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Oktober 2005

ICS 17.040.30

VDI/VDE-RICHTLINIEN

 

October 2005

VEREIN DEUTSCHER INGENIEURE

 

Genauigkeit von Koordinatenmessgeräten Kenngrößen und deren Prüfung Leitfaden zur Anwendung von DIN EN ISO 10 360 für Koordinatenmessgeräte mit optischen Abstandssensoren

   

VDI/VDE 2617

VERBAND DER ELEKTROTECHNIK ELEKTRONIK INFORMATIONSTECHNIK

 

Blatt 6.2 / Part 6.2

Accuracy of coordinate measuring machines Characteristics and their testing Guideline for the application of DIN EN ISO 10 360 to coordinate measuring machines with optical distance sensors

 

Ausg. deutsch/englisch Issue German/English

Die deutsche Version dieser Richtlinie ist verbindlich.

 

The German version of this guideline shall be taken as authorita- tive. No guarantee can be given with respect to the English trans- lation.

Inhalt

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Contents

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Vorbemerkung .

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Preliminary note

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1 Zweck und Geltungsbereich .

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1 Objective and scope .

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2 Sensorarten .

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2 Types of sensors

 

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3 Funktionsbeschreibung

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3 Functioning

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1-D-Verfahren .

3.1 .

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3.1 One-dimensional methods .

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2-D-Verfahren .

3.2 .

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3.2 Two-dimensional methods

 

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3-D-Verfahren .

3.3 .

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3.3 Three-dimensional methods

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4 Formelzeichen und Begriffe

 

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4 Symbols and definitions.

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5 Annahmeprüfung

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5 Acceptance testing

 

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5.1. Antastabweichung .

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5.1 Probing error

 

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5.1.1

Prüfkörper.

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5.1.1 Artefacts .

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5.1.2

Definitionen der Kenngrößen

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5.1.2 Definition of the characteristics

 

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5.1.3

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5.1.3 Procedure

 

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5.1.4

Auswertung

 

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5.1.4 Evaluation .

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5.2

5.2.1

5.2.2

5.2.3

. Definition der Kenngröße .

Prüfkörper.

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5.2 Error of indication for size measurement

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5.2.1 Artefacts .

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5.2.2 Definition of characteristic

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5.2.3 Procedure

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5.2.4

Auswertung:

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5.2.4 Evaluation .

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VDI/VDE-Gesellschaft Mess- und Automatisierungstechnik (GMA)

 
 

Fachausschuss Koordinatenmesstechnik

 

VDI/VDE-Handbuch Mess-und Automatisierungstechnik, Band 2: Fertigungstechnisches Messen VDI/VDE-Handbuch Optische Technologien VDI/VDE-Handbuch Mikro- und Feinwerktechnik VDI-Handbuch Betriebstechnik, Teil 3

 
 
 

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VDI/VDE 2617 Blatt 6.2 / Part 6.2

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6

Überwachung

 

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Reverification.

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6.1 Prüfkörper .

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6.1

Artefact

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6.2 Durchführung .

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6.2 Procedure

 

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6.3

Auswertung

 

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6.3 Evaluation

 

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Schrifttum .

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Bibliography .

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Anhang

Strukturauflösung

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Annex

Structural resolution

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Vorbemerkung

In der Richtlinie VDI/VDE 2617 sind Kenngrößen zur Beschreibung der Genauigkeit von Koordinaten- messgeräten (KMG) festgelegt und Verfahren zu ih- rer Prüfung beschrieben. Die Richtlinie besteht aus folgenden Blättern:

Preliminary note

The guideline VDI/VDE 2617 specifies characteris- tics serving to describe the accuracy of coordinate measuring machines (CMMs) and describes methods for testing these characteristics. The guideline con- sists of the following parts:

Blatt 1

Grundlagen

Part 1

Basics

Blatt 2.1

Leitfaden zur Anwendung von

Part 2.1

Code of practice for the application of

Blatt 2.2

DIN EN ISO 10 360-2 zur Messung von Längenmaßen Formmessung

Part 2.2

DIN EN ISO 10 360-2 for length measurement Form measurement

Blatt 2.3

Annahme- und Bestätigungsprüfung von

Part 2.3

Acceptance and reverification test for

Blatt 3

Koordinatenmessgeräten großer Bauart

Part 3

coordinate measuring machines of large dimensions Components of measurement deviation of

Blatt 4

Komponenten der Messabweichung des Gerätes Leitfaden zur Anwendung von

Part 4

the machine Manual for the use of

Blatt 5

DIN EN ISO 10 360-3 für Koordinaten- messgeräte mit Drehtisch

Part 5

DIN EN ISO 10 360-3 for coordinate measuring machines with additional axes of rotation Interim check with artefacts

Blatt 5.1

Überwachung durch Prüfkörper Überwachung mit Kugelplatten

Part 5.1

Interim check with ball plates

Blatt 6.1

Leitfaden zur Anwendung von

Part 6.1

Guideline for the application of

Blatt 6.2

DIN EN ISO 10360 für Koordinaten- messgeräte mit optischen Sensoren für la- terale Strukturen Leitfaden zur Anwendung von

Part 6.2

DIN EN ISO 10360 to coordinate measuring machines with optical sensors for lateral stuctures Guideline for the application of

Blatt 7

DIN EN ISO 10 360 für Koordinaten- messgeräte mit optischen Abstands- sensoren Ermittlung der Unsicherheit von

Part 7

DIN EN ISO 10 360 to coordinate measuring machines with optical distance sensors Estimation of measurement uncertainty of

Blatt 8

Messungen auf Koordinatenmessgeräten durch Simulation Prüfprozesseignung von Messungen mit

Part 8

coordinate measuring machines by means of simulation Suitability of measurements using

Blatt 9

Koordinatenmessgeräten (in Vorbereitung) Gelenkarm-Koordinatenmessgeräte

Part 9

coordinate measuring machines for test procedures (in preparation) Coordinate measuring machines with ar-

Blatt 10

(in Vorbereitung) Multisensor-Koordinatenmessgeräte (in Vorbereitung)

Part 10

ticulating arm (in preparation) Multisensor coordinate measuring machines

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1 Zweck und Geltungsbereich

Zweck dieser Richtlinie ist es, für Koordinatenmess- geräte Spezifikationen und Verfahren zu deren Prü- fung zu definieren. Hierbei wird die Vergleichbarkeit der Kenngrößen von Koordinatenmessgeräten mit taktilen und mit optischen Sensoren sichergestellt.

Der Geltungsbereich bezieht sich auf Koordinaten- messgeräte jeglicher Bauart mit optischen 1-D-, 2-D- oder 3-D-Abstandssensoren. Die Sensoren können über Zusatzeinrichtungen auch dreh- oder schwenk- bar sein. Funktionsweise und Besonderheiten der Sensoren werden erläutert.

In enger Anlehnung an DIN EN ISO 10 360-2 wer- den die Verfahren für die Annahmeprüfung und für die Überwachung der Längenmessabweichung und der Antastabweichung mit optischen Abstandssenso- ren definiert. Die Normenreihe DIN EN ISO 10 360 ist in der bisher vorliegenden Form sehr stark an tak- tilen Sensoren orientiert. Deshalb legt diese Richtli- nie für die Anwendung optischer Sensoren notwen- dige Ergänzungen fest:

• alternativ zu Endmaßen verwendbare Normale

• Vergleichbarkeit der Kenngrößen bei Verwendung von alternativen Normalen (beispielsweise mit kugelförmigen Begrenzungsflächen)

• Vergleichbarkeit der Kenngrößen bei sensorab- hängig unterschiedlichen Antaststrategien (unter- schiedliche Punkteanzahl, Abdeckungsgrad der anzutastenden Elemente, Nutzung von Zusatzein- richtungen wie Dreh-/Schwenkeinrichtungen)

• Definition der Kenngrößen für unterschiedliche Betriebsbedingungen

• Hinweise zum Umgang mit Einflussgrößen wie Umgebungsbedingungen, mathematischen Fil- tern und der Oberflächenbeschaffenheit der Prüf- körper

Zur Spezifikation und Überprüfung von optischen Sensoren werden Richtlinien durch OSIS-Arbeits- gruppen (Optical Sensor Interface Standard) defi- niert. Diese finden bei der Zusammenarbeit von Sen- sor- und Geräteherstellern bei der Systemintegration Anwendung. Sie kommen nicht für die Spezifikation und Überprüfung von Koordinatenmessgeräten im Verhältnis zwischen Hersteller und Anwender zum Einsatz.

VDI/VDE 2617 Blatt 6.2 / Part 6.2

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1 Objective and scope

This guideline is intended to give specifications for coordinate measuring machines and define methods for the testing of these instruments. Comparability of the characteristics of coordinate measuring machines with tactile and optical sensors is ensured.

The scope includes coordinate measuring machines of any type with optical one-, two-, or three-dimen- sional distance sensors. Sensors may allow swing- and-tilt movements by means of accessories. The functioning and specifics of the sensors are ex- plained.

The methods for acceptance testing and reverification of error of indication for size measurement and prob- ing error in optical distance sensors are defined in close harmonisation with DIN EN ISO 10 360-2. In its present form, the DIN EN ISO 10 360 series of standards is dominated to a large extent by tactile sen- sors. Consequently, this guideline provides the neces- sary additional specifications for the use of optical sensors:

• standards to be used as an alternative to gauge blocks

• comparability of the characteristics where alterna- tive standards are used (having, e.g., spherical boundary surfaces)

• comparability of the characteristics where probing strategies differ for different sensors (different number of points, differences in coverage of the elements to be probed, use of accessories such as swing-and-tilt equipment)

• definition of the characteristics for varying operat- ing conditions

• guidance on how to take into account influencing quantities such as environmental parameters, mathematical filters, and surface characteristics of the artefacts

OSIS (Optical Sensor Interface Standard) working groups draft guidelines concerning the specification and testing of optical sensors. These guidelines are used in the cooperation between sensor and instru- ment manufacturers for the purpose of system inte- gration. No reference is made to them between man- ufacturers and users when specifying and testing co- ordinate measuring machines.

