akkreditiert durch die / accredited by the

Deutsche Akkreditierungsstelle GmbH

als Kalibrierlaboratorium im / as calibration laboratory in the

Deutschen Kalibrierdienst 548x

D-K-
Kalibrierschein Kalibrierzeichen 15074-01-00

Calibration certificate Calibration mark 2011-05

Gegenstand Tiefeneinstellnormal Dieser Kalibrierschein dokumentiert die

Object Depth Measurement Standard Rückführung auf nationale Normale zur
Darstellung der Einheiten in
PEN 10-1 Übereinstimmung mit dem Internationalen
Einheitensystem (SI).
Hersteller Mahr GmbH
Manufacturer Die DAkkS ist Unterzeichner der
37073 Göttingen multilateralen Übereinkommen der
Germany European co-operation for Accreditation
Typ A1 (ISO 5436-1) (EA) und der International Laboratory
Type 6820101 Accreditation Cooperation (ILAC) zur ge-
genseitigen Anerkennung der
Kalibrierscheine.
Fabrikat/Serien-Nr. 14826 Für die Einhaltung einer angemessenen
Serial number Frist zur Wiederholung der Kalibrierung ist
der Benutzer verantwortlich.
Auftraggeber Muster AG This calibration certificate documents the
Customer 13629 Berlin traceability to national standards, which
Germany realize the units of measurement according
to the International System of Units (SI).
The DAkkS is signatory to the multilateral
Auftragsnummer 110/62847449x agreements of the European co-operation
Order No. for Accreditation (EA) and of the
International Laboratory Accreditation
Anzahl der Seiten des Kalibrierscheines 4 Cooperation (ILAC) for the mutual
Number of pages of the certificate recognition of calibration certificates.
The user is obliged to have the object recali-
Datum der Kalibrierung 03.05.2011 brated at appropriate intervals.
Date of calibration

Dieser Kalibrierschein darf nur vollständig und unverändert weiterverbreitet werden. Auszüge oder Änderungen bedürfen der
Genehmigung sowohl der Deutschen Akkreditierungsstelle als auch des ausstellenden Kalibrierlaboratoriums. Kalibrierscheine ohne
Unterschrift haben keine Gültigkeit.
This calibration certificate may not be reproduced other than in full except with the permission of both the German Accreditation Body
and the issuing laboratory. Calibration certificates without signature are not valid.

Datum Leiter des Kalibrierlaboratoriums Bearbeiter

Date Head of the calibration laboratory Person in charge

03.05.2011 Christoph Müller Andreas Imke

Mahr GmbH, Postfach 1853, 37008 Göttingen, Germany, Telefon +49 (0) 551 7073-0, Telefax +49 (0) 551 71021
MF12/05 xx
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Kalibrieraufgabe
Calibration task

Ermittlung der Profiltiefe Pt an einem Tiefeneinstellnormal.

Determining the profile depths Pt on a depth measurement standard.

Kalibrierverfahren
Calibration method

Die Kalibrierung wurde mit einem Tastschnittgerät nach DIN EN ISO 3274, MarSurf XR 20, durchgeführt.
The calibration was carried out with a stylus instrument as per DIN EN ISO 3274, MarSurf XR 20.

Messstellenplan
Area of measurement

Jede Rille wurde in 5 parallelen Profilschnitten mit Abständen von 1,0 mm zueinander gemessen.
Each groove was measured in five parallel profile sections at a distance of 1,0 mm to each other.

PEN 10-1
6820101
1

e a
d b
c c
b d
a e

Messbedingungen
Measurement conditions

Die Messungen wurden mit einem Bezugsflächentastsystem durchgeführt. Der Tastspitzenradius betrug 2 µm,
die statische Messkraft etwa 0,75 mN. Der Profilpunktabstand betrug 0,1 µm. Hochfrequente Anteile (Oberflä-
cherauheit) wurden bei der Erfassung durch ein Tiefpassfilter λs von 2,5 µm gefiltert.
The measurements were carried out using a skidless pick-up featuring a stylus tip radius of 2 µm and a static measuring force approx.
0,75 mN. Data points distance was 0,1 µm. Very high noise of the surface texture measurement was filtered by a low- pass-filter with wave-
length λs of 2,5 µm.

