Praktikum - „Physikalische Chemie für Fortgeschrittene“ Versuch 4

Modul-Nr.: 13-231-0433

Anleitung zur Datenauswertung des Praktikumsversuches

„Röntgenphotoelektronenspektroskopie“

Für die Auswertung Ihrer Messdaten benötigen Sie die Software UNIFIT 2022. Die
kostenlose Demoversion finden Sie unter folgendem Link (Achtung: Ihr Antivirenprogramm
erkennt die Demoversion bei der Installation u.U. als schadhafte Software; das ist natürlich
nicht der Fall!):

http://unifit-software.de/downloads.htm
oder
https://home.uni-leipzig.de/unifit/downloads.htm

Die Demoversion ist eine 30-tägige kostenlose Version und bietet alle Optionen, die Sie für
die Auswertung benötigen. Alternativ können Sie auch die Auswertung im PC-Pool
durchführen. Auf einigen Rechnern ist die Vollversion UNIFIT 2022 installiert.
Das Einladen von Messdaten ist deaktiviert. Um Messdaten auswerten zu können, müssen
diese als UNIFIT 2022-Projekt (*.ufp-Datei + gleichnamiger Ordner) vorliegen.
Achtung: Die in der Anleitung diskutierten Beispiele müssen den im Praktikum gemessenen
Proben und Photoelektronen Linien nicht entsprechen.

1. Voreinstellungen

Nach erfolgreicher Installation öffnen Sie bitte das Programm. Wählen Sie den Menüpunkt
Preferences → Language → German. Das Programmmenü sollte nun auf „Deutsch“
umgeschaltet sein (Abbildung 1).
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Abbildung 1: Voreinstellung Sprachauswahl.

Analog dazu wählen Sie folgende weitere Voreinstellungen:

Voreinstellung → Fitprozedur → Summe

Voreinstellung → Fit-Parameter/XAS-Untergrund-Parameter → Relativ
Voreinstellung → y-Achse → Counts pro Sekunde
Voreinstellung → Berechnung Tougaard Untergrund → Homogene Proben

2. Öffnen einer *.ufp-Datei (UNIFIT-Projekt)

Achtung: Zum Öffnen einer *.ufp-Datei benötigen Sie im selben Verzeichnis immer den
gleichnamigen Ordner.
Wählen Sie den Menüpunkt Datei → Öffne Projekt… oder das zweite aktive Tool von links
in der Toolbar (rot eingekreist). Geben Sie den Pfad ihrer gespeicherten Datei an und öffnen
Sie die Datei vom Typ UNIFIT-Projekt (*.ufp)(siehe Abbildung 2).
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Abbildung 2: Öffnen eines Projektes.

Nach erfolgreichem Öffnen sollten die einzelnen Spektren in jeweils einem eigenen Fenster
dargestellt werden. Unter dem Menüpunkt Voreinstellung → Monitor → … sowie
Beschriftung/Design können grafische Details wie Farbe, Form und Größe aller Elemente manuell
eingestellt und die Spektren beschriftet werden.

3. Datenauswertung

Sie können Ihre Originaldaten mit UNIFIT nicht löschen! Bearbeitete Spektren bzw. Fenster
können Sie unter dem Menüpunkt Datei → Originalspektrum/Voreinstellung aktives
Fenster in den Ausgangszustand versetzen. Dabei werden alle Bearbeitungsschritte außer der
Aufladungskorrektur rückgängig gemacht. Sie können auch Zwischenergebnisse der
Auswertung in einem UNIFIT Project speichern (Abbildung 3). Rückgänge machen
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Abbildung 3: Darstellung eines geöffneten Projektes.

3.1. Qualitative Analyse

Für die qualitative Analyse benötigen Sie das Übersichtsspektrum und das C1 s-
Detailspektrum. Aktivieren Sie das C1 s-Detailspektrum durch klicken in die
Fensterkopfzeile. Wählen Sie unter Menüpunkt Information → Minimum/Maximum…
und notieren Sie sich den Wert für die Bindungsenergie mit der maximalen Intensität des
C 1s Peaks. Ist die maximale Intensität im Fenster nicht identisch mit dem Peak-Maximum
des C 1s Peaks, dann müssen Sie durch verschieben der Maus die Bindungsenergie des C 1s
Maximum manuell ermitteln (Anzeige in der Fenstertitelzeile).
Notieren die maximalen Intensität des C1s Peaks und dann vergleichen mit Peak-maximum