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Tabelle 1. Optische Sensoren für Koordinatenmessgeräte

3-D-Verfahren

 

(ohne externe Achsen)

Verfahren mit strukturierter Beleuchtung

2-D-Verfahren

triangulationsbasierte Verfahren

Lichtschnittverfahren/

(mindestens eine mechanische Achse für die 3D-Messung)

Laserscanverfahren

interferometrische Verfahren

Weißlichtinterferometrie

 

Fokusverfahren

Konfokalmikroskopie

1-D-Verfahren

 

Chromatisches Fokusverfahren

(mindestens zwei mechanische Achsen für die 3D-Messung)

Fokusverfahren

Laserfokusverfahren

Video-Autofokusverfahren

triangulationsbasierte Verfahren

Punkttriangulation

holographische Verfahren

holographische Konoskopie

Table 1. Selection of optical sensors for CMMs

Three-dimensional methods (w/o external frame of reference)

Methods involving structured lighting

Two-dimensional methods (involving at least one mechanical axis for three-dimensional measurements)

Methods based on triangulation

Laser light section/ Laser scanning

Interferometric methods

White-light interferometry

 

Focusing methods

Confocal microscopy

One-dimensional methods (involving at least two mechanical axes for three-dimensional measurements)

 

Chromatic focusing method

Focusing methods

Laser focusing method

Video autofocus method

 

Methods based on triangulation

Point triangulation

Holographic methods

Holographic conoscopy

2 Sensorarten

Tabelle 1 zeigt eine Auswahl der für Koordinaten- messgeräte geeigneten optischen Sensoren. Sie wurde nach Dimensionalität der Sensoren und physi- kalischem Messprinzip gegliedert.

3 Funktionsbeschreibung

3.1 1-D-Verfahren 3.1.1 Punkttriangulation

Eindimensionale Triangulationssensoren arbeiten messend oder schaltend. Bei der messenden Arbeits- weise wird beispielsweise von der Lage des Licht- schwerpunkts auf dem Detektor des Sensors auf den Abstand zwischen Sensor und angetasteter Messob- jektoberfläche rückgerechnet. Bei der schaltenden Arbeitsweise wird der Sensor in seiner Messrichtung verfahren, bis der Lichtschwerpunkt durch die opti- sche Achse läuft und dadurch ein Schaltsignal er- zeugt.

2 Types of sensors

Table 1 below compiles a selection of optical sen- sors suitable for coordinate measuring machines. The table has been structured according to the number of dimensions of the sensors and the underlying physi- cal principle of measurement.

3 Functioning

3.1 One-dimensional methods

3.1.1 Point triangulation

One-dimensional triangulation sensors are of the measuring or switching type. In the case of measur- ing, e.g., the distance between the sensor and the sur- face of the test object being probed is calculated from the position of the centre of the light incident on the detector of the sensor. In the case of switching, the entire sensor unit is moved along the direction of measurement until the centre of the light intersects the optical axis, thus generating a trigger signal.

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In Bild 1 ist ein Beispiel eines Triangulationssensors dargestellt. Eine Lichtquelle (z.B. Laserdiode) emittiert einen kollimierten Laserstrahl in eine vorge- gebene Richtung. Die Strahlachse stellt dabei die Messlinie dar. Der Strahl wird durch die Oberfläche des Messobjektes diffus reflektiert. Der so entstan- dene Lichtfleck wird von einer gegen die Laserstrahl- achse geneigten Abbildungsoptik auf einen Positi- onsdetektor (z.B. eine positionsempfindliche Foto- diode, eine Differenzfotodiode oder eine CCD-Zeile) abgebildet. Ändert sich der Abstand zwischen Sensor und Messobjekt um z, so verschiebt sich der abge- bildete Lichtfleck auf dem Detektor um h. Der ge- suchte Abstand zwischen dem Sensor und dem Mes- sobjekt ergibt sich aus der Position der Schwerpunkts des Lichtflecks auf dem Detektor.

3.1.2 Holographische Konoskopie

Die zu messende Objektoberfläche wird mit einem Laser punktuell angetastet. Der Laserlichtfleck wird auf der Objektoberfläche diffus gestreut und stellt eine Punktlichtquelle für das Messsystem dar.

Diese Punktlichtquelle wird über eine Optik aufge- weitet und in einem doppelbrechenden Kristall, wel- cher sich zwischen zwei zirkular polarisierenden Fil- tern befindet, in einen ordentlichen und einen außer- ordentlichen Strahl aufgespaltet. Ordentlicher und außerordentlicher Strahl bilden hinter dem zweiten Polarisationsfilter ein holographisches Muster, wel- ches mit einer CCD-Kamera detektiert wird. Dieses Funktionsprinzip ist in Bild 2 dargestellt.

Der Abstand zwischen Sensor und Messobjekt wird aus dem Interferenzmuster über eine Bildverarbei- tung berechnet.

Figure 1 shows an example of a triangulation sen- sor. A light source (such as a laser diode) emits a col- limated laser beam in a specified direction. The beam axis is the measurement line. The surface of the test object causes a diffuse reflection of the light beam. The resulting light spot is projected onto a position detector (such as a position-sensitive photo diode, a differential photo diode, or a linear CCD array) by means of an optical imaging system whose axis is in- clined with respect to the laser beam axis. The posi- tion of the light spot on the detector changes as the distance between the sensor and the test object changes by z. The sought-for distance between sen- sor and test object then results from the position of the centre of the light spot on the detector by h.

3.1.2 Holographic conoscopy

The object surface to be measured is probed by a laser point. The laser light spot is diffusely reflected by the object surface, forming a point light source for the measuring system.

The light cone originating in this point light source is widened by an optical system, and split into an ordi- nary and an extraordinary beam by a birefractive crystal arranged between two circular polarisers. Having passed the second polariser, the ordinary and extraordinary beams superimpose to give a holo- graphic pattern that can be detected by means of a CCD camera. The principle of functioning is illus- trated in Figure 2.

The distance between sensor and test object is calcu- lated from the interference fringes as determined by image processing.

the interference fringes as determined by image processing. Bild 1. Funktionsprinzip der Punkttriangulation Fig. 1.

Bild 1. Funktionsprinzip der Punkttriangulation

Fig. 1. Principle of functioning underlying point triangulation

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Sistemas-KdNr.7518212-LfNr.5321525001-2011-05-04 16:41 Bild 2. Funktionsprinzip der holographischen Konoskopie Fig.
Sistemas-KdNr.7518212-LfNr.5321525001-2011-05-04 16:41 Bild 2. Funktionsprinzip der holographischen Konoskopie Fig.
Sistemas-KdNr.7518212-LfNr.5321525001-2011-05-04 16:41 Bild 2. Funktionsprinzip der holographischen Konoskopie Fig.

Bild 2. Funktionsprinzip der holographischen Konoskopie

Fig. 2. Principle of functioning underlying holographic conoscopy

3.1.3 Chromatisches Fokusverfahren

Beim chromatischen Sensor (Bild 3) wird Weißlicht mittels einer Linse fokussiert. Durch die chromati- sche Aberration der Linse kommt es nicht zu einem definierten Fokuspunkt hinter der Linse, sondern vielmehr zu einer „Fokuslinie“ in Abhängigkeit der Wellenlänge des Lichts. Die unterschiedlichen Farb- anteile des weißen Lichts werden somit in unter- schiedlichen axialen Abständen vom Sensor fokus- siert und können mit einem Spektrometer detektiert werden. Die Abstandsinformation des chromatischen Sensors wird aus der spektrometrisch detektierten Wellenlänge berechnet.

3.1.3 Chromatic focusing method

The chromatic sensor (Figure 3) focuses white light using a lens. Due to chromatic aberration of the lens, rather than being collected in a focal point behind the lens, the light is focused in a “focal line” depending on the wavelength of the light. The different colour components of white light are therefore focused at different distances from the sensor and can be de- tected using a spectrometer. The distance information of the chromatic sensor is determined from the wave- length as detected by the spectrometer.

from the wave- length as detected by the spectrometer. Bild 3. Funktionsprinzip des chromatischen Fokusverfahrens

Bild 3. Funktionsprinzip des chromatischen Fokusverfahrens

Fig. 3. Principle of functioning underlying the chromatic focusing method

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3.1.4 Foucault-Verfahren

Das Foucault-Verfahren ist in Bild 4 dargestellt. Ein Laserstrahl, z.B. aus einer Laserdiode, wird auf die Oberfläche des Messobjektes fokussiert. Der diffus reflektierte Lichtfleck wird über einen Strahlteiler auf einen Detektor (meist eine Anordnung von Differenz- dioden) abgebildet. Durch Einführung einer Schneide oder eines Biprismas in den Strahlengang wird ein Teil des Lichtstrahls ausgeblendet, sodass der Strahl asym- metrisch wird. Dies führt zu einem Signal in der Diffe- renzdiode, wenn sich die Oberfläche des angetasteten Messobjekts außerhalb des Sensorfokus befindet. Aus dem Detektorsignal können direkt die Abstandsände- rungen zwischen dem Messobjekt und dem Sensor er- mittelt werden (messender Sensor). Das Detektorsi- gnal kann aber auch als Stellsignal innerhalb eines Re- gelvorgangs zum Fokussieren der Abbildungsoptik oder des gesamten Sensors verwendet und so ein Scan- ning realisiert werden. Aus Lage und Orientierung des Sensors im Koordinatensystem des Koordinatenmess- gerätes lassen sich dann die Messpunkte zur Erfassung der Objektgeometrie bestimmen.

