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  • Sputterquellen Testreihe - Tabellenform 2

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    Sputterquellen Testreihe

    Spannung U Strom I Leistung Leistungsdichte Abstand [mm] Target Target Aufheizzeit der
    Test Nr. Datum Startzeit Endzeit Dauer
    [V] [A] [W] [W/cm^2] zu Substrat (Material) Kathode

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