VDI VDE 2617-6.2 Accuracy of CMMs - Guideline For The Application of ISO 10360 To CMMs With Optical Distance Sensors

ICS 17.040.
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VDI/VDE-RICHTLINIEN
Genauigkeit von Koordinatenmessgerten Kenngren und deren Prfung Leitfaden zur Anwendung von DIN EN ISO 10 360 fr Koordinatenmessgerte mit optischen Abstandssensoren Accuracy of coordinate measuring machines Characteristics and their testing Guideline for the application of DIN EN ISO 10 360 to coordinate measuring machines with optical distance sensors
Oktober 2005 October 2005
VEREIN DEUTSCHER INGENIEURE VERBAND DER ELEKTROTECHNIK ELEKTRONIK INFORMATIONSTECHNIK

Frhere Ausgabe: 2.99; 10.04 Entwurf Former edition: 2/99; 10/04 Draft
VDI/VDE 2617
Blatt 6.2 / Part 6.2
Zu beziehen durch / Available from Beuth Verlag GmbH, 10772 Berlin Alle Rechte vorbehalten / All rights reserved Verein Deutscher Ingenieure, Dsseldorf 2005
Ausg. deutsch/englisch Issue German/English
Die deutsche Version dieser Richtlinie ist verbindlich.
The German version of this guideline shall be taken as authoritative. No guarantee can be given with respect to the English translation.
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Normen-Download-Beuth-General Dynamics-European Land Systems Santa Barbara Sistemas-KdNr.7518212-LfNr.5321525001-2011-05-04 16:41
Vorbemerkung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
1 Zweck und Geltungsbereich . . . . . . . . . . 2 Sensorarten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3 Funktionsbeschreibung . . . . . . . . . . . .
2 3 4
Preliminary note . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2
1 Objective and scope . . . . . . . . . . . . . . . 3 2 Types of sensors . . . . . . . . . . . . . . . . . 4 3 Functioning . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4
4 3.1 1-D-Verfahren . . . . . . . . . . . . . . . . 4 3.2 2-D-Verfahren . . . . . . . . . . . . . . . . 9 3.3 3-D-Verfahren . . . . . . . . . . . . . . . . 11
3.1 One-dimensional methods . . . . . . . . . . 4 3.2 Two-dimensional methods . . . . . . . . . . 9 3.3 Three-dimensional methods . . . . . . . . . 11

4 Symbols and definitions. . . . . . . . . . . . . 11 5 Acceptance testing . . . . . . . . . . . . . . . 13
4 Formelzeichen und Begriffe . . . . . . . . . . 11 5 Annahmeprfung . . . . . . . . . . . . . . . . 13
5.1. Antastabweichung . . . . . . . . . . 5.1.1 Prfkrper. . . . . . . . . . . 5.1.2 Definitionen der Kenngren 5.1.3 Durchfhrung . . . . . . . . . 5.1.4 Auswertung . . . . . . . . . . 5.2 Lngenmessabweichung. . . . . . . 5.2.1 Prfkrper. . . . . . . . . . . 5.2.2 Definition der Kenngre . . 5.2.3 Durchfhrung . . . . . . . . . 5.2.4 Auswertung: . . . . . . . . .
. . . . . . . . . .
. . . . . . . . . .
. . . . . . . . . .
. . . . . . . . . .
14 15 15 16 16 17 17 18 18 21
5.1 Probing error . . . . . . . . . . . . . . 5.1.1 Artefacts . . . . . . . . . . . . . . 5.1.2 Definition of the characteristics . . 5.1.3 Procedure . . . . . . . . . . . . . 5.1.4 Evaluation . . . . . . . . . . . . . 5.2 Error of indication for size measurement 5.2.1 Artefacts . . . . . . . . . . . . . . 5.2.2 Definition of characteristic . . . . 5.2.3 Procedure . . . . . . . . . . . . . 5.2.4 Evaluation . . . . . . . . . . . . .
. . . . . . . . . .
. 14 . 15 . 15 . 16 . 16 . 17 . 17 . 18 . 18 . 21
VDI/VDE-Gesellschaft Mess- und Automatisierungstechnik (GMA)

Fachausschuss Koordinatenmesstechnik
VDI/VDE-Handbuch Mess-und Automatisierungstechnik, Band 2: Fertigungstechnisches Messen VDI/VDE-Handbuch Optische Technologien VDI/VDE-Handbuch Mikro- und Feinwerktechnik VDI-Handbuch Betriebstechnik, Teil 3
Vervielfltigung auch fr innerbetriebliche Zwecke nicht gestattet / Reproduction even for internal use not permitted
VDI/VDE 2617 Blatt 6.2 / Part 6.2

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All rights reserved Verein Deutscher Ingenieure, Dsseldorf 2005
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6 berwachung . . . . . . . . . . . . . . . . . . 24
6 Reverification. . . . . . . . . . . . . . . . . . . 24
6.1 Prfkrper . . . . . . . . . . . . . . . . . . 25 6.2 Durchfhrung . . . . . . . . . . . . . . . . 25 6.3 Auswertung . . . . . . . . . . . . . . . . 25 Schrifttum . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 25

Anhang Strukturauflsung . . . . . . . . . . . . 26
6.1 Artefact . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 25 6.2 Procedure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 25 6.3 Evaluation . . . . . . . . . . . . . . . . . . 25 Bibliography . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 25

Annex
Structural resolution . . . . . . . . . . . 26
Vorbemerkung In der Richtlinie VDI/VDE 2617 sind Kenngren zur Beschreibung der Genauigkeit von Koordinatenmessgerten (KMG) festgelegt und Verfahren zu ihrer Prfung beschrieben. Die Richtlinie besteht aus folgenden Blttern:
Preliminary note The guideline VDI/VDE 2617 specifies characteristics serving to describe the accuracy of coordinate measuring machines (CMMs) and describes methods for testing these characteristics. The guideline consists of the following parts:
Blatt 1 Blatt 2.1
Blatt 2.2 Blatt 2.3
Grundlagen Leitfaden zur Anwendung von DIN EN ISO 10 360-2 zur Messung von Lngenmaen Formmessung Annahme- und Besttigungsprfung von Koordinatenmessgerten groer Bauart Komponenten der Messabweichung des Gertes Leitfaden zur Anwendung von DIN EN ISO 10 360-3 fr Koordinatenmessgerte mit Drehtisch
Part 1 Part 2.1
Part 2.2 Part 2.3
Blatt 3 Blatt 4
Part 3 Part 4
Blatt 5 Blatt 5.1 Blatt 6.1
berwachung durch Prfkrper berwachung mit Kugelplatten Leitfaden zur Anwendung von DIN EN ISO 10360 fr Koordinatenmessgerte mit optischen Sensoren fr laterale Strukturen Blatt 6.2 Leitfaden zur Anwendung von DIN EN ISO 10 360 fr Koordinatenmessgerte mit optischen Abstandssensoren Blatt 7 Ermittlung der Unsicherheit von Messungen auf Koordinatenmessgerten durch Simulation Blatt 8 Prfprozesseignung von Messungen mit Koordinatenmessgerten (in Vorbereitung) Blatt 9 Gelenkarm-Koordinatenmessgerte (in Vorbereitung) Blatt 10 Multisensor-Koordinatenmessgerte (in Vorbereitung)
Part 5 Part 5.1 Part 6.1
Part 6.2
Part 7
Part 8
Part 9 Part 10
Basics Code of practice for the application of DIN EN ISO 10 360-2 for length measurement Form measurement Acceptance and reverification test for coordinate measuring machines of large dimensions Components of measurement deviation of the machine Manual for the use of DIN EN ISO 10 360-3 for coordinate measuring machines with additional axes of rotation Interim check with artefacts Interim check with ball plates Guideline for the application of DIN EN ISO 10360 to coordinate measuring machines with optical sensors for lateral stuctures Guideline for the application of DIN EN ISO 10 360 to coordinate measuring machines with optical distance sensors Estimation of measurement uncertainty of coordinate measuring machines by means of simulation Suitability of measurements using coordinate measuring machines for test procedures (in preparation) Coordinate measuring machines with articulating arm (in preparation) Multisensor coordinate measuring machines
Alle Rechte vorbehalten Verein Deutscher Ingenieure, Dsseldorf 2005
1 Zweck und Geltungsbereich Zweck dieser Richtlinie ist es, fr Koordinatenmessgerte Spezifikationen und Verfahren zu deren Prfung zu definieren. Hierbei wird die Vergleichbarkeit der Kenngren von Koordinatenmessgerten mit taktilen und mit optischen Sensoren sichergestellt.
1 Objective and scope This guideline is intended to give specifications for coordinate measuring machines and define methods for the testing of these instruments. Comparability of the characteristics of coordinate measuring machines with tactile and optical sensors is ensured.
Der Geltungsbereich bezieht sich auf Koordinatenmessgerte jeglicher Bauart mit optischen 1-D-, 2-Doder 3-D-Abstandssensoren. Die Sensoren knnen ber Zusatzeinrichtungen auch dreh- oder schwenkbar sein. Funktionsweise und Besonderheiten der Sensoren werden erlutert. In enger Anlehnung an DIN EN ISO 10 360-2 werden die Verfahren fr die Annahmeprfung und fr die berwachung der Lngenmessabweichung und der Antastabweichung mit optischen Abstandssensoren definiert. Die Normenreihe DIN EN ISO 10 360 ist in der bisher vorliegenden Form sehr stark an taktilen Sensoren orientiert. Deshalb legt diese Richtlinie fr die Anwendung optischer Sensoren notwendige Ergnzungen fest: alternativ zu Endmaen verwendbare Normale Vergleichbarkeit der Kenngren bei Verwendung von alternativen Normalen (beispielsweise mit kugelfrmigen Begrenzungsflchen) Vergleichbarkeit der Kenngren bei sensorabhngig unterschiedlichen Antaststrategien (unterschiedliche Punkteanzahl, Abdeckungsgrad der anzutastenden Elemente, Nutzung von Zusatzeinrichtungen wie Dreh-/Schwenkeinrichtungen) Definition der Kenngren fr unterschiedliche Betriebsbedingungen Hinweise zum Umgang mit Einflussgren wie Umgebungsbedingungen, mathematischen Filtern und der Oberflchenbeschaffenheit der Prfkrper Zur Spezifikation und berprfung von optischen Sensoren werden Richtlinien durch OSIS-Arbeitsgruppen (Optical Sensor Interface Standard) definiert. Diese finden bei der Zusammenarbeit von Sensor- und Gerteherstellern bei der Systemintegration Anwendung. Sie kommen nicht fr die Spezifikation und berprfung von Koordinatenmessgerten im Verhltnis zwischen Hersteller und Anwender zum Einsatz.
The scope includes coordinate measuring machines of any type with optical one-, two-, or three-dimensional distance sensors. Sensors may allow swingand-tilt movements by means of accessories. The functioning and specifics of the sensors are explained. The methods for acceptance testing and reverification of error of indication for size measurement and probing error in optical distance sensors are defined in close harmonisation with DIN EN ISO 10 360-2. In its present form, the DIN EN ISO 10 360 series of standards is dominated to a large extent by tactile sensors. Consequently, this guideline provides the necessary additional specifications for the use of optical sensors: standards to be used as an alternative to gauge blocks comparability of the characteristics where alternative standards are used (having, e.g., spherical boundary surfaces) comparability of the characteristics where probing strategies differ for different sensors (different number of points, differences in coverage of the elements to be probed, use of accessories such as swing-and-tilt equipment) definition of the characteristics for varying operating conditions guidance on how to take into account influencing quantities such as environmental parameters, mathematical filters, and surface characteristics of the artefacts OSIS (Optical Sensor Interface Standard) working groups draft guidelines concerning the specification and testing of optical sensors. These guidelines are used in the cooperation between sensor and instrument manufacturers for the purpose of system integration. No reference is made to them between manufacturers and users when specifying and testing coordinate measuring machines.
Tabelle 1. Optische Sensoren fr Koordinatenmessgerte

3-D-Verfahren (ohne externe Achsen) 2-D-Verfahren (mindestens eine mechanische Achse fr die 3D-Messung) Verfahren mit strukturierter Beleuchtung triangulationsbasierte Verfahren interferometrische Verfahren Fokusverfahren 1-D-Verfahren (mindestens zwei mechanische Achsen fr die 3D-Messung) Lichtschnittverfahren/ Laserscanverfahren Weilichtinterferometrie Konfokalmikroskopie Chromatisches Fokusverfahren Fokusverfahren Laserfokusverfahren Video-Autofokusverfahren triangulationsbasierte Verfahren holographische Verfahren Punkttriangulation holographische Konoskopie
Table 1. Selection of optical sensors for CMMs