VDI/VDE 2617 Blatt 6.2 /

Part 6.2

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3.1.4 Foucault method

The Foucault method is illustrated in Figure 4. A la- ser beam, emitted by, e.g., a laser diode, is focused onto the surface of the test object. The diffuse reflec- tion of the light spot is projected via a beam splitter onto a detector (mostly a linear array of differential diodes). An edge or a biprism introduced into the op- tical path serves to block part of the light beam, mak- ing it asymmetrical. This will give rise to a signal in the differential diode as long as the surface of the test object probed does not lie in the focus of the sensor. The detector signal allows for direct determination of the variations in the distance between test object and sensor (measuring sensor). However, the detector sig- nal can also be used as an input signal to control the focusing of the optical imaging system or the sensor as a whole, allowing for scanning of the surface. The position and orientation of the sensor in the frame of reference of the coordinate measuring machine then allows to determine the measurement points for de- tecting the geometry of the object in question.

for de- tecting the geometry of the object in question. Bild 4. Funktionsprinzip des Foucault-Verfahrens Fig.

Bild 4. Funktionsprinzip des Foucault-Verfahrens

Fig. 4. Principle of functioning underlying the Foucault method

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3.1.5 Kontrastfokus-Verfahren

Kontrastfokus-Verfahren nutzen z.B. CCD-Kameras mit Bildverarbeitungssystemen. Sie ermitteln den Abstand von der Oberfläche des Messobjekts durch Fokussieren auf den größten Kontrast (Bildschärfe). Dies geschieht im Allgemeinen durch Relativbewe- gung zwischen Sensor und Messobjekt in Messrich- tung (Bild 5). Dabei werden die Sensorposition so- wie ein Bewertungskriterium für den Kontrast be- stimmt. Neben dem Kontrast selbst kann beispiels- weise die Kantensteilheit oder das Spektrum der Ortsfrequenzen verwendet werden. Dabei erfolgt diese Bewertung in einem Ausschnitt des Kamera- bildfeldes, welcher vom Anwender variabel in der Größe und Position innerhalb des Bildfeldes gewählt werden kann.

Ist die Position des größten Kontrastes erreicht, liegt der gemessene Bildausschnitt in einem bekannten Abstand vor dem Sensor auf dessen optischer Achse. Dieser Abstand wird durch einen Einmessvorgang vorab bestimmt. Zur Erhöhung der Auflösung der Abstandsmessung wird häufig eine Bestfit-Kurve in die gemessenen Werte des Kontrastes eingepasst und die Position des Maximums dieser Kurve als interpo- lierte Sensorposition des Fokuspunktes berechnet.

Meist sind die Bildverarbeitungssysteme mit eigenen Beleuchtungsquellen ausgestattet. Um auch Objekte mit kontrastarmen Strukturen mit Video-Autofokus- sensoren antasten zu können, existieren des Weiteren Systeme, die ein kontrastreiches scharfes Muster auf die Objektoberfläche projizieren und auf dieses fo- kussieren.

3.1.5 Contrast-focusing method

Contrast-focusing methods are used, e.g., in CCD cameras with image-processing systems. They deter- mine the distance from the surface of the test object by focusing to maximum contrast (image sharpness). This is usually achieved by means of a relative move- ment along the direction of measurement, between the sensor and the test object (Figure 5). While do- ing so, the position of the sensor and a weighting cri- terion for the contrast are determined. In addition to the contrast proper, it is possible to use, e.g., acutance (steepness of an edge) or the spectrum of spatial fre- quencies. This evaluation is performed for a part of the entire image, whose position and size can be spec- ified by the user.

When the position of greatest contrast has been found, the part of the image under evaluation lies on the opti- cal axis of the sensor, at a known distance in front of the same. This distance is determined beforehand by means of calibration. For enhanced resolution of dis- tance measurement, a best match curve is frequently fitted to the measured contrast values, and the position of the maximum of this curve is calculated in terms of an interpolated sensor position of the focal point.

Image-processing systems are mostly equipped with their own sources of lighting. Furthermore, in order to allow probing of objects with low-contrast struc- tures by means of video autofocus sensors, systems are used which project a high-contrast, sharp pattern onto the object surface, allowing focusing on this projected pattern.

surface, allowing focusing on this projected pattern. Bild 5. Funktionsprinzip Kontrastfokus-Verfahren Fig. 5.
surface, allowing focusing on this projected pattern. Bild 5. Funktionsprinzip Kontrastfokus-Verfahren Fig. 5.

Bild 5. Funktionsprinzip Kontrastfokus-Verfahren

Fig. 5. Principle of functioning underlying the contrast-focusing method

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3.2 2-D-Verfahren

3.2.1 Laserlichtschnitt-Verfahren

Das Lichtschnitt-Verfahren (auch Laserscanning- Verfahren) beruht auf dem Triangulationsprinzip. Hierbei wird ein Lichtvorhang durch Aufweitung des Laserstrahls mittels einer speziellen Zylinderlinse oder durch einen oszillierenden Spiegel erzeugt. Beim Lichtschnitt-Verfahren wird der von der Punkt- triangulation bekannte Zeilensensor durch einen Ma- trixsensor ersetzt. Mit Hilfe von Bildverarbeitungsal- gorithmen wird die Lage der diffus vom Messobjekt rückgestreuten Lichtlinie auf dem Matrixsensor er- mittelt.

Ein Beispiel eines Laserlichtschnittsensors ist in Bild 6 dargestellt. Die Berechnung des Abstands von Laserlichtschnittsensor zur Messobjektoberflä- che erfolgt anlog zum Punkttriangulations-Verfahren mit der Erweiterung von der punktuellen zur Linien- Auswertung.

3.2.2 Weißlichtinterferometrie

Bei der Weißlichtinterferometrie wird das Licht einer Weißlichtquelle zunächst über einen Strahlteiler in den Sensor eingekoppelt. Es durchläuft dann ein Mikro- skopobjektiv, in das ein Interferometer eingebaut ist. Entspricht die Weglänge des Lichts zwischen Objektiv und Prüfling exakt der Weglänge des Lichts im Inter- ferometer, treten Weißlichtinterferenzen auf. Über Verstellelemente wird das Objektiv durch den Messbe- reich verfahren. Über Positionsmessung des Objektivs wird der Weg dabei exakt aufgenommen. Der Ort der Weißlichtinterferenz wird für jedes Pixel separat er- rechnet und hieraus auf den jeweiligen Messpunkt ge- schlossen.

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3.2 Two-dimensional methods

3.2.1 Laser light section

Laser light section (or laser scanning) is based on the triangulation principle. By widening a laser beam us- ing a special cylinder lens or an oscillating mirror, a “light curtain” is generated. For laser light section, the linear CCD array known from point triangulation is replaced by a sensor matrix. Image-processing al- gorithms are used to determine the position of the light line, diffusely reflected by the test object, on the sensor matrix.

Figure 6 shows an example of a laser light-section sensor design. The distance between the laser light- section sensor and the test object surface is calculated as for the point triangulation method, extending the evaluation of a point to that of a line.

3.2.2 White-light interferometry

In white-light interferometry, the light of a source of white light is first fed into the sensor via a beam split- ter, whereupon it passes through a microscope with built-in interferometer. If the path length of the light between lens and test object exactly equals the path length of the light in the interferometer, white-light interference fringes can be seen. The lens is moved over the working range by means of actuators. The displacement of the lens is recorded precisely by means of position sensing. The position of white- light interference is calculated separately for each pixel, and a conclusion is derived from this with re- spect to the corresponding measurement point.

this with re- spect to the corresponding measurement point. Bild 6. Aufbau eines Laserlichtschnittsensor s Fig.

Bild 6. Aufbau eines Laserlichtschnittsensors

Fig. 6. Laser light-section sensor design

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Sistemas-KdNr.7518212-LfNr.5321525001-2011-05-04 16:41 Bild 7. Weißlichtinterferometer und
Sistemas-KdNr.7518212-LfNr.5321525001-2011-05-04 16:41 Bild 7. Weißlichtinterferometer und
Sistemas-KdNr.7518212-LfNr.5321525001-2011-05-04 16:41 Bild 7. Weißlichtinterferometer und
Sistemas-KdNr.7518212-LfNr.5321525001-2011-05-04 16:41 Bild 7. Weißlichtinterferometer und
Sistemas-KdNr.7518212-LfNr.5321525001-2011-05-04 16:41 Bild 7. Weißlichtinterferometer und
Sistemas-KdNr.7518212-LfNr.5321525001-2011-05-04 16:41 Bild 7. Weißlichtinterferometer und

Bild 7. Weißlichtinterferometer und Weißlichtinterferenzstruktur

Fig. 7. White-light interferometer and white-light interference fringes

Bild 7 zeigt das Funktionsprinzip eines Weißlichtin- terferometers sowie den entsprechenden Intensitäts- verlauf exemplarisch für ein Pixel.

3.2.3 Konfokalmikroskopie

Bei der konfokalen Mikroskopie (Beispiel siehe Bild 8) wird eine punktförmige Lichtquelle durch ein Mikroskopobjektiv auf das Messobjekt abgebil- det. Liegt das Objekt im Brennpunkt, so wird das Licht vom Messobjekt über denselben Weg durch das Objektiv hindurch und über einen Strahlteiler auf ei- nen Detektor reflektiert. Befindet sich das Objekt au- ßerhalb des Brennpunktes, hält dagegen eine Loch- blende das reflektierte Licht vor dem Detektor zu- rück. Der abgebildete Lichtpunkt wird sehr schnell Punkt für Punkt und Zeile für Zeile über das Objekt bewegt und auf diese Weise eine Messebene abgeta- stet. Diese laterale Abtastung geschieht mittels rotie- render Lochscheiben (Nipkov-Scheiben), mittels Spiegelsystemen oder durch den Einsatz von Mikro- spiegelarrays (DMD, digital micromirror device). Anschließend wird das Objekt in der Höhe geringfü- gig verfahren und erneut abgetastet. Durch das Über- einanderlegen dieser Schichtaufnahmen ergibt sich somit die dreidimensionale Struktur des Objektes.

