Inhaltsverzeichnis

1 Einleitung 1

2 Theoretische Grundlagen 3
2.1 Plasma . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3
2.1.1 Nicht-Gleichgewichtsplasma bei Atmosphärendruck . . . . . . . . 4
2.1.2 CCP . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4
2.1.3 DBD . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4
2.2 Physikalische Beschreibung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
2.2.1 Flüssigkeitsbild . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
2.2.2 Oberflächenwechselwirkung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6
2.3 Chemische Reaktionen und Teilchentransport . . . . . . . . . . . . . . . 7
2.3.1 CO2 Konversion . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7
2.3.2 Diffusion . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8
2.4 Massenspektrometrie . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8

3 Einstellungen der Simulation 11

4 Ergebnisse und Analyse 15

4.1 Gaskanal . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
4.2 Kapillare . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 17
4.2.1 10 Pa . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 17
4.2.2 96600 Pa . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18
4.3 Vergleich mit dem Experiment . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18

5 Zusammenfassung 25

6 Danksagung 27

Literatur 27

Anhang 27

iii
1 Einleitung

Das Plasma findet Anwendungen in einer Menge von wissenschaflichen und technischen
Bereichen. In der Plasmachemie wird es benutzt um vielfältige chemische Reaktionen
zu bekommen. Eine große Rolle in der Natur spielt die Reaktion der Umwandlung vom
Kohlenstoffdioxid:

1
CO2 −→ CO + O2
2

Um die Reaktanden zu identifizieren und zu quantifizieren, verwendet man die Mas-

senspektrometrie. Bei den Massenspektrometern wird vor allem Wert auf die Nachweis-
empfindlichkeit des Geräts gelegt. Sie bestimmt den Anteil der in den Spektrometer
einfliegenden Teilchen, die vom Detektor nachgewiesen werden. Üblicherweise wird sie
über normierte Differenz zwischen der in die Probenahmeöffnung gelangenen und der
nachgewiesenen Massen definiert. Heutzutage werden in der Wissenschaft, insbesondere
in der Chemie, die Nachweisempflindlichkeiten ab 10−9 gefordert [1].

Die Computersimulationen erweisen sich damit als eine sehr hilfreiche Methode, mit der
zahlreiche wissenschaftliche und technische Probleme gelöst werden können, ohne da-
bei einen Eingriff in das untersuchende System zu haben. Insbesondere kommen sie zur
Hilfe bei der Betrachtung der Frage der Verbesserung der Nachweisempfindlichkeit eines
Massenspektrometers. Es wurde eine Reihe von Forschungen gemacht, bei denen anhand
der numerischen Simulationen Verteilungen von den im Plasma verdünnten Spezies im
Gaskanal berechnet wurden [3]. Dennoch wurden, soweit bekannt, die detallierten Unter-
suchungen der Teilchenverteilung in der sampling-Kapillare noch nicht durchgeführt.

Das Ziel der vorliegenden Arbeit ist mit Hilfe der Simulationssoftware COMSOL Mul-
tiphysics 5.3 für das Verhalten eines Heliumplasmas mit CO2 Beimischung von 1% bei
Atmosphärendruck im Gaskanal und im Kapillarrohr ein qualitatives und quantitatives
Bild zu erhalten. Dafür müssen folgende Fragen beantwortet werden:

1. Wie ändern sich die Entladungscharakteristika im Kanal beim Zufügen der Sampling-
Kapillare?

2. Wie und in welchem Verhältnis sind die Probeteilchen im Sampling-Rohr verteilt?

1
1 Einleitung

Bei einer numerischen Simulation wird der untersuchende Bereich mit einem Gitter be-
deckt, das auf mehrere Elemente unterteilt wird. Erhöht man die Anzahl dieser Elemente,
so steigt die Genauigkeit der Simulation, das spiegelt sich aber in der Rechenleistung,
mit der die Berechnungen bearbeitet werden. Eine weitere Aufgabe wäre deshalb für
das Netz eine optimale Konfiguration zu finden, die zufriedenstellende Genauigkeit und
zugleich nicht zu lange Bearbeitungszeiten liefern würde.
Um eine Auskunft über den Übereinstimungsgrad der Simulation mit dem Experiment
zu bekommen, wird im zweiten Teil der Arbeit ein Vergleich der Simulationsergebnisse
mit experimentell ermittelten Daten durchgeführt.