Die Differenz zum festgelegten Standardwert von C1 s bei 285.0 eV entspricht der positiven
Aufladung aller Elemente und kann für alle Fenster unter dem Menüpunkt Serien-
Bearbeitung → Aufladungskorrektur alle Fenster… korrigiert werden. Bei einer positiven
Aufladung können Sie den Wert der Aufladung ohne Vorzeichen direkt eingeben.
Kommastellen werden vom Programm automatisch in einen Punkt umgewandelt, können
aber auch direkt mit Punkt eingegeben werden. Nach erfolgreicher Aufladungskorrektur
sollte der C1 s-Peak sein Maximum bei 285.0 eV haben.
Wechseln Sie jetzt zum Übersichtsspektrum und Maximieren Sie dieses. Unter dem
Menüpunkt Information → Linien identifizieren öffnet sich ein weiteres Fenster mit einer
Linienbibliothek und vier Unterpunkten. Wählen Sie Alle Linien und fahren Sie mit
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gedrücktem linkem Mauszeiger über das Übersichtsspektrum. Entsprechend der

Bindungsenergie Ihres Mauszeigers werden Ihnen mögliche Elementlinien angeboten.
Haben Sie einen Peak einer Elementlinie zugeordnet, können Sie diese über den Button
Beschriftung beschriften. Um sicher zu gehen, dass Sie alle möglichen Peaks eines
Elementes zugeordnet haben, können Sie optional auf den Unterpunkt Linien eines
Elementes wechseln. Dazu muss eine Linie des gewünschten Elementes in der
Linienbibliothek aktiv (blau hinterlegt, siehe Abbildung 4) sein. Nach Beschriftung aller
möglichen Peaks eines Elementes wechseln Sie erneut auf Alle Linien und verfahren analog
für alle weiteren in der Probe befindlichen Elemente.

Abbildung 4: Linienbibliothek

Verzichten Sie an der Stelle auf eine automatische Beschriftung. Überlegen Sie selbst,
welche Linien von den einzelnen Elementen im Spektrum zu sehen sein müssen. In
Abbildung 5 wurden nicht alle signifikanten Peaks beschriftet. Besonders auffällig sind die kleineren
zum Hauptpeak um ca. 10 eV zu geringeren Bindungsenergien verschobenen Peaks. Welchen
Ursprung haben diese, wie werden sie bezeichnet und wie kann man verhindern, dass sie im Spektrum
auftauchen? Sie erkennen Photo- und AUGER-Linien im Spektrum. Beide werden entsprechend
beschriftet. Zur Unterscheidung, welche Peaks Photoelektronenlinien und welche Peaks AUGER-
Linien sind, nutzen Sie beide Übersichtsspektren (Anregung mit Al K α und Mg K α ).
As3p hat Verschiebung bei MKa, also As3p hat AUGER-Linien
Wurden allen Peaks eindeutig zugeordnet und beschriftet, können sie die Achsen über den
Menüpunkt Beschriftung/Design → Darstellung Energie/Wellenzahl-Achse… bzw.
Darstellung Intensitäts-Achse… modifizieren. Unter dem gleichen Menüpunkt können Sie
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auch Spektrentitel und Spektrenbeschriftung wählen. Über Drag & Drop (anklicken,
halten, irgendwo ziehen und loslassen) können Sie die Anordnungen der einzelnen
Beschriftungen sowie des Titels anpassen.
Achtung: Falsche Beschriftungen können unter dem Menüpunkt Beschriftung/Design →
Spektrenbeschriftung geändert oder gelöscht werden. Das Löschen einzelner
Beschriftungen über das Markieren und Drücken der Tasten Entf oder Del ist nicht möglich.
Nach Beendigung der inhaltlichen und grafischen Bearbeitung des Übersichtsspektrums
können Sie dieses unter dem Menüpunkt Datei → Image aktives Fenster exportieren
(400 dpi) als Bilddatei in verschiedenen Formaten abspeichern oder mit Datei → Image
kopieren aktives Fenster (400 dpi) in die Zwischenablage kopieren Die Auflösung der
Bilddatei können Sie unter dem Menüpunkt Voreinstellung → Auflösung Image
Export/Kopie ändern. Überprüfen Sie, ob die exportierte Bilddatei alles korrekt darstellt
(empfohlene Auflösung für das Protokoll: 400 dpi)!
Achtung: Die Nutzung der Befehle des Pull-Down-Menüs (rechte Maustaste) erleichtert
Ihnen die Eingabe von Befehlen.

