geometrische Produktspezifikation (GPS) — Oberflächenbeschaffenheit:

DIN EN ISO 25178-71, Geometrische Produktspezifikation (GPS) — Oberflächenbeschaffenheit: Flächenhaft —

DIN EN ISO 25178-72, Geometrische Produktspezifikation (GPS) — Oberflächenbeschaffenheit: Flächenhaft —

DIN EN ISO 25178-73:2019-10, Geometrische Produktspezifikation (GPS) — Oberflächenbeschaffenheit:

DIN EN ISO 25178-600:2019-12, Geometrische Produktspezifikation (GPS) — Oberflächenbeschaffenheit:

DIN EN ISO 25178-601:2011-01, Geometrische Produktspezifikation (GPS) — Oberflächenbeschaffenheit:

DIN EN ISO 25178-603, Geometrische Produktspezifikation (GPS) — Oberflächenbeschaffenheit:

DIN EN ISO 25178-604:2013-12, Geometrische Produktspezifikation (GPS) — Oberflächenbeschaffenheit:

prEN ISO 25178-700:2020

Titel de: Geometrische Produktspezifikation (GPS) — Oberflächenbeschaffenheit —

Titel en: Geometrical product specifications (GPS) — Surface texture: Areal —

Titel fr: Spécification géométrique des produits (GPS) — État de surface:

A.3 Position im GPS-Matrix-Modell ........................................................................................................................ 37

Dieses Dokument ist derzeit zur parallelen Umfrage vorgelegt.

Alternative Kalibriertechniken mit eindeutigem Rückverfolgbarkeitspfad sind in Abhängigkeit von den

Spezifische Einflüsse, verursacht beispielsweise durch Umgebungsbedingungen, werden nicht

ISO 14406:2010, Geometrical product specifications (GPS) — Extraction

ISO 14638, Geometrical product specifications (GPS) — Matrix model

— ISO Online Browsing Platform: verfügbar unter https://www.iso.org/obp

— IEC Electropedia: verfügbar unter http://www.electropedia.org/

3.1 Allgemeine messtechnisc he Begriffe

3.2 Messtechnische Begriffe

4 Symbole und Abkürzungen

5 Kalibrierung, Justierung und Verifizierung eines Messgeräts

Tabelle 1 — Liste messtechnischer Merkmale für Oberflächentopographie-Messprinzipien

ANMERKUNG 2 Leistungsanforderungen werden typischerweise von den Messgeräteherstellern bereitgestellt.

Bild 1 — Flussdiagramm des Verfahrens zur Kalibrierung, Justierung und Verifizierung

5.2 Anwendung der Verfahren zur Kalibrierung, Justierung und Verifizierung

5.3 Verfahren zur Messgerätekalibrierung

5.3.1 Kalibrierung mittels Messnormalen

5.3.2 Messverfahren für die Kalibrierung mittels Messnormalen

5.3.3 Kalibrierung mittels anderer Verfahren

ANMERKUNG 1 Die Messgeräteanordnung (Konfiguration) ist im Allgemeinen anwendungsspezifisch.

BEISPIEL Beispiele unterschiedlicher Anordnungen (Konfigurationen):

— Verwendung von Objektiven mit unterschiedlichen Vergrößerungen

— Verwendung unterschiedlicher Tastspitzenradien

— Verwendung unterschiedlicher Abtastrichtungen

— Verwendung unterschiedlicher Abtastgeschwindigkeiten

— Unterschiedliche (stationäre) Umgebungsbedingungen, wie z. B. Temperatur

5.5 Justierung und Verifizierung

5.5.2 Justierung systematischer Abweichungen

5.5.3 Verifizierung (Kalibrierung nach Justierung)

Die Verifizierung sollte unter den günstigsten Umgebungsbedingungen erfolgen. Die

6 Bestimmung der messtechnischen Merkmale eines Messgeräts

— innerhalb des für die vorgesehene Anwendung definierten Messvolumens;

— an unterschiedlichen Positionen innerhalb des Messvolumens, sofern anwendbar;

— entsprechend einem vereinbarten oder anerkannten Messplan;

— für verschiedene Abtastgeschwindigkeiten oder -richtungen, sofern anwendbar.