VDI VDE 2617 Blatt-6-1 2021-11

ICS 17.040.
30 VDI/VDE-RICHTLINIEN November 2021
VEREIN Genauigkeit von Koordinatenmessgeräten

VDI/VDE 2617
DEUTSCHER Kenngrößen und deren Prüfung
Blatt 6.1 / Part 6.1
INGENIEURE Leitfaden zur Anwendung von DIN EN ISO 10360-7 für
Koordinatenmessgeräte mit Bildverarbeitungssystemen
VERBAND DER
ELEKTROTECHNIK Accuracy of coordinate measuring machines
ELEKTRONIK
INFORMATIONSTECHNIK Characteristics and their testing
Code of practice for the application of
DIN EN ISO 10360-7 for coordinate measuring
Ausg. deutsch/englisch
machines equipped with imaging probing systems Issue German/English
Die deutsche Version dieser Richtlinie ist verbindlich. The German version of this standard shall be taken as authori-
tative. No guarantee can be given with respect to the English
translation.
Inhalt Seite Contents Page

Vorbemerkung ......................................................... 3 Preliminary note....................................................... 3
Einleitung ................................................................. 3 Introduction.............................................................. 3
1 Anwendungsbereich......................................... 4 1 Scope ................................................................. 4
2 Normative Verweise .......................................... 6 2 Normative references ....................................... 6
3 Begriffe .............................................................. 6 3 Terms and definitions ...................................... 6
4 Hilfsgrößen und Kenngrößen .......................... 7 4 Auxiliary variables and characteristics .......... 7
5 Wesentliche Unterschiede der DIN EN 5 Significant differences between the standard
ISO 10360-7 zur bisherigen Richtlinie DIN EN ISO 10360-7 and the previous
VDI/VDE 2617 Blatt 6.1 von 2007 ................... 10 standard VDI/VDE 2617 Part 6.1 of 2007......... 10
5.1 Räumlicher vs. Komponentenansatz ........ 10 5.1 Spatial vs. component approach .............. 10
5.2 Bi- vs. unidirektionale Kenngrößen ......... 11 5.2 Bi- vs. unidirectional characteristics ........ 11
5.3 Empfehlungen .......................................... 11 5.3 Recommendations.................................... 11
6 Erläuterungen und Ergänzungen zu 6 Explanations and clarifications regarding
Abschnitt 5.3 der DIN EN ISO 10360-7 – Clause 5.3 of DIN EN ISO 10360-7 –
Anforderungen an verschiedene KMG Requirements for various CMMs
mit Bildverarbeitung ....................................... 12 equipped with imaging probing systems ..... 12
6.1 Anmerkung/Hinweise zu Abschnitt 5.3.2 – 6.1 Note/information regarding Clause 5.3.2 –
Längenmessabweichung .......................... 12 Length measurement error ....................... 12
6.2 Anmerkung/Hinweise zu 6.2 Note/information regarding Clause 5.3.3 –
Abschnitt 5.3.3 – Antastabweichungen .... 13 Probing errors .......................................... 13
6.3 Anmerkung/Hinweise zu 6.3 Note/information regarding
Abschnitt 5.3.4 – Wiederholspannweite Clause 5.3.4 – Repeatability range of
der Längenmessabweichung RB oder RU .. 14 the length measurement error RB or RU .... 14
Abschnitt 6 – Annahmeprüfungen und Clause 6 – Acceptance tests and
Bestätigungsprüfungen.................................. 14 reverification tests .......................................... 14
Former editions: 05/07; 03/19 Draft, in German only
7.1 Abschnitt 6.2 – 7.1 Clause 6.2 –

Frühere Ausgaben: 05.07; 03.19 Entwurf, deutsch
Längenmessabweichung .......................... 14 Length measurement error ....................... 14

Rechtwinkligkeitsabweichung ESQ........... 17 Squareness error ESQ ................................ 17
7.3 Abschnitt 6.4 – Wiederholspannweite 7.3 Clause 6.4 – Repeatability range of the
der Längenmessabweichung RB oder RU .. 17 length measurement error RB or RU.......... 17
Antastabweichung PF2D ............................ 17 Probing error PF2D .................................... 17
7.5 Abschnitt 6.6 – Antastabweichung des 7.5 Clause 6.6 – Probing error of the
Bildverarbeitungssystems PFV2D .............. 18 imaging probing system PFV2D ................. 18
VDI/VDE-Gesellschaft Mess- und Automatisierungstechnik (GMA)

Fachbereich Fertigungsmesstechnik
VDI/VDE-Handbuch Fertigungsmesstechnik
VDI-Handbuch Produktionstechnik und Fertigungsverfahren, Band 1: Grundlagen und Planung
VDI/VDE Handbuch Optische Technologien
–2– VDI/VDE 2617 Blatt 6.1 / Part 6.1
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Abschnitt 7 – Übereinstimmung mit Clause 7 – Compliance with
Festlegungen................................................... 19 specifications .................................................. 19
9 Erläuterungen und Ergänzungen zum 9 Explanations and clarifications regarding
normativen Anhang B.4 – Gleichwertige normative Annex B.4 – Equivalent
bidirektionale Prüflängen durch bidirectional measurements using
unidirektionale Messungen ............................ 20 unidirectional test lengths ............................. 20
9.1 Korrekturmaßnahmen bei nicht 9.1 Corrective measures for single point
bidirektionaler Einzelpunktantastung....... 20 probing that is not bidirectional ............... 20
9.2 Methode 1 – Ergänzende bidirektionale 9.2 Method 1 – Additional bidirectional
Messung einer kurzen Prüflänge .............. 20 measurement of a short test length........... 20
9.3 Methode 2 – Ergänzende Berücksichtigung 9.3 Method 2 – Additional consideration
der Antastabweichungen ............................ 21 of the probing errors ................................ 21
Anhang A Optische Sensoren zur Messung Annex A Optical sensors for measuring lateral
lateraler Strukturen ............................. 22 structures ............................................... 22
A1 Beispiele................................................... 22 A1 Examples ................................................. 22
A2 Funktionsweise ........................................ 22 A2 Function ................................................... 22
A3 Beleuchtung – Voraussetzung für A3 Illumination – Prerequisite for reliable
sicheres Messen ....................................... 23 measurement ............................................ 23
A4 Abbildungsoptik – Flexible A4 Imaging optics – Flexible
Vergrößerungswahl .................................. 25 magnification options .............................. 25
A5 Quellen der Messabweichung bei A5 Sources of measurement error with
visuellen Sensoren ................................... 27 visual sensors ........................................... 27
A6 Punktförmige Sensoren ............................ 30 A6 Point-type sensors .................................... 30
A7 Zeilenförmige Sensoren ........................... 31 A7 Line-type sensors ..................................... 31
A8 Flächenförmige Sensoren – A8 Surface-type sensors – Imaging
Bildverarbeitungssensor ........................... 31 probing sensor.......................................... 31
Anhang B Strukturauflösung ............................... 36 Annex B Structure resolution ............................... 36
B0 Zusätzliche Hilfsgrößen und B0 Additional auxiliary variables and
Abkürzungen in Anhang B ...................... 36 abbreviations in Annex B ........................ 36
B1 Einführung ............................................... 36 B1 Introduction ............................................. 36
B2 Stand der Technik .................................... 38 B2 State of the art .......................................... 38
B3 Bestimmung der B3 Determining spatial frequency
Ortsfrequenzauflösung mit einer resolution with an edge as a testing
Kante als Prüfeinrichtung......................... 39 unit ........................................................... 39
B4 Bestimmung der B4 Determining spatial frequency
Ortsfrequenzauflösung mit resolution with a resolution plate as a
Aufösungsplatten als Prüfmittel ............... 40 gage.......................................................... 40
B5 Bestimmung der B5 Determining the modulation
Modulationsübertragungsfunktion aus transfer function from the system
der Systemfunktion .................................. 41 function .................................................... 41
Anhang C Prüfung von Koordinatenmessgeräten Annex C Testing coordinate measuring
mit Bildverarbeitungssystemen unter machines with imaging probing
zusätzlicher Verwendung von Dreh- systems with the additional use of
Schwenk-Gelenken............................. 43 articulating probing systems ................. 43
Glossar ................................................................... 45 Glossary ................................................................. 45
Schrifttum .............................................................. 46 Bibliography .......................................................... 46
VDI/VDE 2617 Blatt 6.1 / Part 6.1 –3–
Vorbemerkung Preliminary note

