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1.2 Lizenz
Da ich selbst überwiegend freie Software nutze und somit von der mir kostenlos zur Verfügung gestellten Arbeit
anderer profitiere, stelle ich dieses Skript ebenfalls unter eine freie Lizenz, sodass auch andere von meiner Ar-
beit profitieren können. Wer zur Bearbeitung die Originaldateien (OpenOffice, EAGLE) benötigt, kann diese bei
mir per E-Mail anfordern.
Dieses Skript steht unter der Lizenz (CC BY-SA 4.0).
Sie dürfen:
● Das Werk bzw. den Inhalt vervielfältigen, verbreiten und öffentlich zugänglich machen.
● Abwandlungen und Bearbeitungen des Werkes bzw. Inhaltes anfertigen
● Das Werk kommerziell nutzen.
● Der Name des Autors muss dabei erhalten bleiben.
Die Details dazu finden Sie auf: http://creativecommons.org/licenses/by-sa/4.0/de/legalcode
1.3 Autor
Gerald Kollenda
Ortsstraße 20
91466 Gerhardshofen
ing_g_kollenda@t-online.de
Inhaltsverzeichnis
1 Quellen, Literatur, Lizenz................................................................................................................................................1
1.1 Quellen und Literatur..............................................................................................................................................1
1.2 Lizenz.......................................................................................................................................................................1
1.3 Autor.........................................................................................................................................................................1
1.4 Ziel dieses Skripts..................................................................................................................................................1
2 Einführung in Elektronik..................................................................................................................................................2
2.1 Halbleiter.................................................................................................................................................................2
2.2 Der Atomaufbau......................................................................................................................................................2
2.3 Silizium-Einkristall..................................................................................................................................................3
2.4 Dotieren...................................................................................................................................................................4
2.5 Dotierter Einkristall mit mehren Zonen.................................................................................................................5
2.6 Eigenleitung.............................................................................................................................................................5
2.7 Ältere Halbleitermaterialien...................................................................................................................................6
2.8 Videos zu Chipfertigung.........................................................................................................................................6
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Kollenda Elektronik Einführung 07.09.22
2 Einführung in Elektronik
Was ist Elektronik? Als Elektronik bezeichnete man früher nur elektrische Schaltungen, die zur Erfüllung ihrer
Funktion Elektronen im Vakuum nutzten. Das ist heute nur noch selten der Fall, Elektronenröhren sind heute
nur noch in sehr speziellen Anwendungen üblich.
Wer über diese alte Version von Elektronik etwas nachlesen möchte, wird z. B. hier fündig:
https://de.wikipedia.org/wiki/Elektronenröhre
2.1 Halbleiter
Heute hat sich dieser Begriff Elektronik stark erweitert. Er umfasst auch Bauteile, bei denen sich Ladungs-
träger in bestimmten Kristallgittern bewegen. Für die Herstellung von elektronischen Bauteilen (d. h. Dioden,
Transistoren u. Ä.) eignen sich bestimmte Materialien besonders gut. Diese sehr gut geeigneten Halbleitermate-
rialien befinden sich in der IV. Hauptgruppe des Periodensystems. Es sind die Elemente Silizium (Si) und Ger-
manium (Ge). Da diese Halbleiter nur aus einem Element bestehen, bezeichnet man sie auch als Element-
halbleiter.
Neben den Elementhalbleitern gibt es auch Halbleiter, die sich aus mehreren Elementen zusammensetzen, die-
se nennt man Verbindungshalbleiter. Dazu gehören Verbindungshalbleiter aus den Gruppen III und V Galli-
um-Arsenid (GaAs) (LEDs etc.), Indium-Phosphid (InP) und weitere, sowie Verbindungshalbleiter aus den
Gruppen II und VI Cadmium-Sulfid (CdS), Cadmium-Selenid (CdSe) (Fotowiderstände, bestimmte Solarzellen).
Ebenfalls ein Verbindungshalbleiter ist das Siliziumkarbid aus Silizium und Kohlenstoff, das in bestimmten
LEDs und in Leistungsbauteilen eingesetzt wird.
Wie werden und im Folgenden hauptsächlich mit Silizium als Halbleiter beschäftigen. Silizium ist das zur Zeit
(2022) am häufigsten eingesetzte Halbleitermaterial.
Worin unterscheiden sich Isolator, Halbleiter und Leiter? Isolatoren lassen (nahezu) keinen elektrischen
Strom fließen, solange eine bestimmte Feldstärke nicht überschritten wird. Sie bestehen z. B. aus Keramik,
Kunststoffen, Glas etc. Leiter lassen elektrischen Strom gut fließen, die häufigsten Leiter sind Metalle. Halblei-
ter sind wandlungsfähig. Sie können sowohl relativ gut isolieren, als auch relativ gut leiten. Wie das funktio-
niert, werden wir gleich kennenlernen.
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2.3 Silizium-Einkristall
Wir sehen, dass Silizium in der IV. Hauptgruppe steht. Es hat also 4 Elektronen in der Außenschale. Die
Elektronen ordnen sich wie bei einem Tetraeder an, das Kristallgitter sieht in 3D wie links gezeigt. Für unsere
Erklärungen greifen wir aber zu einer 2D-Darstellung (rechts). Wir sehen, dass jedes Silizium-Atom mit 8 Elek-
tronen ausgestattet ist: 4 eigene und von jedem Nachbarn ein ausgeborgtes Elektron. Dies bezeichnet man als
Atombindung.
