TRUMPF - Konstruktionsrichtlinie 17.11.

2016

Oberflächenreinheit von Bauteilen für KRL 1009-100-20

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EUV-Strahlführungen (Anhang) TW570

Inhalt
Änderungen ........................................................................................................................................................ 2
Allgemein ..........................................................................................................................................2
1 Empfehlungen zur Einhaltung der Anforderungen: ............................................................2
2 Vermeidung von Rückständen ..............................................................................................3
Abstellflächen ..................................................................................................................................................... 3
Fingerabdrücke ................................................................................................................................................... 3
Menschliche Rückstände .................................................................................................................................... 4
Kühlschmierstoffe und Reinigungsrückstände ................................................................................................... 4
Entfernung von aufliegenden Partikeln und Flecken .......................................................................................... 5
Faserige Rückstande .......................................................................................................................................... 5
Abkleben ............................................................................................................................................................. 5
Klebstoffrückstände ............................................................................................................................................ 5
3 Erläuterung von Rückständen und deren Prüfung .............................................................6
4 Reinigung, Verpackung und Logistik ...................................................................................8
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Oberflächenreinheit von Bauteilen für KRL 1009-100-20

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Änderungen
Historie Datum Info Name
Erstanlage 31.08.2016 Auslagerung von Empfehlung und Informationen in separates TLSM524oe
Dokument
Änderung 01

Allgemein
Dieser Anhang soll dabei helfen, die Anforderungen aus KRL1009-100 umzusetzen. Die hier aufgeführten
Vorgehensweisen und Hilfsmittel sind Empfehlungen aus unserer Erfahrung im Umgang mit
Reinraumprodukten, diese bieten jedoch keine Erfolgsgarantie. Sollte mit anderen Mitteln ein Ergebnis
erzielt werden, welches alle Anforderungen erfüllt so ist dies ebenfalls zulässig.

1 Empfehlungen zur Einhaltung der Anforderungen:

 An der Bauteiloberfläche anhaftende Partikel, Späne und Grate können sich jederzeit (v.a. während
des Betriebs) lösen, deshalb müssen die Oberflächen frei von Partikeln, Spänen und Graten sein.
 Grate lassen sich nachträglich schlecht entfernen. Deshalb sollte bei der Fertigung darauf geachtet
werden, dass beim Herstellungsprozess keine anhaftenden Grate entstehen. Lässt sich ein Grat
fertigungsbedingt nicht vermeiden, muss dieser in einem nachgelagerten Prozess (z.B.
Elektropolieren, manuell, etc.) entfernt werden.
 Ultraschallreinigung eignet sich Partikel rückstandfrei zu entfernen.
 Um viskose Stoffe, wie z.B. Öle und Fette von der Bauteiloberfläche zu lösen, müssen beim
Reinigungsvorgang geeignete Reinigungsprodukte eingesetzt werden.
 Da angetrocknete Kühlschmierstoffe ausgasen, muss nach der Fertigung sichergestellt werden,
dass die Bauteile direkt einer Waschstrecke zugeführt werden. Sollte dies nicht möglich sein, muss
ein Antrocknen oder rückstandsverursachendes Verdampfen des KSS verhindert werden.
 Anodisierte Bauteile dürfen nach dem Anodisieren nicht mit Kühlschmierstoff in Berührung kommen.
Sollte eine spätere Bearbeitung die Verwendung nicht ohne KSS möglich sein, so ist darauf zu
achten den KSS nur punktuell und in möglichst geringen Mengen zu verwenden. Des Weiteren sind
die obigen Hinweise zu beachten.
 Bei der Handhabung anodisierter Bauteile sind generell Reinraumhandschuhe zu tragen.
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2 Vermeidung von Rückständen

Abstellflächen
Alle Flächen, auf denen das Bauteil abgelegt wird müssen sauber sein (öl-, fett- und partikelfrei). Um dies zu
gewährleisten sollte immer saubere Reinraumfolie unterlegt werden.

Geeignete Folie:
„Pink Permanent AS-LDPE100µ“
der Firma HQ Pack, Hurksestraat 15, 5652 AH Eindhoven
ist als Halbschlauchfolie, Schlauchfolie oder Beutel in verschiedenen Größen erhältlich.

Fingerabdrücke
Insbesondere bei anodisierten Bauteilen sind Fingerabdrücke kaum mehr zu entfernen.
Daher dürfen die Teile nur mit sauberen Reinraumhandschuhen angefasst werden.
Sobald mit dem Handschuh eine Schmutzquelle angefasst wurde, muss der Handschuhe gewechselt
werden. Zu den Schmutzquellen zählen sämtliche Öle, Klebstoffe, Fett und somit auch Hautfett.