Umgebungsbedingungen
Ambient conditions

Einflüsse von Messaufbau und Umgebungsbedingungen wurden durch Rauheitsmessungen auf einem Plan-
glas mit denselben Messbedingungen wie auf dem Normal erfaßt. Es ergab sich ein Messwert von Rz0 =
0,010 µm.
Influences arising from the measuring setup and the prevailing ambient conditions were assessed by roughness measurements on an
optical flat taken in the same conditions as the measurements on the standard. A measuring value of Rz0 = 0.010 µm was obtained.

Referenznormal
Reference standard

Die Überprüfung der Messeinrichtung erfolgte vor der Messung mit einem von der PTB kalibrierten Normal mit
dem amtlichen Zeichen 081 PTB 08.
Before performing the measurement, the measuring equipment has been checked with the reference standard calibrated by PTB and
identified by the official mark 081 PTB 08.

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Auswertung der Profiltiefe Pt

Evaluation of the total height of profile Pt

Die Auswertung der Profiltiefe Pt erfolgt nach DIN EN ISO 4287 (1998). Der Profilbereich, der ausgewertet
wird, ist begrenzt nach DIN EN ISO 5436-1 (2000).
The evaluation of the total profil height of profile Pt is according DIN EN ISO 4287 (1998). The evaluated section is limited as in DIN EN
ISO 5436-1 (2000) recommended.

1. Dynamische Primärdatenerfassung durch einen Tastschnitt rechtwinklig zur Rille.

A dynamic trace perpendicular to the groove is taken.

2. Begrenzen der Profillänge auf etwa die dreifache Rillenbreite w (linker Rand = Marke 1, rechter Rand = Mar-
ke 4). Die Marken 2 und 5 sind so gewählt, dass die Rille vollständig zwischen diesen Marken liegt.
The profile length is limited to about three times the groove width w (left margin = mark 1, right margin = mark 4). The marks 2 and 5 are
placed in such a way that the groove is completly included between these marks.

3. Ausrichten des Profils durch lineare Regression zwischen den Marken 1 und 2 sowie 5 und 6.
Levelling of the profile by a linear regression between the marks 1 and 2 as well as 5 and 6.

4. Mittlung der Werte zwischen den Marken 1 und 2 und den Marken 5 und 6.
Averaging of the values betweeen the marks 1 and 2 and the marks 5 and 6.

5. Mittlung der Werte zwischen den Marken 3 und 4.

Averaging of the values betweeen the marks 1 and 2 and the marks 3 and 4.

6. Die Profiltiefe Pt ist der Höhenunterschied vom höchsten Punkt zwischen den Marken 1 und 2 sowie 5 und 6
zum tiefsten Punkt des Profils im Rillengrund zwischen den Marken 3 und 4.
The total height of profile Pt is the height difference from the highest point between the marks 1 and 2 as well as 5 and 6 to the deepest
point in the bottom of the groove between mark 3 and mark 4.

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Messergebnisse
Measuring results

In der nachfolgenden Tabelle sind die Profiltiefen der Profilschnitte mit den zugehörigen Messunsicherheiten U
angegeben.
The below table lists the total heights of profile with the corresponding uncertainties of measurement U.

Profilschnitt Profiltiefe Pt Messunsicherheit U

Profile section Total height of profile Uncertainty U

Linke Rille a 9,99 µm

Left groove b 9,98 µm
c 9,98 µm 0,05 µm
d 9,93 µm
e 9,90 µm

Rechte Rille a 10,03 µm

Right groove b 10,02 µm
c 10,02 µm 0,05 µm
d 10,06 µm
e 10,05 µm

Messunsicherheit
Measuring uncertainty

Angegeben ist die erweiterte Messunsicherheit, die sich aus der Standardmessunsicherheit durch Multiplikation
mit dem Erweiterungsfaktor k = 2 ergibt. Sie wurde gemäß dem „Guide to the Expression of Uncertainty in
Measurement“ (ISO, 1995) ermittelt. Der Wert der Messgröße liegt im Regelfall mit einer Wahrscheinlichkeit
von annähernd 95 % im zugeordneten Werteintervall.
The uncertainty stated is the expanded uncertainty obtained by multiplying the standard uncertainty by the coverage factor k = 2. It has
been determined in accordance with “Guide to the Expression of Uncertainty in Measurement” (ISO, 1995). Certainty of measurement
multiplied by the extension factor k = 2. The value of measurand lies within the assigned range of values with a probability of approximately
95 %.

Anmerkung
Note
*

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