Figure 7 shows the principle of functioning of a white-light interferometer, and the light intensity as a function of lens displacement for one pixel.

3.2.3 Confocal microscopy

In confocal microscopy (see Figure 8), a micro- scope lens is used to project a point light source onto the test object. If the object lies precisely in the focal point, it reflects the light back along the same path through the lens, and via a beam splitter onto a detec- tor. If, on the other hand, the object is out-of-focus, an aperture will prevent the reflected light from reaching the detector. The projected light spot is moved very rapidly across the object, scanning it point by point and line by line, which allows to scan a measurement plane. This lateral scanning is achieved by means of rotating, apertured disks (Nipkov disks), systems of mirrors, or micromirror arrays (DMDs, digital micro- mirror devices). Finally, the object is slightly ad- justed in height, and the surface scanned again. Stacking the sections thus obtained will reveal the three-dimensional structure of the object.

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Sistemas-KdNr.7518212-LfNr.5321525001-2011-05-04 16:41 Bild 8. Prinzipieller Strahlengang bei einem konfokalen

Bild 8. Prinzipieller Strahlengang bei einem konfokalen Mikro-

skop

3.3 3-D-Verfahren

3.3.1 Verfahren mit strukturierter Beleuchtung

Ein Verfahren, welches mittels strukturierter Beleuch- tung arbeitet, ist die Streifenprojektion. Dies ist ein Triangulations-Verfahren und kann als Erweiterung des Lichtschnitt-Verfahrens betrachtet werden. Bei der Streifenprojektion wird im Vergleich zum Licht- schnittprinzip keine einzelne Linie sondern ein peri- odisches äquidistantes Streifenmuster auf das Messob- jekt projiziert. Dies geschieht beispielsweise durch Flüssigkristall- oder Mikrospiegelarray-Projektoren. Das durch diffuse Reflexion auf dem Objekt sichtbar werdende Streifenmuster wird von einer CCD-Kamera erfasst, welche unter einem Triangulationswinkel Θ zur Beleuchtungsrichtung angeordnet ist (Bild 9a).

Die Höheninformation ist analog zum Punkttriangula- tions- und Lichtschnitt-Verfahren in der Position der

tions- und Lichtschnitt-Verfahren in der Position der Fig. 8. Schematic of beam path in a confocal
tions- und Lichtschnitt-Verfahren in der Position der Fig. 8. Schematic of beam path in a confocal
tions- und Lichtschnitt-Verfahren in der Position der Fig. 8. Schematic of beam path in a confocal
tions- und Lichtschnitt-Verfahren in der Position der Fig. 8. Schematic of beam path in a confocal

Fig. 8. Schematic of beam path in a confocal microscope

3.3 Three-dimensional methods

3.3.1 Methods using structured lighting

One method using structured lighting is line projec- tion. This method is actually a triangulation method and can be regarded as an extension of light section. The method consists in projecting a recurrent pattern of equidistant lines, rather than one single line, onto the test object. This is achieved by, e.g., liquid-crystal or micromirror-array projectors. The diffusely re- flected line pattern then visible on the object is re- corded by a CCD camera aligned at a triangulation angle, Θ, to the axis of lighting (Figure 9a).

As in the point triangulation and light section methods, the height information is contained in the position of

the height information is contained in the position of Bild 9. Funktionsprinzip eines Streifenproj ektionssystems,

Bild 9. Funktionsprinzip eines Streifenprojektionssystems, bestehend aus Projektor und Kamera (a) sowie Graycode-Verfahren (b)

M – Projektions- oder Messfeld

Fig. 9. Principle of functioning of a line-projection system consisting of projector and camera (a), and Graycode method (b)

M – projection or working range

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Streifen auf dem CCD-Sensor enthalten. Um eine ein- deutige Zuordnung zwischen den projizierten Streifen und den aufgenommenen Streifen zu gewährleisten, werden die Streifen nacheinander z.B. nach dem Gray- codeverfahren (Bild 9b) projiziert. Um genauer auflö- sen zu können werden Phasenschiebetechniken und Subpixeling-Verfahren eingesetzt.

4 Formelzeichen und Begriffe

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the lines on the CCD sensor. In order to ensure unam- biguous allocation of the projected lines to those re- corded, the lines are projected serially, e.g. according to the Graycode method (Figure 9b). Enhanced reso- lution is achieved by using phase-shifting techniques and sub-pixel methods.

4 Symbols and definitions

Für die Anwendungen dieser Richtlinie gelten die Definitionen aus DIN EN ISO 10 360-1, DIN EN ISO 14 253-1 und VIM. Ergänzend werden folgende Kenngrößen für verschiedene Betriebsarten (Antaststrategien) neu eingeführt:

For the purposes of this guideline the definitions of DIN EN ISO 10 360-1, DIN EN ISO 14 253-1, and the VIM apply. Additionally, the following character- istics for different operating modes (probing strate- gies) are introduced:

Antastabweichung PF – Form (form)

Probing error PF – form

PF Antastabweichung

PF

probing error

PF(OT)

Antastabweichung unter Verwendung der Koordinatenachsen des Koordinatenmess- gerätes (optical probing error translatory)

PF(OT)

probing error when using the frame of ref- erence of the coordinate measuring ma- chine (optical probing error translatory)

PF(OA) Antastabweichung unter zusätzlicher Ver- wendung eines Dreh-Schwenk-Gelenks (optical probing error articulating)

PF(OA)

probing error when using an additional ar- ticulating system (optical probing error ar- ticulating)

PF(OS)

Antastabweichung bei Stillstand der Koor- dinatenachsen (optical probing error static)

PF(OS)

probing error with frame of reference at rest (optical probing error static)

Antastabweichung PS – Maß (size)

PS

Prüfkugel PS(OT) ermittelte Durchmesserabweichung der Prüfkugel unter Verwendung der Koordi- natenachsen des Koordinatenmessgerätes (optical size error translatory)

PS(OA) ermittelte Durchmesserabweichung der Prüfkugel unter zusätzlicher Verwendung eines Dreh-Schwenk-Gelenks (optical size error articulating) PS(OS) ermittelte Durchmesserabweichung der Prüfkugel bei Stillstand der Koordinaten- achsen (optical size error static)

Längenmessabweichung E

der

ermittelte

Durchmesserabweichung

E(OT)

Längenmessabweichung unter Verwen-

E(OA)

dung der Koordinatenachsen des Koordina- tenmessgerätes (optical error translatory) Längenmessabweichung unter zusätzlicher Verwendung eines Dreh-Schwenk-Gelenks (optical error articulating)

E(OS)

Längenmessabweichung bei Stillstand der Koordinatenachsen (optical error static)

Probing error PS – size

PS

sphere PS(OT) calculated error in the diameter of the test sphere when using the frame of reference of the coordinate measuring machine (opti- cal size error translatory)

PS(OA)

calculated error in the diameter of the test

calculated error in the diameter of the test sphere when using an additional articulat- ing system (optical size error articulating)

PS(OS) calculated error in the diameter of the test sphere with frame of reference at rest (opti- cal size error static)

Error of indication for size measurement E

E(OT)

error of indication for size measurement

E(OA)

when using the frame of reference of the coordinate measuring machine (error of in- dication for size measurement translatory) error of indication for size measurement when using an additional articulating sys- tem (error of indication for size measure- ment articulating)

E(OS)

error of indication for size measurement with frame of reference at rest (error of in- dication for size measurement static)

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Grenzwerte MPE XX Grenzwert für die Kenngröße XX (maxi- mum permissible error) Dies bedeutet z.B.: MPE PS(OT) ist der Grenzwert für PS(OT).

Hilfsgrößen R max maximaler Abstand von Antastpunkten zum Mittelpunkt der Ausgleichskugel R min minimaler Abstand von Antastpunkten zum Mittelpunkt der Ausgleichskugel

D a gemessener Durchmesser der Prüfkugel D r kalibrierter Durchmesser der Prüfkugel SD Kugelabstandsabweichung L a gemessene Länge des Endmaßes L r kalibrierte Länge des Endmaßes L ka gemessener Kugelabstand

L kr

kalibrierter Kugelabstand

E E Längenmessabweichung am kurzen End- maß

5 Annahmeprüfung

Die Annahmeprüfung dient dazu festzustellen, ob das Koordinatenmessgerät mit optischen Sensoren die vom Hersteller spezifizierten bzw. vertraglich verein- barten Grenzwerte für die Kenngrößen von Antastab- weichung und Längenmessabweichung einhält. Vor der Durchführung der in Abschnitt 5.1 und Ab- schnitt 5.2 angegebenen Prüfungen sind die in der Betriebsanleitung des Herstellers festgelegten Vorbe- reitungen zu treffen, z.B.:

• Einschalten und Vorbereiten des Koordinaten- messgerätes für den Messbetrieb

• Sensor konfigurieren und einmessen

• ausreichend stabile Befestigung der Prüfkörper, möglichst ohne Verformung

Die notwendigen Informationen sollten vom Herstel- ler gegeben werden. Bei den Prüfungen müssen die vom Hersteller vorgegebenen Umgebungs- und Be- triebsbedingungen eingehalten werden.

Filterungen der Messwerte sind nur in dem Umfang zulässig, wie sie für die zu prüfende Kenngröße als Randbedingung definiert sind bzw. beim normalen Gebrauch des Gerätes eingesetzt werden da hier- durch die Auflösung der Sensoren beeinflusst wird.