Geeignete Handschuhe: Handschuh Nitril-HS,Kimtech Pure G5

VWR International GmbH, Donaustr. 1, 65451 Kelsterbach info@de.vwr.com
Lieferantenartikelnummer 112-4871 -Größe XS
Lieferantenartikelnummer 112-4872 -Größe S
Lieferantenartikelnummer 112-4873 -Größe M
Lieferantenartikelnummer 112-4874 -Größe L
Lieferantenartikelnummer 112-4875 -Größe XL

Empfehlung: Bei längerem Tragen von den Nitril Handschuhen empfiehlt es sich, darunter einen fußel freien
Stoffhandschuh zu tragen. Wichtig: Die Teile dürfen nicht mit Stoffhandschuhen berührt werden.

Beispiele von Fingerabdrücken unter UV Licht:

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Menschliche Rückstände
Neben Hautfett ist Speichel auf den Bauteilen zu vermeiden. Um dies sicherzustellen, wird empfohlen einen
Mundschutz zu tragen.

Material: Reinraum-Mundschutz ISO 4 230x90mm

IAB Reinraum-Produkte GmbH, Friedrich-Seele-Str. 20, 38122 Braunschweig
Lieferantenartikelnummer 320030 -Mundschutz
Lieferantenartikelnummer 320091 -Clip für Mundschutz

Kühlschmierstoffe und Reinigungsrückstände

Der eingesetzte Kühlschmierstoff darf nicht anhaften. Daher sollte, wie in der KRL 1009-80 aufgeführt, „nass
in nass“ bis zur Reinigung gearbeitet werden.
Sollte sich der Einsatz von Kühlschmierstoff nach dem Anodisieren nicht vermeiden lassen ist besondere
Vorsicht geboten. Sofern möglich wird empfohlen gar keinen Kühlschmierstoff zu verwenden. Ansonsten
sofort reinigen und mit UV-Licht prüfen.

Untersuchungen zum Einsatz unterschiedlicher Kühlschmierstoffe liegen bislang nicht vor.

Nicht alle Reinigungsrückstände lassen sich komplett entfernen. Empfohlen wird eine Ultraschallreinigung
mit anschließender Trocknung (Trocknung darf nicht mit ölhaltiger Druckluft sondern nur mit Stickstoff oder
mittels Vakuum erfolgen).
Es ist darauf zu achten ein rückstandfreies Reinigungsmittel einzusetzen. Generelle Hinweise zum
geeigneten Reinigungsmittel können durch TRUMPF nicht gegeben werden

Beispiel unter UV Licht:

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Entfernung von aufliegenden Partikeln und Flecken

Sollte im Einzelfall eine Reinigung notwendig sein, da z.B. Partikel aufliegen darf nur eines der folgenden
Reinigungsmittel verwendet werden (generell ist auf eine hochreine Qualität der Substanzen zu achten!):
- Aceton in „Uvasol“-Qualität aus Glasflaschen
- Fusselfreie Isopropanoltücher
- Demineralisiertes Wasser
Das Aceton muss auf saubere „Paddel“ aufgebracht werden und die Rückstände leicht abgetupft werden.
Keinesfalls stark reiben, da sich sonst der Fleck noch mehr verteilt!

Faserige Rückstande
An Bauteilen können auch Fasern anhaften, die von Tüchern stammen, mit denen die Teile abgewischt
worden sind. Diese lassen sich nur schwer, bzw. gar nicht mehr entfernen. Um dies zu vermeiden, sollte auf
das Abwischen der Teile mit Textilien verzichtet werden.
Im Sonderfall müssen fusselfreie Textilien verwendet werden.

Abkleben
Abhängig vom Bauteil ist es ratsam einzelne Stellen abzukleben um z.B. den Strahlführungsgang bei der
weiteren Bearbeitung zu schützen. Gängige Klebebänder hinterlassen nicht entfernbare Rückstände. Es darf
ausschließlich folgendes Klebeband verwendet werden:

Material: Band 210 50mmx66m grün

Mocap Ltd., TF1 7YW Telford Shorpshire, Hortonwood 35, info@mocap-deutschland.de
Lieferantenartikelnummer X210L50/66 -PE Klebeband
(Dieses ist auch in weiteren Dimensionen erhältlich)

Klebstoffrückstände
Bei eingeklebten Gewindebuchsen oder Stopfen müssen Klebereste sofort mit Aceton in „Uvasol“-Qualität
entfernt und mit UV-Lampe geprüft werden. Es hat sich als hilfreich erwiesen die Bohrungen mit dem oben
genannten Klebeband abzukleben und dann die Bohrung mit einem Skalpell auszuschneiden. Dadurch ist
das Bauteil während des Klebens geschützt
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3 Erläuterung von Rückständen und deren Prüfung

Die hohen Sauberkeitsanforderungen erfordern eine Kontrolle mittels UV-Licht (s.g. Blacklight) und sehr
hellem Weißlicht (s.g. Brightlight). Dadurch werden Rückstände wie Kühlschmierstoffe, Fingerabdrücke,
Einschlüsse etc. sichtbar, die unter normalen Lichtbedingungen nicht erkennbar sind

Sowohl die UV-A Schwarzlichtinspektion als auch die Brightlight-inspection sind qualitative Prüfmethoden.
Das Prüfergebnis hängt aber jeweils von der Oberflächenfarbe, Oberflächenstruktur, Art der Verschmutzung
und vom subjektiven Empfinden des Kontrolleurs ab.

