Iridium-Dielektrika-Schichtsysteme für absorbierende

Entspiegelungen im nahen infraroten Spektralbereich

Bachelorarbeit von Kevin Hanemann
Betreuer: Prof. Dr. rer. nat. Michael Rüb, Dr. Adriana Szeghalmi, Paul Schmitt

Motivation Methoden
Hochabsorbierende Schichten werden in vielen technologischen
Bereichen, z.B. der Streulichtreduktion, der Thermophotovoltaik, ▪ Beschichtung mittels Atomlagenabscheidung (ALD)
als optische Filter oder in optoelektronischen Bauteilen, benötigt. ▪ Charakterisierung der Einzelmaterialien zur Ermittlung
Sie können mit strukturierten Oberflächen oder Metall-Isolator der optischen Konstanten n, k und der Wachstumsraten
Schichtsystemen realisiert werden. Strukturierte Oberflächen sind ➢ Spektralellipsometrie
mit einer aufwendigen und teuren Fertigung verbunden und ➢ Spektralphotometrie
sollen deshalb vermieden werden. ➢ Weißlichtinterferometrie (WLI) Abbildung 1: ALD-Zyklus zur Herstellung von Iridiumschichten

➢ Röntgenreflektometrie (XRR) Schicht- Abscheide-

Präkursoren
▪ Designerstellung mittels OptiLayer für verschiedene material temperatur
Ziel Spektralbereiche Ir(acac)3 +
Ir 380 °C
O2
Es soll ein absorbierendes Metall-Isolator-Schichtsystem entwickelt ▪ Entwicklung, Charakterisierung und Optimierung Absorber
werden, welches den nahen infraroten Spektralbereich adressiert. ➢ Spektralphotometrie bei verschiedenen Al2O3 TMA + H2O 380 °C
Dabei stehen Iridium als Metall sowie Aluminiumoxid (Al2O3) und Einfallswinkeln
TDMAT +
TiO2 100 °C
Titanoxid (TiO2) als Dielektrika zur Verfügung, welche mittels ➢ Streulicht O2-Plasma
Atomlagenabscheidung hergestellt werden. Tabelle 1: Für das Schichtsystem verwendete Präkursoren
und Abscheidetemperaturen

Designerstellung

1. Einzelschichten 2. Charakterisierung 3. Simulation n, k 4. Designerstellung 5. Herstellung 6. Optimierung

▪ Softwares: LCalc, ▪ Ermittlung der

▪ Spektralellipsometrie ▪ Transmission und Schichtdicken-
▪ Aluminiumoxid SpectraRay
(Al2O3) ▪ Spektralphotometrie Reflexion der verteilung von Al2O3
▪ Ir: Drude-Lorentz-
▪ Rötgenreflektometrie hergestellten Proben und Ir auf Al2O3
▪ Titanoxid (TiO2) Modell
▪ Weißlichtinterfero- weichen um 5% vom ▪ Neuermittlung der n,
▪ Iridium (Ir) ▪ TiO2: Cauchy-Modell Design ab
metrie k der einzelnen
▪ Al2O3: Cauchy-Modell Materialien
Abbildung 2:
Simuliertes Schichtsystem

Ergebnisse
▪ Nukleation des Iridiums auf Al2O3 nur schwer kontrollierbar

▪ Gute Übereinstimmungen zwischen optimiertem Design und Messung

▪ Bei höherer Iridiumzyklenzahl größere Abweichungen als bei niedrigerer

➢ Zu dicke Schicht kritischer als zu dünne

▪ Streulichtanalyse: absolutes Streulicht = 0,0026%

➢ Absorption = 100% - Reflexion - Transmission

▪ Einfluss des Einfallswinkels auf die Absorption:

Abbildung 3: Absorptionsspektren des optimierten Absorbers mit verschiedenen Iridiumzyklen.
➢ Bis 45° sehr hohe Absorption Kalkulierte Minima, Maxima, Mittelwerte der Absorption im Zielbereich (1800-2200 nm) mit einer Ungenauigkeit von 0,3%.
➢ Bei 60° deutlicher Abfall

➢ Mit steigendem Einfallswinkel verschiebt sich das

Absorptionsband (A > 90 %) zu kürzeren Wellenlängen Ausblick

▪ Verschiebung des Absorptionsbandes durch Variation der Schichtdicken des Al2O3 und TiO2 möglich
100 6°, MW_A ▪ Mögliche Anwendung: Reduktion unerwünschter Reflexionen und Streuverluste der inaktiven Oberflächen
15°, MW_A
99 ➢ Design für den Bereich von 1250-1750 nm → wichtige Wellenlänge der Telekommunikation : 1550 nm
30°, MW_A
98 45°, MW_A
60°, MW_A ➢ Absorber von 650 – 1150 nm → Spektrometer für den NIR-Breich
97
Absorption [%]

▪ Änderung des dielektrischen Materials: Al2O3 → Ta2O5

96
➢ Verringerung des Nukleationsverzuges
95
➢ Gleichmäßigeres Schichtwachstum
94
93
Probe Zielbereich ഥ
𝐀
92
91 O-AT118_155_Q4 650-1150 nm 97,4 %
90
1500 1700 1900 2100 2300 2500 O-AT119_154_Q4 1250-1750 nm 98,3 %

Wellenlänge [nm]
S-TA041_132_Q1 1800-2200 nm 99,5 %
Abbildung 4: Untersuchung des Einflusses des Einfallswinkels auf die Absorption
der Probe mit 220 Zyklen Iridium, welche die höchste Absorption aufweist.

Abbildung 5: Verschiebung des Absorptionsbandes in andere Wellenlängenbereiche durch Variation der Schichtdicken des Al2O3 und TiO2.
Die Tabelle gibt die mittlere Absorption je einer Probe für die verschiedenen Spektralbereiche mit einer Ungenauigkeit von 0,3 % an.