Der Inhalt dieser Richtlinie ist entstanden unter The content of this standard has been developed in
Beachtung der Vorgaben und Empfehlungen der strict accordance with the requirements and rec-
Richtlinie VDI 1000. ommendations of the standard VDI 1000.
Allen, die ehrenamtlich an der Erarbeitung dieser We wish to express our gratitude to all honorary
Richtlinie mitgewirkt haben, sei gedankt. contributors to this standard.
Einleitung Introduction
In der Richtlinienreihe VDI/VDE 2617 sind Kenn- The series of standards VDI/VDE 2617 defines the
größen zur Beschreibung der Genauigkeit von Ko- characteristics used for describing the accuracy of
ordinatenmessgeräten (KMG) festgelegt und Ver- coordinate measuring machines (CMMs) and pro-
fahren zu ihrer Prüfung beschrieben. Die Richtli- vides descriptions of the methods using for testing
nienreihe besteht zurzeit aus folgenden Blättern: them. The series of standards currently consists of
the following parts:
Blatt 2.1 Leitfaden zur Anwendung von DIN Part 2.1 Code of practice for the application
EN ISO 10360-2 zur Messung von of DIN EN ISO 10360-2 for length
Längenmaßen measurement
Blatt 2.2 Formmessung mit Koordinatenmess- Part 2.2 Form measurement with coordinate
geräten measuring machines
Blatt 4 Leitfaden zur Anwendung von DIN EN Part 4 Manual for the use of DIN EN
ISO 10360-3 für Koordinatenmessgerä- ISO 10360-3 for coordinate measuring
te mit zusätzlichen Drehachsen machines with additional axes of rotation
Blatt 5 Überwachung durch Prüfkörper Part 5 Interim check with artefacts
Blatt 5.1 Überwachung mit Kugelplatten Part 5.1 Interim check with ball plates
Blatt 6.1 Leitfaden zur Anwendung von DIN EN Part 6.1 Code of practice for the application of
ISO 10360-7 für Koordinatenmessgerä- DIN EN ISO 10360-7 for coordinate
te mit Bildverarbeitungssystemen measuring machines equipped with
imaging probing systems
Blatt 6.2 Leitfaden zur Anwendung von DIN EN Part 6.2 Guideline for the application of DIN
ISO 10360-8 für Koordinatenmessgerä- EN ISO 10360-8 to coordinate measur-
te mit optischen Abstandssensoren ing machines with optical distance sen-
sors
Blatt 7 Ermittlung der Unsicherheit von Mes- Part 7 Estimation of measurement uncertainty
sungen auf Koordinatenmessgeräten of coordinate measuring machines by
durch Simulation means of simulation
Blatt 8 Prüfprozesseignung von Messungen mit Part 8 Test process suitability of measurements
Koordinatenmessgeräten with coordinate measuring machines
Blatt 9 Annahme- und Bestätigungsprüfung Part 9 Acceptance and reverification tests for
von Gelenkarm-Koordinatenmessgerä- articulated arm coordinate measuring
ten machines
Blatt 10 Annahme- und Bestätigungsprüfung Part 10 Acceptance and reverification tests of
von Lasertrackern lasertrackers
Blatt 10.1 Lasertracker mit Multisensorik Part 10.1 Laser trackers with multiple probing
systems
Blatt 11 Ermittlung der Unsicherheit von Mes- Part 11 Determination of the uncertainty of
sungen auf Koordinatenmessgeräten measurement for coordinate measuring
durch Messunsicherheitsbilanzen machines using uncertainty budgets
Blatt 12.1 Annahme- und Bestätigungsprüfungen Part 12.1 Acceptance and reverification tests for
für Koordinatenmessgeräte zum taktilen tactile CMM measuring microgeome-
Messen von Mikrogeometrien tries
Blatt 12.2 Annahme- und Bestätigungsprüfungen Part 12.2 Acceptance and reverification tests for
für Koordinatenmesssysteme zum opti- optical CMM measuring microgeome-
schen Messen von Mikrogeometrien in tries according to DIN EN ISO 10360-8
Anlehnung an DIN EN ISO 10360-8 and VDI/VDE 2617 Part 6.2 (Draft)
und VDI/VDE 2617 Blatt 6.2 (Entwurf)
Blatt 13 Leitfaden zur Anwendung von DIN EN Part 13 Guideline for the application of DIN
ISO 10360 für Koordinatenmessgeräte EN ISO 10360 for coordinate measur-
mit CT-Sensoren ing machines with CT-sensors
Eine Liste der aktuell verfügbaren und in Bearbei- A catalogue of all available parts of this series of
tung befindlichen Blätter dieser Richtlinienreihe standards and those in preparation as well as fur-
sowie gegebenenfalls zusätzliche Informationen ther information, if applicable, can be accessed on
sind im Internet abrufbar unter www.vdi.de/2617. the Internet at www.vdi.de/2617.
Abschnitt 3 dieser Richtlinie präzisiert Begriffe aus Section 3 of this standard clarifies terms and defi-
der DIN EN ISO 10360-7. Zusätzlich werden Be- nitions from DIN EN ISO 10360-7. In addition,
griffe eingeführt, die für die Nutzung dieser Norm terms and definitions are introduced which are
und der vorliegenden Richtlinie hilfreich sind. helpful for using both this entire standard and the
present standard.
Abschnitt 5 enthält eine Übersicht wesentlicher Section 5 contains an overview of significant differ-
Unterschiede der Norm DIN EN ISO 10360-7 zur ences between the standard DIN EN ISO 10360-7
Richtlinie VDI/VDE 2617 Blatt 6.1 von 2007. and the standard VDI/VDE 2617 Part 6.1 of 2007.
Abschnitt 6 und folgende erläutern die Anwendung Section 6 and the following explain the application
von DIN EN ISO 10360-7. of DIN EN ISO 10360-7.
Anhang A beschreibt optische Sensoren zur Mes- Annex A describes optical sensors for measuring
sung lateraler Strukturen und Hinweise für deren lateral structures and information regarding their
Anwendung. Diese Beschreibung wurde weitge- application. For the most part, this description was
hend dem Hauptteil der VDI/VDE 2617 Blatt 6.1 taken from the main section of VDI/VDE 2617
von 2007 entnommen. Part 6.1 of 2007.
Als Anhang B wurde Anhang A „Strukturauflö- Annex A “Structure resolution” of the 2007 version
sung“ der Fassung von 2007 übernommen. was adopted as Annex B.
Anmerkung: Strukturauflösung bezieht sich hier auf die Note: Here, structure resolution refers to the measurability of
Messbarkeit einer Struktur. Die Strukturauflösung ist zu unter- a structure. The structure resolution shall be differentiated
scheiden von der Auflösungsgrenze, die aus der Mikroskopie from the resolution limit, which is defined as in microscopy
kommend anhand der Erkennbarkeit eines vorhandenen Struk- based on the identifiability of an existing structure transition
turübergangs definiert ist und den physikalischen Grenzwert and which represents the physical limit value of the structure
der Strukturauflösung darstellt. resolution.
Anhang C erläutert die Prüfung von Koordinaten- Annex C explains the testing of coordinate measur-
messgeräten mit Bildverarbeitungssystemen unter ing machines equipped with imaging probing sys-
zusätzlicher Verwendung eines Dreh-Schwenk- tems if an articulating probing system is also in
Gelenks. use.
1 Anwendungsbereich 1 Scope
Die Norm DIN EN ISO 10360-1 enthält Begriffe The standard DIN EN ISO 10360-1 contains terms
für die Annahme- und die Bestätigungsprüfung von and definitions for the acceptance test and the re-
Koordinatenmessgeräten (KMG). Die Norm DIN verification test of coordinate measuring machines
EN ISO 10360-7 beschreibt die Annahme- und (CMMs). The standard DIN EN ISO 10360-7 de-
Bestätigungsprüfungen für Koordinatenmessgeräte scribes the acceptance and reverification tests for
mit Bildverarbeitungssystemen unter Einschluss coordinate measuring machines equipped with
von Wellenmessgeräten und die Nutzung besonde- imaging probing systems, including shaft measur-
rer Prüfkörper für diese Koordinatenmessgeräte. ing machines and the use of special artefacts for
Bisher wurden derartige Prüfungen in der Richtli- these coordinate measuring machines. Previously,
nie VDI/VDE 2617 Blatt 6.1 von 2007 mit einem these types of tests were described in the standard
weiter gefassten Anwendungsbereich, der alle opti- VDI/VDE 2617 Part 6.1 of 2007 with an additional
schen Sensoren zur Messung lateraler Strukturen scope section that includes all optical sensors for
umfasst, beschrieben. measuring lateral structures.
Die vorliegende Richtlinie erläutert die Anwen- The present standard explains the application of the
dung der Norm DIN EN ISO 10360-7 und gibt standard DIN EN ISO 10360-7 and provides addi-
ergänzende Hinweise und Empfehlungen zur tional information and recommendations for carry-
Durchführung der Annahme- und Bestätigungsprü- ing out the acceptance and reverification tests.
fungen.
Wichtiger Hinweis Important remark
Diese Richtlinie enthält nicht die vollständige This standard does not contain the complete
Beschreibung der Prüfprozeduren. Die description of the test procedures. Knowl-
Kenntnis der Norm DIN EN ISO 10360-7 edge of the standard DIN EN ISO 10360-7 is
wird zum Verständnis der vorliegenden required in order to understand the present
Richtlinie als Leitfaden zur Anwendung der standard as a guide for applying the entire
Norm vorausgesetzt. standard.
Erläutert werden Annahme- und Bestätigungsprü- The acceptance and reverification tests for CMMs
fungen für KMG mit Bildverarbeitungssystemen. equipped with imaging probing systems are ex-
Diese können nach Absprache zwischen Hersteller plained. If agreed between the manufacturer and
und Anwender auch für die Prüfung anderer Senso- the user, these tests can also be applied for testing
ren für laterale Strukturen angewendet werden. other sensors for lateral structures.
In Fällen, in denen das Koordinatenmessgerät mit In cases where the coordinate measuring machine
einem optischen Bildverarbeitungssystem und an- is equipped with an optical imaging probing sys-
deren Typen von Tastkopfsystemen ausgestattet ist tem and other types of probing systems (e.g. an
(z. B. zusätzlich mit einem taktilen Tastkopfsys- additional tactile probing system), the test of length
tem), soll der Test der Längenmessabweichung nur measurement error shall only be performed with
mit dem vom Hersteller für diesen Test festgeleg- the probing system specified by the manufacturer
ten Tastkopfsystem unter Nutzung der dafür gülti- for this test and using the respective applicable
gen Norm (z. B. DIN EN ISO 10360-2 für taktile standard (e.g. DIN EN ISO 10360-2 for tactile
Tastkopfsysteme) durchgeführt werden. Dies ist in probing systems). This shall be indicated in the
der Spezifikation darzustellen. Eine separate Prü- specification. A separate test of length measure-
fung der Längenmessabweichung mit jedem Tast- ment error with each probing system of the coordi-
system des Koordinatenmessgeräts ist nicht erfor- nate measuring machine is not required.
derlich.
Ist das Koordinatenmessgerät ausschließlich mit ei- If the coordinate measuring machine is equipped
nem Bildverarbeitungssystem ausgestattet, so ist der only with an imaging probing system, the test of
Test der Längenmessabweichung mit diesem Tast- length measurement error with this probing system
kopfsystem gemäß DIN EN ISO 10360-7 durch- shall be performed according to DIN EN
zuführen. ISO 10360-7.
Die Annahme- und Bestätigungsprüfungen für Ko- The acceptance and reverification tests for coordi-
ordinatenmessgeräte mit optischen Abstandssenso- nate measuring machines with optical distance
ren werden in der Norm DIN EN ISO 10360-8 be- sensors are described in the standard DIN EN
schrieben. ISO 10360-8.
Die in beiden Normen beschriebenen Prüfungen The tests described in both standards are designed
sind so gestaltet, dass die Vergleichbarkeit der to ensure the comparability of the characteristics of
Kenngrößen von Koordinatenmessgeräten mit takti- coordinate measuring machines with tactile and
len und mit optischen Sensoren sichergestellt ist. optical sensors.
2 Normative Verweise 2 Normative references

