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Mikroaktorik - Aktoren

Mikroaktorik (Karlsruher Institut für Technologie)

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Mikroaktorik SS 2019
M.Kohl

1. Linearaktoren
a. Elektrostatische Linearschrittmotoren (2 Designs, 2 Varianten, 2 Beispiele)
i. 2 Designs

Design 1.

𝜀𝜀ℎ𝑉𝑉 2 𝐿𝐿
Nach 2.c. 𝐹𝐹𝑙𝑙 = 2𝑑𝑑
, mit 𝑁𝑁 =
8𝑙𝑙
𝐿𝐿 𝜀𝜀ℎ𝑉𝑉 2 1 ℎ
𝐹𝐹 = 𝑁𝑁𝐹𝐹𝑙𝑙 = = 𝜀𝜀 ∙ 𝐿𝐿 ∙ 𝑉𝑉 2
8𝑙𝑙 2𝑑𝑑 2 0 𝑑𝑑∙8𝑙𝑙

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Design 2.

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ii. 2 Varianten

梳状动作器
(看作平行板电容) 对固定及移动梳齿输
入电压,会因压差产生静电力,其大小与电
容变化成正比

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iii. 2 Beispiele

Beispiel 1. Mikropositioniertisch

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Beispiel 2. MEMS Lautsprecher

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iv. Skalierungsverhalten

Paschenkurve. 帕邢定律. 表征均匀电场气体间隙击穿电

压与间隙距离,气压间的关系.

Townsend Avalanche. 汤森雪崩. 当电场强度达到使电子

的动能大于或等于气体分子的电力能时,就会发生电磁碰
撞电离,而碰撞电离产生的电子又进一步引发碰撞电离,
这种气体放大过程称为汤森雪崩

Stossentladung 雪崩

Tunneleffekt 隧道效应

v. Zusammenfassung (Vorteile und Nachteile)

Vorteile
1. Kleine Ströme
2. Leistungsarmer Betrieb
3. Zufriedenstellende Kräfte
4. Zufriedenstellende Wege
5. Einfache Designs möglich
6. Günstiges Skalierungsverhalten
Nachteile
1. Gefahr eines elektrischen
2. Durchbruchs
3. Spannungen: 10-100V
4. Empfindlichkeit bezüglich Feuchtigkeit
5. Empfindlichkeit bezüglich Partikel

b. Magnetische Linearaktoren (2 Designs, 2 Varianten, 2 Beispiele)

i. Magnetischer Reluktanzaktor(磁阻动作器)

ii. Elektrodynamische Linearaktoren

Tauschspule (Schwingspule)

活动线圈

Die Spulen bestehen aus dünnem Kupferdraht, der auf

dem sogenannte Schwingspulenträger aufgewickelt
und verklebt ist. Die so gebildete dünne Spule taucht
in den Luftspalt des Permanentmagneten ein, in dem
sich ein starkes Magnetfeld befindet. Der Spulenträger
ist mit der Membran des Lautsprechers verbunden.
Das durch Stromdurchfluss entstehende magnetische Wechselfeld lenkt die Schwingspule nach innen und
außen aus. Diese bewegt die daran befestigte Membran.

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iii. Magnetischer Linear-Schrittmotor

iv. Mittelohrimplantat Hörhilfe

v. Mikrorelais (3-artige mit Vergleichen)

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vi. Skalierungsverhalten

vii. Vorteile und Nachteile

Vorteile
1. Kleine Spannungen
2. Berührungsloser Betrieb
3. Zufriedenstellende Kräfte
4. Zufriedenstellende Wege
Nachteile
1. Komplizierte Designs
2. Schwierige Herstellung
3. Hohe Ströme
4. Ungünstiges Skalierungsverhalten
5. Thermische Belastung

c. Piezoelektrische Linearaktoren
i. Piezoelektrische Stapelaktoren

Mikrotechnische Herstellung.

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ii. Piezo-MEMS

Piezoelektrische Balkenaktoren und -sensoren

Anwendungsfelder:

- MEMS-Schalter
- Mikroventile

- MEMS-Resonatoren RF-MEMS
- Energy Harvesting

Piezoelektrisches Mikrorelais
Untere und obere Elektroden
für die Piezoelektrische Keramik Piezoelektrische Keramik

