Arbeitsgebiet: Theorie und Entwurfsmethoden

Anwendungsbereich: Energie- und Ressourceneffizienz

System-Simulation eines MEMS-basierten piezoelektrischen Energy-Harvester Moduls

Dennis Hohlfeld1, Tamara Bechtold2, Evgenii Rudnyi2 and Rob van Schaijk3 1 Reutlingen University, Alteburgstrae 150, 72762 Reutlingen, Deutschland 2 CADFEM GmbH, Marktplatz 2, 85567 Grafing b. Mnchen, Deutschland 3 IMEC / Holst Centre, High Tech Campus 31, 5656 AE Eindhoven, Die Niederlande
In dieser Arbeit stellen wir einen neuen Ansatz zum effizienten Entwurf von Mikrosystemen vor. Dieser basiert auf numerischen Methoden zur Ordnungsreduktion von MEMS-Modellen, die mehrere physikalische Domnen beinhalten. Die reduzierten MEMS-Modelle werden gemeinsam mit einer Schaltung gelst. Als Anwendungsbeispiel dient uns ein MEMS-basiertes Modul mit piezoelektrischer Energiewandlung und passiven elektrischen Komponenten zur Energiespeicherung. Der Entwurf von Mikrosystemen wird oft durch das Fehlen von Entwurfswerkzeugen zur umfassenden Modellierung sowohl der MEMS-Komponente als auch der verbundenen Schaltung eingeschrnkt. Oft knnen die Entwurfsaufgaben der verschiedenen physikalischen Domnen und der Schaltung getrennt und in spezialisierten Entwurfswerkzeugen behandelt werden. Dieses Vorgehen geht von der Annahme aus, dass Energie entweder von der Schaltung zur MEMSKomponente fliet (elektrothermischer Aktor) oder von einem MEMS-Wandler einer Schaltung zugefhrt wird (mikrostukturierter Sensor im Verbund mit Auswerteschaltung). Darber hinaus kann sich das Verhalten des gesamten Mikrosystems auch aus dem Zusammenspiel beider Komponenten ergeben. Nur eine Modellierung und Simulation auf Systemebene [1] kann eine korrekte Modellierung dieses Verhalten gewhrleisten. Einige Werkzeuge integrieren bereits die tatschliche Kopplung von Systemvariablen zur Erhaltung der Systemphysik; jedoch werden hier die MEMSStrukturen meist als kompakte Modelle integriert. Diese nutzen Analogien zu elektrischen Widerstnden, Induktivitten, Kapazitten und Quellen z.B. zur Beschreibung von mechanischer Steifigkeit, Trgheit, Strmungskanlen oder thermischen Quellen [2]. Ein Verfahren zur Gewinnung von Modellen mit hoher Genauigkeit ist demgegenber die numerische Lsung der die Physik beschreibenden Differentialgleichung. Die Ordnung resultierender Gleichungssysteme kann weit oberhalb von 100 000 liegen. Modelle solcher Grenordnung lassen sich nicht effizient transient lsen. Wir konnten zeigen [3], dass Modellordnungsreduktion (MOR) eine Schlsseltechnologie zur Lsung komplexer MEMS-Modelle ist. Sie bietet exzellente Genauigkeit bei gleichzeitig drastisch reduziertem Rechenaufwand. Ebenso wurde MOR von uns in Anwendungen, wie z.B. Design Optimierung und Parameteridentifikation, erstmals eingebracht. [4]. In dieser Arbeit setzen wir Krylov-Unterraum-basierte reduzierte Modell [5] innerhalb einer flexiblen Simulationsumgebung ein (ANSYS Simplorer). Der Nutzen dieser Methode wird im Rahmen der Betrachtung eines MEMS-basierten Energiewandlermoduls demonstriert. Dieses Modul besteht aus einer MEMS-Komponente zur piezoelektrischen Energiewandlung (Abb. 1), einer Schaltung zur Gleichrichtung und Energieentnahme sowie einem Energiespeicher. Der Energiewandler besteht aus einem mikrostrukturierten mechanischen Resonator [6]. Der Resonator verstrkt ambiente Vibrationen im sub-g Bereich zu nutzbaren Auslenkungen von einigen 100 m. Die dnnen Balkensegmente tragen Kondensatoren mit piezoelektrischem Aluminiumnitrid (AlN) als Dielektrikum. Die Dehnung des AlN erzeugt eine Flchenladungsdichte an den Elektroden und damit ein Spannung am Kondensator. Der Gleichrichter berfhrt diese Energie in einen Kondensator als Energiespeicher. Eine umfassende experimentelle Charakterisierung der MEMS-Struktur ist in [6] beschrieben. In dieser Arbeit generieren wir mittels mathematischer Ordnungsreduktion aus einem FE-Modell der Ordnung 2133 (Abb. 2) ein reduziertes Modell der Ordnung 28. Abb. 3 lsst die hervorragende bereinstimmung zwischen den Modellen erkennen. Um die Anwendbarkeit der vorgeschlagenen Methode in der transienten Co-Simulation von FEModellen und einer Schaltung zu demonstrieren wurde eine Impulserregung gewhlt. Bisherige Arbeiten [7] beschrnken sich auf harmonische Anregung zur Bestimmung der Leistungsdaten. Realistische Anwendungsflle erfordern jedoch die Bercksichtigung willkrlicher Anregungsformen. Unserer Ansicht nach ist das beschriebene Verfahren hervorragend zur Behandlung von Entwurfsaufgaben geeignet, die eine gekoppelte Simulation von hochgenauen numerischen Modellen und einer komplexen Schaltung erfordern.
[1] [2] [3] [4] http://www.20sim.com http://www.coventor.com E. B. Rudnyi, et al.. Sensors Update 11, 3-33, 2002. T. Bechtold, et al., Journal of Micromechanics and Microengineering 20 (2010) 045030. [5] [6] [7] http://modelreduction.com/ T. M. Kamel, et al., Journal of Micromechanics and Microengineering, 20 (2010), 105023. M. Zhu, et al., IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics and Frequency Control, , 56 (2009), 1309-1317.

Abb. 1. Vakuum-verkappselte piezoelektrische Energiewandler. Die maximale Leistungsabgabe betrgt bei Resonanzerregung 85 W.

Abb. 2. FE Modell mit 2133 Knoten und Modenform bei Grundresonanz.

Abb. 3. Vergleich der Ergebnisse des FE- und des reduzierten Modells.

in1

out1 out2

Abb. 5. Simulationsergebnisse: die Impulserregung fhrt zu einer abklingenden Schwingung und zeitbegrenztem Energietransfer in den Kondensator. Der Entladevorgang wird durch den parallelen Widerstand als Verbraucher bestimmt..
0

Abb. 4. System-Modell bestehend aus Impulsquelle, reduziertem Modell und Gleichrichterschaltung. Das Modell bercksichtigt eine elektromechanische Kopplung zwischen MEMS-Komponente und Schaltung.