Abbildung 5: Beschriftetes Übersichtsspektrum im Bereich von 0 eV−1300 eV

Bindungsenergie nach Aufladungskorrektur.

Eventuell müssen Sie für eine übersichtlichere Darstellung von größeren Energiebereichen
das Übersichtsspektrum unter dem Menüpunkt Bearbeiten → Programminternes Kopieren
und Bearbeiten → Programminternes Einfügen duplizieren und über die Einteilung der
Energieachse teilen (z. B. 0 eV−600 eV und 600 eV−1250 eV Bindungsenergie).
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Am Ende der qualitativen Analyse sollten alle Peaks in den beiden von Ihnen
aufgenommenen Übersichtsspektren eindeutig zugeordnet und beschriftet sein. Bitte achten
Sie darauf, dass zum besseren Erkennen für die von Ihnen zu diskutierenden Effekte für beide
Übersichtsspektren eine identische Achseneinteilung verwendet wird. Eventuell müssen Sie
die den Energiebereich eines Übersichtsspektrums erweitern, auch wenn dort keine
Messpunkte vorliegen.

3.2 Quantitative Analyse

Für die quantitative Analyse benötigen Sie von jedem Element mindestens ein
Detailspektrum. Die verwendeten Detailspektren müssen mit der gleichen Passenergie und
dem gleichen Linsenmodus gemessen worden sein. Identische Akkumulationszahl,
Schrittweite und Zeitkonstante werden ebenfalls empfohlen. Nach der Aufladungskorrektur
aller Spektren (siehe Kapitel 3.1) müssen Sie jedes Detailspektrum für sich alleine bearbeiten
um die untergrundfreie Peakfläche zu bestimmen. Dies bedeutet entweder (Anweisung des
Praktikumleiters):
A) die geeignete Berechnung und Subtraktion des spektralen Untergrunds (Abbildung 6)
oder
B) ein Peakfit mit vorheriger oder paralleler Untergrundberechnung (siehe Kapitel 3.3).

Abbildung 6: Detailspektrum von C 1s mit berechneten und dargestellten Linearem

Untergrund (blau)
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Abbildung 7: Detailspektrum von Si2 p (links: unbearbeitet; rechts: nach

Aufladungskorrektur von 0.1 eV , Satellitensubtraktion und Eingrenzung des
Energiebereichs von 88 eV−112eV auf 92 eV−110 eV).

Dazu sollten Sie zuerst unter dem Menüpunkt Bearbeiten → Satellitensubtraktion

(Abbildung 7) wählen und anschließend den Energiebereich geeignet eingrenzen mittels zwei
definierter Reduktions-Markierungslinien (Linke Maustaste an geeigneter Stelle).
Bei gesetzten Markierungslinien können Sie mit Bearbeiten → Reduktion (oder mit dem
entsprechenden Popup-Kommando) den Energiebereich reduzieren. Diese Prozedur kann
wiederholt werden.
Die Berechnung und Subtraktion des spektralen Untergrunds ohne Peakfit erfolgt mit:
Bearbeiten → Untergrundberechnung → Konstant/Linear/Shirley. Hier müssen Sie den
am besten geeigneten Untergrund wählen (Abbildung 6).
Achtung: Verschiedene Oxidationszustände des gleichen Elementes dürfen Sie natürlich
nicht abtrennen, da diese für die chemische Analyse benötigt werden.
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Abbildung 8: Untergrundfunktion U ( E ) mit den fitbaren Parametern a -Parameter, b -

Parameter und SHIRLEY-Faktor e am Detailspektrum von Si 2 p .