Three-dimensional methods (w/o external frame of reference) Two-dimensional methods (involving at least one mechanical axis for three-dimensional measurements) Methods involving structured lighting Methods based on triangulation Interferometric methods Focusing methods One-dimensional methods (involving at least two mechanical axes for three-dimensional measurements) Laser light section/ Laser scanning White-light interferometry Confocal microscopy Chromatic focusing method Focusing methods Laser focusing method Video autofocus method Methods based on triangulation Holographic methods Point triangulation Holographic conoscopy
2 Sensorarten Tabelle 1 zeigt eine Auswahl der fr Koordinatenmessgerte geeigneten optischen Sensoren. Sie wurde nach Dimensionalitt der Sensoren und physikalischem Messprinzip gegliedert.
2 Types of sensors Table 1 below compiles a selection of optical sensors suitable for coordinate measuring machines. The table has been structured according to the number of dimensions of the sensors and the underlying physical principle of measurement.
3 Funktionsbeschreibung
3.1 1-D-Verfahren 3.1.1 Punkttriangulation
3 Functioning
3.1 One-dimensional methods 3.1.1 Point triangulation
Eindimensionale Triangulationssensoren arbeiten messend oder schaltend. Bei der messenden Arbeitsweise wird beispielsweise von der Lage des Lichtschwerpunkts auf dem Detektor des Sensors auf den Abstand zwischen Sensor und angetasteter Messobjektoberflche rckgerechnet. Bei der schaltenden Arbeitsweise wird der Sensor in seiner Messrichtung verfahren, bis der Lichtschwerpunkt durch die optische Achse luft und dadurch ein Schaltsignal erzeugt.
One-dimensional triangulation sensors are of the measuring or switching type. In the case of measuring, e.g., the distance between the sensor and the surface of the test object being probed is calculated from the position of the centre of the light incident on the detector of the sensor. In the case of switching, the entire sensor unit is moved along the direction of measurement until the centre of the light intersects the optical axis, thus generating a trigger signal.
In Bild 1 ist ein Beispiel eines Triangulationssensors dargestellt. Eine Lichtquelle (z.B. Laserdiode) emittiert einen kollimierten Laserstrahl in eine vorgegebene Richtung. Die Strahlachse stellt dabei die Messlinie dar. Der Strahl wird durch die Oberflche des Messobjektes diffus reflektiert. Der so entstandene Lichtfleck wird von einer gegen die Laserstrahlachse geneigten Abbildungsoptik auf einen Positionsdetektor (z.B. eine positionsempfindliche Fotodiode, eine Differenzfotodiode oder eine CCD-Zeile) abgebildet. ndert sich der Abstand zwischen Sensor und Messobjekt um z, so verschiebt sich der abgebildete Lichtfleck auf dem Detektor um h. Der gesuchte Abstand zwischen dem Sensor und dem Messobjekt ergibt sich aus der Position der Schwerpunkts des Lichtflecks auf dem Detektor.
Figure 1 shows an example of a triangulation sensor. A light source (such as a laser diode) emits a collimated laser beam in a specified direction. The beam axis is the measurement line. The surface of the test object causes a diffuse reflection of the light beam. The resulting light spot is projected onto a position detector (such as a position-sensitive photo diode, a differential photo diode, or a linear CCD array) by means of an optical imaging system whose axis is inclined with respect to the laser beam axis. The position of the light spot on the detector changes as the distance between the sensor and the test object changes by z. The sought-for distance between sensor and test object then results from the position of the centre of the light spot on the detector by h.
3.1.2 Holographische Konoskopie

3.1.2 Holographic conoscopy
Die zu messende Objektoberflche wird mit einem Laser punktuell angetastet. Der Laserlichtfleck wird auf der Objektoberflche diffus gestreut und stellt eine Punktlichtquelle fr das Messsystem dar. Diese Punktlichtquelle wird ber eine Optik aufgeweitet und in einem doppelbrechenden Kristall, welcher sich zwischen zwei zirkular polarisierenden Filtern befindet, in einen ordentlichen und einen auerordentlichen Strahl aufgespaltet. Ordentlicher und auerordentlicher Strahl bilden hinter dem zweiten Polarisationsfilter ein holographisches Muster, welches mit einer CCD-Kamera detektiert wird. Dieses Funktionsprinzip ist in Bild 2 dargestellt. Der Abstand zwischen Sensor und Messobjekt wird aus dem Interferenzmuster ber eine Bildverarbeitung berechnet.
The object surface to be measured is probed by a laser point. The laser light spot is diffusely reflected by the object surface, forming a point light source for the measuring system. The light cone originating in this point light source is widened by an optical system, and split into an ordinary and an extraordinary beam by a birefractive crystal arranged between two circular polarisers. Having passed the second polariser, the ordinary and extraordinary beams superimpose to give a holographic pattern that can be detected by means of a CCD camera. The principle of functioning is illustrated in Figure 2. The distance between sensor and test object is calculated from the interference fringes as determined by image processing.
Bild 1. Funktionsprinzip der Punkttriangulation
Fig. 1. Principle of functioning underlying point triangulation
Bild 2. Funktionsprinzip der holographischen Konoskopie
Fig. 2. Principle of functioning underlying holographic conoscopy
3.1.3 Chromatisches Fokusverfahren
3.1.3 Chromatic focusing method
Beim chromatischen Sensor (Bild 3) wird Weilicht mittels einer Linse fokussiert. Durch die chromatische Aberration der Linse kommt es nicht zu einem definierten Fokuspunkt hinter der Linse, sondern vielmehr zu einer Fokuslinie in Abhngigkeit der Wellenlnge des Lichts. Die unterschiedlichen Farbanteile des weien Lichts werden somit in unterschiedlichen axialen Abstnden vom Sensor fokussiert und knnen mit einem Spektrometer detektiert werden. Die Abstandsinformation des chromatischen Sensors wird aus der spektrometrisch detektierten Wellenlnge berechnet.
The chromatic sensor (Figure 3) focuses white light using a lens. Due to chromatic aberration of the lens, rather than being collected in a focal point behind the lens, the light is focused in a focal line depending on the wavelength of the light. The different colour components of white light are therefore focused at different distances from the sensor and can be detected using a spectrometer. The distance information of the chromatic sensor is determined from the wavelength as detected by the spectrometer.
Bild 3. Funktionsprinzip des chromatischen Fokusverfahrens
Fig. 3. Principle of functioning underlying the chromatic focusing method

3.1.4 Foucault method
3.1.4 Foucault-Verfahren
Das Foucault-Verfahren ist in Bild 4 dargestellt. Ein Laserstrahl, z.B. aus einer Laserdiode, wird auf die Oberflche des Messobjektes fokussiert. Der diffus reflektierte Lichtfleck wird ber einen Strahlteiler auf einen Detektor (meist eine Anordnung von Differenzdioden) abgebildet. Durch Einfhrung einer Schneide oder eines Biprismas in den Strahlengang wird ein Teil des Lichtstrahls ausgeblendet, sodass der Strahl asymmetrisch wird. Dies fhrt zu einem Signal in der Differenzdiode, wenn sich die Oberflche des angetasteten Messobjekts auerhalb des Sensorfokus befindet. Aus dem Detektorsignal knnen direkt die Abstandsnderungen zwischen dem Messobjekt und dem Sensor ermittelt werden (messender Sensor). Das Detektorsignal kann aber auch als Stellsignal innerhalb eines Regelvorgangs zum Fokussieren der Abbildungsoptik oder des gesamten Sensors verwendet und so ein Scanning realisiert werden. Aus Lage und Orientierung des Sensors im Koordinatensystem des Koordinatenmessgertes lassen sich dann die Messpunkte zur Erfassung der Objektgeometrie bestimmen.
The Foucault method is illustrated in Figure 4. A laser beam, emitted by, e.g., a laser diode, is focused onto the surface of the test object. The diffuse reflection of the light spot is projected via a beam splitter onto a detector (mostly a linear array of differential diodes). An edge or a biprism introduced into the optical path serves to block part of the light beam, making it asymmetrical. This will give rise to a signal in the differential diode as long as the surface of the test object probed does not lie in the focus of the sensor. The detector signal allows for direct determination of the variations in the distance between test object and sensor (measuring sensor). However, the detector signal can also be used as an input signal to control the focusing of the optical imaging system or the sensor as a whole, allowing for scanning of the surface. The position and orientation of the sensor in the frame of reference of the coordinate measuring machine then allows to determine the measurement points for detecting the geometry of the object in question.
Bild 4. Funktionsprinzip des Foucault-Verfahrens
Fig. 4. Principle of functioning underlying the Foucault method
3.1.5 Kontrastfokus-Verfahren
3.1.5 Contrast-focusing method
Kontrastfokus-Verfahren nutzen z.B. CCD-Kameras mit Bildverarbeitungssystemen. Sie ermitteln den Abstand von der Oberflche des Messobjekts durch Fokussieren auf den grten Kontrast (Bildschrfe). Dies geschieht im Allgemeinen durch Relativbewegung zwischen Sensor und Messobjekt in Messrichtung (Bild 5). Dabei werden die Sensorposition sowie ein Bewertungskriterium fr den Kontrast bestimmt. Neben dem Kontrast selbst kann beispielsweise die Kantensteilheit oder das Spektrum der Ortsfrequenzen verwendet werden. Dabei erfolgt diese Bewertung in einem Ausschnitt des Kamerabildfeldes, welcher vom Anwender variabel in der Gre und Position innerhalb des Bildfeldes gewhlt werden kann. Ist die Position des grten Kontrastes erreicht, liegt der gemessene Bildausschnitt in einem bekannten Abstand vor dem Sensor auf dessen optischer Achse. Dieser Abstand wird durch einen Einmessvorgang vorab bestimmt. Zur Erhhung der Auflsung der Abstandsmessung wird hufig eine Bestfit-Kurve in die gemessenen Werte des Kontrastes eingepasst und die Position des Maximums dieser Kurve als interpolierte Sensorposition des Fokuspunktes berechnet. Meist sind die Bildverarbeitungssysteme mit eigenen Beleuchtungsquellen ausgestattet. Um auch Objekte mit kontrastarmen Strukturen mit Video-Autofokussensoren antasten zu knnen, existieren des Weiteren Systeme, die ein kontrastreiches scharfes Muster auf die Objektoberflche projizieren und auf dieses fokussieren.
Contrast-focusing methods are used, e.g., in CCD cameras with image-processing systems. They determine the distance from the surface of the test object by focusing to maximum contrast (image sharpness). This is usually achieved by means of a relative movement along the direction of measurement, between the sensor and the test object (Figure 5). While doing so, the position of the sensor and a weighting criterion for the contrast are determined. In addition to the contrast proper, it is possible to use, e.g., acutance (steepness of an edge) or the spectrum of spatial frequencies. This evaluation is performed for a part of the entire image, whose position and size can be specified by the user. When the position of greatest contrast has been found, the part of the image under evaluation lies on the optical axis of the sensor, at a known distance in front of the same. This distance is determined beforehand by means of calibration. For enhanced resolution of distance measurement, a best match curve is frequently fitted to the measured contrast values, and the position of the maximum of this curve is calculated in terms of an interpolated sensor position of the focal point. Image-processing systems are mostly equipped with their own sources of lighting. Furthermore, in order to allow probing of objects with low-contrast structures by means of video autofocus sensors, systems are used which project a high-contrast, sharp pattern onto the object surface, allowing focusing on this projected pattern.
Bild 5. Funktionsprinzip Kontrastfokus-Verfahren
Fig. 5. Principle of functioning underlying the contrast-focusing method

