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I.1 Halbleiter Materialien stem, z.B. III-V, II-VI und IV-IV Halb-
leiter. Zusätzlich kann man noch die
Halbleiter-Bauelemente dominieren Zahl der Verbindungspartner ange-
heute in der Elektronik und haben ben: Binär (2), ternär (3) und quater-
z.B. die Röhre fast völlig verdrängt. när (4). In ternären und quaternären
Nur höchste Leistungen und Frequen- Verbindungen müssen sich die An-
zen sowie Bildröhren werden heute zahlen der Atome aus den verschie-
noch durch Röhren bedient. Trotzdem denen Hauptgruppen natürlich
zeichnen sich Entwicklungen ab, wie entsprechen. So hat Galliumarse-
IC’s nach dem Röhrenprinzip mit nidphosphid GaAsP die variable Zu-
Feldemissions-Kathoden. sammensetzung GaAs(x)P(1-x),
Halbleiter stehen elektrisch zwischen wobei x zwischen 0 und 1 liegt. Ent-
den Isolatoren und Leitern. Chemisch sprechend lautet die Formel beim
reinen Halbleitern ist gemeinsam, daß Galliumindiumarsenidphosphid:
sie bei tiefen Temperaturen isolieren GaxIn1-xAsyP1-y mit x und y jeweils
und von einer bestimmten Tempera- zwischen 0 und 1.
tur an eine rasch anwachsende Leit-
fähigkeit zeigen. Diese intrinsische Tabelle 1 zeigt die für Halbleiter wich-
oder Eigenleitfähigkeit stört den Ein- tigen Elemente des Periodensystems.
satz bei hohen Temperaturen. Dier II. Hauptgruppe umfaßt die Er-
Es gibt eine ganze Reihe halbleiten- dalkalimetalle Beryllium - Barium. Für
der Materialien. Man unterscheidet Halbleiter ist nur die II. Nebengruppe
zuerst Element- und Verbindungs- interessant, von der das jeweils wich-
halbleiter. Letztere werden weiter un- tige Element aufgeführt ist.
terteilt nach den Hauptgruppen der
beteiligten Elemente im Periodensy-
Von elementarer Bedeutung für alle So wird Silizium (IV. HG) durch Galli-
Halbleiter-Bauelemente ist die Mög- um (III. HG) p-dotiert und durch Arsen
lichkeit, die Leitfähigkeit durch Beimi- (V. HG) n-dotiert. Ein bereits dotierter
schen winziger Mengen anderer Halbleiter kann in den anderen Leitfä-
Elemente zu beeinflussen. Diese "Do- higkeitstyp umdotiert werden. Der wir-
tierung" erzeugt je nach Dotierele- kungsmäßig überwiegende Dotierstoff
ment im Halbleiter positive oder entscheidet, ob p- oder n-Leitfähigkeit
negative freibewegliche Ladungsträ- herrscht. Wichtig ist auch, daß in ei-
ger. Positive Ladungsträger sind nem dotierten Halbleiter neben den
Elektronenlöcher (Defektelektronen) Ladungsträgern des Leitfähigkeitstyps
und führen zu p-leitendem Halbleiter. (Majoritätsträger) immer auch eine
Negative Ladungsträger sind Elektro- geringe Konzentration von La-
nen, die n-Leitung verursachen. P-do- dungsträgern des jeweils anderen
tierend wirken Elemente aus einer Leitungstyps vorhanden ist (Minori-
niedrigeren Hauptgruppe des Peri- tätsträger). Das Produkt der beiden
odensystems, n-dotierend sind dage- ist eine Materialkonstante.
gen Elemente aus einer höheren
Hauptgruppe.
Abb. 1-5: MOSFETs (Verarmungstyp) Gate und Kanal, die genau wie im
Verarmungs MOSFET den Kanal-
Im Verarmungs-MOSFET wird bei der querschnitt einengt und den Strom-
Herstellung ein Kanal zwischen fluß hemmt.