Die folgenden zitierten Dokumente sind für die The following referenced documents are indispen-
Anwendung dieser Richtlinie erforderlich: sable for the application of this standard:
DIN EN ISO 10360-1:2003-07 Geometrische Pro- DIN EN ISO 10360-1:2003-07 Geometrical Product
duktspezifikation (GPS); Annahmeprüfung und Specifications (GPS); Acceptance and reverifica-
Bestätigungsprüfung für Koordinatenmessgerä- tion tests for coordinate measuring machines
te (KMG); Teil 1: Begriffe (ISO 10360-1:2000 (CMM); Part 1: Vocabulary (ISO 10360-1:2000
+ Corr 1:2002 (enthält Berichtigung AC:2002); + Corr 1:2002) (includes Corrigendum AC:
Deutsche Fassung EN ISO 10360-1:2000 + 2002); German version EN ISO 10360-1:2000 +
AC:2002 AC:2002
DIN EN ISO 10360-7:2011-09 Geometrische Pro- DIN EN ISO 10360-7:2011-09 Geometrical prod-
duktspezifikation (GPS); Annahme- und Bestä- uct specifications (GPS); Acceptance and rever-
tigungsprüfung für Koordinatenmessgeräte ification tests for coordinate measuring ma-
(KMG); Teil 7: KMG mit Bildverarbeitungssys- chines (CMM); Part 7: CMMs equipped with
temen (ISO 10360-7:2011); Deutsche Fassung imaging probing systems (ISO 10360-7:2011);
EN ISO 10360-7:2011 German version EN ISO 10360-7:2011
3 Begriffe 3 Terms and definitions