2
2 Theoretische Grundlagen

2.1 Plasma

Ein Plasma ist ein ionisiertes quasi neutrales Gas, das kollektives Verhalten zeigt [4].
Der Abstand, auf den sich die Wirkung des elektrischen Felds einer einzelnen Ladung
verbreitet wird als Debye-Länge bezeichnet. Sie wird durch folgende Formel festgelegt:

  21
0 kB Te
λD = (2.1)
n0 e2

Die Bedingung der Quasineutralität ist erfüllt, wenn diese Länge viel kleiner als die
Ausdehnung des Plasmas ist. Das wird erfüllt, wenn die Anzahl der geladenen Teilchen
in der Debye-Sphäre (R = λD ) groß genug ist, damit kollektive Effekte dominieren:

4π 3
λ ne = N  1 (2.2)
3 D

Die mittlere Zeit zwischen den Stoßen von Ladungsträgern mit Neutralteilchen muss
deutlich größer als die der Plasmaschwingungen sein. Wenn das erfüllt ist, dominiert die
elektrostatische Wechselwirkung über der molekular-kinetischen:

τ ωpl  1 (2.3)

Ein Plasma kann mittels eines elektrischen Felds gezündet werden. Eine kritsche Span-
nung muss dabei überstiegen werden, die Durchschlagspannung. Das Paschen-Gesetz
gibt die Abhängigkeit des Werts dieser Spannung vom Abstand zwischen den Elektro-
den bei angegebenem Druck im Fall einer DC-Entladung an:

Bpd
UP = (2.4)
ln(Apd) − ln(ln(1 + γ −1 ))

3
2 Theoretische Grundlagen

Abbildung 2.1: Entladung eines kapatitiv gekoppeltes Plasmas [8]

2.1.1 Nicht-Gleichgewichtsplasma bei Atmosphärendruck

Unter Atmosphärendruckplasmen versteht man Plasmen, bei denen der Druck gleich
dem der umgebenden Atmosphäre ist. Sie haben eine große Bedeutung in der Technik,
da keine aufwändige Anordnung für die Erzeugung eines niedriges Druckes benötigt
wird. Man unterscheidet zwischen den Gleichgewichts- und Nicht-Gleichgewichsplasmen.
Die ersten befinden sich im thermischen Gleichgewicht, bei den zweiten dagegen haben
verschiedene Teilchensorten unterschiedliche Temperaturen.

2.1.2 CCP

Kapazitiv gekoppeltes Plasma gehört zur einer der am meisten verwendeten Plasmaquel-
len. Die Entladung wird durch zwei, üblicherweise, planparallele Elektroden hervogerufen
(Abbildung 2.1), zwischen denen ein Gas zugeführt wird. Durch das angelegte elektrische
Feld findet die Ionisierung der Gasteilchen statt, wobei Elektronen ausgelöst werden, die
sich im elektrischen Feld beschleunigen und andere Teilchen ionisieren. Das führt zu
einem Lawineneffekt, wonach das Plasma leitfähig ist. Das in der Arbeit untersuchte
Plasma wird mit einer Wechselspannung der Frequenz von 13,56 MHz betrieben.

2.1.3 DBD

Wenn man daran interessiert ist, die Entstehung vom Plasmabogen zu verhindern,
verwendet man dielektrisch behinderte Entladung (engl. Dielectric Barried Discharge,
DBD). Bei diesem Entladungsverfahren ist eine oder beide Elektroden von einer dielek-
trischen Schicht bedeckt [8]. Die Entladung tritt dabei entweder in filamentierter oder
homogener Form auf. Abbildung 2.2 zeigt die wesentlichste Teile einer DBD.

4
 2.2 Physikalische Beschreibung

Abbildung 2.2: Dielektrisch behinderte Entladung [13]

2.2 Physikalische Beschreibung

2.2.1 Flüssigkeitsbild

Makroskopisch kann ein Atmosphärendruckplasma bei geringer Ionisationsrate quasi-

neutrale Flüssigkeit behandelt werden, deren Bewegung mit hydrodynamischen Glei-
chungen beschrieben wird. Je nachdem ob die Strömung laminar oder turbulent ist,
verwendet man ein entsprechendes Modell für die physikalische Beschreibung. Die Infor-
mation über die Art der Strömung liefert die Reynolds-Zahl Re:

Re = ρ · V · D/η (2.5)

mit ρ - Dichte der Flüssigkeit, V - Strömungsgeschwindigkeit, D - charakteristische

Größe des Systems und η - dynamische Viskosität der Flüssigkeit

Im Fall von Re < Recrit hat man mit einer laminaren Strömung zu tun. Sie zeichnet sich
dadurch aus, dass die Bewegung der Flüssigkeitsschichten ohne Wirbel erfolgt (Abbil-
dung 2.3). Wenn dagegen die Reynolds-Zahl den kritischen Wert ( ≈ 2000 bei laminarem
Fließen durch ein zylindrisches Rohr) übersteigt, bilden sich Wirbel und die Strömung
wird turbulent.