Piezoelektrische Keramik
𝐾𝐾𝐾𝐾𝐾𝐾𝐾𝐾𝐾𝐾𝐾𝐾𝐾𝐾

Poly-Si

𝑆𝑆𝑆𝑆3 𝑁𝑁4 Silicon 𝑆𝑆𝑆𝑆𝑂𝑂2

𝑆𝑆𝑆𝑆𝑂𝑂2

iii. Skalierungsverhalten

iv. Vorteile und Nachteile

Vorteile Nachteile
1.Hoher elektromechanischer 1.Hohe Spannungen
Wirkungsgrad 2.Kurze Wege
2.Geringe Leistungsaufnahme im 3.Alterungseffekte
statischen Betrieb 4.Depolarisation
3.Zufriedenstellende Kräfte 5.Kennlinien-Hysterese
4.Hohe Wegauflösung 6.Erwärmung im dynamischen Betrieb
5.Kurze Reaktionszeiten

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2. Mikromotoren
a. Magnetische Mikromotoren
i. 3 Prinzipien

(1) Elektrodynamisches Prinzip

电动力是通过电流的导线周围有磁场，而磁场作用于其范围的铁磁物质使其受力，因此同方向电流的
两条导线互相吸引，反方向电流的两条导线互相排斥形成的力。

(2) Reluktanz Prinzip

磁阻电动机其运行原理是磁通总要沿着磁阻最小的路径闭合，因此铁心在移动到最小磁阻位置时，其
主轴线必与磁场的轴线重合。

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(3) Mikromotoren mit Permanentmagneten

(Typischerweise auf Eisen)

ii. Miniatur-Synchronmotor (Faulhaber)

Setze x als Rotationscoordinate.

Luftspaltfeld 𝑏𝑏(𝑥𝑥, 𝐾𝐾) = 𝐵𝐵 ∙ 𝑠𝑠𝑆𝑆𝐾𝐾𝑥𝑥 ∙ 𝑠𝑠𝑆𝑆𝐾𝐾(𝜔𝜔1 𝐾𝐾)

𝐵𝐵 𝐵𝐵 𝑑𝑑𝑑𝑑
𝑣𝑣 = 1 (1 𝑆𝑆𝐾𝐾𝑆𝑆𝐾𝐾𝐾𝐾𝑆𝑆) 𝑏𝑏(𝑥𝑥, 𝐾𝐾) = cos(𝑥𝑥 − 𝜔𝜔1 ) − cos(𝑥𝑥 + 𝜔𝜔1 ) mit Wanderwelle = ±𝜔𝜔1
2 2 𝑑𝑑𝑑𝑑
3
𝑏𝑏𝜇𝜇 (𝑥𝑥, 𝐾𝐾) = ∑3𝑣𝑣=1 𝑏𝑏𝑣𝑣𝜇𝜇 = 𝐵𝐵𝜇𝜇 cos(𝑣𝑣𝑥𝑥 − 𝜔𝜔1 − 𝛾𝛾) mit 𝜇𝜇 Oberwellenzahl (谐波数)
2

Drehmoment 𝑀𝑀 = 𝜇𝜇0 𝜇𝜇 ∫(�⎯�×→) 𝑑𝑑𝑣𝑣 , mit 𝑀𝑀𝑢𝑢𝑢𝑢 umläufige Drehmoment.

𝑀𝑀𝑢𝑢𝑢𝑢 𝐻𝐻

𝜔𝜔1 = 𝜔𝜔 ∙ 𝑀𝑀 umläufige Rundwelle

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iii. Der Penny-Motor

Prinzip Aufbau

LIGA-Technik Herstellung

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Magnetisierung

Skizze

iv. Magnetischer Micromotor

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Herstellung

b. Miniatur-Ultraschallwandler-Motor 超声马达
利用压电材料输入电压会产生变形的特性，使其能产生超声波频率的机械振动，再透过摩擦驱动的机
构设计，让超声波马达如同电磁马达一般，可做旋转运动或直线式移动。

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c. Elektrostatische Mikromotoren

(1) Elektrostatischer Rotations-Schrittmotor

(2) Elektrostatischer LIGA-Mikromotor (Wobble-Motor)

(3) Elektrostatischer Mikromotor (Si-Technologie)

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d. Vergleich

3. Intelligente Mikroaktoren mit Formgedächtnis

a. Formgedächtnismaterialien und Herstellungstechnologie

Formgedächtnismaterialien

NiTi-Basis-Legierungen:
NiTi, NiTiCu, NiTiPd, NiTiFe, ...
Cu-Basis-Legierungen:
Metalle:
CuZn, CuZnAl, CuAlNiMn, ...
Fe-Basis-Legierungen:
FePt, FeMnSi, FeNiC, …
Polymere: z.B. PTFE (Polytetrafluoräthylen, 聚四氟乙烯)
Keramiken: z.B. ZrO2
Biologische z.B. Bakteriophagen
Systeme:
Herstellungstechnologie
-Sputtern
-Kaltwalzen
-Laserablation (激光切除)
-Schmelzspinnen (Spinnen, 纺)
b. FGL-Draht-basierte Aktoren
(1) Miniatur-Ventile
(2) Bildstabilisatoren für Kameras
c. FGL-Mikroaktoren
i. 2 Aktoren