3.2 Two-dimensional methods 3.2.1 Laser light section
3.2 2-D-Verfahren 3.2.1 Laserlichtschnitt-Verfahren
Das Lichtschnitt-Verfahren (auch LaserscanningVerfahren) beruht auf dem Triangulationsprinzip. Hierbei wird ein Lichtvorhang durch Aufweitung des Laserstrahls mittels einer speziellen Zylinderlinse oder durch einen oszillierenden Spiegel erzeugt. Beim Lichtschnitt-Verfahren wird der von der Punkttriangulation bekannte Zeilensensor durch einen Matrixsensor ersetzt. Mit Hilfe von Bildverarbeitungsalgorithmen wird die Lage der diffus vom Messobjekt rckgestreuten Lichtlinie auf dem Matrixsensor ermittelt. Ein Beispiel eines Laserlichtschnittsensors ist in Bild 6 dargestellt. Die Berechnung des Abstands von Laserlichtschnittsensor zur Messobjektoberflche erfolgt anlog zum Punkttriangulations-Verfahren mit der Erweiterung von der punktuellen zur LinienAuswertung.
Laser light section (or laser scanning) is based on the triangulation principle. By widening a laser beam using a special cylinder lens or an oscillating mirror, a light curtain is generated. For laser light section, the linear CCD array known from point triangulation is replaced by a sensor matrix. Image-processing algorithms are used to determine the position of the light line, diffusely reflected by the test object, on the sensor matrix.
Figure 6 shows an example of a laser light-section sensor design. The distance between the laser lightsection sensor and the test object surface is calculated as for the point triangulation method, extending the evaluation of a point to that of a line.
3.2.2 Weilichtinterferometrie
3.2.2 White-light interferometry
Bei der Weilichtinterferometrie wird das Licht einer Weilichtquelle zunchst ber einen Strahlteiler in den Sensor eingekoppelt. Es durchluft dann ein Mikroskopobjektiv, in das ein Interferometer eingebaut ist. Entspricht die Weglnge des Lichts zwischen Objektiv und Prfling exakt der Weglnge des Lichts im Interferometer, treten Weilichtinterferenzen auf. ber Verstellelemente wird das Objektiv durch den Messbereich verfahren. ber Positionsmessung des Objektivs wird der Weg dabei exakt aufgenommen. Der Ort der Weilichtinterferenz wird fr jedes Pixel separat errechnet und hieraus auf den jeweiligen Messpunkt geschlossen.
In white-light interferometry, the light of a source of white light is first fed into the sensor via a beam splitter, whereupon it passes through a microscope with built-in interferometer. If the path length of the light between lens and test object exactly equals the path length of the light in the interferometer, white-light interference fringes can be seen. The lens is moved over the working range by means of actuators. The displacement of the lens is recorded precisely by means of position sensing. The position of whitelight interference is calculated separately for each pixel, and a conclusion is derived from this with respect to the corresponding measurement point.
Bild 6. Aufbau eines Laserlichtschnittsensors
Fig. 6. Laser light-section sensor design
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Bild 7. Weilichtinterferometer und Weilichtinterferenzstruktur
Fig. 7. White-light interferometer and white-light interference fringes
Bild 7 zeigt das Funktionsprinzip eines Weilichtinterferometers sowie den entsprechenden Intensittsverlauf exemplarisch fr ein Pixel.
Figure 7 shows the principle of functioning of a white-light interferometer, and the light intensity as a function of lens displacement for one pixel.
3.2.3 Konfokalmikroskopie
3.2.3 Confocal microscopy
Bei der konfokalen Mikroskopie (Beispiel siehe Bild 8) wird eine punktfrmige Lichtquelle durch ein Mikroskopobjektiv auf das Messobjekt abgebildet. Liegt das Objekt im Brennpunkt, so wird das Licht vom Messobjekt ber denselben Weg durch das Objektiv hindurch und ber einen Strahlteiler auf einen Detektor reflektiert. Befindet sich das Objekt auerhalb des Brennpunktes, hlt dagegen eine Lochblende das reflektierte Licht vor dem Detektor zurck. Der abgebildete Lichtpunkt wird sehr schnell Punkt fr Punkt und Zeile fr Zeile ber das Objekt bewegt und auf diese Weise eine Messebene abgetastet. Diese laterale Abtastung geschieht mittels rotierender Lochscheiben (Nipkov-Scheiben), mittels Spiegelsystemen oder durch den Einsatz von Mikrospiegelarrays (DMD, digital micromirror device). Anschlieend wird das Objekt in der Hhe geringfgig verfahren und erneut abgetastet. Durch das bereinanderlegen dieser Schichtaufnahmen ergibt sich somit die dreidimensionale Struktur des Objektes.
In confocal microscopy (see Figure 8), a microscope lens is used to project a point light source onto the test object. If the object lies precisely in the focal point, it reflects the light back along the same path through the lens, and via a beam splitter onto a detector. If, on the other hand, the object is out-of-focus, an aperture will prevent the reflected light from reaching the detector. The projected light spot is moved very rapidly across the object, scanning it point by point and line by line, which allows to scan a measurement plane. This lateral scanning is achieved by means of rotating, apertured disks (Nipkov disks), systems of mirrors, or micromirror arrays (DMDs, digital micromirror devices). Finally, the object is slightly adjusted in height, and the surface scanned again. Stacking the sections thus obtained will reveal the three-dimensional structure of the object.
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Bild 8. Prinzipieller Strahlengang bei einem konfokalen Mikroskop
Fig. 8. Schematic of beam path in a confocal microscope
3.3 3-D-Verfahren 3.3.1 Verfahren mit strukturierter Beleuchtung
3.3 Three-dimensional methods 3.3.1 Methods using structured lighting
Ein Verfahren, welches mittels strukturierter Beleuchtung arbeitet, ist die Streifenprojektion. Dies ist ein Triangulations-Verfahren und kann als Erweiterung des Lichtschnitt-Verfahrens betrachtet werden. Bei der Streifenprojektion wird im Vergleich zum Lichtschnittprinzip keine einzelne Linie sondern ein periodisches quidistantes Streifenmuster auf das Messobjekt projiziert. Dies geschieht beispielsweise durch Flssigkristall- oder Mikrospiegelarray-Projektoren. Das durch diffuse Reflexion auf dem Objekt sichtbar werdende Streifenmuster wird von einer CCD-Kamera erfasst, welche unter einem Triangulationswinkel zur Beleuchtungsrichtung angeordnet ist (Bild 9a). Die Hheninformation ist analog zum Punkttriangulations- und Lichtschnitt-Verfahren in der Position der
One method using structured lighting is line projection. This method is actually a triangulation method and can be regarded as an extension of light section. The method consists in projecting a recurrent pattern of equidistant lines, rather than one single line, onto the test object. This is achieved by, e.g., liquid-crystal or micromirror-array projectors. The diffusely reflected line pattern then visible on the object is recorded by a CCD camera aligned at a triangulation angle, , to the axis of lighting (Figure 9a).
As in the point triangulation and light section methods, the height information is contained in the position of
Bild 9. Funktionsprinzip eines Streifenprojektionssystems, bestehend aus Projektor und Kamera (a) sowie Graycode-Verfahren (b) M Projektions- oder Messfeld Fig. 9. Principle of functioning of a line-projection system consisting of projector and camera (a), and Graycode method (b) M projection or working range
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Streifen auf dem CCD-Sensor enthalten. Um eine eindeutige Zuordnung zwischen den projizierten Streifen und den aufgenommenen Streifen zu gewhrleisten, werden die Streifen nacheinander z.B. nach dem Graycodeverfahren (Bild 9b) projiziert. Um genauer auflsen zu knnen werden Phasenschiebetechniken und Subpixeling-Verfahren eingesetzt.
the lines on the CCD sensor. In order to ensure unambiguous allocation of the projected lines to those recorded, the lines are projected serially, e.g. according to the Graycode method (Figure 9b). Enhanced resolution is achieved by using phase-shifting techniques and sub-pixel methods.
4 Formelzeichen und Begriffe Fr die Anwendungen dieser Richtlinie gelten die Definitionen aus DIN EN ISO 10 360-1, DIN EN ISO 14 253-1 und VIM. Ergnzend werden folgende Kenngren fr verschiedene Betriebsarten (Antaststrategien) neu eingefhrt:
4 Symbols and definitions For the purposes of this guideline the definitions of DIN EN ISO 10 360-1, DIN EN ISO 14 253-1, and the VIM apply. Additionally, the following characteristics for different operating modes (probing strategies) are introduced:
Antastabweichung PF Form (form) PF Antastabweichung PF(OT) Antastabweichung unter Verwendung der Koordinatenachsen des Koordinatenmessgertes (optical probing error translatory) PF(OA) Antastabweichung unter zustzlicher Verwendung eines Dreh-Schwenk-Gelenks (optical probing error articulating) PF(OS) Antastabweichung bei Stillstand der Koordinatenachsen (optical probing error static) Antastabweichung PS Ma (size) PS ermittelte Durchmesserabweichung der Prfkugel PS(OT) ermittelte Durchmesserabweichung der Prfkugel unter Verwendung der Koordinatenachsen des Koordinatenmessgertes (optical size error translatory) PS(OA) ermittelte Durchmesserabweichung der Prfkugel unter zustzlicher Verwendung eines Dreh-Schwenk-Gelenks (optical size error articulating) PS(OS) ermittelte Durchmesserabweichung der Prfkugel bei Stillstand der Koordinatenachsen (optical size error static) Lngenmessabweichung E E(OT) Lngenmessabweichung unter Verwendung der Koordinatenachsen des Koordinatenmessgertes (optical error translatory) E(OA) Lngenmessabweichung unter zustzlicher Verwendung eines Dreh-Schwenk-Gelenks (optical error articulating) E(OS) Lngenmessabweichung bei Stillstand der Koordinatenachsen (optical error static)
Probing error PF form PF probing error PF(OT) probing error when using the frame of reference of the coordinate measuring machine (optical probing error translatory) PF(OA) probing error when using an additional articulating system (optical probing error articulating) PF(OS) probing error with frame of reference at rest (optical probing error static) Probing error PS size PS calculated error in the diameter of the test sphere PS(OT) calculated error in the diameter of the test sphere when using the frame of reference of the coordinate measuring machine (optical size error translatory) PS(OA) calculated error in the diameter of the test sphere when using an additional articulating system (optical size error articulating) PS(OS) calculated error in the diameter of the test sphere with frame of reference at rest (optical size error static) Error of indication for size measurement E E(OT) error of indication for size measurement when using the frame of reference of the coordinate measuring machine (error of indication for size measurement translatory) E(OA) error of indication for size measurement when using an additional articulating system (error of indication for size measurement articulating) E(OS) error of indication for size measurement with frame of reference at rest (error of indication for size measurement static)
VDI/VDE 2617 Blatt 6.2 / Part 6.2 Limits MPEXX
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Grenzwerte MPEXX Grenzwert fr die Kenngre XX (maximum permissible error) Dies bedeutet z.B.: MPEPS(OT) ist der Grenzwert fr PS(OT). Hilfsgren maximaler Abstand von Antastpunkten Rmax zum Mittelpunkt der Ausgleichskugel minimaler Abstand von Antastpunkten Rmin zum Mittelpunkt der Ausgleichskugel Da gemessener Durchmesser der Prfkugel kalibrierter Durchmesser der Prfkugel Dr SD Kugelabstandsabweichung La gemessene Lnge des Endmaes Lr kalibrierte Lnge des Endmaes gemessener Kugelabstand Lka Lkr kalibrierter Kugelabstand EE Lngenmessabweichung am kurzen Endma
limit for characteristic XX (maximum permissible error) Example: MPEPS(OT) is the limit for PS(OT).
Additional quantities maximum distance between probing points Rmax and the centre of the regression sphere minimum distance between probing points Rmin and the centre of the regression sphere Da diameter of the test sphere as measured calibrated diameter of the test sphere Dr SD sphere-distance error La length of the gauge block as measured Lr calibrated length of the gauge block ball distance as measured Lka Lkr calibrated ball distance EE error of indication for size measurement of the short gauge block
5 Acceptance testing Acceptance testing serves to verify whether the coordinate measuring machine including the optical sensors complies with the limits for the characteristic values of probing error and error of indication for size measurement as specified by the manufacturer or as agreed by contract. Prior to performance of the tests listed in Section 5.1 and Section 5.2, preparations shall be made as specified in the manufacturers instruction manual. Examples are:
5 Annahmeprfung Die Annahmeprfung dient dazu festzustellen, ob das Koordinatenmessgert mit optischen Sensoren die vom Hersteller spezifizierten bzw. vertraglich vereinbarten Grenzwerte fr die Kenngren von Antastabweichung und Lngenmessabweichung einhlt. Vor der Durchfhrung der in Abschnitt 5.1 und Abschnitt 5.2 angegebenen Prfungen sind die in der Betriebsanleitung des Herstellers festgelegten Vorbereitungen zu treffen, z.B.:
Einschalten und Vorbereiten des Koordinatenmessgertes fr den Messbetrieb Sensor konfigurieren und einmessen ausreichend stabile Befestigung der Prfkrper, mglichst ohne Verformung Die notwendigen Informationen sollten vom Hersteller gegeben werden. Bei den Prfungen mssen die vom Hersteller vorgegebenen Umgebungs- und Betriebsbedingungen eingehalten werden. Filterungen der Messwerte sind nur in dem Umfang zulssig, wie sie fr die zu prfende Kenngre als Randbedingung definiert sind bzw. beim normalen Gebrauch des Gertes eingesetzt werden da hierdurch die Auflsung der Sensoren beeinflusst wird. Die Prfkrper und das Gert mssen die mittlere Temperatur des Messvolumens angenommen haben. Weicht die mittlere Temperatur der Prfkrper und des Koordinatenmessgertes von der Bezugstemperatur nach DIN EN ISO 1 ab, so sind entsprechende Temperaturkorrekturen vorzunehmen, sofern dieses im normalen Gebrauch des Gertes ebenfalls geschieht.
switch on coordinate measuring machine and prepare for measuring operation configure and qualify sensor fix artefacts in a sufficiently stable manner, preferably without deformation The required information should be provided by the manufacturer. During testing, ensure compliance with the environmental and operating conditions specified by the manufacturer. Filtering of measured values, affecting the resolution of the sensors, is only permitted to the extent that is defined as a boundary condition for the characteristic in question, or to the extent used during normal operation of the instrument. The artefacts and the instrument shall be in thermal equilibrium at the average temperature of the measurement volume. Where the average temperature of the artefacts and coordinate measuring machine deviate from the reference temperature specified in DIN EN ISO 1, the pertinent temperature corrections shall be made, provided this is also done during normal operation of the instrument.
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5.1 Antastabweichung
5.1 Probing error
Durch die Antastabweichung wird nach DIN EN ISO 10 360 das dreidimensionale Abweichungsverhalten des Gesamtsystems, bestehend aus Koordinatenmessgert, optischem Abstandssensor und Zusatzeinrichtungen (z.B. Schwenkgelenke), in einem sehr kleinen Messvolumen beschrieben. Hier wird zwischen der Antastabweichung Form (PF) und der Antastabweichung Ma (PS) unterschieden. Der Wert der Antastabweichung eines optischen Koordinatenmessgerts wird von den Abweichungen des Koordinatenmessgerts und im besonderen Mae von den Abweichungen des Sensors bestimmt (z.B. Rauschen, Digitalisierungsfehler, Abbildungsfehler, optische Wechselwirkungen mit der Oberflche des Prfkrpers, Einmessfehler des Sensors, unzureichende Algorithmen in der Messwertverarbeitung). Bei Koordinatenmessgerten mit optischen Abstandssensoren besteht abhngig von der Dimensionalitt des Sensors die Mglichkeit, neben der Messung mit Bewegung der Koordinatenachsen zustzlich eine Messung unter Einschluss eines DrehSchwenk-Gelenks durchzufhren. Hierdurch knnen Einschrnkungen des Sensors umgangen werden (z.B. mangelnde oder schlechte Fhigkeit geneigte Flchen anzutasten). Fr dreidimensionale Abstandssensoren kann auch eine Messung ohne Verfahren der Koordinatenachsen durchgefhrt werden. Fr jeden dieser Flle ergibt sich eine getrennte Angabe der Antastabweichung: 1. Der Sensor wird durch das Koordinatenmessgert verschoben, die Messung erfolgt in mehreren Positionen am Bild. Bei 1-D- und 2-D-Sensoren werden zustzliche Verfahrbewegungen an den jeweiligen Positionen durchgefhrt, um so die 3-DFunktionalitt mit diesen Sensoren zu ermglichen. Die zugehrige Antastabweichung wird als PF(OT) bzw. PS(OT) bezeichnet. Diese Messung ist grundstzlich durchzufhren. 2. Die Orientierung des Sensors wird zustzlich durch ein Dreh-Schwenk-Gelenk verndert. Die zugehrige Antastabweichung wird als PF(OA) bzw. PS(OA) bezeichnet. Diese Messung kann zustzlich durchgefhrt werden. 3. Der Sensor steht beim Messen still, die Messpunkte am Prfkrper oder einem Teil davon werden an einer Position bernommen, die Messung erfolgt im Bild. Die zugehrige Antastabweichung wird als PF(OS) bzw. PS(OS) bezeichnet. Diese Messung kann bei Koordinatenmessgerten mit 3-D-Abstandssensoren zustzlich durchgefhrt werden. Der Einfluss des Koordinatenmessgerts ist hier nicht enthalten. Es werden allein die Eigenschaften des Sensors erfasst.