Strömungen einer linear-viskosen Flüssigkeit werden mathematisch mit Hilfe der Navier-
Stokes Gleichung beschrieben. Ist die betrachtende Flüssigkeit inkompressibel, nimmt die
Navier-Stokes Gleichung folgende Form an:

∂u
+ (u · ∇)u − ν∇2 u = −∇w + g (2.6)
∂t

5
2 Theoretische Grundlagen

Abbildung 2.3: Laminares Strömungsprofil [6]

Hier steht u für die Geschwindigkeit, ν = µρ für die kinematische Viskosität und g
bezeichnet die externe Quelle (Gravitationspotential).
Wenn die Strömung laminar durch einen Kanal erfolgt, der die Form eines Kreiszylinders
mit Radius r und der Länge l hat, so hat man als Lösung der Navier-Stokes Gleichung
folgende Abhängigkeit, die als Hagen-Poiseuille Gesetz bekannt ist ([9]):

dV π · r4 ∆p
= (2.7)
dt 8·η l

wobei V den Volumentstrom und ∆p den Druckabfall bezeichnen

Die Art der Strömung wird durch die sogennante Knudsen-Zahl bestimmt. Sie ist gleich
dem Verhältnis der freien Weglänge zu der charakteristischen Größe des Systems:

λ
Kn = (2.8)
L
√
Die Freie Weglänge ist durch die Formel λ = ρ√µ 2RTπ
gegeben, mit µ = Viskosität der
Flüssigkeit, ρ = Dichte der Flüssigkeit, T = Temperatur und R = Gaskonstante.
Bei Kn  1, ist der Fluss diffusiv und wird als kontinuierlich angenommen, was Be-
schreibung durch die Navier-Stokes Gleichungen erlaubt. Bei Kn  1 hat man mit einer
Molekularströmung zu tun. Zwischen diesen zwei Extremfällen befindet sich Übergangs-
bereich, die Strömung kann durch Kombination beider Methoden beschrieben werden.

2.2.2 Oberflächenwechselwirkung

Betrachtet man die Teilchenflüsse über einer Grenzfläche, so dass diese Grenzfläche in-
nerhalb freier Weglänge liegt, kann für den Fluss, der verloren geht, geschrieben werden
([10]):

6
 2.3 Chemische Reaktionen und Teilchentransport

jloss = jin − jout (2.9)

mit jin eingehender und jout - ausgehender Teilchenfluss

Die Teilchendichte an dieser Grenzfläche ist:

1
n= 1 (jout + jin ) (2.10)
2
hvi

Für beide Flüße kann folgende Verknüpfung über den Reflektionskoeffizient r geschrieben
werden:

jin = rjout (2.11)

Der Plasmafluss, der verloren geht berechnet sich somit zu:

1 1−r
jloss = nv (2.12)
2 1+r

Durch den Reflektionskoeffizient kann man den Haftkoeffizient ausdrücken:

s=1−r (2.13)

2.3 Chemische Reaktionen und Teilchentransport

2.3.1 CO2 Konversion

In dem zu untersuchenden Helium-Plasma mit CO2 Beimischung von 1% findet eine

Reihe von chemischen Reaktionen statt. Eine ausführliche Liste kann beispielsweise in
[3] gefunden werden. Zur Vereinfachung sollen die Reaktionen, die einen geringen Anteil
haben, vernachlässigt werden. In der vorliegenden Arbeit wird deshalb auf die grundle-
gende Dissoziationsreaktion beschränkt:

CO2 + e− −→ CO + O + e− (2.14)

1
CO2 −→ CO + O2 (2.15)
2

7
2 Theoretische Grundlagen

2.3.2 Diffusion

Unter Diffusion versteht man ein Prozess, in dem Teilchen eines Stoffes zwischen den
Teilchen zweites Stoffes gegenseitig eindringen, was allmählich zum Ausgleich der Teil-
chenkonzentrationen führt. Mathematisch wird sie durch zwei Fick’sche Gesetze beschrie-
ben. Das 1. Fick’sche Gesetz verbindet den Diffusionsfluss mit der Teilchenkonzentration,
wobei stationärer Zustand vorausgesetzt wird.

Ni = −Di ∇ci + uci (2.16)

(Ni = Teilchenfluss, ci = Konzentration, Di = Diffusionskonstante und u = Geschwin-

digkeit)

Das 2. Fick’sche Gesetz stellt die Beziehung zwischen der Konzentration des verdünnten
Stoffes und seiner Ausbreitung mit der Zeit fest:

∇ · (−Di ∇ci ) + u · ∇ci = Ri (2.17)

(2. Fick’sches Gesetz)

wo Ri die Rate ist.