3.3 Peakfit für die quantitative und chemische Analyse

3.3.1 Fitbarer Untergrund (Berechnung parallel zum Peakfit)

Wählen Sie unter dem Menüpunkt Peak Fit → Fit Untergrund XPS (HOM). In dem sich
öffnenden Fenster definieren Sie eine Funktion U ( E ) , welche zur Untergrundbeschreibung
parallel zum späteren Peak mitgefittet wird (Abbildung 8). Standardmäßig sind die beiden
Faktoren a -Parameter und SHIRLEY-Faktor e variabel (i - Messpunktnummer), d. h. sie
werden während des Fittens mit angepasst. Je nach Verlauf des Untergrundes vor und nach
dem Peak können Sie zusätzlich b -Parameter, c -Parameter und d -Parameter freischalten.
a -Parameter → a → konstanter Untergrund vor und nach dem Peak
b -Parameter → b ∙ i → linear steigender Untergrund vor und nach dem Peak
c -Parameter → c ∙i 2 → mit der Potenz von 2 steigender Untergrund vor und nach
dem Peak
d -Parameter → d ∙i ³ → mit der Potenz von 3 steigender Untergrund vor und nach
dem Peak
In dem Beispiel aus Abbildung 8 wurden a -Parameter, b -Parameter und Shirley-
Faktor e als fitbare Parameter gewählt. Im unteren Bereich des Fensters sehen Sie die
Parameter für den Tougaard-Untergrund. Diese Parameter sind jeweils auf fix
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gesetzt. Belassen Sie das so. Sie können den Einfluss der Parameter a , b und e
überprüfen, indem Sie diese manuell variieren und den Button Vorschau drücken.
Um die in das Spektrum eingezeichnete Untergrundfunktion U ( E ) als Ausgangsfunktion für
den Fit zu akzeptieren drücken Sie den Button OK.
Als nächstes wählen Sie unter dem Menüpunkt Peak Fit → Eingabe Startparameter
manuell → Einzelpeaks… oder Dublettpeaks…. Peaks der s-Orbitale sind in ihrer
Multiplizität typischerweise ein Singulett, Peaks der p-, d - und f -Orbitale Dubletts.

3.3.2 Einzelpeaks

In dem Beispiel für Ga 2p3/2 aus Abbildung 9a und 9b müssen Sie Peak Fit → Eingabe
Startparameter manuell → Enzelpeaks… wählen. Im sich öffnenden Fenster werden Sie
gefragt, wie viele Gallium-Spezies Sie vermuten. Geben Sie den Wert drei ein und drücken
Sie den Button OK im Hinweisfenster. Die Tabelle der Min/Max-Werte öffnet sich.
Bestätigen Sie die Werte mit OK. Die Tabelle der Startwerte der Fitparameter öffnet sich.
PN+ würde die Zahl der Spezies um eine Komponente erhöhen. Mit der linken Maustaste
können Sie die Intensität und Position der drei Fitkomponenten definieren. Die Fit-
Komponente der aktuellen Eingabe ist mit einem roten Balken markiert. Nach Mausklick
springt die Eingabe zur nächsten Fit-Komponente. Das L/G-Verhältnis (Mischung zwischen
Gauß- und Lorentz Linie) und die Breite sind bei Peak 2 und 3 gleich 1. Dies bedeutet, dass
diese Werte beim Peakfit angepasst werden, aber alle drei Fit-Komponenten nach
erfolgreichen Peakfit die gleichen Werte haben. Die Werte der 1. Fit-Komponente sind
absolut. Ab dem 2. Peak beziehen sich die Werte auf Peak 1. Die Position ist als Summe
gekoppelt, alle anderen Parameter als Produkt. Sind alle Einstellungen der Fitparameter
durchgeführt, drücken Sie den Button OK. Es öffnet sich ein weiteres Fenster Eingabe
Anzahl der Iterationen. Geben Sie für Zahl der Iterationen pro Zyklus einen Wert
20< x <50 und für die Zahl der Zyklen einen Wert ¿ 5 ein.
Nach Durchlauf der Fitroutine öffnet sich ein weiteres Fenster (Abbildung 10). Hier werden
Peakfit-Bewertungsgrößen ausgegeben. Auf diese wird an dieser Stelle nicht näher
eingegangen und können aber im Protokoll angegeben werden. Dabei sollten Chi2∗¿¿ und
Abbe so nah wie möglich am Wert 1 liegen, was aber nicht immer funktioniert. Zusätzlich
können hier nachträglich Fitparameter geändert werden und die Fitroutine durch Betätigen
des Buttons fortführen erneut durchlaufen werden. Die Fitprozedur muss solange
durchlaufen werden, bis im unterhalb des Spektrums dargestellten Residuum R ( E ) nur noch
ein statistisches Rauschen (keine eigenen Strukturen mehr) zu erkennen ist. Drücken Sie den
Button beenden!, um den Peakfit abzuschließen.
Das gefittete Detailspektrum sowie die Fitparametertabelle sollen als Bilddatei exportiert und
im Protokoll dokumentiert werden. Verfahren Sie für die weiteren Detailspektren analog.
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Abbildung 9a Fitparametertabelle der Startwerte von Ga 2p3/2 für drei chemische

Komponenten, relative Parameter

Abbildung 9b Fitparametertabelle der Startwerte von Ga 2p 3/2 für drei chemische

Komponenten, absolute Parameter

Achtung: Sie müssen jedes Detailspektrum bezüglich der Fitparameter für Untergrund und
Peaks als eigenständiges Spektrum betrachten.
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Achtung: Schließen Sie bereits gefittete Detailspektren nicht. Diese werden noch gebraucht.