According to DIN EN ISO 10 360, the probing error characterises the three-dimensional errors of the entire system consisting of coordinate measuring machine, optical distance sensor, and accessories (like articulators) within a very small measurement volume. A distinction is made between the probing errors for the form (PF) and for the size (PS). The value of the probing error of an optical coordinate measuring machine is determined by the errors of the coordinate measuring machine and, particularly, by the errors of the sensor (such as noise, digitising errors, image distortion, optical interaction with the surface of the artefact, calibration errors of the sensor, faulty algorithms in measured-data processing). Depending on the number of dimensions in which coordinate measuring machines with optical distance sensors probe the artefacts, measurements can be performed not only by moving the frame of reference but also using an articulating system. This allows to extend measurements beyond any restrictions imposed by the sensor (such as lacking or poor ability to probe inclined surfaces). Three-dimensional distance sensors also allow measurements without moving the frame of reference. The probing errors are stated separately for each of these cases.
1. The sensor is moved by the coordinate measuring machine, measurements are taken at several positions on the image. For one- and two-dimensional sensors, additional sensor movements are needed at the pertinent positions to extend their functionality to three dimensions. The associated probing errors are PF(OT) and PS(OT). This measurement is mandatory. 2. The alignment of the sensor is additionally modified by means of an articulating system. The associated probing errors are PF(OA) and PS(OA). This measurement is optional. 3. The sensor remains at rest during measurements. Measurement points on the artefact or part thereof are collected with the sensor in a fixed position, measurement is taken in the image. The associated probing errors are PF(OS) and PS(OS). This measurement is optional for coordinate measuring machines with three-dimensional distance sensors. It does not include the influence of the coordinate measuring machine, only the characteristics of the sensor are detected.
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Die Strukturauflsung des Sensors muss angegeben werden, weil durch Filterverfahren die Strukturauflsung verschlechtert und gleichzeitig die Antastabweichung verbessert werden kann. Der Hersteller muss Prfkrper, Messablauf und Auswertung zur Ermittlung der Strukturauflsung beschreiben. Es ist zu beachten, dass Messergebnisse bei unterschiedlichen Verfahren zur Auflsungsbestimmung nicht direkt miteinander vergleichbar sind. Beim Vergleich verschiedener Systeme sollte der Anwender darauf achten, gleiche Verfahren zur Auflsungsbestimmung zu verwenden. Im Anhang wird die Strukturauflsung beschrieben, und es werden Beispiele fr Messverfahren zu deren Bestimmung angegeben.
5.1.1 Prfkrper
The structural resolution of the sensor shall be stated, as filter methods will impair structural resolution while at the same time improving the probing error. The manufacturer shall describe artefact, measurement procedure, and the evaluation for determining the structural resolution. Note that measurement results for determining the resolution are not a priori comparable if they were obtained using different methods. Where different systems are compared, the user should ensure that identical methods are used to determine the resolution. The annex describes the structural resolution, and examples of measurement methods serving to determine this quantity are given.
5.1.1 Artefacts
Zur Ermittlung der Antastabweichung werden Kugeln aus Keramik oder Stahl verwendet, andere geeignete Materialien sind zugelassen. Da unterschiedliche Materialien unterschiedliche optische Eigenschaften wie Reflexionsgrad, optische Eindringtiefe (Volumenstreuung), Farbe, Streuungseigenschaften u.a. besitzen und somit zu unterschiedlichen Werten der Antastabweichung fhren knnen, sind diese unbedingt anzugeben. Die Rauheit der Antastformelemente sollte vernachlssigbar klein sein. Erfolgt durch den Hersteller keine Spezifikation des Materials und der Oberflche des Prfkrpers, sind diese frei whlbar. Fr die Ermittlung der Antastabweichung PF(OT) und PS(OT) mit Bewegen der Koordinatenachsen bzw. der Antastabweichung PF(OA) und PS(OA) unter zustzlicher Verwendung eines Dreh-Schwenkgelenks ist entsprechend DIN EN ISO 10 360 der Kugeldurchmesser 10 mm bis 50 mm zu verwenden. Fr die Ermittlung der Antastabweichung im Stillstand des Koordinatenmessgerts PF(OS) und PS(OS) soll der Durchmesser der Kugel ca. 0,1 bis 0,2 der Raumdiagonalen des Sensormessvolumens betragen. Mssen aus technischen Grnden andere Durchmesser verwendet werden, so sind diese anzugeben. Fr den Prfkrper muss ein Kalibrierschein vorliegen. Zur detaillierten Untersuchung spezieller Sensoreigenschaften knnen weitere Tests zwischen Hersteller und Anwender vereinbart werden. Bei Sensoren mit sehr groen Messbereichen kann z.B. eine kalibrierte Ebene gemessen werden (vgl. VDI/VDE 2634 Blatt 2).
5.1.2 Definitionen der Kenngren
Test spheres of ceramics or steel are used to determine the probing error. Other appropriate materials are permitted. The material used shall be stated at any rate as different materials have different optical characteristics such as reflection factor, optical penetration depth (volume scattering), colour, scattering characteristics, etc., which means that the values of the pertinent probing errors may differ. The roughness of the features to be probed should be negligible. Where the manufacturer fails to specify the material and surface of the artefact, these can be chosen arbitrarily. According to DIN EN ISO 10 360, a sphere diameter of 10 mm to 50 mm shall be used for determining the probing errors PF(OT) and PS(OT) with moving frame of reference, and for determining PF(OA) and PS(OA) with additional articulating system. For determination of the probing error with the coordinate measuring machine at rest, the sphere diameter shall be approximately 0,1 to 0,2 times the length of the body diagonal through the measurement volume covered by the sensor. A calibration certificate is required for the artefact.
Manufacturer and user may agree on further tests for detailed investigation of special sensor characteristics. An example, described in is the measurement of a calibrated plane in the case of sensors with very large working ranges (cf. VDI/VDE 2634 Part 2).
5.1.2 Definition of the characteristics
Die Kenngre Antastabweichung PF ist nach DIN EN ISO 10 360 die Spanne der radialen Abweichungen der Messpunkte von der berechneten Ausgleichskugel. Dies entspricht der Differenz zwischen maximalem und minimalem Abstand von Antastpunkten zum Mittelpunkt der Ausgleichskugel: PF = Rmax Rmin
According to DIN EN ISO 10 360, the characteristic probing error PF is the range of radial deviations between the measurement points and the calculated regression sphere. This is identical to the difference between the maximum and minimum distances of probing points from the centre of the regression sphere: PF = Rmax Rmin
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Die Ausgleichskugel wird nach der Methode der kleinsten Fehlerquadratsumme bei freiem Radius bestimmt. Als zustzliche Kenngre der Antastabweichung wird die Durchmesserabweichung PS bestimmt. Diese ergibt sich aus der Differenz zwischen gemessenem Durchmesser Da und kalibriertem Durchmesser Dr der Kugel: PS = Da Dr
5.1.3 Durchfhrung
The regression sphere is determined according to the least-squares method, with the radius being unrestricted. As an additional characteristic of the probing error, the error in diameter, PS, is determined. This quantity is obtained from the difference between the measured and calibrated diameters, Da and Dr, respectively, of the sphere: PS = Da Dr
5.1.3 Procedure
Analog zu DIN EN ISO 10 360 sind fr die Ermittlung der Kenngren PF(OT) und PS(OT) bzw. PF(OA) und PS(OA) jeweils mindestens 25 Messpositionen so zu whlen, dass der Prfkrper mglichst vollstndig erfasst wird. Ist bei dreidimensionalen Sensoren der Prfkrper kleiner als der Messbereich des Sensors, sind die Positionen innerhalb des Messbereichs des Sensors zu whlen. Sind Bereiche auszulassen, ist dies anzugeben. Die Kenngren PF(OS) und PS(OS) werden stichprobenartig an beliebigen Positionen des Sensormessvolumens gemessen (empfohlen werden neun Positionen, in den Ecken und der Mitte des Messvolumens). Die Anzahl der Antastpunkte muss generell mindestens 25 sein. Es gibt keine Beschrnkung hinsichtlich der maximalen Anzahl der Antastpunkte. Die Verwendung von Filtern oder Algorithmen zur Ausreierreduzierung muss genau beschrieben werden. Fehlen diese Angaben, drfen die Kenngren auch ohne Filter ermittelt werden. Auch hier ist zu beachten, dass die Filterverfahren, die beim praktischen Messen eingesetzt werden, auch fr die Prfung der Antastabweichung verwendet werden. Unter Umstnden sind fr verschiedene Filtereinstellungen, die der Anwender bentigt, verschiedene Werte fr die Antastabweichung zu bestimmen.
5.1.4 Auswertung
By analogy to DIN EN ISO 10 360, no less than 25 measurement positions shall be selected for the determination of the characteristics PF(OT) and PS(OT), and PF(OA) and PS(OA), respectively. The selection shall be such that the greatest possible coverage of the surface of the artefact is achieved. Where the artefact is smaller than the working range of a three-dimensional sensor, the positions shall be chosen to lie within the working range of the sensor. Where certain ranges are to be omitted, these shall be identified. For determination of the characteristics PF(OS) and PS(OS), sample measurements are taken at arbitrary positions within the measurement volume of the sensor. (It is recommended to measure at nine positions, in the corners and at the centre of the measurement volume). The total number of probing points shall never be less than 25, with no limit to the maximum number of probing points. The use of filtering, and of algorithms, serving to reduce outliers, shall be described in detail. Where this information is not available, characteristics may be determined without filtering. Ensure, also in this case, that the filtering methods used for actual measurements are also used during the determination of the probing error. If necessary, different values of the probing error shall be determined for different filter settings required by the user.
5.1.4 Evaluation
Die Grenzwerte MPEXX der Kenngren werden vom Gertehersteller festgelegt. Die Spezifikation der Antastabweichungen ist eingehalten, wenn die ermittelten Werte der Kenngren die zugehrigen Grenzwerte MPEXX an keiner der Messpositionen berschreiten. Hierbei ist die erweiterte Messunsicherheit U des Prfverfahrens zu bercksichtigen (siehe DIN EN ISO 14 253-1): |Px(xx)| |MPEXX| U fr den Hersteller |Px(xx)| |MPEXX| + U fr den Abnehmer Tritt genau eine berschreitung auf, so ist gem DIN EN ISO 10 360 diese Messung zehnmal zu wiederholen. Erreichen oder unterschreiten die gemessenen Werte bei der Wiederholung die Grenzwerte, so ist die Annahme erfolgreich.
The limits, MPEXX, for the characteristics are specified by the instrument manufacturer. Compliance with the specification of the probing errors is demonstrated if the values of the characteristics do not exceed the associated limits, MPEXX, at any one of the measurement points. In this evaluation, consideration shall be given to the expanded uncertainty of measurement, U, of the test method (see DIN EN ISO 14 253-1): |Px(xx)| |MPEXX| U for the manufacturer |Px(xx)| |MPEXX| + U for the customer Where there is one, and only one, case of exceeding the limits, this measurement shall be repeated ten times in accordance with DIN EN ISO 10 360. Where the values measured during the repeated measurements are equal to or less than the limits, acceptance is successful.
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Die Grenzwerte der Kenngren sind unter allen vom Hersteller zugelassenen Bedingungen einzuhalten. Dies gilt insbesondere hinsichtlich der Oberflcheneigenschaften der Prfkrper und der Filterparameter.
5.2 Lngenmessabweichung
The limits of the characteristics shall be complied with under all conditions permitted by the manufacturer. This is particularly true for the surface characteristics of the artefacts and the filter parameters.
5.2 Error of indication for size measurement
Durch die Lngenmessabweichung wird nach DIN EN ISO 10 360 das dreidimensionale Abweichungsverhalten des Gesamtsystems, bestehend aus Koordinatenmessgert und Sensor im gesamten Messvolumen beschrieben. Dieses Abweichungsverhalten entsteht durch die berlagerung verschiedener Einzelabweichungen, z.B. nicht korrigierte systematische Abweichungen und nicht korrigierte Umkehrspannen durch Bewegung der Koordinatenachsen sowie zufllige Abweichungen. Der Wert der Lngenmessabweichung kann bei Koordinatenmessgerten mit optischen Abstandssensoren im besonderen Mae von den Abweichungen des Sensors bestimmt werden. In Abhngigkeit von den Eigenschaften des Sensors ist es unter Umstnden sinnvoll oder erforderlich, die Messungen unter Einschluss eines Dreh-Schwenk-Gelenks durchzufhren (siehe Abschnitt 5.1.1) Werden bei Messungen Dreh-Schwenkgelenke oder andere Zusatzeinrichtungen verwendet, sind die durch sie verursachten Messabweichungen bei der Bestimmung der Lngenmessabweichung einzubeziehen. Anderenfalls sind diese Einrichtungen eindeutig auszuschlieen. Es wird ausdrcklich darauf hingewiesen, dass sich die Lngenmessabweichung von der Kugelabstandsabweichung in der Richtlinie VDI/VDE 2634 Blatt 2 unterscheidet. Bei der Ermittlung der Kugelabstandsabweichung ist die Antastabweichung wegen der groen Anzahl der zulssigen Antastpunkte in der Kenngre durch Mittelungseffekte beim Berechnen der Ausgleichskugel nicht vollstndig enthalten und somit nicht mit der Messung von Endmaen vergleichbar. Deshalb ist bei Lngenmessabweichungen, die aus mehr als zwei Antastpunkten pro Lnge berechnet werden, der Anteil der Antastabweichung gesondert hinzuzurechnen.
According to DIN EN ISO 10 360, the error of indication for size measurement characterises the threedimensional errors of the entire system consisting of coordinate measuring machine and sensor within the total of the measurement volume. These errors result from the superposition of various individual errors, such as non-corrected bias errors and non-corrected hysteresis where the frame of reference is moved, as well as random errors. In coordinate measuring machines with optical distance sensors, the value of the error of indication for size measurement can be dominated by the influence of the sensor errors. Depending on the sensor characteristics, it may be convenient, or even necessary, to include the articulating system in the measurements (see Section 5.1.1).
Where articulating systems or other accessories are used in measurements, the errors of measurement caused by these accessories shall be included in the determination of the error of indication for size measurement, or the accessories shall be clearly excluded. It shall be noted expressly that the error of indication for size measurement differs from the sphere-distance error as per the guideline VDI/VDE 2634 Part 2. When the sphere-distance error is determined, the probing error is not included completely in the characteristic. This is due to averaging effects in the calculation of the regression sphere, which result from the large number of permissible measurement points. This measurement is, therefore, not comparable to measurements using gauge blocks. As a matter of consequence, the contribution of the probing error shall be added separately to errors of indication for size measurement calculated from more than two probing points per length.