2.4 Massenspektrometrie

Die Aufgabe der Massenspektrometrie besteht darin, ein Spektrum von den zu unter-
suchendne Ionen je nach ihren Masse-zu-Ladung-Verhältnis aufzunehmen. Das in der
Arbeit verwendete Massenspektrometer besteht im Wesentlichen aus 4 Teilen:

• Pumpstufe

Damit die Teilchen den Detektor erreichen können, muss ihre mittlere freie Weglänge
größer als die charakteristische Größe des umgebenden Systems sein. Um das zu er-
reichen, verwendet man eine dreistufige Pumpe, mit der Druck bis 10−5 Pa erreicht
wird (Abbildung 2.4). Die Pumpstufen sind miteinander durch Blenden getrennt.
In der ersten Stufe hat man einen beam chopper, der dafür sorgt, dass einerseits
noch geringere Drucke erreicht werden und andererseits das Hintergrundsignal ge-
messen und subtrahiert wird.

8
 2.4 Massenspektrometrie

Abbildung 2.4: Massenspektrometer: Pumpstufe und Ionisator [5]

Abbildung 2.5: Aufbau eines Quadrupol-Massenfilters [2]

9
2 Theoretische Grundlagen

• Ionisator
Neutrale Teilchen, die in den Massenspektrometer gelangen, müssen zunächst io-
nisiert werden, damit sie im Folgenden der Wirkung von den elektromagnetischen
Kräften unterliegen können. Das wird mit einem Ionisator gewährleistet. Er sen-
det einen Elektronenstrahl ab, der senkrecht dem aufgesammelten Teilchenstrahl
kommmt, und diesen dann ionisiert. Er ist in der Abbildung 2.4 rechts zu sehen.
• Massenfilter
Um das Sortieren von Teilchen in Abhängigkeit von ihrem Masse-zu-Ladung Verhält-
nis sorgt ein Massenfilter. In dieser Arbeit benutzt man einen Spektrometer mit ei-
nem Quadrupol-Massenfilter. Er besteht aus vier parallelen Elektroden mit kreisförmi-
gen Querschnitten, die symmetrisch platziert sind (Abbildung 2.5, b)). Auf diese
Elektroden wird paarweise eine Kombination aus konstanter und hochfrequen-
ter Spannung angelegt (Abbildung 2.5, a)). Auf die einfliegende Ionen wirkt die
Lorenzkraft, die zur Schwingung der Teilchen entlang der X und Y Achsen mit
allmählich vergrößender Amplitude führt. Ionen mit großen Schwingungsampli-
tuden stoßen auf die Elektroden und rekombinieren dann. Haben sie aber einen
bestimmten Wert von mq , können sie sich durch den Massenfilter frei bewegen und
gelangen dann auf den Detektor
• Detektor
Das letzte Element des Massenspektrometers ist der Detektor. Um den einflie-
ßenden Strom bis zu einem messbaren Wert zu erhöhen, wird ein Sekundärelek-
tronenvervielfacher benutzt. Die einfliegenden Teilchen lösen beim Stoßen auf die
Kathode Sekundärelektronen aus, die danach mit Hilfe von Dynoden vermehrt
werden, so dass elektrischer Strom am Ende groß genug ist, um ihn messen zu
können.

Eine ausführliche Beschreibung des Aufbaus und der Funktionsweise eines Quadrupol-
Massenspektrometers kann unter anderem in [2] gefunden werden.
Die Nachweisempfindlichkeit eines Massenspektrometers ist definiert als die Rate, mit
der die Atome und Molekülen detektiert werden geteilt durch die Rate, mit der diese
Teilchen in das System reinfliegen.

10
3 Einstellungen der Simulation

Abbildung 3.1: Schematische Darstellung des Plasmakanals [11]

Als Simulationssoftware wurde COMSOL 5.3 verwendet. Das Programm verfügt über
zahlreiche Modulle, mit deren Hilfe die betrachtende physikalische Situation modelliert

Abbildung 3.2: COMSOL-Modell des Plasmakanals mit dem Netz

11
3 Einstellungen der Simulation

Abbildung 3.3: Physikalische Interfaces, die für das zu simulierende Problem verwendet
werden

werden kann. Die Navier-Stokes-Gleichung, die die Bewegung des Gasflusses beschreibt,
wird mit den entsprechenden Randbedingungen auf einem Gitter mit Finite-Elemente-
Methode gelöst.

Abbildung 3.1 veranschaulicht den zu simulierenden Bereich des Versuchsaufbaus in zwei

Ansichten. An den Seiten des linken Bildes sind Ein- und Ausgangsrohr zu sehen, durch
die die Gasmischung in die Entladungskammer zugeführt wird. Im Zentrum der Kammer
befindet sich die Entladungzone, die durch zwei planparallelen Elektroden beschränkt
ist. Bei massenspektrometrischen Untersuchungen wird der Gaskanal mit Hilfe einer
sampling-Kapillare des Durchmessers D = 100 µm mit der ersten Pumpstufe des Mas-
senspektrometers verbunden. Diese Geometrie wurde in Form eines 3D-Modells erzeugt
und ist in der Abbildung 3.2 dargestellt. Die Entladungszone ist violett markiert. Für
Material, das die erstellte Geometrie erfüllt, wurde Helium gewählt.

