Kapitel 4: Dehnungsmessstreifen (DMS)

Sensor-, Aktortechnik (SA)

Prof. Dr. Jan Watzlaw

 Vorlesungsunterlagen

▪ Inhalte
▪ Als Grundlage dienen die Vorlesungsfolien von Prof. Dr. Ulrich Hahn, die er
freundlicherweise weiterhin für diese Veranstaltung zur Verfügung stellt
▪ Folien für dieses Kapitel sind unter nachfolgendem Link verfügbar:
DMS.pdf

▪ Hinweise zum Selbststudium

▪ Die Vorlesungsfolien sind ursprünglich für eine Präsenzveranstaltung
ausgearbeitet worden, bei der zusätzliche Erläuterungen erfolgen
▪ Zum Selbststudium werden zusätzliche Erläuterungen und detaillierte
Literaturangaben in Form der vorliegenden Hilfsblätter bereitgestellt
▪ Das eigenständige Studium der begleitenden Literatur wird generell nicht nur
dringend empfohlen, sondern als notwendig vorausgesetzt
▪ Selbstverständlich ist die empfohlene Literatur für alle Studierenden im
Hochschulnetz (auch z.B. von zu Hause via VPN) als eBook frei zugänglich

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 Gliederung

▪ Dehnungsmessstreifen (DMS)
▪ Grundlagen
− Widerstand eines Drahtes
− Widerstandsänderung durch geometrische Deformation (Längen- und
Querschnittsänderung) und Änderung des spezifischen elektrischen Widerstandes
▪ Ausführungsformen, Fertigung und charakteristische Eigenschaften
− Metalldraht-DMS
− Metallfolien-DMS
− Metalldünnschicht-DMS
− Halbleiter-DMS
▪ Einflussgrößen bei der Messung (Fehlerquellen und Störeinflüsse)
▪ Montage mittels Kleber
▪ Messschaltungen
− Abgleich- und Ausschlagverfahren
− Messbrücken: Viertel / Halb / Voll
− Speisung: Konstant (Strom / Spannung) / Wechselspannung (Trägerfrequenz)
− Korrekturschaltungen
▪ Einsatzgebiete
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 Literatur und Lernziele

▪ Erforderliche Literatur zum Selbststudium (wesentliche Quelle!) g

▪ [Schiessle] Kapitel 2: Auszüge aus Abschnitt 2.2.1
▪ [Hesse] Kapitel 3: Auszüge aus Abschnitten 3.1 und 3.2
▪ [Tränkler] Kapitel 9: Anfänge von Abschnitten 9.3.3 und 9.3.4
▪ [Gevatter] Teil B „Sensoren“, Kapitel 1: Abschnitte 1.2.2.1 und 1.2.2.2
► Nähere Erläuterungen: Nachfolgende Hilfsblätter

▪ Lernziele
 Sie verstehen die auf den Folien genannten Begriffe und Zusammenhänge
 Sie können die auf den Folien genannten Begriffe und Zusammenhänge erklären

▪ Anmerkung
▪ Die Ausführungen in den Literaturquellen gehen an einigen Stellen weiter als die
genannten Begriffe und Zusammenhänge auf den Folien, können aber zum
tieferen Verständnis hilfreich sein

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 Hilfsblätter I

▪ Erläuterungen und Literaturangaben

▪ Folien 2 bis 5: DMS: Grundlagen
− [Schiessle] Kapitel 2: Abschnitt 2.2.1: Unterabschnitt „Grundlagen“
− [Hesse] Kapitel 3: Anfang von Abschnitt 3.1
− [Tränkler] Kapitel 9: Anfang von Abschnitt 9.3.3, Anfang von Abschnitt 9.3.4
− [Gevatter] Teil B „Sensoren“, Kapitel 1: Abschnitt 1.2.2.1
− Ergänzende Zusammenhänge zu den Vorlesungsfolien (siehe auch Literaturquellen):
𝜎mech
► Hooke‘sches Gesetz: 𝐸 = = const. im elastischen Bereich (Hooke‘scher Bereich)
𝜀
► Elastizitätsmodul 𝐸
d𝑙∆𝑙
► Mechanische Dehnung 𝜀 = ≈
(Länge 𝑙)
𝑙 𝑙
𝐹
► Mechanische Spannung 𝜎mech = 𝐴 (Kraftwirkung 𝐹 senkrecht zu Querschnittsfläche 𝐴)
d𝐷 ∆𝐷
► Querkontraktion 𝜀q = −𝜈 ∙ 𝜀 = ≈
𝐷 𝐷
► Querkontraktionszahl 𝜈 (Alternative Bezeichnung: Poissonzahl; alternatives Formelzeichen: 𝜇)
► Durchmesser 𝐷 (Annahme eines zylindrischen Draht-Körpers)
► Von der Messgröße (Kraft, Moment, etc.) zum elektrischen Signal
► Schritt 1: Von der Messgröße zur Dehnung → Mechanischer Federkörper (Bauteil)
► Schritt 2: Von der Dehnung zur Widerstandsänderung → DMS auf Bauteil (Verbindung)
► Schritt 3: Von der Widerstandsänderung zur elektrischen Spannung → Messbrücke