Die Prüfkörper und das Gerät müssen die mittlere Temperatur des Messvolumens angenommen haben. Weicht die mittlere Temperatur der Prüfkörper und des Koordinatenmessgerätes von der Bezugstempe- ratur nach DIN EN ISO 1 ab, so sind entsprechende Temperaturkorrekturen vorzunehmen, sofern dieses im normalen Gebrauch des Gerätes ebenfalls ge- schieht.

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Limits MPE XX limit for characteristic XX (maximum per- missible error) Example: MPE PS(OT) is the limit for PS(OT).

Additional quantities

R

maximum distance between probing points and the centre of the regression sphere minimum distance between probing points and the centre of the regression sphere diameter of the test sphere as measured calibrated diameter of the test sphere sphere-distance error length of the gauge block as measured calibrated length of the gauge block ball distance as measured calibrated ball distance error of indication for size measurement of the short gauge block

SD

D

D

R

max

min

L

L

L

L

a

r

a

r

ka

kr

E E

5 Acceptance testing

Acceptance testing serves to verify whether the coor- dinate measuring machine including the optical sen- sors complies with the limits for the characteristic values of probing error and error of indication for size measurement as specified by the manufacturer or as agreed by contract. Prior to performance of the tests listed in Section 5.1 and Section 5.2, preparations shall be made as specified in the manufacturer’s in- struction manual. Examples are:

• switch on coordinate measuring machine and pre- pare for measuring operation

• configure and qualify sensor

• fix artefacts in a sufficiently stable manner, prefer- ably without deformation

The required information should be provided by the manufacturer. During testing, ensure compliance with the environmental and operating conditions specified by the manufacturer.

Filtering of measured values, affecting the resolution of the sensors, is only permitted to the extent that is defined as a boundary condition for the characteristic in question, or to the extent used during normal oper- ation of the instrument.

The artefacts and the instrument shall be in thermal equilibrium at the average temperature of the meas- urement volume. Where the average temperature of the artefacts and coordinate measuring machine devi- ate from the reference temperature specified in DIN EN ISO 1, the pertinent temperature corrections shall be made, provided this is also done during nor- mal operation of the instrument.

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5.1 Antastabweichung

Durch die Antastabweichung wird nach DIN EN ISO 10 360 das dreidimensionale Abwei- chungsverhalten des Gesamtsystems, bestehend aus Koordinatenmessgerät, optischem Abstandssensor und Zusatzeinrichtungen (z.B. Schwenkgelenke), in einem sehr kleinen Messvolumen beschrieben. Hier wird zwischen der Antastabweichung Form (PF) und der Antastabweichung Maß (PS) unterschieden.

Der Wert der Antastabweichung eines optischen Ko- ordinatenmessgeräts wird von den Abweichungen des Koordinatenmessgeräts und im besonderen Maße von den Abweichungen des Sensors bestimmt (z.B. Rauschen, Digitalisierungsfehler, Abbildungsfehler, optische Wechselwirkungen mit der Oberfläche des Prüfkörpers, Einmessfehler des Sensors, unzurei- chende Algorithmen in der Messwertverarbeitung).

Bei Koordinatenmessgeräten mit optischen Ab- standssensoren besteht abhängig von der Dimensio- nalität des Sensors die Möglichkeit, neben der Mes- sung mit Bewegung der Koordinatenachsen zusätz- lich eine Messung unter Einschluss eines Dreh- Schwenk-Gelenks durchzuführen. Hierdurch können Einschränkungen des Sensors umgangen werden (z.B. mangelnde oder schlechte Fähigkeit geneigte Flächen anzutasten). Für dreidimensionale Abstands- sensoren kann auch eine Messung ohne Verfahren der Koordinatenachsen durchgeführt werden. Für jeden dieser Fälle ergibt sich eine getrennte Angabe der Antastabweichung:

1. Der Sensor wird durch das Koordinatenmessgerät verschoben, die Messung erfolgt in mehreren Po- sitionen „am Bild“. Bei 1-D- und 2-D-Sensoren werden zusätzliche Verfahrbewegungen an den je- weiligen Positionen durchgeführt, um so die 3-D- Funktionalität mit diesen Sensoren zu ermögli- chen. Die zugehörige Antastabweichung wird als PF(OT) bzw. PS(OT) bezeichnet. Diese Messung ist grundsätzlich durchzuführen.

2. Die Orientierung des Sensors wird zusätzlich durch ein Dreh-Schwenk-Gelenk verändert. Die zugehörige Antastabweichung wird als PF(OA) bzw. PS(OA) bezeichnet. Diese Messung kann zu- sätzlich durchgeführt werden.

3. Der Sensor steht beim Messen still, die Mess- punkte am Prüfkörper oder einem Teil davon wer- den an einer Position übernommen, die Messung erfolgt „im Bild“. Die zugehörige Antastabwei- chung wird als PF(OS) bzw. PS(OS) bezeichnet. Diese Messung kann bei Koordinatenmessgeräten mit 3-D-Abstandssensoren zusätzlich durchge- führt werden. Der Einfluss des Koordinatenmess- geräts ist hier nicht enthalten. Es werden allein die Eigenschaften des Sensors erfasst.

5.1 Probing error

According to DIN EN ISO 10 360, the probing error characterises the three-dimensional errors of the en- tire system consisting of coordinate measuring ma- chine, optical distance sensor, and accessories (like articulators) within a very small measurement vol- ume. A distinction is made between the probing er- rors for the form (PF) and for the size (PS).

The value of the probing error of an optical coordi- nate measuring machine is determined by the errors of the coordinate measuring machine and, particu- larly, by the errors of the sensor (such as noise, digi- tising errors, image distortion, optical interaction with the surface of the artefact, calibration errors of the sensor, faulty algorithms in measured-data processing).

Depending on the number of dimensions in which co- ordinate measuring machines with optical distance sensors probe the artefacts, measurements can be per- formed not only by moving the frame of reference but also using an articulating system. This allows to ex- tend measurements beyond any restrictions imposed by the sensor (such as lacking or poor ability to probe inclined surfaces). Three-dimensional distance sen- sors also allow measurements without moving the frame of reference. The probing errors are stated sep- arately for each of these cases.

1. The sensor is moved by the coordinate measuring machine, measurements are taken at several posi- tions “on the image”. For one- and two-dimen- sional sensors, additional sensor movements are needed at the pertinent positions to extend their functionality to three dimensions. The associated probing errors are PF(OT) and PS(OT). This measurement is mandatory.

2. The alignment of the sensor is additionally modi- fied by means of an articulating system. The asso- ciated probing errors are PF(OA) and PS(OA). This measurement is optional.

3. The sensor remains at rest during measurements. Measurement points on the artefact or part thereof are collected with the sensor in a fixed position, measurement is taken “in the image”. The associ- ated probing errors are PF(OS) and PS(OS). This measurement is optional for coordinate measuring machines with three-dimensional dis- tance sensors. It does not include the influence of the coordinate measuring machine, only the char- acteristics of the sensor are detected.

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Die Strukturauflösung des Sensors muss angegeben werden, weil durch Filterverfahren die Strukturauflö- sung verschlechtert und gleichzeitig die Antastab- weichung verbessert werden kann. Der Hersteller muss Prüfkörper, Messablauf und Auswertung zur Ermittlung der Strukturauflösung beschreiben. Es ist zu beachten, dass Messergebnisse bei unterschied- lichen Verfahren zur Auflösungsbestimmung nicht direkt miteinander vergleichbar sind. Beim Vergleich verschiedener Systeme sollte der Anwender darauf achten, gleiche Verfahren zur Auflösungsbestim- mung zu verwenden. Im Anhang wird die Struktur- auflösung beschrieben, und es werden Beispiele für Messverfahren zu deren Bestimmung angegeben.

5.1.1

Prüfkörper

Zur Ermittlung der Antastabweichung werden Kugeln aus Keramik oder Stahl verwendet, andere geeignete Materialien sind zugelassen. Da unterschiedliche Ma- terialien unterschiedliche optische Eigenschaften wie Reflexionsgrad, optische Eindringtiefe (Volumen- streuung), Farbe, Streuungseigenschaften u.a. besitzen und somit zu unterschiedlichen Werten der Antastab- weichung führen können, sind diese unbedingt anzu- geben. Die Rauheit der Antastformelemente sollte ver- nachlässigbar klein sein. Erfolgt durch den Hersteller keine Spezifikation des Materials und der Oberfläche des Prüfkörpers, sind diese frei wählbar. Für die Ermittlung der Antastabweichung PF(OT) und PS(OT) mit Bewegen der Koordinatenachsen bzw. der Antastabweichung PF(OA) und PS(OA) unter zusätzli- cher Verwendung eines Dreh-Schwenkgelenks ist ent- sprechend DIN EN ISO 10 360 der Kugeldurchmesser 10 mm bis 50 mm zu verwenden. Für die Ermittlung der Antastabweichung im Stillstand des Koordinaten- messgeräts PF(OS) und PS(OS) soll der Durchmesser der Kugel ca. 0,1 bis 0,2 der Raumdiagonalen des Sen- sormessvolumens betragen. Müssen aus technischen Gründen andere Durchmesser verwendet werden, so sind diese anzugeben. Für den Prüfkörper muss ein Kalibrierschein vorliegen. Zur detaillierten Untersuchung spezieller Sensor- eigenschaften können weitere Tests zwischen Hersteller und Anwender vereinbart werden. Bei Sensoren mit sehr großen Messbereichen kann z.B. eine kalibrierte Ebene gemessen werden (vgl. VDI/VDE 2634 Blatt 2).