5.2.1 Artefacts
5.2.1 Prfkrper
Zur Bestimmung der Lngenmessabweichung werden Prfkrper mit Lngenmaverkrperungen wie Kugelstbe mit zwei oder mehreren Kugeln, Kugelleisten (nachfolgend zusammengefasst als Kugelstbe bezeichnet), Parallelendmae, Stufenendmae (nachfolgend als Endmae bezeichnet) oder Kugelplatten verwendet. Bei Kugelstben und Kugelplatten
The error of indication for size measurement is determined using artefacts including material standards of size such as ball bars having two or more spheres, ball rails (summarised below by the term ball bars), gauge blocks, step gauge blocks (called gauge blocks below) or ball plates. The probing features of ball bars and ball plates should have a diameter of 10 mm to
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sollten die Antastformelemente einen Durchmesser von 10 mm bis 50 mm haben. Mssen aus technischen Grnden andere Durchmesser verwendet werden, so sind diese anzugeben. Die Rauheit der Antastformelemente sollte vernachlssigbar klein sein. Da unterschiedliche Materialien unterschiedliche optische Eigenschaften besitzen (siehe Abschnitt 5.1.1) und somit zu unterschiedlichen Lngenmessabweichungen fhren knnen, sind diese unbedingt anzugeben. Erfolgt durch den Hersteller keine Spezifikation des Materials und der Oberflche des Prfkrpers, sind diese frei whlbar. Die Kalibrierunsicherheit des Prfkrpers muss dokumentiert und deutlich kleiner als die vom Hersteller angegebenen maximal zulssigen Lngenmessabweichungen des zu prfenden Koordinatenmessgertes sein (siehe hierzu DIN EN ISO 14 253-1). Es mssen die Abstnde wie auch die Form aller fr die Prfung bentigten Antastformelemente eines Prfkrpers kalibriert sein.
50 mm. Where other diameters are required for technical reasons, these diameters shall be stated. The roughness of the features to be probed should be negligible. The material used shall be stated at any rate as different materials can have different optical characteristics (see Section 5.1.1), which can lead to different errors of indication for size measurement. Where the manufacturer fails to specify the material and surface of the artefact, these can be chosen arbitrarily.
The calibration uncertainty of the artefact shall be documented and shall be significantly less than the maximum permissible errors of indication for size measurement of the coordinate measuring machine under test, as specified by the manufacturer (in this context, see DIN EN ISO 14 253-1). The distances and forms of all probing features of an artefact required for the test shall be calibrated.
5.2.2 Definition of characteristic
5.2.2 Definition der Kenngre
Die Kenngre Lngenmessabweichung E ist nach DIN EN ISO 10 360 die Abweichung, mit der die Lnge einer Maverkrperung mit dem Koordinatenmessgert bestimmt werden kann, wenn die Messung durch bidirektionale Antastung von zwei gegenberliegenden Punkten aus entgegengesetzten Richtungen an nominell parallelen Flchen senkrecht zu einer der beiden Flchen durchgefhrt wird. Der Abstand zwischen diesen Punkten ist die Prflnge. Wenn die Lngenmessabweichung nicht wie oben beschrieben ermittelt werden kann, sondern z.B. durch Mehrpunktantastung von Endmaen oder die Messung von Kugelstben und -platten, ist durch den Hersteller darauf besonders hinzuweisen. Durch geeignete Manahmen ist eine Vergleichbarkeit der Ergebnisse herzustellen (siehe auch Abschnitt 5.2.4.). Bei der Bestimmung der Lngenmessabweichung sind die verwendete Antaststrategie und der verwendete Sensor zu dokumentieren, da sich fr unterschiedliche Antaststrategien bzw. Sensoren unterschiedliche Werte ergeben knnen.
5.2.3 Durchfhrung
According to DIN EN ISO 10 360, the characteristic error of indication for size measurement, E, is the error with which the length of a material measure can be determined using a coordinate measuring machine if measurement is performed by bidirectional probing (from opposite directions) of two opposite points on nominally parallel surfaces, perpendicular to one of the two surfaces. The test length is the distance between these two points. Where the error of indication for size measurement cannot be determined as described above, but must be determined by probing several points of gauge blocks or by measuring ball bars or ball plates, the manufacturer shall state this expressly. Appropriate action shall be taken to render the results comparable (see also Section 5.2.4). When determining the error of indication for size measurement, document the probing strategy and the sensor used, as different errors of indication for size measurement can result for different probing strategies or sensors.
5.2.3 Procedure
Nach DIN EN ISO 10 360-2 sind die Prfkrper in vier Raumdiagonalen und in drei weiteren vom Anwender zu whlenden Lagen zu messen. Ist dies aus technischen Grnden nicht mglich, sind hnliche Lagen zu whlen. Es sind in jeder Lage fnf Prflngen je dreimal zu messen. Die kleinste Prflnge sollte nicht grer als 30 mm sein, die grte muss mindestens 66 % der Raumdiagonale des Messvolumens berdecken. Die brigen Prflngen sind so zu whlen, dass sie etwa gleichmig ber die Lnge der Messlinie abgestuft
According to DIN EN ISO 10 360-2, the artefacts shall be measured along four body diagonals and three further orientations chosen by the user. Where this is ruled out for technical reasons, similar positions shall be chosen. In each position, five test lengths shall be measured three times each. The shortest test length shall not be longer than 30 mm, the longest shall cover at least 66 % of the body diagonal of the measurement volume. The remaining test lengths shall be chosen in such a way as to cover the length of the measurement line in
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sind. Abhngig von den Bewegungsachsen des optischen Tastsystems bzw. der Zusatzeinrichtungen wie Drehschwenkgelenk kann die Messung des Prfkrpers in folgender Weise erfolgen: 1. Der Sensor wird durch das Koordinatenmessgert positioniert, die Messung der Antastformelemente erfolgt an mehreren Positionen am Bild. Bei 1-D- und 2-D-Sensoren werden zustzliche Verfahrbewegungen an den jeweiligen Positionen durchgefhrt, um so die 3-D-Funktionalitt mit diesen Sensoren herzustellen. Dieser Vorgang wird an jedem Antastformelement wiederholt. 2. Verfahren wie unter 1. beschrieben, wobei die Orientierung des Sensors zustzlich durch ein DrehSchwenk-Gelenk verndert wird. 3. Der Sensor steht beim Messen still, die Messpunkte an den Antastformelementen oder Teilen davon werden jeweils an einer Position bernommen (Messung erfolgt im Bild). Lediglich zur Messung der verschiedenen Antastformelemente wird der Sensor durch das Koordinatenmessgert positioniert. Dies ist nur mit 3-D-Sensoren mglich.
Die Antastung der Formelemente der Prfkrper erfolgt einheitlich nach einem der vorstehenden Verfahren. Bei der Verwendung von Endmaen werden in jeder Lage/Orientierung fnf Endmae angeordnet. Jedes Endma ist einzeln auszurichten. Die Bezugsrichtung ist durch geeignete numerische Ausrichtung zu bestimmen. Bei der Wiederholmessung der Prflngen wird jeweils abwechselnd die linke und rechte Messflche des Endmaes nach Mglichkeit in der Mitte der Messflche angetastet. Dies kann durch physikalisches Antasten in der Mitte oder durch Auswahl des der Mitte am nchsten liegenden Punktes aus einer Messpunktwolke erfolgen. Fr die Auswertung darf ausdrcklich jeweils nur ein Einzelmesspunkt verwendet werden. Das Endma bleibt whrend dieser drei Messungen in der gleichen Lage. Die Messung von Endmaen erfordert im Allgemeinen ein DrehSchwenkgelenk oder einen Sensor mit schwenkbarer Messachse. Bei der Verwendung von Kugelstben und Kugelplatten ist prinzipiell keine Ausrichtung erforderlich, jedoch fr eine praktikable Durchfhrung sinnvoll (automatischer Messablauf). Die Messung der Kugeln erfolgt durch mglichst gleichmig auf der gesamten Kugeloberflche verteilte Messpunkte. Die Messrichtung des Sensors wird dabei mit dem Dreh-Schwenkgelenk mglichst senkrecht zu Kugeloberflche eingestellt. Mindestens ist darauf zu achten, dass die Messpunkte mglichst symmetrisch zu einer Ebene senkrecht zur Messlinie und
approximately equidistant steps. Depending on the axes of motion of the optical probing system or the accessories such as an articulating system, the measurement on the artefact can be performed as follows. 1. The sensor is brought into position by the coordinate measuring machine, and the measurement of the features to be probed is performed at several positions on the image. For one- and two-dimensional sensors, additional movements are needed at the pertinent positions to extend their functionality to three dimensions. This procedure is repeated for each feature to be probed. 2. Proceed as described in 1. additionally changing the orientation of the sensor by means of an articulating system. 3. The sensor remains immobile during the measurement, measurement points on each feature to be probed, or on parts thereof, are collected with the sensor in a fixed position (measurement is taken in the image). It is only for the measurement of the individual features to be probed that the sensor is positioned by the coordinate measuring machine. This is only possible using three-dimensional sensors. Probing of the features of the artefact is performed in a uniform way according to one of the methods outlined above. Where gauge blocks are used, five gauge blocks are aligned in each position or orientation. Each gauge block shall be aligned individually. The reference direction shall be identified in terms of a suitable numerical alignment. For test-length measurements under repeatability conditions, the left and right measurement faces of the gauge block shall be probed in turn, at the centres, if possible. This may be done by physically probing the centre or by selecting the most central point in a cloud of points. It is expressly stated that only one individual measurement point may be used. The gauge block shall remain stationary during these three measurements. Measuring a gauge block usually requires an articulating system or a sensor with swingand-tilt measurement axis.
Where ball bars or ball plates are probed, alignment is not required but convenient from the practical point of view (automated measurement procedure). Measuring of the spheres shall be performed using points distributed as evenly as possible over the entire surface of the sphere. Using the articulating system, the measurement line of the sensor shall, if possible, be aligned perpendicular to the sphere surface. Make sure, at least, that the measurement points are as symmetrical as possible to a plane that is perpendicular to
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durch den Kugelmittelpunkt liegen (Bild 10a). Dies muss unbedingt eingehalten werden sonst treten zustzliche Abweichungen auf (Bild 10b und Bild 10c).
the measurement line and goes through the sphere centre (Figure 10a). It is essential to comply with this requirement, otherwise additional errors will be introduced (Figure 10b and Figure 10c).
a) Richtige Antastung beim Einsatz eines Dreh-/Schwenkgelenks: Antastrichtung senkrecht zur Oberflche
a) Correct probing by using an articulating system: probing direction perpendiculary to the sphere surface
b) Nicht-senkrechtes Antasten fhrt zu systematischen Abweichungen der Kugelpositionen und verflscht den Kugelmittelpunktabstand
b) Non perpendicular probing results in systematic error of the position of the sphere and has effect of distance of the sphere centre
c) Erhhte Streuung in Messlinienrichtung Bild 10. Anordnung der Messpunkte am Kugelstab in Abhngigkeit von der Antastrichtung und deren Auswirkung auf den Kugelmittelpunktabstand
c) Higher uncertainty in direction of the measurement line Fig. 10. Arrangement of measurement points in depending on the probing direction on the ball bar and their consequences for the distance of the sphere center
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Bild 11. Richtige Antastung bei Verzicht auf Dreh-Schwenkgelenke: systematische Antastabweichungen wirken sich in Messlinienrichtung nicht aus
Fig. 11. Correct probing without using an articulating system: systematic errors have no effects in direction of the measurement line
Sind keine Dreh-/Schwenkgelenke im Einsatz werden ersatzweise mglichst vollstndige Halbkugeln gemessen (Bild 11). Bei der Messung von Kugelpositionen treten im Vergleich zur Messung von Einzelpunkten auf Ebenen ein Mittelungseffekt und gegebenenfalls eine Kompensation systematischer Antastabweichungen auf. Zur Herstellung der Vergleichbarkeit kann ein kurzes Parallelendma nach oben beschriebener Verfahrensweise mit jeder Messlnge zustzlich gemessen und hieraus ein Korrekturwert fr die jeweilige Messlnge ermittelt werden. Die Orientierung des Endmaes erfolgt parallel zur jeweiligen Messlinie von Kugelstab oder -platte. Alternativ kann der Korrekturwert auch aus den Messungen zur Antastabweichung gewonnen werden. Der jeweilige Korrekturwert wird anschlieend bei der Auswertung zur Ermittlung der Lngenmessabweichung bercksichtigt (siehe Abschnitt 5.2.4.). Bei der Wiederholmessung der Prflngen werden alle Antastformelemente in der jeweils gleichen Reihenfolge angetastet.
5.2.4 Auswertung
Where no articulating systems are used, complete hemispheres, if possible, are measured instead (Figure 11). Unlike for measurements of individual points on planes, an averaging effect is encountered when measuring sphere positions, possibly affording a compensation of bias errors. In order to ensure comparability, a short gauge block with each test length may be measured additionally, according to the method outlined above, which allows to determine a correction for the respective length. The gauge block shall be aligned parallel to the respective measurement line of the ball bar or ball plate. Alternatively, the correction may be obtained from the measurements of the probing error. The pertinent correction is then taken into account in the evaluation for determining the error of indication for size measurement (see Section 5.2.4). When measuring the test lengths under repeatability conditions, all features to be probed are approached in the same sequence.
5.2.4 Evaluation
Die Auswertung ist davon abhngig, ob Endmae, Kugelstbe oder Kugelplatten als Prfkrper verwendet werden. Kommen Endmae zur Ermittlung der Kenngre zum Einsatz, wird die Prflnge aus dem Abstand zweier Messpunkte auf gegenberliegenden Endmaflchen berechnet. Die Differenz zwischen der Prflnge La (angezeigter Wert) und dem kalibrierten Mittenma Lr (richtiger Wert) des Endmaes (DIN EN ISO 3650) ist die Lngenmessabweichung E: E = La Lr
The evaluation depends on whether gauge blocks, ball bars or ball plates are used as artefacts. Where gauge blocks are used to determine the characteristic, the test length is calculated from the distance of two measurement points on opposite faces of the gauge block. The difference between the test length, La (indicated value), and the calibrated central length, Lr (true value), of the gauge block (DIN EN ISO 3650) is the error of indication for size measurement, E: E = La Lr
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Werden Kugelstab oder Kugelplatte als Prfkrper zur Ermittlung der Lngenmessabweichung verwendet, sind fr jede Testlnge die Kugelmittelpunkte (Positionen) der beiden angetasteten Kugeln aus den Antastpunkten durch Ausgleich zu berechnen. Der Abstand der beiden Kugelmittelpunkte ist der angezeigte Wert Lka der Prflnge. Die Differenz zwischen angezeigtem Wert Lka und richtigem Wert Lkr ist analog zu VDI/VDE 2634 Blatt 2 die Kugelabstandsabweichung SD.
Where a ball bar or ball plate is used as an artefact for determining the error of indication for size measurement, the sphere centres (positions) of the two spheres probed shall be calculated for each test length by means of a regression of the probing points. The distance between the two sphere centres is the indicated value of the test length, Lka. By analogy to VDI/VDE 2634 Part 2, the difference between the indicated value, Lka, and the true value, Lkr, is the sphere-distance error, SD.
Korrekturmanahmen bei Verwendung von Kugelstben und -platten
Corrections when using ball bars and ball plates
Um den Mittelungseffekt und die Kompensation von systematischen Antastabweichungen bei der Messung von Kugelpositionen im Vergleich zur Messung von Einzelpunkten auf Ebenen auszugleichen, sind diese Einflsse zustzlich zu bercksichtigen. Hierfr gibt es mehrere Mglichkeiten.