Für die Beschreibung des Plasmas benutzt man das Flüssigkeitsbild. Die Modellierung
wird deshalb mit Hilfe des Moduls Computational Fluid Dynamics“ gewährleistet.
”
Zur Simulation der Gasströmung stehen folgende Einstellungsmöglichkeiten zur Verfügung:

• Fluid Properties

Hier kann Viskosität der Flussigkeit festgestellt werden. Bei uns entspricht sie der
vom Helium (η = 1, 96 · 10−5 [Pa · s])

• Initial Values

12
 Inital Values dient dazu, die Anfangsbedingungen für das Geschwindigkeitsfeld
und den Druck zu legen. Der Druck ist gleich dem Atmosphärendruck, für die
Geschwindigkeiten wurde der Wert 0 eingegeben.

• Inlet

Mit dieser Option hat man Möglichkeit, den Eingangsbereich für den einkommen-
den Plasmafluss und seine Anfangsgeschwindigkeit zu wählen. Der Wert für die
Anfangsgeschwindigkeit der Gasströmung wurde zu 0,3 m/s berechnet, ausgehend
von der Formel v = (πR2 )−1 · dV
dt

• Outlet

Es wird die Fläche am Ausgangsrohr, durch die der Gasfluss die Entladungkam-
mer verlässt. Für den zweiten Austritt wählt man den Querschnitt der Kapillare.
Die Simulationen werden für zwei Grenzfälle p = (105 − 400) Pa und p = 10 Pa
durchgeführt.

Um die im Entladungsbereich stattfindende Dissoziation des Kohlenstoffdioxids und des-

sen Transport und Diffusion in Helium zu simulieren, wurde das Interface Transport of
”
diluted species“ ausgewählt.

Das verwendete Interface verfügt über folgende Einstellungsmöglichkeiten:

• Transport Properties

Diese Option lässt die Diffusionskoeffizienten D für jeden Teilchentyp festzulegen.

Die Werte für DCO2 , DCO und DO2 wurden entsprechend aus den Quellen [7], [14]
und [12] entnommen und sind in der Tabelle 3.1 dargestellt.

• Initial Values

Gibt die Anfangskonzentration der Teilchensorten an. CO2 Beimischung von 1%

entspricht dem Wert der Konzentration von 0,44 mol/m3

• Inflow

Damit wird der Eigangsbereich der Teilchen ausgewählt. In unserem Fall entspricht
er dem für das Helium gewählten.

• Outflow

Es wird Fläche gewählt, durch die die Teilchen abtransportiert werden. Sie ist
identisch mit der Fläche, die wir für den Heliumausfluss definiert haben.

13
3 Einstellungen der Simulation

CO2 CO O2
2
Diffusionskoeffizient, m /s 6,607 · 10−5 4,99 · 10−5 7,361 · 10−5

Tabelle 3.1: Diffusionskoffezienten von Gasen im Helium

• Reactions
Hier muss Bereich, wo die Reaktionen stattfinden, ausgewählt werden. Man kann
für jede Teilchensorte die Rate eingeben, mit der ihre Anzahl steigt oder gegeben-
falls sinkt. Es wurde vom Wert für CO2 von -1 mol/m3 · s ausgegangen. Die Raten
für CO und O2 sind dann entsprechend 1 mol/m3 · s und 0.5 mol/m3 · s
• Flux
Diese Option erlaubt den Prozess der Wechselwirkung vom Plasma mit der Ober-
fläche einzustellen. Im Einklang mit Formel 2.12 wurde
q für den Fluss, der verloren
1 3·k·T 1−r
geht, je nach Teilchensorte, den Ausdruck −ci · 2 · µ·N −1 1+r eingegeben, wobei
A
q
3·k·T
µ·N −1
= vtherm
A

14
4 Ergebnisse und Analyse

Infolge der großen Geschwindigkeiten im sampling-Rohr kann es zu Wirbeln kommen.

Daher muss zunächst herausgefunden werden ob die Strömung durch die Kapillare la-
minar oder turbulent erfolgt. Formel 2.5 liefert für die Reynolds-Zahl Re ≈ 75,5, was
deutlich kleiner als der kritische Wert (Re = 2000) ist. Für die Knudsen-Zahl hat man
nach der Formel 2.8 Kn ≈ 0.026 . Ausgehend von diesen Werten kann man die Lamina-
rität der Plasmaströmung vermuten. Um das sicherzustellen wurden zwei Simulationen
durchgeführt, bei denen ein laminares und ein turbulentes Modell verwendet wurden. Es
ließ sich erkennen, dass die Unterschiede zwischen beiden Ergebnissen minimal sind. Es
wurde daher beschlossen, die Gasströmung als laminar zu betrachten.