5.1.2 Definitionen der Kenngrößen

Die Kenngröße Antastabweichung PF ist nach DIN EN ISO 10 360 die Spanne der radialen Abwei- chungen der Messpunkte von der berechneten Aus- gleichskugel. Dies entspricht der Differenz zwischen maximalem und minimalem Abstand von Antast- punkten zum Mittelpunkt der Ausgleichskugel:

PF = R max R min

The structural resolution of the sensor shall be stated, as filter methods will impair structural resolution while at the same time improving the probing error. The manufacturer shall describe artefact, measure- ment procedure, and the evaluation for determining the structural resolution. Note that measurement re- sults for determining the resolution are not a priori comparable if they were obtained using different methods. Where different systems are compared, the user should ensure that identical methods are used to determine the resolution. The annex describes the structural resolution, and examples of measurement methods serving to determine this quantity are given.

5.1.1

Artefacts

Test spheres of ceramics or steel are used to deter- mine the probing error. Other appropriate materials are permitted. The material used shall be stated at any rate as different materials have different optical char- acteristics such as reflection factor, optical penetra- tion depth (volume scattering), colour, scattering characteristics, etc., which means that the values of the pertinent probing errors may differ. The rough- ness of the features to be probed should be negligible. Where the manufacturer fails to specify the material and surface of the artefact, these can be chosen arbi- trarily. According to DIN EN ISO 10 360, a sphere diameter of 10 mm to 50 mm shall be used for determining the probing errors PF(OT) and PS(OT) with moving frame of reference, and for determining PF(OA) and PS(OA) with additional articulating system. For determination

of the probing error with the coordinate measuring ma-

chine at rest, the sphere diameter shall be approxi- mately 0,1 to 0,2 times the length of the body diagonal through the measurement volume covered by the sen- sor. A calibration certificate is required for the artefact.

Manufacturer and user may agree on further tests for detailed investigation of special sensor characteris- tics. An example, described in is the measurement of

a calibrated plane in the case of sensors with very large working ranges (cf. VDI/VDE 2634 Part 2).

5.1.2 Definition of the characteristics

According to DIN EN ISO 10 360, the characteristic probing error PF is the range of radial deviations be- tween the measurement points and the calculated re- gression sphere. This is identical to the difference be- tween the maximum and minimum distances of prob- ing points from the centre of the regression sphere:

PF = R max R min

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Die Ausgleichskugel wird nach der Methode der kleinsten Fehlerquadratsumme bei freiem Radius be- stimmt. Als zusätzliche Kenngröße der Antastabwei- chung wird die Durchmesserabweichung PS be- stimmt. Diese ergibt sich aus der Differenz zwischen gemessenem Durchmesser D a und kalibriertem Durchmesser D r der Kugel:

PS = D a D r

5.1.3 Durchführung

Analog zu DIN EN ISO 10 360 sind für die Ermittlung der Kenngrößen PF(OT) und PS(OT) bzw. PF(OA) und PS(OA) jeweils mindestens 25 Messpositionen so zu wählen, dass der Prüfkörper möglichst vollständig erfasst wird. Ist bei dreidimensionalen Sensoren der Prüfkörper kleiner als der Messbereich des Sensors, sind die Positionen innerhalb des Messbereichs des Sensors zu wählen. Sind Bereiche auszulassen, ist dies anzugeben.

Die Kenngrößen PF(OS) und PS(OS) werden stich- probenartig an beliebigen Positionen des Sensormess- volumens gemessen (empfohlen werden neun Positio- nen, in den Ecken und der Mitte des Messvolumens). Die Anzahl der Antastpunkte muss generell minde- stens 25 sein. Es gibt keine Beschränkung hinsichtlich der maximalen Anzahl der Antastpunkte.

Die Verwendung von Filtern oder Algorithmen zur Ausreißerreduzierung muss genau beschrieben wer- den. Fehlen diese Angaben, dürfen die Kenngrößen auch ohne Filter ermittelt werden. Auch hier ist zu be- achten, dass die Filterverfahren, die beim praktischen Messen eingesetzt werden, auch für die Prüfung der Antastabweichung verwendet werden. Unter Umstän- den sind für verschiedene Filtereinstellungen, die der Anwender benötigt, verschiedene Werte für die An- tastabweichung zu bestimmen.

5.1.4 Auswertung

Die Grenzwerte MPE XX der Kenngrößen werden vom Gerätehersteller festgelegt. Die Spezifikation der Antastabweichungen ist eingehalten, wenn die er- mittelten Werte der Kenngrößen die zugehörigen Grenzwerte MPE XX an keiner der Messpositionen überschreiten. Hierbei ist die erweiterte Mess- unsicherheit U des Prüfverfahrens zu berücksichtigen (siehe DIN EN ISO 14 253-1):

|Px(xx)| |MPE XX | – U |Px(xx)| |MPE XX | + U

für den Hersteller für den Abnehmer

Tritt genau eine Überschreitung auf, so ist gemäß DIN EN ISO 10 360 diese Messung zehnmal zu wie- derholen. Erreichen oder unterschreiten die gemesse- nen Werte bei der Wiederholung die Grenzwerte, so ist die Annahme erfolgreich.

The regression sphere is determined according to the least-squares method, with the radius being unre- stricted. As an additional characteristic of the probing error, the error in diameter, PS, is determined. This quantity is obtained from the difference between the measured and calibrated diameters, D a and D r , re- spectively, of the sphere:

PS = D a D r

5.1.3 Procedure

By analogy to DIN EN ISO 10 360, no less than 25 measurement positions shall be selected for the de- termination of the characteristics PF(OT) and PS(OT), and PF(OA) and PS(OA), respectively. The selection shall be such that the greatest possible coverage of the surface of the artefact is achieved. Where the artefact is smaller than the working range of a three-dimensional sensor, the positions shall be chosen to lie within the working range of the sensor. Where certain ranges are to be omitted, these shall be identified. For determination of the characteristics PF(OS) and PS(OS), sample measurements are taken at arbitrary positions within the measurement volume of the sen- sor. (It is recommended to measure at nine positions, in the corners and at the centre of the measurement vol- ume). The total number of probing points shall never be less than 25, with no limit to the maximum number of probing points. The use of filtering, and of algorithms, serving to re- duce “outliers”, shall be described in detail. Where this information is not available, characteristics may be de- termined without filtering. Ensure, also in this case, that the filtering methods used for actual measure- ments are also used during the determination of the probing error. If necessary, different values of the prob- ing error shall be determined for different filter settings required by the user.

5.1.4 Evaluation

The limits, MPE XX , for the characteristics are specified by the instrument manufacturer. Compliance with the specification of the probing errors is demonstrated if the values of the characteristics do not exceed the asso- ciated limits, MPE XX , at any one of the measurement points. In this evaluation, consideration shall be given to the expanded uncertainty of measurement, U, of the test method (see DIN EN ISO 14 253-1):

for the manufacturer for the customer

Where there is one, and only one, case of exceeding the limits, this measurement shall be repeated ten times in accordance with DIN EN ISO 10 360. Where the values measured during the repeated measurements are equal to or less than the limits, ac- ceptance is successful.

|Px(xx)| |MPE XX | – U |Px(xx)| |MPE XX | + U

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Die Grenzwerte der Kenngrößen sind unter allen vom Hersteller zugelassenen Bedingungen einzuhalten. Dies gilt insbesondere hinsichtlich der Oberflächen- eigenschaften der Prüfkörper und der Filterparame- ter.

5.2 Längenmessabweichung

Durch die Längenmessabweichung wird nach DIN EN ISO 10 360 das dreidimensionale Abwei- chungsverhalten des Gesamtsystems, bestehend aus Koordinatenmessgerät und Sensor im gesamten Messvolumen beschrieben. Dieses Abweichungsver- halten entsteht durch die Überlagerung verschiedener Einzelabweichungen, z.B. nicht korrigierte systema- tische Abweichungen und nicht korrigierte Um- kehrspannen durch Bewegung der Koordinatenach- sen sowie zufällige Abweichungen. Der Wert der Längenmessabweichung kann bei Koordinatenmess- geräten mit optischen Abstandssensoren im besonde- ren Maße von den Abweichungen des Sensors be- stimmt werden. In Abhängigkeit von den Eigenschaf- ten des Sensors ist es unter Umständen sinnvoll oder erforderlich, die Messungen unter Einschluss eines Dreh-Schwenk-Gelenks durchzuführen (siehe Ab- schnitt 5.1.1)

Werden bei Messungen Dreh-Schwenkgelenke oder andere Zusatzeinrichtungen verwendet, sind die durch sie verursachten Messabweichungen bei der Bestimmung der Längenmessabweichung einzube- ziehen. Anderenfalls sind diese Einrichtungen ein- deutig auszuschließen.

Es wird ausdrücklich darauf hingewiesen, dass sich die Längenmessabweichung von der Kugelabstands- abweichung in der Richtlinie VDI/VDE 2634 Blatt 2 unterscheidet. Bei der Ermittlung der Kugelabstands- abweichung ist die Antastabweichung wegen der gro- ßen Anzahl der zulässigen Antastpunkte in der Kenn- größe durch Mittelungseffekte beim Berechnen der Ausgleichskugel nicht vollständig enthalten und so- mit nicht mit der Messung von Endmaßen vergleich- bar. Deshalb ist bei Längenmessabweichungen, die aus mehr als zwei Antastpunkten pro Länge berech- net werden, der Anteil der Antastabweichung geson- dert hinzuzurechnen.

5.2.1

Prüfkörper

Zur Bestimmung der Längenmessabweichung wer- den Prüfkörper mit Längenmaßverkörperungen wie Kugelstäbe mit zwei oder mehreren Kugeln, Kugel- leisten (nachfolgend zusammengefasst als „Kugel- stäbe“ bezeichnet), Parallelendmaße, Stufenendmaße (nachfolgend als Endmaße bezeichnet) oder Kugel- platten verwendet. Bei Kugelstäben und Kugelplatten

The limits of the characteristics shall be complied with under all conditions permitted by the manufac- turer. This is particularly true for the surface charac- teristics of the artefacts and the filter parameters.