Für die Anwendung dieser Richtlinie gelten die For the purposes of this standard, the terms and
Begriffe nach DIN EN ISO 10360-1 und -7 sowie definitions as per DIN EN ISO 10360-1 and -7 and
die folgenden Begriffe: the following terms and definitions apply:
Anmerkung: Temperaturdifferenzen werden in Kelvin (K) Note: Temperature differences are measured in Kelvin (K).
gemessen. Dementsprechend wird der lineare thermische Accordingly, the coefficient of linear thermal expansion is
Längenausdehnungskoeffizient nach Abschnitt 3.6 der DIN given in accordance with Clause 3.6 of DIN EN ISO 10360-1
EN ISO 10360-1 in K–1, z. B. für Stahl = 11,8 10–6 K–1, in K–1, e.g. for steel = 11,8 10–6 K–1. Information in
angegeben. Anderslautende Angaben in DIN EN ISO 10360-7 DIN EN ISO 10360-7 that differs should be corrected.
sind zu korrigieren.
Antastabweichung Maß (PS2D) probing size error (PS2D)

Durchmesserabweichung der Maßverkörperung diameter deviation of the dimensional standard
unter Verwendung der Koordinatenachsen des when using the coordinate axes of the CMM during
KMG bei zweidimensionaler Messung am Bild a two-dimensional measurement on the image
Antastabweichung Maß des probing size error of the imaging probing system
Bildverarbeitungssystems (PSV2D) (PSV2D)
Durchmesserabweichung der Maßverkörperung bei diameter deviation of the dimensional standard
Stillstand der Koordinatenachsen des KMG bei when the coordinate axes of the CMM are at stand-
zweidimensionaler Messung im Bild still during a two-dimensional measurement in the
image
Anmerkung: DIN EN ISO 10360-7 unterscheidet bei KMG Note: For CMMs with imaging probing systems, DIN EN
mit Bildverarbeitungssystemen funktionell nicht zwischen der ISO 10360-7 does not differentiate functionally between use
Nutzung ohne Dreh-Schwenk-Gelenk und unter zusätzlicher without an articulating probing system and use with an articu-
Verwendung eines Dreh-Schwenk-Gelenks. Die durch ein lating probing system. The standard does not address the
Dreh-Schwenk-Gelenk auftretenden Einflüsse auf eine Mes- effects generated by an articulating probing system on a meas-
sung werden in der Norm nicht erfasst. Die vorliegende Richt- urement. For this reason, the present standard introduces the
linie führt daher ergänzend folgende zwei Kenngrößen unter following two additional terms and definitions when also using
zusätzlicher Verwendung eines Dreh-Schwenk-Gelenks ein: an articulating probing system:
• Antastabweichung Maß unter zusätzlicher Verwendung • probing size error with the additional use of an articulating
eines Dreh-Schwenk-Gelenks probing system
• Antastabweichung unter zusätzlicher Verwendung eines • probing error with the additional use of an articulating
Dreh-Schwenk-Gelenks probing system
Antastabweichung Maß unter zusätzlicher probing size error with the additional use of an
Verwendung eines Dreh-Schwenk-Gelenks (PSOA) articulating probing system (PSOA)
articulating probe head articulating probe head
Durchmesserabweichung der Maßverkörperung bei diameter deviation of the dimensional standard
Veränderung der Ausrichtung des Sensors durch when the alignment of the sensor is changed due to
ein Dreh-Schwenk-Gelenk the use of an articulating probing system
Antastabweichung unter zusätzlicher probing error with the additional use of an