Damit man eine optimale Genauigkeit der Berechnungen zusammen mit den nicht zu
großen Bearbeitungszeiten hat, muss für die Simulation ein vernünftiges Netz gewählt
werden. Dafür wurde eine vorläufige Simulation für drei verschiedene Netzeinstellungen
(coarse, fine und extra fine) durchgeführt. Abbildung 4.1 illustriert die Differenz zwi-
schen den Konzentrationskurven von CO2 abhängig von der Auflösung des Netzes. Wie
man sieht, unterscheiden sich die Ergebnisse um einige Hundertstel Prozenten. Da es
keine Notwendigkeit für extrem genaue Berechnungen besteht, wurde entschieden, für
die nachfolgenden Berechnungen das Netz auf ”fine” einzustellen.

Die numerischen Simulationen wurden für zwei Drucke am Kapillarauslass p = 10 Pa

und p = 99600 Pa durchgeführt. Es wurden Grafiken erhalten, die die Entwicklung der
Spezieskonzentrationen gegen die Position im Gaskanal oder im sampling-Rohr abbil-
den. Außerdem wurde Abhängigkeit der Konzentrationskurven im sampling-Rohr von
dem Haftkoeffizient untersucht. Abschließend wurde ein Vergleich mit den experimentell
ermittelten Daten vorgenommen.

4.1 Gaskanal

Eine der Aufgaben dieser Arbeit war die Beeinflussung des sampling-Systems auf die
Plasmaentladung zu untersuchen. Die Ergebnisse der Simulation für die Konzentration
der verdünnten Spezies wurden in der Form von Graphiken erhalten. Als Achse, entlang
der die Verteilungskurve verläuft, wurde die Symmetrieachse des Gaskanals gewählt.

15
4 Ergebnisse und Analyse

Abbildung 4.1: Konzentration von CO2 entlang des Gaskanals beim Ka-
pillardruck p = 10 Pa mit verschiedenen Netzen

In der Abbildung 4.3 sind die Verlaufskurven für die Konzentrationen verschiedener Spe-
zies für den Druck p = 10 Pa mit und ohne das Probenahmesystem gezeigt. Nach dem
Betreten der Entladungszone fällt die Konzentration von CO2 linear ab, während die
von CO und von O2 ebenfalls linear steigt. Dieses Verfahren entspricht der Dissoziati-
onsreaktion vom Kohlendioxid, wodurch dieser in CO umgewandelt wird, mit der damit
verbundenen Bildung des Sauerstoffes. Man kann bemerken, dass beim angeschloßenen
Probenahmsystem mehr Kohlendioxid verbraucht wird und dementsprechend mehr Re-
aktionsprodukte erzeugt werden. Für CO2 unterscheiden sich die Konzentrationen um
≈ 4% , und für CO und O2 um ≈ 21% und ≈ 24% entsprechend. Dies lässt sich dadurch
erklären, dass die durch die Entladungszone fließende Gaströmung von der aufgetretenen
Druckdifferenz so korrigiert wird, dass die transportierte Spezies in dieser Zone länger
aufhalten und dementsprechend mehr CO2 - Molekülen dissoziert werden.

16
 4.2 Kapillare

Abbildung 4.2: Geschwindigkeitsverteilung des

Gasflusses im Samplingrohr

4.2 Kapillare
Für die Bestimmung der Nachweiswahrscheinlichkeit muss die Verteilung der Spezies im
Samplingrohr bekannt sein. Außerdem soll festgestellt werden, wie die Strömung in der
Kapillare von den Haftkoeffezienten der Kapillarwände abhängt. Die Konzentrationskur-
ven der Spezies wurden für 3 verschiedenen Reflektionskoeffizienten r = 0.9999, 0.99995
und 0.99998 aufgetragen. Die Messachse wurde dabei entlang der Symmetrieachse der
Kapillare ausgerichtet.

4.2.1 10 Pa

Zuerst wurden Berechnungen für den Druck an der Kapillare p = 10 Pa durchgeführt.

Abbildung 4.4 veranschaulicht die Konzentrationsverteilung der Spezies im Probenröhr-
chen. Man kann einen ausgeprägten Abstieg der Konzentrationskurven nach dem Ein-
treten der Probenentnahmeöffnung beobachten. Für r = 0.9999 ist ein exponentielles
Verhalten des Abstiegs zu erkennen.
Bei CO2 beträgt der Anteil der durchgegangenen Molekülen am Ende des Röhrchens 58
% von dem anfänglichen Wert für r = 0.99998, 28 % für r = 0.99995 und 12 % für r =
0.9999. Für CO berechnnen sich diese Werte zu 42 %, 19 % und 8 % entsprechend. Sie
sind praktisch identisch mit den für O2 .