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ii. 3 Beispiele

iii. Herstellung

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iv. Skalierungsverhalten

v. Vorteile und Nachteile

Vorteile Nachteile
1. Niedriger Wirkungsgrad
1. Hohe Kräfte
2. Hohe Ströme
2. Hohe Stellwege
3. Thermischer Einsatzbereich
3. Kleine Spannungen
4. legierungsabhängig
4. Vielfalt an Formänderungsarten
5. Kennlinien-Hysterese
5. Biokompatibilität
6. Lange Zeitkonstanten

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4. Mikrofluidik/Medizintechnik/Life Sciences
a. Anforderungen an Mikroaktoren für die Medizintechnik

Technische
Kraft, Weg, Zeitkonstanten, Energieverbrauch, ...
Leistungen:
Herstellbarkeit (Dimensionen, Materialien, …)
Fertigung:
Aufbau (modular, integriert)
Biokompatibilität
Unempfindlichkeit gegenüber Feuchtigkeit, chemische oder biologische Einflüsse
Zerstörungssichheit
Sicherheit: Langzeitstabilität
Zuverlässigkeit
Fehlertoleranz
Passive Sicherheitsfunktionen (manuelle Rückstellung)
Ergonomie: Ausschluss von Fehlbedienung, Benutzerfeundlichkeit
Ökonomie: Kostenminimun (Fertigung, Kontrolle, Betrieb, …)

b. Mikroventile
i. Passive und aktive Mikroventile
Passive Mikroventile

Aktive Mikromembranventile

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ii. 6 Beispiele zu Mikroventilen (jenach Prinzip)

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热敏气动阀

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c. 2-artige Mikropumpen

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d. Fluidische Mikrosysteme
i. Übersicht
- Lab-on-Chip-System
- μ-TAS (Total Analysis Systems)
- Fluidische Bank
ii. Vorteile
1. portable Analysegeräte
2. geringe Fluidmengen
3. schnelle Analysen
4. parallel Analysen
iii. Aufgabe
Mischen, Trennen, Reagieren, Sensorik, …
iv. Anwendungsbereiche
- Medizintechnik: Schnelldiagnosen, DNA-Analysen, …
- Umwelt; Lecksuche
- Sicherheit: Detektion biologischer oder chemischer Wirkstoffe
- Chemische Technik: Analyse von Chemikalien
v. 4 Beispiele
(1) Mikromischer

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(2) Fluss-System

(3) Dosiersystem (Ventil-Sensor-System)

(4) Kapillarelektrophorese-Chips (毛细管电泳芯片)

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e. Fluidische Mikroaktoren
i. 5 Anwendungsbeispiele
(1) Fluidischer Linearaktor

(2) Bidirektionaler Linearaktor in LIGA-Technik (双向)

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(3) Fluidische Wandstrahlelement (壁附着元件)

Querschnitt A

Geschwindigkeit w

进流体喷口

Coanda-Effekt 宽德效应, 亦称作附壁作用. 流体有离开原本流动方向改为随着凸出的物体表面流动的倾

向, 并使周围的流体逸入这一喷流.

(4) Fluidischer Oszillator

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(5) Ballonaktoren

ii. Vorteile und Nachteile

Vorteile Nachteile
1. Keine Spannungen 1. Externe Druckquellen erforderlich
2. Keine Ströme 2. Externe Ansteuerung erforderlich
3. Hohe Kräfte 3. Leck Problematik
4. Große Wege
5. Einfache Designs

f. Elektrorheologische Mikroaktoren
i. Elektrorheologisches Steuerelement

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ii. Vorteile und Nachteile

Vorteile Nachteile
1. fluidische Kräfte ist elektrische kontrollierbar 1. Hohe Spannungen
2. Kleine Ströme 2. Temperaturabhängigkeit
3. Niedrige Steuerleistung 3. Materialkompatibilität
4. Zufriedenstellende Wege 4. Externe Druckversorgung erforderlich
5. Zufriedenstellende Drücke 5. Leck Problematik
6. Einfache Designs 6. Gefahr eines elektrischen Durchbruchs
7.Keine mechanisch beweglichen Teile
g. Mikromanipulation / Minimal Invasive Surgery ▲Mikrogreifer
i. Vergleichen von verschiedenen Mikrogreifer Prinzipien