5.2 Error of indication for size measurement

According to DIN EN ISO 10 360, the error of indi- cation for size measurement characterises the three- dimensional errors of the entire system consisting of coordinate measuring machine and sensor within the total of the measurement volume. These errors result from the superposition of various individual errors, such as non-corrected bias errors and non-corrected hysteresis where the frame of reference is moved, as well as random errors. In coordinate measuring ma- chines with optical distance sensors, the value of the error of indication for size measurement can be dom- inated by the influence of the sensor errors. Depend- ing on the sensor characteristics, it may be conven- ient, or even necessary, to include the articulating system in the measurements (see Section 5.1.1).

Where articulating systems or other accessories are used in measurements, the errors of measurement caused by these accessories shall be included in the determination of the error of indication for size meas- urement, or the accessories shall be clearly excluded.

It shall be noted expressly that the error of indication for size measurement differs from the sphere-dis- tance error as per the guideline VDI/VDE 2634 Part 2. When the sphere-distance error is determined, the probing error is not included completely in the characteristic. This is due to averaging effects in the calculation of the regression sphere, which result from the large number of permissible measurement points. This measurement is, therefore, not compara- ble to measurements using gauge blocks. As a matter of consequence, the contribution of the probing error shall be added separately to errors of indication for size measurement calculated from more than two probing points per length.

5.2.1 Artefacts

The error of indication for size measurement is deter- mined using artefacts including material standards of size such as ball bars having two or more spheres, ball rails (summarised below by the term ball bars), gauge blocks, step gauge blocks (called gauge blocks be- low) or ball plates. The probing features of ball bars and ball plates should have a diameter of 10 mm to

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sollten die Antastformelemente einen Durchmesser von 10 mm bis 50 mm haben. Müssen aus techni- schen Gründen andere Durchmesser verwendet wer- den, so sind diese anzugeben. Die Rauheit der Antast- formelemente sollte vernachlässigbar klein sein. Da unterschiedliche Materialien unterschiedliche opti- sche Eigenschaften besitzen (siehe Abschnitt 5.1.1) und somit zu unterschiedlichen Längenmessabwei- chungen führen können, sind diese unbedingt anzu- geben. Erfolgt durch den Hersteller keine Spezifika- tion des Materials und der Oberfläche des Prüfkör- pers, sind diese frei wählbar. Die Kalibrierunsicherheit des Prüfkörpers muss doku- mentiert und deutlich kleiner als die vom Hersteller angegebenen maximal zulässigen Längenmessab- weichungen des zu prüfenden Koordinatenmess- gerätes sein (siehe hierzu DIN EN ISO 14 253-1). Es müssen die Abstände wie auch die Form aller für die Prüfung benötigten Antastformelemente eines Prüf- körpers kalibriert sein.

5.2.2 Definition der Kenngröße

Die Kenngröße Längenmessabweichung E ist nach DIN EN ISO 10 360 die Abweichung, mit der die Länge einer Maßverkörperung mit dem Koordinaten- messgerät bestimmt werden kann, wenn die Messung durch bidirektionale Antastung von zwei gegenüber- liegenden Punkten aus entgegengesetzten Richtun- gen an nominell parallelen Flächen senkrecht zu ei- ner der beiden Flächen durchgeführt wird. Der Ab- stand zwischen diesen Punkten ist die Prüflänge. Wenn die Längenmessabweichung nicht wie oben beschrieben ermittelt werden kann, sondern z.B. durch Mehrpunktantastung von Endmaßen oder die Messung von Kugelstäben und -platten, ist durch den Hersteller darauf besonders hinzuweisen. Durch ge- eignete Maßnahmen ist eine Vergleichbarkeit der Er- gebnisse herzustellen (siehe auch Abschnitt 5.2.4.). Bei der Bestimmung der Längenmessabweichung sind die verwendete Antaststrategie und der verwen- dete Sensor zu dokumentieren, da sich für unter- schiedliche Antaststrategien bzw. Sensoren unter- schiedliche Werte ergeben können.

5.2.3 Durchführung

Nach DIN EN ISO 10 360-2 sind die Prüfkörper in vier Raumdiagonalen und in drei weiteren vom An- wender zu wählenden Lagen zu messen. Ist dies aus technischen Gründen nicht möglich, sind ähnliche Lagen zu wählen.

Es sind in jeder Lage fünf Prüflängen je dreimal zu messen. Die kleinste Prüflänge sollte nicht größer als 30 mm sein, die größte muss mindestens 66 % der Raumdiagonale des Messvolumens überdecken. Die übrigen Prüflängen sind so zu wählen, dass sie etwa gleichmäßig über die Länge der Messlinie abgestuft

50 mm. Where other diameters are required for tech-

nical reasons, these diameters shall be stated. The roughness of the features to be probed should be neg- ligible. The material used shall be stated at any rate as different materials can have different optical charac- teristics (see Section 5.1.1), which can lead to differ- ent errors of indication for size measurement. Where the manufacturer fails to specify the material and sur- face of the artefact, these can be chosen arbitrarily.

The calibration uncertainty of the artefact shall be documented and shall be significantly less than the maximum permissible errors of indication for size measurement of the coordinate measuring machine under test, as specified by the manufacturer (in this context, see DIN EN ISO 14 253-1). The distances and forms of all probing features of an artefact re- quired for the test shall be calibrated.

5.2.2 Definition of characteristic

According to DIN EN ISO 10 360, the characteristic error of indication for size measurement, E, is the er- ror with which the length of a material measure can be determined using a coordinate measuring machine if measurement is performed by bidirectional probing (from opposite directions) of two opposite points on nominally parallel surfaces, perpendicular to one of the two surfaces. The test length is the distance be- tween these two points. Where the error of indication for size measurement cannot be determined as de- scribed above, but must be determined by probing several points of gauge blocks or by measuring ball bars or ball plates, the manufacturer shall state this expressly. Appropriate action shall be taken to render the results comparable (see also Section 5.2.4).

When determining the error of indication for size measurement, document the probing strategy and the sensor used, as different errors of indication for size measurement can result for different probing strate- gies or sensors.

5.2.3 Procedure

According to DIN EN ISO 10 360-2, the artefacts shall be measured along four body diagonals and three further orientations chosen by the user. Where this is ruled out for technical reasons, similar posi- tions shall be chosen.

In each position, five test lengths shall be measured

three times each. The shortest test length shall not be longer than 30 mm, the longest shall cover at least

66 % of the body diagonal of the measurement volume.

The remaining test lengths shall be chosen in such a way as to cover the length of the measurement line in

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sind. Abhängig von den Bewegungsachsen des opti- schen Tastsystems bzw. der Zusatzeinrichtungen – wie Drehschwenkgelenk – kann die Messung des Prüfkörpers in folgender Weise erfolgen:

1. Der Sensor wird durch das Koordinatenmessgerät positioniert, die Messung der Antastformele- mente erfolgt an mehreren Positionen „am Bild“. Bei 1-D- und 2-D-Sensoren werden zusätzliche Verfahrbewegungen an den jeweiligen Positionen durchgeführt, um so die 3-D-Funktionalität mit diesen Sensoren herzustellen. Dieser Vorgang wird an jedem Antastformelement wiederholt.

2. Verfahren wie unter 1. beschrieben, wobei die Ori- entierung des Sensors zusätzlich durch ein Dreh- Schwenk-Gelenk verändert wird.

3. Der Sensor steht beim Messen still, die Messpunkte an den Antastformelementen oder Teilen davon werden jeweils an einer Position übernommen (Messung erfolgt „im Bild“). Lediglich zur Mes- sung der verschiedenen Antastformelemente wird der Sensor durch das Koordinatenmessgerät posi- tioniert. Dies ist nur mit 3-D-Sensoren möglich.

Die Antastung der Formelemente der Prüfkörper er- folgt einheitlich nach einem der vorstehenden Verfah- ren. Bei der Verwendung von Endmaßen werden in jeder Lage/Orientierung fünf Endmaße angeordnet. Jedes Endmaß ist einzeln auszurichten. Die Bezugsrichtung ist durch geeignete numerische Ausrichtung zu be- stimmen. Bei der Wiederholmessung der Prüflängen wird jeweils abwechselnd die linke und rechte Messfläche des Endmaßes nach Möglichkeit in der Mitte der Messfläche angetastet. Dies kann durch phy- sikalisches Antasten in der Mitte oder durch Auswahl des der Mitte am nächsten liegenden Punktes aus einer Messpunktwolke erfolgen. Für die Auswertung darf ausdrücklich jeweils nur ein Einzelmesspunkt verwen- det werden. Das Endmaß bleibt während dieser drei Messungen in der gleichen Lage. Die Messung von Endmaßen erfordert im Allgemeinen ein Dreh- Schwenkgelenk oder einen Sensor mit schwenkbarer Messachse. Bei der Verwendung von Kugelstäben und Kugelplat- ten ist prinzipiell keine Ausrichtung erforderlich, je- doch für eine praktikable Durchführung sinnvoll (auto- matischer Messablauf). Die Messung der Kugeln erfolgt durch möglichst gleichmäßig auf der gesamten Kugeloberfläche ver- teilte Messpunkte. Die Messrichtung des Sensors wird dabei mit dem Dreh-Schwenkgelenk möglichst senk- recht zu Kugeloberfläche eingestellt. Mindestens ist darauf zu achten, dass die Messpunkte möglichst sym- metrisch zu einer Ebene senkrecht zur Messlinie und

approximately equidistant steps. Depending on the axes of motion of the optical probing system or the ac- cessories such as an articulating system, the measure- ment on the artefact can be performed as follows.

1. The sensor is brought into position by the coordi- nate measuring machine, and the measurement of the features to be probed is performed at several po- sitions “on the image”. For one- and two-dimen- sional sensors, additional movements are needed at the pertinent positions to extend their functionality to three dimensions. This procedure is repeated for each feature to be probed.