Source und Drain erzeugt. Legt man
eine negative Spannung ans Gate, so f) Leistungs MOSFETs
bildet sich nach dem gleichen Prinzip
wie beim Anreicherungstyp eine p-lei-
tende Schicht direkt unter dem Gate-
Oxid. Diese Schicht trägt aber nicht
zum Stromfluß bei, sondern verengt
vielmehr den Kanalquerschnitt und
verringert dadurch den Drainstrom.
Bei Gatespannung 0 fließt also
Strom, der bei negativ werdender Ga-
tespannung kleiner wird. Hieran kann
man den Verarmungstyp vom Anrei-
cherungstyp unterscheiden, der bei
Gatespannung 0 sperrt. Bei beiden
Typen erhöht aber eine positiver wer-
dende Gatespannung den Drainstrom Abb. 1-7: Leistungs MOSFET
und umgekehrt.
Für Leistungsanwendungen muß der
e) Sperrschicht Feldeffekttransistoren Kanalwiderstand möglichst klein sein,
Sperrschicht-Feldeffekttransistoren um die ohmschen Verluste im einge-
(JFET= Junction FET) haben ein schalteten Zustand zu minimieren.
Gate aus dotiertem Silizium, das vom Um einen möglichst großen Kanal-
Kanal durch eine Sperrschicht isoliert querschnitt auf einer möglichst klei-
ist. Sie gehören auch zum Verar- nen Chipfläche unterzubringen
mungstyp. Bei Anlegen einer negati- benutzt man Anordnungen wie z. B.
ven Spannung ans Gate bildet sich in Abb. 1-7. Auf dem n-Substrat befin-
eine Verarmungsschicht zwischen det sich eine p- und darüber eine n-
Praktische Elektronik 1-8 Hans-Hellmuth Cuno
leitende Siliziumschicht. Auf die In- Der MOSFET wird leistungslos ge-
nenfläche der eingeätzten Gruben steuert und schaltet den Basisstrom
wird erst das Gateoxid und dann das des pnp-Transistors. Der Spannungs-
Gatematerial aufgebracht. Positive abfall auch bei großen Strömen liegt
Spannung am Gate erzeugt an der um 1 Volt. Das Ersatzschaltbild in
Oberfläche der p-Schicht den Kanal, Abb. 1-8 zeigt auch den parasitären
durch den der Strom von der Source npn-Transistor aus Source, Substrat
zum Drain fließt. Für höhere Sperr- und Drain des MOSFET. Zusammen
spannungen muß der Kanal länger mit dem Emitter des pnp-Transistors
und damit hochohmiger werden. entsteht so ein Thyristor (npnp), des-
sen Zünden durch spezielle Maßnah-
Leistungs MOSFETs schalten sehr men ausgeschlossen werden muß.
schnell und sind damit für
Schaltregler (siehe Kap. XI.3) hervor- h) Thyristoren
ragend geeignet.
Vor dem Diffundieren muß man mit schleunigungsspannung kann die Ge-
dem Prozeß der Photolithografie Öff- schwindigkeit und damit die Eindring-
nungen (=Fenster) in der Oxidschicht tiefe gesteuert werden, eine Messung
erzeugen. Dazu überzieht man die des Ionenstroms ergibt mit höchster
oxidierte Scheibe mit einem Photo- Präzision die Menge des Dotierstoffs.
lack, der durch eine Maske belichtet Beides sind ganz wesentliche Vorteile
und sodann entwickelt wird. Der Pho- gegenüber der Diffusion. Die Ein-
tolack hat jetzt Öffnungen, durch die dringtiefe der Ionen ist mit der Be-
hindurch man Öffnungen in die schleunigungsspannung einstellbar,
Oxidschicht ätzt und danach den aber doch relativ klein. Sie bleiben
Photolack wieder entfernt. Viele auf schon in der Oxidschicht stecken. Es
diese Weise vorbehandelte Scheiben können daher die üblichen photolitho-
kommen nun in einen Diffusionsofen, grafischen Verfahren eingesetzt w er-
in dem bei hoher Temperatur ein do- den. Für moderne, hochtechnolo-
tierstoffhaltiges Gas über die Schei- gische Bauelemente ist die Ionenim-
ben strömt. Der Dotierstoff Borwas- plantation unentbehrlich.
