ReUse-MAE: Messen /Measuring

Rasterelektronenmikroskop mit EDS-Analytik (REM+EDS)

Verfahren (Operation/Process) Rasterelektronenmikroskop inkl. EDS-Analyse V643 (scanning electron microscope incl. EDX-analysis)
MAE-Hersteller (MAE-Manufacturer) TESCAN
Maschine-Type (Machine Type) Vega II XLH
Modellnummer (Model number) TS 5130 XL – EO-Scan
Baujahr (Year of Manufacture) 2008
Anschaffungswert (Purchage value) 245.000,00 EUR (Restbuchwert (Residual Value): 0,00 EUR)

Technische Daten (Technical Data)

MAE-Abmessungen (l/b/h) (Dimensions l/ w/ h) 2,25 m / 1,10 m / 1,60 m
Gewicht (Weight) > 500 kg
Kathodensystem (Filament Type) Wolfram-Haarnadelkathode (Tungsten Loop Filament)
Detektoren (Detector Types) Everhart-Thornley Kammerdetektor für SE-Abbildung (Everhart-Thornley-chamber-detector for SE-Imaging)
Robinson Rückstreuelektronendetektor für BSE-Abbildung (Robinson-Backscatter-det. for BSE-Imaging)
Beschleunigungsspannung (Acc. Voltage) 200 V – 30 kV
Auflösung Elektronenstrahl (Resolution Electron-Beam) 3,0 nm bei 30 kV
Steuerung/Software REM (SEM Control System) VegaTC v3.5.21.0 auf WinXP Professional

Analytisches System (Analytical System) Oxford Instruments INCAx-act ADD-Detektor

Auflösung EDS-System (Resolution EDX-System) < 133 eV
Steuerung/Software EDS (EDX Control System) Inca v4.12 auf WinXP Professional
1 Intern | Powertrain Solutions | PS-DI/ETF2 | 02.03.2023
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