Spannung U Strom I Leistung Leistungsdichte Abstand [mm] Target Target
Test Nr. Datum Startzeit Endzeit Dauer [V] [A] [W] [W/cm^2] zu Substrat (Material) Sputterquellen Testreihe Sputterquellen Testreihe Spannung U Strom I Leistung Leistungsdichte Abstand [mm] Target Target Aufheizzeit der Test Nr. Datum Startzeit Endzeit Dauer [V] [A] [W] [W/cm^2] zu Substrat (Material) Kathode