Abbildung 10: Anzeige von Peakfit-Bewertungsgrößen, starten und beenden der Iteration

3.3.3 Dublettpeaks

In dem Beispiel S 2p aus Abbildung 11 müssen Sie Peak Fit → Eingabe Startparameter
manuell → Dublettpeaks… wählen. Im sich öffnenden Fenster werden Sie gefragt, wie
viele Schwefelspezies Sie vermuten. Bei diesem Beispiel ist der Wert zwei. Drücken Sie den
Button OK im Hinweisfenster. Sie können dann mit zwei Spezies fitten. PN+ würde die Zahl
der Spezies um eine Komponente erhöhen.
1) Unter dem Menüpunkt Information → Ändern/Hinzufügen/Anzeigen von
Dublettwerten können Sie die Datei Doublet.dda öffnen. Hier sind tabellarisch alle
relevanten Dubletts mit entsprechendem Intensitätsverhältnis/Abstand aufgelistet.
2) Eine grobe Abschätzung der Intensitätsverhältnisse.
p-Orbitale → p3 /2 : p 1/ 2 → 2 :1
d-Orbitale → d 5 /2 :d 3/ 2 → 3 :2
f-Orbitale → f 7/ 2 : f 5 /2 → 4 :3
Für S 2p gibt die Datenbank einen Abstand von 1,2 eV mit einem Intensitätsverhältnis von
2 :1 (Intensität entspricht hier der Peakhöhe) für ein Dublett an. Demnach liegen in dem
Beispiel aus Abbildung 11 zwei Dubletts vor.
Wenn Sie die entsprechende Zahl eingebeben haben, bestätigen Sie diese durch das Drücken
des Buttons OK. Daraufhin öffnet sich ein weiteres Fenster mit der Bezeichnung Min/Max
Fitparameter. Hier können Grenzen für einen Peakfit vorgegeben werden. Drücken Sie hier
nochmal den Button OK. Es öffnet sich ein weiteres Fenster. Bevor sie hier etwas verändern,
sollten Sie die Startparameter der Peaks vorgeben. Drücken Sie dazu die linke Maustaste an
den jeweiligen von Ihnen vermuteten Maxima der einzelnen Elementspezies. Die Werte der
Intensität und der Position des zweiten Peaks werden bei korrektem Namen des
Detailspektrums entsprechend der Doublett.dda-Datenbank ergänzt.
Bei zwei Spezies sollten Sie demnach zweimal die linke Maustaste auf den ungefähren
Positionen der Peakmaxima drücken. Durch erneutes weiteres Betätigen der linken
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Maustaste setzen Sie wieder den ersten Peak. So können Sie mehrfach im Wechsel den
ersten und zweiten Peak setzen.
Nach dem Setzen der Peaks müssen Sie noch einige Vorgaben im Fenster
Dublett/Summe/Relativ angeben. Die Voreinstellung „Relativ“ bedeutet, genau wie bei den
Einzellinien, dass ein Wert relativ als Produkt zu einem anderen betrachtet wird (hier zm
1. Peak). Dies gilt nicht für die Lage. Diese ist immer additiv zum Wert des ersten Peaks.
Die Peakhöhen beider Spezies sind nicht bekannt, darum ist bei beiden Dubletts jeweils der
Peak1 variabel (kein Häkchen in der Fix-Spalte). Die relative Peakhöhe von Peak 2 wird
entsprechend dem Intensitätsverhältnis von 2:1 mit einem Faktor von 0,5 bezüglich Peak 1
festgesetzt (Häkchen in der Fix-Spalte). Ähnlich verhält es sich bei der Lage der beiden
Dubletts. Beide Peaks 2 des Dubletts sind jeweils um 1,2 eV zu höheren Bindungsenergien
bezüglich Peak 1 verschoben.

Abbildung 11: Einstellung der Peakfit-Parameter von zwei S 2p Dubletts.