Verwendung eines Dreh-Schwenk-Gelenks (PFOA) articulating probing system (PFOA)
dreidimensionale Antastabweichung bei Verände- three-dimensional probing error when the align-
rung der Ausrichtung des Sensors durch ein Dreh- ment of the sensor is changed due to the use of an
Schwenk-Gelenk articulating probing system
Fehlergrenze der Antastabweichung Maß maximum permissible probing size error
(PS2D, MPE) (PS2D, MPE)
maximal zulässiger Wert der Durchmesserabwei- extreme value of the diameter deviation of the di-
chung der Maßverkörperung unter Verwendung der mensional standard when using the coordinate axes
Koordinatenachsen des KMG bei zweidimensiona- of the CMM during a two-dimensional measure-
ler Messung am Bild ment on the image
Fehlergrenze der Antastabweichung Maß des maximum permissible probing size error of the
Bildverarbeitungssystems (PSV2D, MPE) imaging probing (PSV2D, MPE)
maximal zulässiger Wert der Durchmesserabwei- extreme value of the diameter deviation of the dimen-
chung der Maßverkörperung bei Stillstand der Ko- sional standard when the coordinate axes of the
ordinatenachsen des KMG bei zweidimensionaler CMM are at standstill during a two-dimensional
Messung im Bild measurement in the image
Wiederholspannweite der bidirektionalen repeatability range of the bidirectional length
Längenmessabweichung in der XY-Ebene (RBXY) measurement error in the XY-plane (RBXY)
Spannweite (Höchstwert minus Mindestwert) der range (largest minus lowest) of three repeated tests
drei wiederholten Prüfungen der Längenmessab- of the length measurement error measured by a
weichung eines KMG bei der Messung einer kali- CMM when measuring a calibrated bidirectional
brierten bidirektionalen Prüflänge in der XY-Ebene test length in the XY-plane
[in Anlehnung an DIN EN ISO 10360-7, 3.10] [adapted from DIN EN ISO 10360-7, 3.10]
Wiederholspannweite der bidirektionalen repeatability range of the bidirectional length
Längenmessabweichung in Z-Richtung (RBZ) measurement error in the Z-direction (RBZ)
drei wiederholten Prüfungen der Längenmessab- of the length measurement error by a CMM when
weichung eines KMG bei der Messung einer kali- measuring a calibrated bidirectional test length in
brierten bidirektionalen Prüflänge in Z-Richtung the Z-direction [adapted from DIN EN ISO 10360-7,
[in Anlehnung an DIN EN ISO 10360-7, 3.10] 3.10]
Wiederholspannweite der unidirektionalen repeatability range of the unidirectional length
Längenmessabweichung in der XY-Ebene (RUXY) measurement error in the XY-plane (RUXY)
weichung eines KMG bei der Messung einer kali- measuring a calibrated unidirectional test length in
brierten unidirektionalen Prüflänge in der XY-Ebe- the XY-plane [adapted from DIN EN ISO 10360-7,
ne [in Anlehnung an DIN EN ISO 10360-7, 3.12] 3.12]
Wiederholspannweite der unidirektionalen repeatability range of the unidirectional length
Längenmessabweichung in Z-Richtung (RUZ) measurement error in the Z-direction (RUZ)
weichung eines KMG bei der Messung einer kali- measuring a calibrated unidirectional test length in
brierten unidirektionalen Prüflänge in Z-Richtung the Z-direction [adapted from DIN EN ISO 10360-7,
[in Anlehnung an DIN EN ISO 10360-7, 3.12] 3.12]
4 Hilfsgrößen und Kenngrößen 4 Auxiliary variables and characteristics

Tabelle 1 bis Tabelle 4 zeigen Hilfs- und Table 1 through Table 4 contain auxiliary varia-
Kenngrößen, die in vorliegender Richtlinie teilwei- bles and characteristics used in the present stand-
se in Ergänzung zur Norm DIN EN ISO 10360-7 ard, to some extent in addition to the standard
verwendet werden. DIN EN ISO 10360-7.
Tabelle 1. Hilfsgrößen Table 1. Auxiliary variables

Formel- Bezeichnung Symbol Description
zeichen
dka angezeigter Wert des Durchmessers des Prüf- dka displayed value of the diameter of the artefact such
körpers wie Kreisring, Prüfkugel as a circular ring or test ball
EE Längenmessabweichung einer Strukturbreite, EE length measurement error of a structure width used
verwendet für die Ermittlung einer bidirektiona- for calculating a bidirectional length measurement
len Längenmessabweichung durch Kombination error by means of a combination with a unidirec-
mit einer unidirektionalen Längenmessabwei- tional length measurement error (see Section 8)
chung (siehe Abschnitt 8)
lkr richtiger, durch Kalibrierung ermittelter Wert lkr true value of the test length determined by calibra-
der Prüflänge tion
dkr richtiger, durch Kalibrierung ermittelter Wert dkr true value of the diameter of the artefact, such as a
des Durchmessers des Prüfkörpers wie Kreis- circular ring or test ball, determined by calibration
ring, Prüfkugel
rmax maximaler Abstand von Antastpunkten zum rmax maximum distance from probing points to the
Mittelpunkt des Ausgleichselements centre point of the compensation element
rmin minimaler Abstand von Antastpunkten zum rmin minimum distance from probing points to the cen-
Mittelpunkt des Ausgleichselements tre point of the least-squares fit element
Tabelle 2. Kenngrößen der DIN EN ISO 10360-7, Table 2. Characteristics of DIN EN ISO 10360-7, if
gegebenenfalls mit konkreter Achsbezeichnung, für necessary, with specific axis designation, for a
ein kartesisches Koordinatensystem nach der Cartesian coordinate system according to the
„Rechte-Hand-Regel“ mit der Z-Achse als optische “right-hand rule” with the Z-axis as the optical axis
Achse des Bildverarbeitungssystems of the imaging probing system
Begriff Messwert Fehlergrenze Term Measuring Maximum permis-
(vgl. Abschnitt 3) (Index MPE) (cf. Section 3) value sible error
(index MPE)
Grenzwert Maximum permis-
(Index MPL) sible limit
(index MPL)
bidi- unidi- bidi- unidi- bidi- unidi- bidirec- unidirec-
rektio- rektio- rektio- rektio- rectio- rectio- tional tional
nal nal nal nal nal nal
Längenmess- EB EU EB, MPE EU, MPE Length measurement EB EU EB, MPE EU, MPE
abweichung error
Wiederholspann- RB RU RB, MPL RU, MPL Repeatability range RB RU RB, MPL RU, MPL
weite der Längen- of the length meas-
messabweichung urement error
Längenmessab- EBXY EUXY EBXY, EUXY, MPE Length measurement EBXY EUXY EBXY, MPE EUXY, MPE
weichung in XY MPE error in XY
Wiederholspann- RBXY RUXY RBXY, RUXY, MPL Repeatability range RBXY RUXY RBXY, MPL RUXY, MPL
weite der Längen- MPL of the length meas-
messabweichung in urement error in the
der XY-Ebene XY-plane
Längenmessab- EBX EUX EBX, MPE EUX, MPE Length measurement EBX EUX EBX, MPE EUX, MPE
weichung in X error in X
Längenmessab- EBY EUY EBY, MPE EUY, MPE Length measurement EBY EUY EBY, MPE EUY, MPE
weichung in Y error in Y
Längenmessab- EBZ EUZ EBZ, MPE EUZ, MPE Length measurement EBZ EUZ EBZ, MPE EUZ, MPE
weichung in Z error in Z
Wiederholspann- RBZ RUZ RBZ, MPL RUZ, MPL Repeatability range RBZ RUZ RBZ, MPL RUZ, MPL
weite der Längen- of the length mea-
messabweichung in surement error in
Z-Richtung the Z-direction
Tabelle 2. Kenngrößen der DIN EN ISO 10360-7, Table 2. Characteristics of DIN EN ISO 10360-7, if
gegebenenfalls mit konkreter Achsbezeichnung, für necessary, with specific axis designation, for a
ein kartesisches Koordinatensystem nach der Cartesian coordinate system according to the
„Rechte-Hand-Regel“ mit der Z-Achse als optische “right-hand rule” with the Z-axis as the optical axis
Achse des Bildverarbeitungssystems (Fortsetzung) of the imaging probing system (continued)
Begriff Messwert Fehlergrenze Term Measuring Maximum permis-
(vgl. Abschnitt 3) (Index MPE) (cf. Section 3) value sible error
(index MPE)
Grenzwert Maximum permis-
(Index MPL) sible limit
(index MPL)
bidi- unidi- bidi- unidi- bidi- unidi- bidirec- unidirec-
rektio- rektio- rektio- rektio- rectio- rectio- tional tional
nal nal nal nal nal nal
Rechtwinkligkeits- ESQ ESQ, MPE Squareness error ESQ ESQ, MPE
abweichung
Längenmessabwei- EBV EUV EBV, MPE EUV, MPE Length measurement EBV EUV EBV, MPE EUV, MPE
chung des Bildver- error of the imaging
arbeitungssystems probing system
Antastabweichung PF2D PF2D, MPE Probing form error PF2D PF2D, MPE
Form
Antastabweichung PFV2D PFV2D, MPE Probing form error of PFV2D PFV2D, MPE
Form des Bildver- the imaging probing
arbeitungssystems system
Tabelle 3. Zusätzlich zur DIN EN ISO 10360-7 Table 3. Characteristics defined in addition to DIN
definierte Kenngrößen EN ISO 10360-7
Begriff Mess- Fehlergrenze Term Measur- Maximum
(vgl. Abschnitt 3) wert (Index MPE) (cf. Section 3) ing value permissible
error
(index MPE)
Grenzwert Maximum
(Index MPL) permissible
limit
(index MPL)
Antastabweichung Maß PS2D PS2D, MPE Probing size error PS2D PS2D, MPE
Antastabweichung Maß des PSV2D PSV2D, MPE Probing size error of the imag- PSV2D PSV2D, MPE
Bildverarbeitungssystems ing probing system
Antastabweichung Maß unter PSOA PSOA, MPE Probing size error with the PSOA PSOA, MPE
zusätzlicher Verwendung eines additional use of an articulat-
Dreh-Schwenk-Gelenks ing probing system
Antastabweichung unter zu- PFOA PFOA, MPE Probing form error with the PFOA PFOA, MPE
sätzlicher Verwendung eines additional use of an articulat-
Dreh-Schwenk-Gelenks ing probing system
Antastabweichung Maß in PSX bzw. PSX, MPE bzw. Probing size error in the direc- PSX or PSX, MPE or PSY,
Richtung der X- bzw. Y-Achse PSY PSY, MPE tion of the X- or Y-axis PSY MPE
Antastabweichung Maß des PSVX PSVX, MPE bzw. Probing size error of the imag- PSVX or PSVX, MPE or
Bildverarbeitungssystems in bzw. PSVY, MPE ing probing system in the di- PSVY PSVY, MPE
Richtung der X- bzw. Y-Achse PSVY rection of the X- or Y-axis
– 10 – VDI/VDE 2617 Blatt 6.1 / Part 6.1
Eintragungen in Produktdokumentationen und Entries in product documentation and data