UV-A Schwarzlicht-Inspektion
Mit dieser Methode können viele filmartige Verunreinigungen und Partikel ≥ 20µm mit dem bloßen Auge
detektiert werden. Die Prüfung ist mit mindestens 100mW/cm2 bei 30cm Abstand der Lichtquelle zum Bauteil
durchzuführen. Die Prüfung muss in einem abgedunkelten Raum durchgeführt werden. Für ein optimales
Prüfergebnis wird empfohlen dunkle, nicht reflektierende Kleidung zu tragen.

Geeignete UV-Lichtquellen

Produkt Hersteller Empfohlener Abstand

zum Bauteil
CCI – von Kahlden GmbH Maybachstr. 9 D 70771
PVL-2-UVA 15 cm
Leinfelden – Echterdingen www.cci-vk.de
Dr. Hönle AG UV Technology, Lochhamer Schlag 1, 82166
UVAHAND 250 30 cm
Gräfelfing/München, Germany www.hoenle.de

Brightlight-Inspection
Mit dieser Methode können viele partikelförmige Verunreinigungen, sowie Kratzer und Schlieren mit dem
bloßen Auge detektiert werden. Die Prüfung ist mit mindestens 100lm bei 30cm Abstand der Lichtquelle zum
Bauteil durchzuführen. Die Prüfung muss in einem abgedunkelten Raum durchgeführt werden.

Geeignete Brightlight-Lichtquellen

Produkt Hersteller
7730 LED Flashlight V6 LED Lenser, Vertrieb: Zweibrüder Optoelectronics GmbH & Co. KG
7736 V2 Power-Chip LED Lenser, Vertrieb: Zweibrüder Optoelectronics GmbH & Co. KG

Ergänzende optionale Prüfmethoden

Mit einem Mikroskop (zehnfache Vergrößerung) und einer entsprechenden Beleuchtung (Kaltlichtquelle oder
LED) lassen sich Partikel und kleine Anhaftungen gut optisch detektieren. Als Beleuchtungsmittel eignen
sich besonders Kaltlichtquellen und LED-Lampen.
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Beispiele der UV-Prüfung:

i.O. homogenes lila Schimmern n.i.O.: leuchtende Flecken

Beispiele der Weißlicht-Prüfung:

Bei normalem Licht unter starkem Weißlicht

Hinweis: Flecken die unter Weißlicht sichtbar werden, lassen sich oft mit demineralisiertem Wasser
entfernen.
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4 Reinigung, Verpackung und Logistik

Anbei finden sich drei Bespiele für den Reinigungs- und Verpackungszustand von Bauteilen

Reinraumgerecht (zwingend
vorgeschrieben für UHV-Bauteile):
Das Bauteil wird in einer den Anforderungen
entsprechenden Waschstrecke gereinigt,
Vakuumgetrocknet und in
Reinraumumgebung verpackt.
Fertigung  zeitnahe Abreinigung in
Reinigungsstrecke  Trocknung  2-lagige
Verpackung im Reinraum und Kennzeichnung
mit Reinraumaufkleber
! Bei Ultrahochvakuum (UHV)-Bauteilen
nach Grade 2: Vacuum Cleanliness (GSA
07 2220) muss der Trockenbeutel zwischen
den beiden Folienlagen eingesetzt werden. Nicht direkt am Bauteil!

Maschinell Vorgereinigt:
Das Bauteil wird in einer Waschstrecke/-
anlage gereinigt.
Fertigung  zeitnahe Abreinigung in einer
Reinigungsstrecke  Trocknung 
Verpackung (Es darf kein Reinraumaufkleber
angebracht werden!)

Händische Grundreinigung:
Das Bauteil wird keiner besonderen
Reinigung unterzogen.
Fertigung  Abreinigung von
Kühlschmierstoffen von Hand  Verpackung
Dieser Zustand ist für EUV-
Strahlführungsbauteile zu vermeiden und
muss auf den Lieferpapieren vermerkt
werden.

Ergänzung: Wenn es sich bei den Bauteilen um Optiken handelt kommt direkt zwischen Bauteil und
innerster Lage noch eine angepasste Einzelteilverpackung hinzu. (Siehe hierzu RL1009-101)