2. Proceed as described in 1. additionally changing the orientation of the sensor by means of an articu- lating system.

3. The sensor remains immobile during the measure-

ment, measurement points on each feature to be probed, or on parts thereof, are collected with the sensor in a fixed position (measurement is taken “in the image”). It is only for the measurement of the individual features to be probed that the sensor is positioned by the coordinate measuring machine. This is only possible using three-dimensional sen- sors. Probing of the features of the artefact is performed in a uniform way according to one of the methods outlined above. Where gauge blocks are used, five gauge blocks are aligned in each position or orientation. Each gauge block shall be aligned individually. The reference di- rection shall be identified in terms of a suitable numer- ical alignment. For test-length measurements under re- peatability conditions, the left and right measurement faces of the gauge block shall be probed in turn, at the centres, if possible. This may be done by physically probing the centre or by selecting the most central point in a cloud of points. It is expressly stated that only one individual measurement point may be used. The gauge block shall remain stationary during these three measurements. Measuring a gauge block usually requires an articulating system or a sensor with swing- and-tilt measurement axis.

Where ball bars or ball plates are probed, alignment is not required but convenient from the practical point of view (automated measurement procedure).

Measuring of the spheres shall be performed using points distributed as evenly as possible over the entire surface of the sphere. Using the articulating system, the measurement line of the sensor shall, if possible, be aligned perpendicular to the sphere surface. Make sure, at least, that the measurement points are as sym- metrical as possible to a plane that is perpendicular to

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durch den Kugelmittelpunkt liegen (Bild 10a). Dies muss unbedingt eingehalten werden – sonst treten zu- sätzliche Abweichungen auf (Bild 10b und Bild 10c).

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the measurement line and goes through the sphere cen- tre (Figure 10a). It is essential to comply with this re- quirement, otherwise additional errors will be intro- duced (Figure 10b and Figure 10c).

errors will be intro- duced (Figure 10b and Figure 10c). a) Richtige Antastung beim Ei nsatz

a) Richtige Antastung beim Einsatz eines Dreh-/Schwenkge-

lenks: Antastrichtung senkrecht zur Oberfläche

a) Correct probing by using an articulating system: probing

direction perpendiculary to the sphere surface

probing direction perpendiculary to the sphere surface b) Nicht-senkrechtes Antasten führt zu systematischen

b) Nicht-senkrechtes Antasten führt zu systematischen Abwei-

chungen der Kugelpositionen und verfälscht den Kugelmittel- punktabstand

b) Non perpendicular probing results in systematic error of the

position of the sphere and has effect of distance of the sphere centre

the sphere and has effe ct of distance of the sphere centre c) Erhöhte Streuung in

c) Erhöhte Streuung in Messlinienrichtung

Bild 10. Anordnung der Messpunkte am Kugelstab in Abhängig- keit von der Antastrichtung und deren Auswirkung auf den Kugelmittelpunktabstand

c) Higher uncertainty in direction of the measurement line

Fig. 10. Arrangement of measurement points in depending on the probing direction on the ball bar and their consequences for the distance of the sphere center

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VDI/VDE 2617 Blatt

6.2 / Part 6.2

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2005 VDI/VDE 2617 Blatt 6.2 / Part 6.2 – 21 – Bild 11. Richtige Antastung bei

Bild 11. Richtige Antastung bei Verzicht auf Dreh-Schwenkge- lenke: systematische Antastabweichungen wirken sich in Mess- linienrichtung nicht aus

Sind keine Dreh-/Schwenkgelenke im Einsatz wer- den ersatzweise möglichst vollständige Halbkugeln gemessen (Bild 11).

Bei der Messung von Kugelpositionen treten im Ver- gleich zur Messung von Einzelpunkten auf Ebenen ein Mittelungseffekt und gegebenenfalls eine Kom- pensation systematischer Antastabweichungen auf. Zur Herstellung der Vergleichbarkeit kann ein kurzes Parallelendmaß nach oben beschriebener Verfahrens- weise mit jeder Messlänge zusätzlich gemessen und hieraus ein Korrekturwert für die jeweilige Mess- länge ermittelt werden. Die Orientierung des Endma- ßes erfolgt parallel zur jeweiligen Messlinie von Ku- gelstab oder -platte. Alternativ kann der Korrektur- wert auch aus den Messungen zur Antastabweichung gewonnen werden. Der jeweilige Korrekturwert wird anschließend bei der Auswertung zur Ermittlung der Längenmessabweichung berücksichtigt (siehe Ab- schnitt 5.2.4.). Bei der Wiederholmessung der Prüflängen werden alle Antastformelemente in der jeweils gleichen Reihenfolge angetastet.

5.2.4 Auswertung

Die Auswertung ist davon abhängig, ob Endmaße, Kugelstäbe oder Kugelplatten als Prüfkörper verwen- det werden.

Kommen Endmaße zur Ermittlung der Kenngröße zum Einsatz, wird die Prüflänge aus dem Abstand zweier Messpunkte auf gegenüberliegenden End- maßflächen berechnet. Die Differenz zwischen der Prüflänge L a (angezeigter Wert) und dem kalibrierten Mittenmaß L r (richtiger Wert) des Endmaßes (DIN EN ISO 3650) ist die Längenmessabwei- chung E:

E = L a L r

Fig. 11. Correct probing without using an articulating system:

systematic errors have no effects in direction of the measure- ment line

Where no articulating systems are used, complete hemispheres, if possible, are measured instead (Fig- ure 11).

Unlike for measurements of individual points on planes, an averaging effect is encountered when measuring sphere positions, possibly affording a compensation of bias errors. In order to ensure com- parability, a short gauge block with each test length may be measured additionally, according to the method outlined above, which allows to determine a correction for the respective length. The gauge block shall be aligned parallel to the respective measure- ment line of the ball bar or ball plate. Alternatively, the correction may be obtained from the measure- ments of the probing error. The pertinent correction is then taken into account in the evaluation for deter- mining the error of indication for size measurement (see Section 5.2.4). When measuring the test lengths under repeatability conditions, all features to be probed are approached in the same sequence.

5.2.4 Evaluation

The evaluation depends on whether gauge blocks, ball bars or ball plates are used as artefacts.

Where gauge blocks are used to determine the char- acteristic, the test length is calculated from the dis- tance of two measurement points on opposite faces of the gauge block. The difference between the test length, L a (indicated value), and the calibrated central length, L r (true value), of the gauge block (DIN EN ISO 3650) is the error of indication for size measurement, E:

E = L a L r

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Werden Kugelstab oder Kugelplatte als Prüfkörper zur Ermittlung der Längenmessabweichung verwen- det, sind für jede Testlänge die Kugelmittelpunkte (Positionen) der beiden angetasteten Kugeln aus den Antastpunkten durch Ausgleich zu berechnen. Der Abstand der beiden Kugelmittelpunkte ist der ange- zeigte Wert L ka der Prüflänge. Die Differenz zwi- schen angezeigtem Wert L ka und richtigem Wert L kr ist analog zu VDI/VDE 2634 Blatt 2 die Kugelab- standsabweichung SD.

Korrekturmaßnahmen bei Verwendung von Kugelstäben und -platten

Um den Mittelungseffekt und die Kompensation von systematischen Antastabweichungen bei der Mes- sung von Kugelpositionen im Vergleich zur Messung von Einzelpunkten auf Ebenen auszugleichen, sind diese Einflüsse zusätzlich zu berücksichtigen. Hier- für gibt es mehrere Möglichkeiten.

Verfahren A Die einfachste Möglichkeit besteht darin, Messergeb- nisse aus der Antastabweichungsermittlung heranzu- ziehen. Hierdurch wird der ungünstigste Fall abge- schätzt. Dabei ist zu beachten, dass die Eigenschaften (Material, Größe, Form, Oberfläche) der jeweiligen Prüfkörper, die Antaststrategie und die Punktvertei- lung sowohl bei der Ermittlung der Antastabwei- chung als auch bei der Ermittlung der Längenmess- abweichung möglichst gleich sein müssen.

Die Längenmessabweichung E ergibt sich aus der Differenz zwischen der Prüflänge L ka (angezeigter Wert) und dem kalibrierten Kugelabstand L kr (richti- ger Wert) des Prüfkörpers zuzüglich der vorzeichen- behafteten Durchmesserabweichung PS und der An- tastabweichung PF (siehe auch Abschnitt 5.1.2).

Dieser Zusammenhang kann als Fallunterscheidung wie folgt dargestellt werden:

Where a ball bar or ball plate is used as an artefact for determining the error of indication for size measure- ment, the sphere centres (positions) of the two spheres probed shall be calculated for each test length by means of a regression of the probing points. The distance between the two sphere centres is the in- dicated value of the test length, L ka . By analogy to VDI/VDE 2634 Part 2, the difference between the in- dicated value, L ka , and the true value, L kr , is the sphere-distance error, SD.

Corrections when using ball bars and ball plates

The averaging effect and compensation of bias errors encountered in measurements of sphere positions shall be taken into account additionally to allow com- parison with measurements of individual points on a plane where these effects do not occur. Several op- tions exist.

Method A The simplest method consists in using measurement data for the probing error. This results in a worst-case estimate. In doing so, note that the properties of the artefacts in question (material, size, form, surface), the probing strategy, and the distribution of the points shall be the same, if possible, for the determination of the probing error and of the error of indication for size measurement.

The error of indication for size measurement, E, is, then, obtained from the difference between the test length, L ka (indicated value), and the calibrated sphere distance, L kr (true value), of the artefact, plus the signed value of error in diameter, PS, and probing error PF (see also Section 5.1.2).

The following cases are distinguished:

Fall/Case 1:

(L k