Datenblätter sheets
Tabelle 4. Ergänzend zulässige Formelzeichen Table 4. Additional, permitted symbols and entries
und Eintragungen in Produktdokumentationen, in product documentation, drawings, data sheets,
Zeichnungen, Datenblättern usw., die in Ab- etc., which are not listed in Clause 9, Table 3 of
schnitt 9, Tabelle 3 der DIN EN ISO 10360-7 nicht DIN EN ISO 10360-7
aufgeführt sind
In dieser Richtlinie Entsprechende Symbol used in this Corresponding
ergänzend zur DIN EN Eintragung standard in addition to entry
ISO 10360-7 verwendetes DIN EN ISO 10360-7
Formelzeichen
RBXY RBXY RBXY RBXY
RBZ RBZ RBZ RBZ
RUXY RUXY RUXY RUXY
RUZ RUZ RUZ RUZ
PS2D PS2D PS2D PS2D
PSV2D PSV2D PSV2D PSV2D
PSOA PSOA PSOA PSOA
PFOA PFOA PFOA PFOA
PSX PSX PSX PSX
PSY PSY PSY PSY
PSVX PSVX PSVX PSVX
PSVY PSVY PSVY PSVY
RBXY, MPL MPL (RBXY) RBXY, MPL MPL (RBXY)
RBZ, MPL MPL (RBZ) RBZ, MPL MPL (RBZ)
RUXY, MPL MPL (RUXY) RUXY, MPL MPL (RUXY)
RUZ, MPL MPL (RUZ) RUZ, MPL MPL (RUZ)
PS2D, MPE MPE (PS2D) PS2D, MPE MPE (PS2D)
PSV2D, MPE MPE (PSV2D) PSV2D, MPE MPE (PSV2D)
PSOA, MPE MPE (PSOA) PSOA, MPE MPE (PSOA)
PFOA, MPE MPE (PFOA) PFOA, MPE MPE (PFOA)
PSX, MPE MPE (PSX) PSX, MPE MPE (PSX)
PSY, MPE MPE (PSY) PSY, MPE MPE (PSY)
PSVX, MPE MPE (PSVX) PSVX, MPE MPE (PSVX)
PSVY, MPE MPE (PSVY) PSVY, MPE MPE (PSVY)
5 Wesentliche Unterschiede der DIN EN 5 Significant differences between the