The averaging effect and compensation of bias errors encountered in measurements of sphere positions shall be taken into account additionally to allow comparison with measurements of individual points on a plane where these effects do not occur. Several options exist. Method A The simplest method consists in using measurement data for the probing error. This results in a worst-case estimate. In doing so, note that the properties of the artefacts in question (material, size, form, surface), the probing strategy, and the distribution of the points shall be the same, if possible, for the determination of the probing error and of the error of indication for size measurement. The error of indication for size measurement, E, is, then, obtained from the difference between the test length, Lka (indicated value), and the calibrated sphere distance, Lkr (true value), of the artefact, plus the signed value of error in diameter, PS, and probing error PF (see also Section 5.1.2). The following cases are distinguished:
Verfahren A Die einfachste Mglichkeit besteht darin, Messergebnisse aus der Antastabweichungsermittlung heranzuziehen. Hierdurch wird der ungnstigste Fall abgeschtzt. Dabei ist zu beachten, dass die Eigenschaften (Material, Gre, Form, Oberflche) der jeweiligen Prfkrper, die Antaststrategie und die Punktverteilung sowohl bei der Ermittlung der Antastabweichung als auch bei der Ermittlung der Lngenmessabweichung mglichst gleich sein mssen. Die Lngenmessabweichung E ergibt sich aus der Differenz zwischen der Prflnge Lka (angezeigter Wert) und dem kalibrierten Kugelabstand Lkr (richtiger Wert) des Prfkrpers zuzglich der vorzeichenbehafteten Durchmesserabweichung PS und der Antastabweichung PF (siehe auch Abschnitt 5.1.2). Dieser Zusammenhang kann als Fallunterscheidung wie folgt dargestellt werden: Fall/Case 1: (Lka Lkr + PS) > 0 Fall/Case 2: (Lka Lkr + PS) = 0 Fall/Case 3: (Lka Lkr + PS) < 0 Unter Nutzung der Signum-Funktion lautet der Zusammenhang wie folgt: E = Lka Lkr + PS + (sgn(Lka Lkr + PS)) PF mit PS = (Da Dr) Fr Lka Lkr + PS = 0 muss wahlweise +PF oder PF fr E angenommen werden.
E = Lka Lkr + PS + PF E = + PF oder/or E = PF E = Lka Lkr + PS PF
Using the signum function, the relation is as follows: E = Lka Lkr + PS + (sgn(Lka Lkr + PS)) PF with PS = (Da Dr) If Lka Lkr + PS = 0, assume that E equals either +PF or PF.
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Je nach Antaststrategie beim Messen der Prfkrper fr die Lngenmessabweichung sind die nach Abschnitt 5.1. entsprechenden Werte der Antastabweichung PF (PF(OT), PF(OA) oder PF(OS)) und PS (PS(OT), PS(OA) oder PS(OS)) zu verwenden. Die so ermittelten Werte fr die Lngenmessabweichung sind mit denen einer Endmamessung vergleichbar. Bei Anwendung dieser Methode ist zu empfehlen, bei den Kugelmessungen fr die Kugelmittelpunktsabweichung mglichst viele Antastpunkte aufzunehmen, um hierbei den Einfluss der Einzelantastung gering zu halten dieser wird ber die Addition der Korrekturwerte vollstndig bercksichtigt. Verfahren B Eine genauere, aber aufwndigere Methode besteht darin, zustzlich zum Kugelstab bzw. zur Kugelplatte zu jeder Lnge ein kurzes Endma zu messen. Die Lngenmessabweichung E ergibt sich dann aus der Differenz zwischen der Prflnge Lka (angezeigter Wert) und dem kalibrierten Kugelabstand Lkr (richtiger Wert) des Kugelstabs bzw. der Kugelplatte zuzglich der Lngenmessabweichung EE, die aus der zugehrigen Messung des kurzen Endmaes ermittelt wird: E = Lka Lkr + EE Auch bei Anwendung dieser Methode ist es zu empfehlen, bei den Kugelmessungen fr die Kugelmittelpunktsabweichung mglichst viele Antastpunkte zu messen, um hierbei den Einfluss der Einzelantastung gering zu halten dieser wird ber die Addition der Korrekturwerte vollstndig bercksichtigt.
Anmerkung: Es lsst sich mathematisch zeigen, dass bei annhernd gleichmiger Punkteverteilung ber die Kugeln (ersatzweise Halbkugeln mit Polachse senkrecht zur Messlinie) und Punkteanzahl grer als 25 der Einfluss der Antastabweichung auf die Kugelmittelpunktsabweichung kleiner 5 % der durch die Antastabweichung bedingten Lngenmessabweichung des kurzen Endmaes betrgt und somit vernachlssigbar ist.
Depending on the probing strategy used in measuring the artefacts to determine the error of indication for size measurement, the pertinent values, as per Section 5.1, of the probing errors, PF (PF(OT), PF(OA), or PF(OS)) and PS (PS(OT), PS(OA), or PS(OS)) must be used. The values of the error of indication for size measurement determined in this way can be compared to those obtained by measuring gauge blocks. When using this method, the sphere measurements for determining the sphere-distance error should be taken on as many probing points as possible to keep the influence of the individual measurements small; this effect is fully taken into account by adding the corrections. Method B A more precise, but also more complex method consists in measuring, for each length, a short gauge block in addition to ball bar or ball plate. In this case, the error of indication for size measurement, E, results from the difference between the test length, Lka (indicated value), and the calibrated sphere distance, Lkr (true value), of the ball bar or ball plate, plus the error of indication for size measurement, EE, resulting from the pertinent measurement of the short gauge block: E = Lka Lkr + EE Also when using this method, the sphere measurements for determining the sphere-distance error should be taken on as many probing points as possible to keep the influence of the individual measurements small; this effect is fully taken into account by adding the corrections.
Note: It can be proven with mathematical rigour that for an approximately even distribution of points over the spheres (or hemispheres with the polar axis perpendicular to the measurement line) and a number of points in excess of 25, the effect of the probing error on the sphere-distance error is less than 5 % of the error of indication for size measurement of the short gauge block, which is due to the probing error, and that this error is, therefore, negligible.
Grenzwerte
Limits
Bei der Angabe eines Grenzwertes der Lngenmessabweichung sind die verwendbare Antaststrategie und der verwendete Sensor zu dokumentieren. Der Hersteller darf unterschiedliche Grenzwerte der Lngenmessabweichung fr unterschiedliche Antaststrategien und Sensoren angeben (siehe Abschnitt 5.1.1). Fr jede der drei Antaststrategien (entsprechend E(OT), E(OA), E(OS)) kann die Einhaltung der maximal zulssigen Lngenmessabweichung MPEE(XX) geprft werden, soweit dies gerteseitig mglich und herstellerseitig nicht ausgeschlossen ist. Der Grenzwert der Lngenmessabweichung MPEE wird nach DIN EN ISO 10 360-2 entweder als ln-
When stating a limit for the error of indication for size measurement, the probing strategy and sensor to be used shall be documented. The manufacturer may allocate different limits for the error of indication for size measurement to different probing strategies and sensors (see Section 5.1.1). Compliance with the maximum permissible error of indication for size measurement, MPEE(XX), may be tested for each of the three probing strategies (corresponding to E(OT), E(OA), E(OS)), provided the instrument permits this, and the manufacturer does not exclude such tests. In accordance with DIN EN ISO 10 360-2, the limit for the error of indication for size measurement,
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genabhngige Gre (A + L/K), als Hchstwert B oder als Kombination aus beiden Formen angegeben. Er muss im gesamten Messbereich des Koordinatenmessgertes und unter allen zulssigen Messbedingungen eingehalten werden. Zur vollstndigen Angabe des Grenzwerts der Lngenmessabweichung gehren auch die in VDI/VDE 2617 Blatt 1 genannten Angaben ber die Betriebs- und Umgebungsbedingungen. Der Hersteller bzw. Anwender kann fr bevorzugte Messlinien, Messebenen oder Teilvolumen kleinere Grenzwerte angeben.
Bewertung
MPEE, is given in terms of either a function of length, (A + L/K), a maximum value, B, or in the form of a combination of both. It shall be complied with over the entire working range of the coordinate measuring machine and under all permissible measurement conditions. A complete declaration of the limit for the error of indication for size measurement includes the list of data on operating and environmental conditions as given in VDI/VDE 2617 Part 1. The manufacturer or user may specify narrower limits for preferred measurement lines, measurement planes, or partial volumes.
Evaluation
Die Bewertung ist unabhngig davon, ob Parallelendmae oder Kugelstbe oder Kugelplatten verwendet werden, und fr alle Messlinien gleich. Beim Vergleich der Lngenmessabweichung mit ihrem Grenzwert MPEE ist die erweiterte Messunsicherheit U des Prfverfahrens zu bercksichtigen (siehe DIN EN ISO 14 253-1). |E| |MPEE| U |E| |MPEE| + U fr den Hersteller fr den Abnehmer
The evaluation does not depend on whether gauge blocks or ball bars or ball plates are used, and is the same for all measurement lines. When comparing the error of indication for size measurement to its limit, MPEE, the expanded uncertainty of measurement, U, of the test method shall be taken into account (see DIN EN ISO 14 253-1). |E| |MPEE| U |E| |MPEE| + U for the manufacturer for the customer
Bei hchstens fnf der 35 Prflngen entsprechend DIN EN ISO 10 360 darf maximal ein Wert E aus den drei Messungen unter Bercksichtigung der Messunsicherheit grer als der Grenzwert MPEE sein. Fr jede berschreitung ist die Messung der entsprechenden Prflnge zehnmal in der Lage, in der die berschreitung auftrat, zu wiederholen. Liegen alle Werte der Lngenmessabweichung E aus diesen Wiederholungsmessungen unter Bercksichtigung der Messunsicherheit innerhalb von MPEE, ist der Grenzwert eingehalten. Die Lngenmessabweichungen werden zweckmig mit ihren Grenzwerten und den Unsicherheiten des Prfverfahrens in einem Diagramm dargestellt (siehe Beispiele in VDI/VDE 2617 Blatt 2.1).
6 berwachung Die Besttigungs- und Zwischenprfung (im Folgenden berwachung) von Koordinatenmessgerten mit optischen Abstandssensoren dient der langfristigen Einhaltung der vom Anwender festgelegten Kenngren Antastabweichung und Lngenmessabweichung. Der Vergleich der Ergebnisse aufeinander folgender berwachungen gestattet eine Trendanalyse hinsichtlich der Vernderungen der Gerteeigenschaften. Hieraus knnen sowohl Rckschlsse auf vorsorgliche Wartungsarbeiten an den Gerten als auch auf das berwachungsintervall abgeleitet werden. Fr Trendanalysen mssen die Betriebsarten und die Betriebsbedingungen annhernd gleich sein.
For no more than five of the 35 test lengths as per DIN EN ISO 10 360, no more than one value of E out of the three measurements may exceed the limit MPEE, taking into account the uncertainty of measurement. For each case of exceeding the limit, the measurement of the respective test length shall be repeated ten times in the pertinent position. If all values of the error of indication for size measurement, E, obtained by these repeated measurements lie within MPEE, taking into account the uncertainty of measurement, the limit is complied with. It is convenient to present the errors of indication for size measurement and the associated limits and uncertainties of the test method in a graph (see examples in the annex of VDI/VDE 2617 Part 2.1).
6 Reverification Reverification and interim check (following reverification) of coordinate measuring machines with optical distance sensors serves to ensure continued compliance with the user-specified characteristics probing error and error of indication for size measurement. Comparing the results of successive reverification tests allows to analyse trends in instrument characteristics. This in turn allows to draw conclusions regarding preventive maintenance on instruments and the reverification interval. Operating modes and operating conditions shall be approximately identical for trend analyses.
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Vor der berwachung ist das Koordinatenmessgert gem der Betriebsanleitung in Betrieb zu nehmen. Die Umgebungsbedingungen mssen den spezifizierten Betriebsbedingungen entsprechen. Weiterhin ist zu beachten, dass die Aufstellung und die Befestigung der Prfkrper ausreichend stabil ist. Die Prfkrper mssen die mittlere Temperatur des Messvolumens angenommen haben. Weicht die mittlere Temperatur der Prfkrper oder der Systemkomponenten von der Bezugstemperatur nach DIN EN ISO 1 signifikant ab, sind entsprechende Temperaturkorrekturen vorzunehmen, sofern dies im normalen Gebrauch des Koordinatenmessgerts ebenfalls geschieht.
6.1 Prfkrper
Prior to reverification, the coordinate measuring machine shall be started up as specified in the instruction manual. Environmental conditions shall be as specified for operation of the instrument. Also, ensure safe mounting and fixing of the artefacts. The artefacts shall be in thermal equilibrium with the measurement volume. If the mean temperature of the artefacts or the system components significantly deviates from the reference temperature as per DIN EN ISO 1, appropriate temperature corrections shall be made, provided this is also done during normal operation of the coordinate measuring machine.
6.1 Artefacts
Fr die berwachung von Koordinatenmessgerten mit optischen Abstandssensoren werden die gleichen Prfkrper eingesetzt wie fr die Annahmeprfung (siehe Abschnitt 5.1.1 und Abschnitt 5.2.1).
6.2 Durchfhrung
For reverification of coordinate measuring machines with optical distance sensor, use the same artefacts as used for acceptance testing (see Section 5.1.1, and Section 5.2.1).
6.2 Procedure
Es wird empfohlen, die berwachung von Koordinatenmessgerten mit optischen Abstandssensoren in analoger Weise wie die Annahmeprfung durchzufhren und die gleichen Kenngren zu prfen. Der Betreiber kann die Anzahl der Messungen reduzieren. Bei berschreitungen knnen Wiederholungsmessungen unter gleichen Bedingungen wie bei der Annahmeprfung vorgenommen werden.
6.3 Auswertung
It is recommended to perform reverification of coordinate measuring machines with optical distance sensor in the same way as acceptance testing, and to test the same characteristics. The user may reduce the number of measurements. Where limits are exceeded, measurements may be repeated under the same conditions as used for acceptance testing.
6.3 Evaluation
Die Auswertung zur Bestimmung der Kenngren erfolgt in analoger Weise wie bei der Annahmeprfung. Die Grenzwerte der Kenngren Antastabweichung einschlielich Durchmesserabweichung und Lngenmessabweichung knnen jedoch vom Betreiber entsprechend seinen Anforderungen festgelegt werden. Das berwachungsintervall muss vom Betreiber eines Koordinatenmessgerts mit optischen Abstandssensoren individuell festgelegt werden.
The evaluation serving to determine the characteristics is carried out as for acceptance testing. However, the user may specify the limits for the characteristics of probing error, including error in diameter, and error of indication for size measurement according to his requirements. The reverification interval shall be specified individually by the user of a coordinate measuring machine with optical distance sensors.
Schrifttum/Bibliography
DIN EN ISO 1 : 2002-10 Geometrische Produktspezifikation (GPS); Bezugstemperatur fr geometrische Produktspezifikationen (ISO 1:2002); Deutsche Fassung EN ISO 1:2002 (Geometrical product specifications (GPS); Standard reference temperature for geometrical product specifications and verification (ISO 1:2002); German version EN ISO 1:2002). Berlin. Beuth Verlag DIN EN ISO 3650 : 1999-02 Geometrische Produktspezifikationen (GPS); Lngennormale; Parallelendmae (ISO 3650:1998); Deutsche Fassung EN ISO 3650:1998 (Geometrical product specifications (GPS); Length standards; Gauge blocks (ISO 3650:1998); German version EN ISO 3650:1998). Berlin: Beuth Verlag DIN EN ISO 10 360 Geometrische Produktspezifikation (GPS); Annahmeprfung und Besttigungsprfung fr Koordinatenmessgerte (KMG) (Geometrical product specifications (GPS); Acceptance and reverification tests for coordinate measuring machines (CMM)). Berlin: Beuth Verlag DIN EN ISO 14 253 Geometrische Produktspezifikationen (GPS); Prfung von Werkstcken und Messgerten durch Messen (Geometrical product specifications (GPS); Inspection by measurement of workpieces and measuring equipment). Berlin: Beuth Verlag VDI/VDE 2617 Blatt 1 : 1986-04 Genauigkeit von Koordinatenmessgerten; Kenngren und deren Prfung; Grundlagen (Accuracy of coordinate measuring machines; Characteristics and their checking; Basics). Berlin: Beuth Verlag VDI/VDE 2634 Optische 3D-Messsysteme (Optical 3D measuring systems). Berlin: Beuth Verlag VIM : 1994-02 Internationales Wrterbuch der Metrologie (International Vocabulary of Basic and General Terms in Metrology). Berlin: Beuth Verlag
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Anhang
Einfhrung