17
4 Ergebnisse und Analyse

Von Interesse wäre auch das Verhältnis der Spezies am unteren Ende des Röhrchens
zueinander. Vor dem Eintreten in die Probenahmeöffnug betrag der Anteil von CO2 93
%, von CO 5 % und von O2 3 %. Die Ergebnisse liefern folgendes:
Für r = 0.99998 hat man für die Relation von CO2 , CO und O2 95 %, 3 % und 2 %
entsprechend. Für r = 0.99995 und r = 0.99998 bleibt sie praktisch unverändert.
Allerdings entspricht dieser Wert für den Druck am Kapillarauslass dem Druck in der
ersten Pumpstufe und stimmt mit dem realen Kapillardruck höchstwahrscheinlich nicht
überein. ..... was bedeutet, dass für die Beschreibung der Strömung das molekulare Bild
notwendig ist.....

4.2.2 96600 Pa

Die Ergebnisse für den Fall geringer Druckdifferenz sind in der Abbildung 4.5 gezeigt.
Aus den Graphiken lässt sich ablesen, dass die Konzentration der Spezies nach dem
Eintreten der Öffnung rasant bis zum Nullwert abfällt. Das Verhalten ist ähnlich für alle
verwendete Werte für den Reflektionskoeffizient. Keine Molekülen erreichen das andere
Rohrende, da der ganze Fluss von der Kapillaroberfläche absorbiert wird.

4.3 Vergleich mit dem Experiment

Messungen 1 von den Signalintensitäten der Reaktanden in dem untersuchten Plasma
wurden mit dem oben beschriebenen Massenspektrometer durchgeführt. Für jede Mo-
lekülart wurden je 5 Messungen an verschiedenen Positionen entlang des Plasmakanals
für drei verschiedene Versorgungsleistungen gemacht. Ausserdem wurde für CO mit der
Anregungsenergie von 18 eV eine zusätzliche Messreihe durchgeführt. Die dazugehören-
den Graphiken sind in der Abbildung 4.6 (ohne Entladung) und in der Abbildung 4.7
(mit Entladung) zu sehen.
Betrachtet man die Ergebnisse im Fall von der Entladung, so lässt sich folgendes fest-
stellen: im Entladungsbereich ist zunächst ein kleiner Abstieg der Verteilungskurven von
CO2 , so wie ein kleiner Anstieg der Konzentrationen von CO und O2 zu beobachten, der
danach ausgeprägter wird. Die Erklärung dafür ist anscheinend, dass (AUFENTHALT
..... In der Entladungszone verhalten sich die Kurven wie erwartet, danach ..... ......
Beim Vergleich mit den Simulationsergebnissen fällt vor allem auf, dass die Konzen-
trationskurven im Experiment im Unterschied von der Simulation nach dem Verlassen
der Reaktionszone einen stabilen Anstieg zeigen. Ein möglicher Grund dafür könnten
vermutlich die Rekombinationsreaktionen
1
Die Messungen wurden von Dr. Chauvet durchgeführt.

18
 4.3 Vergleich mit dem Experiment

1
CO + O2 −→ CO2
2
sein, die zu einem Wachstum der Konzentration vom Kohlenstoffdioxid führen. Unklar
bleibt aber in diesem Fall, warum der Anteil anderer Spezies ebenso steigt, während
man einen proportionallen Abfall erwarten würde. Wahrscheinlich ....
.....