ISO 10360-7 zur bisherigen Richtlinie standard DIN EN ISO 10360-7 and the
VDI/VDE 2617 Blatt 6.1 von 2007 previous standard VDI/VDE 2617
Part 6.1 of 2007
Im Zusammenhang mit der Prüfung der Längen- In connection with testing the length measurement
messabweichung wird darauf hingewiesen, dass die error, reference is made to the fact that the standard
Norm DIN EN ISO 10360-7 von der Richtlinie DIN EN ISO 10360-7 differs from the standard
VDI/VDE 2617 Blatt 6.1:2007-05 abweicht. Die VDI/VDE 2617 Part 6.1:2007-05. The significant
wesentlichen Unterschiede der Norm DIN EN differences between the standard DIN EN
ISO 10360-7 zu genannter Richtlinie sind: ISO 10360-7 and the standard referenced are:
5.1 Räumlicher vs. Komponentenansatz 5.1 Spatial vs. component approach
Die DIN EN ISO 10360-7 beschreibt in Ab- To specify length measurement errors, Clause 5.3.2
schnitt 5.3.2 und Abschnitt 7.1 zur Spezifikation and Clause 7.1 of DIN EN ISO 10360-7 describe a
VDI/VDE 2617 Blatt 6.1 / Part 6.1 – 11 –
der Längenmessabweichungen neben der räumli- component approach in addition to the spatial (3D)
chen (3-D-)Methode, auch als zusammengesetzter method, also known as the composite approach.
Ansatz bezeichnet, zusätzlich einen Komponenten-
ansatz.
Der Komponentenansatz stellt eine Kombination The component approach is a combination consist-
aus Prüfungen einzelner Komponenten der Län- ing of tests of individual components of the length
genmessabweichungen (insbesondere keine im measurement errors (in particular, none of the test
Messvolumen raumschräg angeordnete Prüflänge) lengths oriented diagonally in the measuring vol-
und Rechtwinkligkeitsabweichungen des Messge- ume) and of the squareness errors of the measuring
räts dar. Er fordert lediglich die Prüfung der Län- machine. It only requires testing the length meas-
genmessabweichung in der XY-Ebene und, wenn urement error in the XY-plane and, if appropriate
zutreffend (der Sensor kann in der Z-Richtung (the sensor can measure in the Z-direction), the
messen), der Längenmessabweichung in Z und, length measurement error in Z and, if appropriate
wenn zutreffend (der Sensor kann zumindest in (the sensor can travel in at least the Z-direction),
Z-Richtung verfahren werden), der Rechtwinklig- the squareness error of the Z-direction to the XY-
keitsabweichungen der Z-Richtung zur XY-Ebene. plane.
Die räumliche (3-D-)Methode des zusammenge- The spatial (3D) method of the composite approach
setzten Ansatzes fordert die Prüfung der Längen- requires testing the length measurement error in
messabweichung im dreidimensionalen Raum. three-dimensional space.
5.2 Bi- vs. unidirektionale Kenngrößen 5.2 Bi- vs. unidirectional characteristics
Die DIN EN ISO 10360-7 beschreibt in Ab- To specify length measurement errors, Clause 5.3.2
schnitt 5.3.2 und Abschnitt 7.1 zur Spezifikation and Clause 7.1 of DIN EN ISO 10360-7 describe
der Längenmessabweichungen bidirektionale und bidirectional and unidirectional characteristics
unidirektionale Kenngrößen unabhängig davon, ob regardless of whether bidirectional measurements
bidirektionale Messungen möglich sind. are possible.
Anmerkung: Bidirektionale Kenngrößen müssen nicht zwangs- Note: It is not absolutely required that bidirectional character-
läufig mittels bidirektionaler Antastung von Einzelpunkten an istics be calculated based on the bidirectional probing of indi-
den gegenüberliegenden Seiten eines Prüfkörpers ermittelt vidual points on opposite sides of an artefact. For this purpose,
werden. Für die bidirektionale Längenmessabweichung wird a possible method for the bidirectional length measurement
hierzu im normativen Anhang B.4 der DIN EN ISO 10360-7 error is described in the normative Annex B.4 of DIN EN
ein mögliches Verfahren beschrieben, Messungen unidirektio- ISO 10360-7, in which measurements of unidirectional test
naler Prüflängen mit Messungen bidirektionaler Prüflängen zu lengths are combined with measurements of bidirectional test
kombinieren, um auf diese Weise Prüflängen zu erzeugen, die lengths in order to generate test lengths that are equivalent to
gleichwertig mit kalibrierten bidirektionalen Prüflängen sind. calibrated bidirectional test lengths. A second method uses
Ein zweites Verfahren nutzt Messungen unidirektionaler Prüf- measurements of unidirectional test lengths and the measuring
längen und die Messergebnisse aus der Ermittlung der An- results from the calculation of the probing error. Both methods
tastabweichung. Auf beide Verfahren wird in Abschnitt 8 are explained in Section 8 of this standard.
dieser Richtlinie eingegangen.
5.3 Empfehlungen 5.3 Recommendations
Es wird empfohlen, wie folgt vorzugehen: The following procedure is recommended:
a) Die Annahme- und Bestätigungsprüfungen von a) The acceptance and reverification tests of 3D
3-D-KMG, die mit Bildverarbeitungssystemen CMMs equipped with imaging probing systems
ausgestattet sind, sollten mit der räumlichen should be performed with the spatial (3D)
(3-D-)Methode zur Bestimmung der Längen- method for determining length measurement er-
messabweichungen (zusammengesetzter An- rors (composite approach).
satz) erfolgen.
b) Wird zur Bestimmung der Längenmessabwei- b) If, as an exception, the component approach is
chungen im Ausnahmefall der Komponenten- used to determine the length measurement er-
ansatz verwendet, ist im Datenblatt klar darauf rors, clear reference to this shall be made in the
hinzuweisen. Es ist zu beachten, dass mit dem data sheet. It has to be noted that specifications
Komponentenansatz ermittelte Spezifikationen determined with the component approach can-
nicht mit Spezifikationen nach der räumlichen not be compared with specifications according
(3-D-)Methode (zusammengesetzter Ansatz) ver- to the spatial (3D) method (composite ap-
gleichbar sind. proach).
c) Für Koordinatenmessgeräte, die zur Bestimmung c) For coordinate measuring machines that are
bidirektionaler Maße geeignet sind, sollten die suitable for determining bidirectional dimen-
Annahme- und Bestätigungsprüfungen durch Be- sions, the acceptance and reverification tests
stimmung bidirektionaler Maße erfolgen 1). Dies should be performed by determining bidirec-
ermöglicht eine bessere Vergleichbarkeit mit tional dimensions 1). This improves comparabil-
Messungen an realen dreidimensionalen Werk- ity with measurements performed on real three-
stücken und erlaubt die Vergleichbarkeit mit den dimensional workpieces and makes it possible
bidirektional angegebenen Spezifikationen für to compare the specifications for coordinate
Koordinatenmessgeräte mit anderen, insbesonde- measuring machines given as bidirectional with
re taktilen Sensoren. Auf unidirektionale Spezi- others, particularly tactile sensors. Unidirec-
fikationsangaben ist im Datenblatt geeignet hin- tional specification information shall be referred
zuweisen. Es ist zu beachten, dass unidirektional to appropriately in the data sheet. It has to be
ermittelte Kenngrößen nicht mit bidirektionalen noted that characteristics determined unidirec-
Kenngrößen vergleichbar sind. tionally are not comparable with bidirectional
characteristics.
6 Erläuterungen und Ergänzungen zu 6 Explanations and clarifications