Strukturauflsung
Annex
Structural resolution
Introduction
Grundstzlich ist zwischen zwei Arten der Auflsung zu unterscheiden: Ortsauflsung (axial bei Abstandssensoren) Strukturauflsung (lateral bei Abstandssensoren) Die Ortsauflsung beschreibt die kleinste messbare Verschiebung in Messrichtung (hier x, y und z). Die Ortsauflsung ist in den Lngenmessungen und Antastmessungen enthalten. Eine weitere Betrachtung ist hierfr nicht erforderlich. Die Strukturauflsung beschreibt die kleinste messbare Struktur, die mit noch festzulegenden Fehlergrenzen messbar ist. Die Strukturauflsung ist in den Lngenmessungen und Antastmessungen nicht enthalten. Mit zunehmender Tiefpasswirkung der Filterung verbessert sich die Antastabweichung (Ortsauflsung) und verschlechtert sich gleichzeitig die Strukturauflsung. Daher muss die Strukturauflsung beachtet werden. Einflussgren auf die axiale Ortsauflsung: Quantisierung A/D Wandler Rauschen Einflussgren auf die laterale Strukturauflsung: Pixelraster des Bildsensors bertragungsfunktion (MTF) der verwendeten Optik/Auflsung der Optik Filteroperationen, Mittelwertbildung Spotgre des Lasers/Strahldurchmessers bzw. Abtastpunkts Kleinster Strukturabstand beim Streifenprojektionsprinzip Bildverarbeitungsfenstergre (Autofokussensor) Die beste Ortsauflsung ist wertlos, wenn die Strukturauflsung nicht ausreicht, um die Strukturen sichtbar zu machen. Aus der Vielzahl der Einflussgren ist erkennbar, dass die hufig verwendete Definition Pixelraster = Auflsung nicht korrekt ist. Die praktisch auftretende Strukturauflsung ist in der Regel wesentlich geringer. Deshalb ist es wichtig, diese zu spezifizieren und zu prfen.
Testverfahren
Two types of resolution shall be distinguished: Spatial resolution (axial resolution of distance sensors) Structural resolution (lateral resolution of distance sensors) Spatial resolution characterises the smallest measurable displacement along the direction of measurement (x, y, and z in this context). Spatial resolution is included in the error of indication for size measurement and in the probing error. No further consideration is required. Structural resolution characterises the smallest structure measurable with maximum permissible errors to be specified. Structural resolution is not included in the error of indication for size measurement and probing error. With increasing low-pass effect of the filtering, the probing error (spatial resolution) improves while structural resolution deteriorates. Structural resolution must, therefore, be considered. Quantities influencing axial, spatial resolution: Quantisation of A/D converters Noise Quantities influencing lateral, structural resolution: Pixel grid of image sensor Transfer function (MTF) or resolution of the optical system in use Filtering, averaging Spot size of laser/beam diameter, or probing spot Smallest structural dimension when applying the line projection principle Size of image-processing window (autofocus sensor) Where spatial resolution is insuffient for rendering the amplitude of the structures visible, the best structural resolution will be worthless. The multitude of influencing quantities shows that the common formula, pixel grid = resolution, does not hold true. The practical structural resolution may be considerably lower. It is therefore important that this characteristic be specified and tested.
Test method
Es ist zu beachten, dass bei 1-D- und 2-D-Sensoren zustzliche Verfahrbewegungen an den jeweiligen Positionen durchgefhrt werden, um die 3-D-Funk-
Take into account that additional movements at the relevant positions are required to allow for a three-dimensional functionality of one- and two-dimensional
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tionalitt mit diesen Sensoren herzustellen. Die hierbei verwendete Verfahrgeschwindigkeit hat Einfluss auf die Strukturauflsung und ist entsprechend der Betriebsanleitung so einzustellen, wie sie auch im praktischen Messbetrieb genutzt wird. Analoges gilt fr einstellbare Sensorparameter wie die Abtastfrequenz. Die Auflsung kann richtungsabhngig unterschiedlich gro sein und unterschiedlich spezifiziert werden. Bei Einsatz von Triangulationssensoren sind die richtungsabhngigen Eigenschaften beim Messen von Kanten zu beachten. Fr die berprfung der Strukturauflsung werden die folgenden drei Wege vorgeschlagen: 1. Strukturnormal Der Hersteller spezifiziert eine kleinste auflsbare Struktur (Loch, Spalt, Stift, Kugel o..), die als Strukturnormal hergestellt wird. Diese wird zur berprfung der lateralen Auflsung eingesetzt. Wird hierbei eine rotationssymmetrische Struktur verwendet, lassen sich die Informationen fr beliebige Richtungen in der Ebene gewinnen. Es wird z.B., wie in Bild A1 gezeigt, ein Loch mit kalibrierter Tiefe und kalibriertem Durchmesser gemessen. Der Durchmesser dieses Loches ist gleich dem Wert der spezifizierten Auflsung. Die Tiefe ist vom Hersteller sinnvoll so zu whlen, dass die Funktion des Sensors gewhrleistet ist. Die mit dem Sensor gemessene Tiefe wird zur kalibrierten Tiefe ins Verhltnis gesetzt. Dieses Verhltnis muss grer als 0,63 (= 1 e1) sein, damit die Strukturauflsung kleiner oder gleich dem Durchmesser des Loches ist. Unterschreitet das Verhltnis 0,63, ist die spezifizierte Strukturauflsung nicht erreicht. 2. Kantenstruktur Als Prfmerkmal wird eine rechtwinklige Kantenstruktur eines Prfkrpers verwendet (Rand eines Loches, Stiftes, Spaltes o..). Die Abmessungen (z.B. Lochdurchmesser und Tiefe) des Prfkrpers mssen deutlich grer als die zu berprfende
sensors. The speed at which these movements are performed affects the structural resolution and shall be adjusted, in accordance with the instruction manual, to a value also used in practical measurements. The same holds for adjustable sensor parameters such as the sampling frequency. Resolution may be directional, and may be specified differently for different directions. When using triangulation sensors, consider directionality when sampling edges. The following methods are proposed for verifying spatial resolution:
1. Structure standard The manufacturer specifies the smallest structure that can be resolved (pit, gap, spike, ball, or similar). A standard having this structure is produced and used to verify lateral resolution. If a rotationsymmetrical structure is used, information on any direction in the plane can be obtained. By way of example, consider Figure A1, where a pit with a calibrated depth and diameter is measured. The diameter of this pit equals the specified resolution. The depth shall be chosen by the manufacturer in any convenient way ensuring reliable functioning of the sensor. The depth measured using the sensor is compared to the calibrated depth. The ratio of measured depth over calibrated depth shall exceed 0,63 (= 1 e1) for structural resolution to be less than or equal to the pit diameter. If the ratio is less than 0,63, the specified resolution has not been obtained. 2. Edge structure As the feature to be tested, use a right-angled edge structure of an artefact (edge of a pit, spike, gap, or similar). The dimensions (such as pit diameter and depth) of the artefact shall be considerably greater than the resolution to be verified. If a rota-
Bild A1. berprfung der Strukturauflsung mit Strukturnormal
Fig. A1. Verification of structural resolution using a structure standard
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Auflsung sein. Wird hierbei eine rotationssymmetrische Struktur verwendet, lassen sich die Informationen fr beliebige Richtungen in der Ebene gewinnen. Die Qualitt der Kante (Kantenverrundung, Rechtwinkligkeit) muss deutlich besser als die zu berprfende Auflsung sein. Es wird, wie in Bild A2 gezeigt, der Kantenverlauf mit dem Sensor gemessen und aus dem Ergebnis die Kenngre fr die Strukturauflsung ermittelt. Dieser Wert wird mit dem spezifizierten Wert verglichen. 3. Wellennormal Als Prfkrper wird ein Normal verwendet, das eine oder mehrere Sinuswellen verkrpert. Die zu berprfende Grenzwellenlnge, die der gesuchten Auflsung entspricht, muss auf dem Prfkrper vorhanden sein. Amplitude und Wellenlnge mssen kalibriert sein. Wird eine rotationssymmetrische Struktur verwendet, lassen sich die Informationen fr beliebige Richtungen in der Ebene gewinnen.
tion-symmetrical structure is used, information on any direction in the plane can be obtained. The quality of the edge (rounding of edge, orthogonality) must be significantly better than the resolution to be verified. As shown in Figure A2, the edge profile is measured using a sensor, and the result is used to determine the structural resolution. The value thus obtained is compared to the specified value. 3. Wave standard As an artefact, use a standard embodying one or several sine waves. The cut-off wavelength to be verified, corresponding to the sought-for resolution, must exist on the artefact. Amplitude and wavelength shall be calibrated. If a rotation-symmetrical structure is used, information on any direction in the plane can be obtained.
Die Oberflche des Wellennormals wird mit dem Sensor gemessen und aus dem Ergebnis, wie in Bild A3 gezeigt, die Wellenlnge des Normals ermittelt, die noch auflsbar ist. Dies wird dadurch gekennzeichnet, dass das Verhltnis zwischen gemessener und kalibrierter Amplitude dieser Wellenlnge grer als 0,7 ist. Diese Wellenlnge wird mit dem spezifizierten Wert der Auflsung verglichen.
The surface of the wave standard is measured using the sensor, and the result is used to determine that wavelength of the standard which can still be resolved, as shown in Figure A3. This wavelength is characterised by a ratio of measured amplitude over calibrated amplitude greater than 0,7. This wavelength is compared to the specified resolution.
Bild A2. Ermittlung der Strukturauflsung durch Messung einer Kantenstruktur
Fig. A2. Determination of structural resolution by measuring an edge structure
Bild A3. Ermittlung der Strukturauflsung durch Messung eines Wellennormals
Fig. A3. Determination of structural resolution by measuring a wave standard
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1 1 -- -----------------p 1 + pX 1
Bild A4. Stufe am Eingang des Systems und Systemantwort zur Ermittlung der Strukturauflsungsgrenze
Fig. A4. Step at the input of a system and response of the system, serving to determine the limit of structural resolution
Grundlagen
Fundamentals
In der Systemtheorie sind Auflsungsgrenzen sowohl im Zeitbereich (hier Ortsbereich) als auch im Frequenzbereich (hier Ortsfrequenzbereich, gleichbedeutend mit Perioden pro mm) definiert. Beide Betrachtungsweisen enthalten die gleichen Informationen und lassen sich durch Fouriertransformation ineinander berfhren. Als Modell fr die Auflsungsbegrenzung wird ein Tiefpass 1. Ordnung (in der Reglungstechnik als Proportionalglied mit Verzgerung 1. Ordnung oder kurz TP1-Glied bezeichnet) verwendet. Betrachtung des Ortsbereiches (Bild A4): Charakteristische Strukturen (Sto, Sprung, Rampe) fhren nach der Filterung zu entsprechenden Antworten. Messtechnisch am aussagefhigsten ist hierbei der Sprung. Technisch realisiert wird dieser durch eine formideale Stufe. Die fr das Filter charakteristische Konstante X1 ergibt sich als Schnittpunkt zwischen der Tangente im Nullpunkt und der Hhe der Stufe in hinreichend groem Abstand von dieser. Diese Konstante lsst sich wie folgt in die Ortsgrenzfrequenz umrechnen: Fr die Sprungantwort gilt im Ortsbereich: y = 1e
x ----X1
The theory of systems shows that resolution limits can be defined in the temporal (here: in the spatial) domain as well as in the frequency (here: spatial frequency, i.e. periods per millimetre) domain. Both views contain the same information and conversion from one to the other (and vice versa) is possible by means of a Fourier transform. As a model for resolution limits, a first-order low pass (known as a proportional element with first-order delay in control engineering) is used. First, consider the spatial domain (Figure A4). Characteristic structures (joint, step, slope) will give rise to the corresponding responses after filtering. A step is the most significant feature from the metrological point of view; it is realised in the form of an ideally shaped step. The constant X1, which is a filter characteristic, is the intersection between the tangent through zero and the height of the step at a sufficiently long distance from the tangent. This constant can be converted to a spatial cut-off frequency as follows: For the step response in the spatial domain: y = 1e
x ----X1
Unter der Orstgrenzfrequenz g (Einheit in Linien pro mm) versteht man die Frequenz, bei der der Betrag des bertragungsfaktors auf 1/ 2 abgesunken ist (3-dB-Grenzfrequenz): 1 G ( j ) = ----------------------1 + j X1
The spatial cut-off frequency, g (unit: lines per millimeter) is the frequency at which the absolute value of the transfer factor has fallen to 1/ 2 (3 dB-limit):
1 - G ( j g ) = -----2
g X1 = 1
g 1 - = ----X 1 = --------------2 g 2
mit/with g Grenzwellenlnge/cut-off wavelength
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Aus der Sprungantwort (Messung einer formidealen Stufe) lsst sich damit die Grenzwellenlnge berechnen, bei der noch 70 % der Hhe eines Sinusprofils bertragen wird:
The step response (measurement of an ideally shaped step), therefore, allows to calculate the cut-off wavelength at which 70 % of height of a sine profile are still transferred.
g = 2 X1
Bild A5 verdeutlicht diesen Zusammenhang. Diese Betrachtung gilt streng genommen nur fr sinusfrmige Profile (Wellennormale). Ein Rechteckprofil stellt aber auch eine gute Nherung dar (es entspricht der periodischen Fortsetzung einer positiven und einer negativen Stufe mit der Breite einer halben Periode). Dieses Rechteckprofil setzt sich als Summe berlagerter Sinuswellen zusammen (Entwicklung in eine Fourierreihe). Die Betrachtung der Grundwelle (sinusfrmig) ist ausreichend, da die hherfrequenten Oberwellen durch die Tiefpassfilterung grtenteils ausgefiltert werden. Bei dem verwendeten Wellennormal mit der Auflsungsgrenzwellenlnge wird geprft, ob der bertragungsfaktor von 70 % (Sinus) bzw. 90 % (Rechteck) erreicht wird.
g = 2 X1
Figure A5 illustrates this relation. Strictly speaking, this consideration is only true for sine profiles (wave standards). However, rectangular profiles can be used to a good approximation (this corresponds to the periodic extension of a positive and a negative step having the width of a half-period). This rectangular profile is made up of a sum of superimposed sine waves (Fourier series). Considering but the fundamental (sine) wave is sufficient, as higher harmonics will largely disappear due to low-pass filtering. Use a wave standard having the resolution cutoff wavelength and check whether the transfer factor is at least 70 % (sine) or 90 % (rectangular).
Die Herstellung bzw. Beschaffung von Mehrwellennormalen ist recht aufwndig und teuer. Deshalb ist es sinnvoll, die gleiche Information an der Stufe (siehe auch Bild A4) oder an zwei aufeinander folgenden, entgegengesetzten Stufen (Spalt) zu gewinnen.
Producing or procuring multi-wave standards is demanding and expensive. It is therefore practical to obtain the same information on the step (see Figure A4) or on two successive, opposite steps (gap).
-- = 0,78 4
Bild A5. Sinus- und Rechteckwelle mit der Periode der spezifizierten Grenzwellenlnge und Antwortsignal bei bestandenem Test
Fig. A5. Sine and rectangular waves having the period of the specified cut-off wavelength, and response signal in case of successful test