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 Hilfsblätter II

▪ Erläuterungen und Literaturangaben

▪ Folien 6 bis 11: DMS: Ausführungsformen, Fertigung, Charakteristika
− [Schiessle] Kapitel 2: Abschnitt 2.2.1: Vom Unterabschnitt „Technischer Aufbau von
Metall-DMS und Halbleiter-DMS“ bis Unterabschnitt „Halbleiter-DMS (HL-DMS) für den
longitudinalen piezoresistiven Effekt“ (einschließlich)
Änderung des − [Hesse] Kapitel 3: Anfang von Abschnitt 3.1 (z.B. auch Abbildung 3.4)
Widerstandes ∆𝑅 − [Tränkler] Kapitel 9: Abschnitt 9.3.3: Unterabschnitt „Bauformen von DMS“
unter axialer
− [Gevatter] Teil B „Sensoren“, Kapitel 1: Abschnitt 1.2.2.2
Kraftwirkung 𝐹
durch Änderung ► Metalldraht-DMS
der Geometrie ► Metallfolien-DMS → Geometrischer Effekt dominant (∆𝑙 , ∆𝐴)
(∆𝑙, ∆𝐴) ► Metalldünnschicht-DMS
und ► Halbleiter-DMS → Festkörperphysikalischer Effekt (∆𝜌) dominant
Änderung des
► Longitudinaler piezoresisitiver Effekt: Änderung des spezifischen Widerstandes 𝜌 durch
spezifischen Änderung der Elektronenbeweglichkeit 𝜇 und dies wiederum durch Änderung in der
elektrischen Bandstruktur
Widerstandes (∆𝜌) ► Deutlich größere 𝑘-Faktoren als bei Metallen
► Schlechtere Nichtlinearität als bei Metallen
Folie 11 (siehe [Schiessle] Bild 2.16)
► p-Dotierung: Positiver 𝑘-Faktor
► n-Dotierung: Negativer 𝑘-Faktor

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 Hilfsblätter III

▪ Erläuterungen und Literaturangaben

▪ Folien 12 bis 16: DMS: Einflussgrößen
− [Schiessle] Kapitel 2: Abschnitt 2.2.1: Vom Unterabschnitt „Messtechnische
Eigenschaften“ bis Unterabschnitt „Zusammenstellung der wichtigsten DMS-
Eigenschaften“ (einschließlich)
► Nichtlinearität des 𝑘-Faktors
► Querempfindlichkeit
► Dauerschwingverhalten
► Kriechen
► Grenzfrequenz
► Temperatureinfluss (Folie 15: Lineare Temperaturkoeffizienten 𝛼)
▪ Folie 17: DMS: Montage mittels Kleber
− [Schiessle] Kapitel 2: Abschnitt 2.2.1: Unterabschnitt „Applikationstechniken“
▪ Folien 18 bis 20: DMS: Messschaltungen
− [Schiessle] Kapitel 2: Abschnitt 2.2.1: Vom Unterabschnitt „Elektrische Signalanpassung
und elektronische Signalverarbeitung“ bis Unterabschnitt „Trägerfrequenzverstärker (TF-
Verstärker“ (einschließlich) → Anmerkungen dazu:
► Messbrückenschaltungen müssen von Ihnen angewendet werden können (→ Übung)
► Beim Trägerfrequenzverfahren ist das Verständnis des Messprinzips ausreichend
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 Hilfsblätter IV

▪ Erläuterungen und Literaturangaben

▪ Folie 21: DMS: Korrekturschaltungen
− [Hesse] Kapitel 3: Abschnitt 3.1: Abbildung 3.10 und zugehörige Erläuterungen
▪ Folie 22: DMS: Fehlerquellen und Störeinflüsse
► Übersicht über mögliche Fehlerquellen und Störeinflüsse
▪ Folie 23: DMS: Einsatzgebiete
− [Hesse] Kapitel 3: Abschnitt 3.1: Abbildung 3.5 und zugehörige Erläuterungen
► Übersicht über Verformungskörper zur Messung von Kräften und Drehmomenten
▪ Folie 24: DMS: Einsatzgebiete
− [Hesse] Kapitel 3: Abschnitt 3.1: Abbildung 3.11 und zugehörige Erläuterungen
► Biegebalken als Verformungskörper
▪ Folie 25: DMS: Einsatzgebiete
− [Hesse] Kapitel 3: Abschnitt 3.1: Abbildung 3.9 und zugehörige Erläuterungen
► Kraftsensor mit geformtem Biegekörper
▪ Folie 26: DMS: Einsatzgebiete
− [Hesse] Kapitel 3: Abschnitt 3.2: Tabelle 3.2 und zugehörige Erläuterungen
► Messung von Drehmomenten

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 Hilfsblätter V

▪ Erläuterungen und Literaturangaben

▪ Folie 27: DMS: Einsatzgebiete
− [Hesse] Kapitel 3: Abschnitt 3.1: Abbildungen 3.14 / 3.15 und zugehörige Erläuterungen
► Verformungskörper zur Erfassung von 3 Kraft- und 3 Momenten-Komponenten
(Robotertechnik)

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