Greifer Prinzipien Vorteile Nachteile

Mechanische Greifer:
- einfacher Aufbau durch Festkörpergelenke
Zangengreifer
- Objektzentrierung - zwei Greifflächen erforderlich
Fingergreifer
- Flexibler Einsatz
Klemmgreifer
- einfacher Aufbau
Haftgreifer: - keine/eingeschränkte Objektzentrierung
- kompakt (坚固的)
Sauggreifer - Vakuumuntauglich (untauglich 不适用的)
- geringe Bauteilebelastung
Adhäsionsgreifer - Verschmutzung des Handhabungsobjekts
- nur eine Greiffläche notwendig
- einfacher Aufbau
Haftgreifer:
- kompakt - keine Objektzentrierung
Elektrostatische
- geringe Bauteilebelastung - Ablösemechanismus notwendig
Greifer
- nur eine Greiffläche notwendig - Partikelanziehung
Magnetgreifer
- Vakuumtauglich
ii. Mechanische Mikrogreifer
(1) Passives System (Festkörpergelenk)
Passive Gelenke + Linearaktor (der sich
bewegen kann)

(2) Aktive Mikrogelenke

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(Ergänzung)

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5. Informationstechnik
a. Funktionen bezüglicher Komponenten mit Mikroaktoren

b. Optische Netzwerkkomponenten

i. WDM – Wavelength Division Multiplexing

Beim Wellenlängemultiplexverfahren werden aus verschiedener Wellenlänge bestehende Lichtsignale zur
Übertragung in einem Lichtwellenleiter (Glasfaser, 光导纤维) verwendet, (将不同波长的光通过同一根光纤
传导)

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Normalerweise genutzte Glasfaserdurchmesser: 1,27mm und 1,55mm (um Dämpfung zu minizieren)

Geschwindigkeit Z.B. 100 Kanäle, je Kanal 10 Gbit/s -> 1Tbit/s (1000 Gbit/s)
ii. DWDM – Dense Wavelength Division Multiplexing (Dichte Wellenlänge Multiplex) 密集波分复用

Leistungsstärkte Variante: bis zum 1000 Kanäle

光纤传输速度>10 GB/s 时,应考虑色散影响(Chromatische Dispersion)

光纤传输速度>40 GB/s 时,应考虑偏振膜色散影响(Polarisation Mode Dispersion)

利用激光的波长按照比特位并行传输或者字符串行传输方式在光纤内传送数据。

iii.

iv. 5 Beispiele
(1) Optischer Schutzschalter

(2) Optischer Matrixschalter (光矩阵开关—光电耦合原件)

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2N-Architektur. 在硅晶上刻出若干个微小镜片,通过静电力,使可以活动的微小镜片产生升降,旋转或平
移,从而改变光路
N2-Archtektur. 活动微小镜片与光纤位于同一平面,且活动镜片只有开/关两个状态,这样,将活动镜片阵列
与 N 条输入光纤,N 条输出光纤相连,所需镜片数为 N
2

Herstellung

Aufbau und Funktion

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Aufbautechnik und Verbindungstechnik

(3) Optischer Add-Drop-Multiplexer mit Mikrospiegel-Aktoren (OADM 分插复用机)

𝐵𝐵 = 𝑓𝑓𝑢𝑢𝑚𝑚𝑑𝑑 − 𝑓𝑓𝑢𝑢𝑚𝑚𝑚𝑚

工作流程
𝑐𝑐
Zuerst benutzt man den Zirkulator, ein Signal nach verschiedener Frequenz (weil Wellenlänge 𝜆𝜆 = )
𝑓𝑓
aufzutrennen.
Durch WDM-Mux (Wavelength-Division-Multiplexer) wird eine oder viele Signale mit bestimmter
Wellenlänge ausgewählt.
Durch unterschiedliche extreme Spannung kann man die Auslenkung von Spiegelaktoren kontrollieren.
Durch die Auslenkung von Spiegelaktoren wird ein Signal addiert oder ausgeworfen.