serstoff BH3 oder Phosphorwasser-
stoff PH3 zersetzt sich an der Schei- Bei der Herstellung von Transistoren
benoberfläche und die Dotieratome schließt sich an die Dotierung der Ba-
diffundieren durch die Fenster in das siszonen eine Oxidation der Oberflä-
Silizium hinein. Über Dotierstoffkon- che und ein zweiter, gleichartiger
zentration und Temperatur kann man Schritt zur Dotierung der Emitter an.
das Dotierungsprofil im Halbleiter Als letztes wird nochmals oxidiert und
steuern. Fenster geätzt, um eine Aluminium-
schicht für die elektrische Kontaktie-
Das modernste Dotierverfahren ist die rung aufzubringen. Eine Halbleiter-
Ionenimplantation. Die Dotieratome scheibe mit 4 Zoll Durchmesser kann
werden ionisiert und mit einem klei- über 10000 Transistorsysteme enthal-
nen Beschleuniger auf hohe Ge- ten, die nach Ritzen mit einem Dia-
schwindigkeit gebracht. Ähnlich manten oder mit Diamantsägen
einem Geschoß in einem Sandsack vereinzelt und in Gehäuse eingebaut
bleiben die Ionen in einer von der Ge- werden.
schwindigkeit abhängigen Tiefe im
Halbleiter stecken. Über die Be-
Praktische Elektronik 1-11 Hans-Hellmuth Cuno
Eine Komplikation liegt darin, daß für I.6 IC-Herstellung
eine ausreichende Stabilität die Aus mehreren Gründen ist Silizium
Scheibe einige 100 µm dick sein für die Herstellung von integrierten
muß, von denen der Transistor selbst Schaltkreisen prädestiniert:
nur etwa 20 µm in Anspruch nimmt.
Der Widerstand dieser Siliziumschicht - Silizium bildet bei hoher Tempe-
liegt in Reihe mit dem Kollektor des ratur und Zutritt von Sauerstoff ein
Transistors. Er stört besonders bei festhaftendes Oxid mit sehr guter
Transistoren mit höherer Sperrspan- mechanischer und chemischer
nung, die hochohmiges Ausgangsma- Beständigkeit
terial erfordern. - Silizium läßt sich einfach reinigen
und dotieren
Abhilfe bringt die Epitaxietechnik. - Aus Silizium sind fast fehlerfreie
Man geht von einer extrem hoch do- Kristalle großen Durchmessers
tierten, äußerst niederohmigen Einkri- herstellbar
stallscheibe (Substrat) aus und läßt
durch Darüberleiten von Silan (SiH4) Das Galliumarsenid, ein Halbleiter mit
und Dotiergas bei hoher Temperatur hervorragenden elektrischen Eigen-
eine dünne Kristallschicht passender schaften hat kein Oxid wie das Silizi-
Leitfähigkeit aufwachsen. Diese Epi- um und die Kristalle weisen eine
taxieschicht ist gerade dick genug für weitaus höhere Fehlerdichte auf. In
den Transistor. Die sehr gut leitende, hochintegrierten IC’s genügt ein Kri-
hochdotierte Substratscheibe versteift stallfehler zum Ausfall des betroffe-
sie mechanisch ohne einen überflüs- nen Chips. Deswegen bleibt der
sigen Widerstand zu verursachen. Integrationsgrad von Schaltungen aus
Eine geringfügig schlechtere Kristall- GaAs weit hinter dem Silizium zurück.
qualität der Epitaxieschicht muß in
Kauf genommen werden.