19
4 Ergebnisse und Analyse

Abbildung 4.3: Konzentration der Spezies entlang des

Gaskanals

20
 4.3 Vergleich mit dem Experiment

Abbildung 4.4: Konzentration der Spezies im Sampling-

rohr

21
4 Ergebnisse und Analyse

Abbildung 4.5: Konzentration der Spezies im Sampling-

rohr

22
 4.3 Vergleich mit dem Experiment

Abbildung 4.6: Massenspektrometrische Messungen der Intensität des Si-

gnals verschiedener Spezies je nach Position im Gaskanal,
ohne Entladung

23
4 Ergebnisse und Analyse

Abbildung 4.7: Massenspektrometrische Messungen der Intensität des Si-

gnals verschiedener Spezies je nach Position im Gaskanal,
mit Entladung

24
5 Zusammenfassung
Das Ziel der vorliegenden Arbeit war den Fluss eines Heliumplasmas beim Atmosphären-
druck im Gaskanal anhand von der Simulationssoftware COMSOL Multyphysics 5.3 zu
simulieren, die Auswirkung der Einbeziehung vom Samplingrohr des Massenspektrome-
ters zu untersuchen und ein Bild für die Konzentrationsverteilung der verdünnten Spezies
im Gaskanal und im Samplingrohr zu bekommen.
Beim Einstellen der Simulation stellte sich vor allem die Frage, welches hydrodyna-
misches Modell für die betrachtete Strömung gerufen werden soll. Theoretische Berech-
nungen prognosieren stark ausgeprägtes laminares Verhalten des Plasmaflusses. Der Ver-
gleich der Simulationsergebnissen für das laminare Modell mit den, für die das turbulente
k-ε-Modell verwendet wurde, zeigte den minimalen Unterschied. Ausgehend von diesem
Hintergrund wurde es entschieden den Plasmafluss als laminar zu behandeln.
Wenn eine passende Konfiguration des Netzes für den Simulationsdomain ausgewählt
wurde, stellte man fest, dass sich aus den verfügbaren Einstellungsoptionen ”fine” als
die optimalste im Verhältnis von Genauigkeit/Berechnungszeit erweist.
Beim Vergleich von den Simulationsergebnissen in Fällen von der Anwesenheit und der
Abwesenheit des Samplingsystems wurde ermittelt, dass bei der einbezogenen Probenah-
mekapillare mit dem Auslassdruck von 10 Pa mehr CO2 -Molekülen in CO umgewandelt
werden. Das kann dadurch erklärt werden, dass der anwesende Druckgradient die Bewe-
gung der Strömung durch die Entladungszone beeinflusst, so dass die CO2 -Molekülen,
die mit dem Heliumfluss transportiert werden, eine längere Aufenthaltzeit im Entla-
dungsbereich haben und folglich mehr Spezies reagieren.
Die nächste Aufgabe war die Verteilung der Spezies im Probenahmeröhrchen mit der
Variation der Haftkoeffizienten zu untersuchen. Es ließ sich beobachten, dass bei Ka-
pillardruck p = 10 Pa und Haftkoeffizient s = 2 · 10−5 circa die Hälfte jeder Spezies
durchgelassen wird. Dieser Anteil sinkt mit der Erhöhung von s und für den Wert von
10−4 beträgt nur wenige Prozente. Für den Fall des kleinen Druckabfalls beobachtet man
eine steile Abnahme der Konzentrationskurve und der Plasmastrom wird schnell von den
Kapillarwänden vollständig absorbiert.
In den zukünftigen Forschungen ist eine detaillierte Untersuchung im Fall von moleku-
larem Fluss notwendig. ........Erforscht werden soll unter anderem auch nicht stationär
Fall. Dabei soll die mögliche Variation des Drucks in Betracht gezogen werden.

25
6 Danksagung
An dieser Seite möchte ich mich herzlich bei den folgenden Personen bedanken:

• Prof. Dr. Keudell ...

• Dr. Chauvet
• ....
• ....
• Meine Familie .....

27
Bibliography
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0034568778901068 (visited on 08/20/2020).

30
Abbildungsverzeichnis
2.1 Entladung eines kapatitiv gekoppeltes Plasmas [8] . . . . . . . . . . . . . 4
2.2 Dielektrisch behinderte Entladung [13] . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
2.3 Laminares Strömungsprofil [6] . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6
2.4 Massenspektrometer: Pumpstufe und Ionisator [5] . . . . . . . . . . . . . 9
2.5 Aufbau eines Quadrupol-Massenfilters [2] . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9

3.1 Schematische Darstellung des Plasmakanals [11] . . . . . . . . . . . . . . 11

3.2 COMSOL-Modell des Plasmakanals mit dem Netz . . . . . . . . . . . . . 11
3.3 Physikalische Interfaces, die für das zu simulierende Problem verwendet
werden . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12

4.1 Konzentration von CO2 entlang des Gaskanals beim Kapillardruck p =

10 Pa mit verschiedenen Netzen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16
4.2 Geschwindigkeitsverteilung des Gasflusses im Samplingrohr . . . . . . . . 17
4.3 Konzentration der Spezies entlang des Gaskanals . . . . . . . . . . . . . . 20
4.4 Konzentration der Spezies im Samplingrohr . . . . . . . . . . . . . . . . 21
4.5 Konzentration der Spezies im Samplingrohr . . . . . . . . . . . . . . . . 22
4.6 Massenspektrometrische Messungen der Intensität des Signals verschiede-
ner Spezies je nach Position im Gaskanal, ohne Entladung . . . . . . . . 23
4.7 Massenspektrometrische Messungen der Intensität des Signals verschiede-
ner Spezies je nach Position im Gaskanal, mit Entladung . . . . . . . . . 24

31
Erklärung
Hiermit erkläre ich, dass ich die vorliegende Masterarbeit selbständig verfasst und keine
anderen als die angegebenen Quellen und Hilfsmittel benutzt habe.
Alle Stellen, die wörtlich oder sinngemäß aus Veröffentlichungen entnommen sind, sind
als solche kenntlich gemacht.
Die Arbeit ist noch nicht veröffentlicht und ist in ähnlicher oder gleicher Weise noch
nicht als Prüfungsleistung zur Anerkennung oder Bewertung vorgelegt worden.
Rostock, den 11. September 2020

7cm3cmUnterschrift