Die L/G-Verhältnis und Breite soll für alle Komponenten eines Elementes gleich sein. Da
auch diese nicht bekannt sind, wird Peak 1 vom ersten Dublett freigegeben und alle anderen
Peak 1 und Peak 2 mit einem relativen Faktor von 1 dazu festgehalten.
Am Parameter der Asymmetrie soll nichts geändert werden. Bitte setzen Sie diesen, sofern
nicht automatisch voreingestellt, für alle Peaks auf null und fix.
Die Fitparameter können jederzeit unter dem Menüpunkt Peak Fit → Anzeige/Korrektur
Fitparameter… oder direkt im Fenster nach dem Peakfit unter Anzeige Fitparameter
aufgerufen und abgelesen werden mit PN+.
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3.4 Quantitative Analyse - Konzentrationsbestimmung

Entsprechend der Praktikumsanforderung integrieren Sie die entsprechenden Fenster in die

quantitative Analyse mit dem Menüpunkt Quantitative Analyse →
Konzentrationsbestimmung…. Wählen Sie alle Fenster aus, die Sie bei der
Konzentrationsbestimmung berücksichtigen wollen und drücken Sie den Button OK. Es
öffnet sich ein Fenster in Form einer Tabelle. Hier können Sie auswählen, welche
Elementspezies Sie zur Quantifizierung verwenden möchten. Treffen Sie eine sinnvolle
Entscheidung. Im erhaltenen Ergebnis sollte sich in etwa die Stöchiometrie einer vermuteten
Verbindung wiederfinden. Die Tabelle kann größtenteils über den Button Export als Bilddatei
exportieren werden. Die Werte für Sigma, Lambda und IERF müssen Sie manuell ins
Protokoll übertragen. Optional können sie die komplette Tabelle auch über Print Screen und
anschließender Nachbearbeitung in einem Grafikprogramm übertragen.
Achtung: Vergewissern Sie sich, dass die richtige Transmissionsfunktion geladen ist (siehe
Fensterkopfzeile). Falls nicht, drücken Sie den Button Laden Transmissionsfunktion und
wählen die richtige aus (Hinweis: im Praktikum in den meisten Fällen
ESCALAB220_TWIN_LAE_10EP.trm oder ESCALAB220_TWIN_LAE_50EP.trm)
und drücken Sie den Button Berechnen. Mit dem Button Abbrechen beenden Sie die
Konzentrationsbestimmung.
Erläutern Sie anhand dieser Tabelle die Berechnung der einzelnen Konzentrationen und
diskutieren Sie mögliche Verbindungen in Kombination mit der qualitativen Analyse.
(Hinweis: Kohlenstoff ist meist nur eine für ex situ-Proben typische Verunreinigung der
Oberfläche.)
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Abbildung 12: Bearbeitetes und mit drei Dubletts gefittetes Detailspektrum von Si 2 p .

3.5 Chemische Analyse

Für die chemische Analyse benötigen Sie die gefitteten Detailspektren aus der quantitativen
Analyse. Öffnen Sie erneut die Linienbibliothek unter dem Menüpunkt Information →
Linien identifizieren und aktivieren Sie (blau hinterlegt) die entsprechende Elementlinie (bei
einem Dublett immer die intensivere der beiden Linien aktivieren). Wählen Sie dann den
Unterpunkt Chemische Verschiebung. Daraufhin öffnet sich in dem Fenster eine weitere
Linienbibliothek mit bekannten chemischen Verschiebungen der Elementlinie
(Abbildung 13).
Fahren Sie mit gedrücktem linkem Mauszeiger über das Detailspektrum und wählen Sie für
jede Spezies eine in Kombination mit Kapitel 3.1. und 3.2. begründete mögliche Verbindung
aus und drücken den Button Beschriftung.
Die Linienbibliothek beinhaltet keineswegs alle möglichen chemischen Verschiebungen.
Sollte Ihre vermutete Verbindung nicht aufgelistet sein, können Sie eine eigene Beschriftung
über den Menüpunkt Beschriftung/Design → Spektrenbeschriftung hinzufügen. Optional
können Sie andere Datenbanken zur Identifizierung heranziehen (z. B.
http://srdata.nist.gov/xps/Default.aspx).
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Abbildung 13: Zuordnung der drei chemischen Spezies des bearbeiteten und mit drei
Dubletts gefitteten Detailspektrums von Si2 p .