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(4) Optische Schalter in Wellenleiter-Technologie

Prinzip von Ringresonator:

Im Wellenleiter übertragt das Licht mit Totalreflexion Phänomen. Wenn das Ringresonator nähe dem
Wellenleiter bleibt, erscheint die sogenannte Optische Ankopplung wegen des Phänomens des
Evaneszenzes. Welle mit einem bestimmten Abstand zwischen Resonator und Wellenleiter bleibt es in
kritischer Coupling Zustand. In diesem Zustand wird ein Licht mit bestimmter Wellenlänge die Resonanz
Bedingung einfüllt und ganz angekoppelt, dann transportieren dieses Signal zu anderen Elementen. Z.B.
Drop oder Pass. Mit diesem Prinzip kann man viele Resonatoren zusammensetzen und als einen optischen
Filter benutzen.
① Aktorprinzip: Elektrostatisch mit optischem Scheibenresonator
Hier kontrolliert man mit
Biegeelemente durch
elektrostatische Kraft den
Abstand zwischen Resonator
und Wellenleiter.

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② Aktorprinzip: Elektrostatisch mit optischem Ringresonator

③ Aktorprinzip: Elektrostatisch mit beweglichem Richtungskoppler

Durch die elektrostatische Kraft bieget sich die MEMS-Kraftträger (MEMS cantilever). Wenn sie ausdehnt,
bleibt der Aktor „Drop“-Zustand wegen der Ankopplung.
④ Aktorprinzip: Optische Gradientenkraft (光压强梯度力)

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(5) Weitere MEMS-Komponenten für optische Netzwerke.

v. RF-MEMS
(1) Aufbau Übersicht

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(2) Anwendungsbereiche
Mobiltelefone WLANs GPS RFID Radar Raumfahrt
(3) Bauelemente
Induktoren
Durchstimmbare Kondensatoren
Mikroschalter Resonatoren
(4) RF-Resonatoren (2 Arten)

① BAW-Resonatoren

② Mikromechanische Resonatoren

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(5) Schreib-/Lesesysteme
① Aufbau und Prinzipien
Schreiben-Prinzip. Mit elektrischem Signal wird
die hartmagnetische Beschichtung (Spur, 磁 道 )
berührungslos magnetisiert. Durch die Remanenz
(剩磁, verbleibende Magnetisierung) erfolgt das
Speichern der Information.

Lesen-Prinzip. Durch berührungsloses Abtasten

der Magnetisierung der Plattenoberfläche.

② Erweiterung der bestehenden HDD-Systeme

Mikroaktoren in HDD-System.
-Mikroaktoren zur Feinpositionierung in x, y-Richtung (ab 10 Gbit/in2)
-Mikroaktoren zur Kontrolle der Flughöhe z
Mikrosensoren in HDD-System.
-g-Sensor zur aktiven Lagekontrolle

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③ Neue Speicherprinzipien
-magnetisch
-thermisch
-optisch (optische Fotografische Blue-ray Disk Speicher)
Integriertes AFM-System.
AFM, Atomic Force Microscope („Millipede“) 原子力显微镜

Also, zurzeit ist Magnetische Prinzip im Vergleich zum AFM-System noch besser.
Denn AFM ist teuer, langsam. Aufwand ist groß.
(6) Informationsdarstellung (Display, Beamer, Scanner, Drucker)
① Laser-Display-Technologie
Allgemeine
- vereinfachte Optik mit intrinsischer Zoom-Funktion
- Miniaturisierung -> ultra-Kompakte Systeme
Laser-Projektion:
- kompakte & portable Displays mit hoher Auflösung
- Keine Optik zwischen μ-Spiegel und Bildschirm
- Uneingeschränkte Tiefenschärfe
- Projektion auf gekrümmten Oberflächen möglich
Laser-Bildgebung:
- Medizintechnik + Lasertherapie
- neue Anwendungen z.B. virtuelle programmierbare Keyboards
- gleichzeitige Bildgebung und Projektion
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Laser-Projektion:

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Laser-Bildgebung:

② Optische Beamer-Technologie (DMD: Digital Micromirror Device)

Aufbau

Aussehen

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Funktionsweise (Anwendung)

Herstellung

③ Optische Mikroscanner

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④ Drucktechnik
Kategorisieren
-Piezo-Druckköpfe
-Thermoelektrische Druckköpfe
Tintenstrahldrucker:
- Leistungsbedarf: ca. 30 μJ/Tropfen
- Reproduzierbarkeit der Tropfengröße (Vorteile)
- Kein thermisches Übersprechen (Vorteile)
Front Channel Area
前通道区域
Nozzle Shape
喷嘴形状 Rear Channel Area
Channel Top Area 后通道区域

Print Plane To Ink Supply

Ink
To intimate Electronics 内部电子设备
Front Face Coating Lead Passivation
前面涂层
Heater Substrate
Heater Passivation
加热钝化层 Heat Sink 冷源,散热片

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Backshooter Microsystem:

Tropfenausstoß:

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