Si Si Si Si Si Si Si
Si Si Si Si Si Si Si
Si Si Si Si Si Si Si
Si Si Si Si Si Si Si
Si Si Si Si Si Si Si
Silizium-Kristallgitter.
Quelle: By Ben Mills - Own work, Public Do- Silizium-Kristallgitter in 2D-Darstellung
main, https://commons.wikimedia.org/w/in-
dex.php?curid=2722584
Das dargestellte Kristallgitter stellt einen Einkristall dar. Ein Einkristall ist ein Kristall, bei dem alle Atome regel-
mäßig angeordnet sind. Dies ist nicht der Normalfall, sondern muss durch aufwendige Kristallzüchtung er-
reicht werden. Normalerweise bilden sich mehrere Kristalle, die dann miteinander verwachsen. Dies kann man
im Bild Bergkristall sehen: Mehrere einzelne Einkristalle sind zufällig zusammengewachsen. An diesen zu-
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2.4 Dotieren
Unser Silizium-Einkristall allein zeigt noch kein besonders interessantes Verhalten. Interessant wird es, wenn
wir in den Einkristall gezielt eine geringe Menge von Fremdatomen einbringen. Diesen Vorgang bezeichnet man
als dotieren.
Si Si Si Si Si Si Si Si Si Si Si Si Si Si
Si P Si Si Si Si Si Si B Si Si Si Si Si
Si Si Si Si Si Si Si Si Si Si Si Si Si Si
Si Si Si Si Si P Si Si Si Si Si Si B Si
Si Si Si Si Si Si Si Si Si Si Si Si Si Si
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Si B Si Si Si Si Si spannungslos
P-Dotierung
Si Si Si Si Si Si Si
Si Si Si Si Si B Si
+ + + + +
Si Si Si Si Si Si Si
P
Si Si Si Si Si Si Si
+ + + +
Si P Si Si Si Si Si
N-Dotierung
- - - -
N
Si Si Si Si Si Si Si
Si Si Si Si Si P Si - - - - -
Si Si Si Si Si Si Si
Links haben wir jetzt einen Einkristall mit einem p-dotierten Bereich und einem n-dotierten Bereich. Dieser
stellt im Grundsatz eine Diode dar. Wenn wir die Funktion erklären wollen, wäre es umständlich, jedes Mal ein
Kristallgitter zeichnen zu müssen. Deshalb vereinfachen wir die Darstellung und zeigen nur die freien La-
dungsträger, die zur Erklärung der Funktion von Halbleiterbauelementen gut ausreichen. Dies ist in der rech-
ten Grafik dargestellt, die Sie später im Skript Dioden wieder finden werden. Zusätzlich sind bei der rechten
Grafik die Anschlüsse dargestellt, über die wir den Strom zu und abführen können.
2.6 Eigenleitung
Neben der erwünschten Stromleitung durch Dotie-
ren gibt es noch einen weiteren Mechanismus, der
I II III VI bei Halbleitermaterialien auftritt: die Eigenleitung.
n
Störstellen-
reserve
fließt, hängt von der Temperatur ab. Am absolu-
im Leitungsband
intrinsischer
Für uns ist es wichtig, dass die Eigenleitung we-
Halbleiter
sentlich kleiner (etliche Größenordnungen) als
die durch Dotierung gewünschte Leitfähigkeit
(Kurve Störstellenerschöpfung) unseres dotierten
0 100 200 300 400 500 600 700 800 900
Halbleiters bleibt. Eine zu große Eigenleitung be-
Temperatur in Kelvin deutet, dass ein gesperrtes Bauteil einen unzu-
Von Cepheiden - Eigenes Werk, Gemeinfrei, https://com- lässig hohen Strom fließen lässt. Das kann so-
mons.wikimedia.org/w/index.php?curid=6362324 wohl für die Funktion der Schaltung als auch für
das Bauteil selbst (Selbsterwärmung durch den
Sperrstrom) ein Problem darstellen.
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Für die Bauteile aus Silizium stellt ein Betrieb bei Temperaturen zwischen etwa -50 °C (ca. 220 K) und +150 °C
(ca. 420 K), eventuell auch +200 °C (ca. 470 K) meist noch kein größeres Problem dar.
2.9 Schaltungssimulation
Die Firma Linear Technology hat bereits vor etlichen Jahren einen leistungsfähigen und kostenlosen Schal-
tungssimulator entwickelt, der für alle relevanten Betriebssysteme geeignet ist. (Unter Linux lässt er sich mit
Wine betreiben). Mittlerweile hat Analog Devices die Firma Linear Technology aufgekauft. Er ist unter folgender
URL verfügbar:
https://www.analog.com/en/design-center/design-tools-and-calculators/ltspice-simulator.html
Wir werden ihn im Unterricht ab und zu verwenden, um das Verhalten unserer Schaltungen zu untersuchen. Die
Schaltbilder aus dem Unterricht stehen zusammen mit den Skripten zur Verfügung. Damit lassen sich die Unter-
richtsthemen zu Hause nochmals nachvollziehen.
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