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ICS 17.040.

Oktober 2005 October 2005

VEREIN DEUTSCHER INGENIEURE VERBAND DER ELEKTROTECHNIK ELEKTRONIK INFORMATIONSTECHNIK

Ausg. deutsch/englisch Issue German/English

Die deutsche Version dieser Richtlinie ist verbindlich.

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4 3.1 1-D-Verfahren . . . . . . . . . . . . . . . . 4 3.2 2-D-Verfahren . . . . . . . . . . . . . . . . 9 3.3 3-D-Verfahren . . . . . . . . . . . . . . . . 11

3.1 One-dimensional methods . . . . . . . . . . 4 3.2 Two-dimensional methods . . . . . . . . . . 9 3.3 Three-dimensional methods . . . . . . . . . 11

4 Formelzeichen und Begriffe . . . . . . . . . . 11 5 Annahmeprfung . . . . . . . . . . . . . . . . 13

VDI/VDE-Gesellschaft Mess- und Automatisierungstechnik (GMA)

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6.1 Prfkrper . . . . . . . . . . . . . . . . . . 25 6.2 Durchfhrung . . . . . . . . . . . . . . . . 25 6.3 Auswertung . . . . . . . . . . . . . . . . 25 Schrifttum . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 25

6.1 Artefact . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 25 6.2 Procedure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 25 6.3 Evaluation . . . . . . . . . . . . . . . . . . 25 Bibliography . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 25

Blatt 1 Blatt 2.1

Blatt 2.2 Blatt 2.3

Part 1 Part 2.1

Part 2.2 Part 2.3

Blatt 5 Blatt 5.1 Blatt 6.1

Part 5 Part 5.1 Part 6.1

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Tabelle 1. Optische Sensoren fr Koordinatenmessgerte

Table 1. Selection of optical sensors for CMMs

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3.1.2 Holographische Konoskopie

3.1.2 Holographic conoscopy

Bild 1. Funktionsprinzip der Punkttriangulation

Fig. 1. Principle of functioning underlying point triangulation

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Bild 2. Funktionsprinzip der holographischen Konoskopie

Fig. 2. Principle of functioning underlying holographic conoscopy

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3.1.3 Chromatisches Fokusverfahren

3.1.3 Chromatic focusing method

Bild 3. Funktionsprinzip des chromatischen Fokusverfahrens

Fig. 3. Principle of functioning underlying the chromatic focusing method

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Bild 4. Funktionsprinzip des Foucault-Verfahrens

Fig. 4. Principle of functioning underlying the Foucault method

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3.1.5 Contrast-focusing method

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Bild 5. Funktionsprinzip Kontrastfokus-Verfahren

Fig. 5. Principle of functioning underlying the contrast-focusing method

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3.2 2-D-Verfahren 3.2.1 Laserlichtschnitt-Verfahren

3.2.2 White-light interferometry

Bild 6. Aufbau eines Laserlichtschnittsensors

Fig. 6. Laser light-section sensor design

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