Abschnitt 5.3 der DIN EN ISO 10360-7 – regarding Clause 5.3 of DIN EN
Anforderungen an verschiedene KMG ISO 10360-7 – Requirements for
mit Bildverarbeitung various CMMs equipped with imaging
probing systems
Längenmessabweichung Length measurement error
Ergänzend wird darauf hingewiesen, dass sowohl In addition, it has to be noted that both the artefact
die Prüfkörper als auch das KMG die Bezugstem- and the CMM should be at the reference tempera-
peratur von 20 °C, gleichzeitig auch die mittlere ture of 20 °C, which should simultaneously also be
Temperatur des Messvolumens des KMG, aufwei- the average temperature of the measuring volume
sen sollen. Weicht die mittlere Temperatur der of the CMM. If the average temperature of the
Prüfkörper und des KMG von der Bezugstempera- artefact and the CMM differ from the reference
tur ab, sind entsprechende Temperaturkorrekturen temperature, temperature corrections shall be per-
vorzunehmen, sofern dies im Normalbetrieb des formed to the extent that this also occurs in the
KMG ebenfalls geschieht (siehe auch Ab- normal operation of the CMM (see also
schnitt 6.2.1 der DIN EN ISO 10360-7). Clause 6.2.1 of DIN EN ISO 10360-7).
Weiterhin erlaubt dieser Abschnitt für KMG mit Furthermore, for CMMs with imaging probing
Bildverarbeitung, die zu räumlichen (3-D-)Mes- systems which are able to perform spatial (3D)
sungen in der Lage sind, die Koexistenz und Wahl- measurements, this section allows the optional
freiheit von zusammengesetztem (3-D-)Ansatz und selection of the composite (3D) approach or the
Komponentenansatz bei der Spezifikation der Län- component approach for use in specifying the
genmessabweichung. length measurement error.
Darüber hinaus erlaubt die Norm dem Hersteller Moreover, the standard allows the manufacturer of
des KMG die Festlegung der Fehlergrenzen der the CMM to specify the maximal permissible error
Längenmessabweichungen entweder für uni- oder of length measurement for either unidirectional or
für bidirektionale Prüflängen nach eigenem Ermes- bidirectional test lengths according to the manufac-
sen. turer’s own discretion.
Zu den zwei letztgenannten Sachverhalten wird With regard to the final two actions, distinct refer-
dringend auf die Empfehlungen in Abschnitt 5.3 ence is made to the recommendations in Sec-
dieser Richtlinie verwiesen. tion 5.3 of this standard.
—————
1)
Siehe nationales Vorwort zur DIN EN ISO 10360-7, in dem die bidirektionale Antastung empfohlen wird. /
See the respective, national foreword to DIN EN ISO 10360-7 in which bidirectional probing is recommended.

Antastabweichungen Probing errors
Die in DIN EN ISO 10360-7 enthaltene Kenngröße Probing form error is the characteristic PF2D in-
PF2D und deren Äquivalent für Messungen im Bild cluded in DIN EN ISO 10360-7 and its equivalent
PFV2D ist die Antastabweichung Form. Diese ist in for measurements in the image, PFV2D. In DIN EN
DIN EN ISO 10360 allgemein als Spanne der radi- ISO 10360, it is generally defined as the range of
alen Abweichungen der Messpunkte vom berech- the radial deviations of the measurement points
neten Ausgleichskreis definiert und entspricht der from the calculated least-squares fit circle and is
Differenz zwischen maximalem und minimalem equivalent to difference between the maximum and
Abstand von Antastpunkten zum Mittelpunkt des minimum distance from the measurement points to
Ausgleichskreises: the centre of the least-squares fit circle:
PF2D = rmax – rmin PF2D = rmax – rmin
Der Ausgleichskreis ist nach der Methode der The least-squares fit circle shall be determined
kleinsten Fehlerquadratsumme (Gaußkreis) bei according to the least square sum method (Gaussi-
freiem Radius zu bestimmen. an circle) with a free radius.
Diese Richtlinie empfiehlt als weitere Kenngröße An additional characteristic recommended in this
die Antastabweichung Maß PS2D und gegebenen- standard is probing size error PS2D and, if appropri-
falls PSV2D (Antastabweichung Maß des Bildverar- ate, PSV2D (probing size error of the imaging prob-
beitungssystems), die die Differenz zwischen ge- ing system), which describe the difference between
messenem Durchmesser dka und kalibriertem measured diameter dka and calibrated diameter dkr
Durchmesser dkr des Prüfkreises beschreibt: of the test circle:
PS2D = dka – dkr PS2D = dka – dkr
Für die Antastabweichung Maß gelten die Ausfüh- The information from Clause 5.3.3 of the standard
rungen von Abschnitt 5.3.3 der Norm analog. Zu- applies in the same way for probing size error. In
sätzlich können vom Hersteller auch eindimensio- addition, the manufacturer can indicate one-
nale Antastabweichungen angegeben werden, ins- dimensional probing errors as well, particularly
besondere wenn sich Messachsen in ihrer Genau- when measuring axes differ with regard to their
igkeit unterscheiden. In diesem Fall werden nur die accuracy. In this case, only the one-dimensional
eindimensionale Antastabweichung Maß PSX und probing size error PSX and, as appropriate, PSVX or
gegebenenfalls PSVX bzw. PSY und gegebenenfalls PSY and, as required, PSVY are determined. The
PSVY bestimmt. Als Prüfkörper wird dazu ein End- artefact used in this case is a gage block or a wide
maß oder ein breiter Chromstrich bzw. im Fall chrome line or, for a shaft measuring machine, a
eines Wellenmessgeräts ein Dorn verwendet. Der mandrel. The artefact shall be aligned accordingly.
Prüfkörper ist entsprechend auszurichten. An- Then, 13 measurement points are specified on each
schließend werden beidseitig je 13 Messpunkte side, averaged, and then the average point space is
ermittelt, gemittelt und anschließend der mittlere determined.
Punktabstand bestimmt.
Eine weitere Ergänzung der DIN EN ISO 10360-7 Another addition to DIN EN ISO 10360-7 is re-
ist bei Prüfungen unter zusätzlicher Verwendung quired for testing with the additional use of an ar-
eines Dreh-Schwenk-Gelenks, das in der Norm nicht ticulating probing system, which is not taken into
betrachtet wird, notwendig. Die Antastabwei- consideration in the standard. In this case, the prob-
chung Form und die Antastabweichung Maß werden ing form error and the probing size error are deter-
in diesem Fall dreidimensional bestimmt und durch mined three-dimensionally and described by the
die in Abschnitt 3 dieser Richtlinie bereits genann- characteristics already outlined in Section 3 of this
ten Kenngrößen PFOA (Antastabweichung unter zu- standard: PFOA (probing error with the additional
sätzlicher Verwendung eines Dreh-Schwenk- use of an articulating probing system) and PSOA
Gelenks) und PSOA (Antastabweichung Maß unter (probing size error with the additional use of an
zusätzlicher Verwendung eines Dreh-Schwenk- articulating probing system). Annex C of this
Gelenks) beschrieben. Anhang C dieser Richtlinie standard contains recommendations for measuring
enthält Empfehlungen zur Messung dieser Kenn- these characteristics on a test sphere. Otherwise,
größen an einer Prüfkugel. Ansonsten gelten auch the information from Clause 5.3.3 of DIN EN
für diese Kenngrößen die Ausführungen von Ab- ISO 10360-7 applies in the same way for these
schnitt 5.3.3 der DIN EN ISO 10360-7 analog. characteristics.
6.3 Anmerkung/Hinweise zu 6.3 Note/information regarding Clause 5.3.4 –

Abschnitt 5.3.4 – Wiederholspannweite Repeatability range of the length
der Längenmessabweichung RB oder RU measurement error RB or RU
Wird die Längenmessabweichung EB oder EU auf When the length measurement error EB or EU is
die Koordinatenachsen bezogen angegeben, muss specified with reference to the coordinate axes,
die Wiederholspannweite RB bzw. RU in analoger then the corresponding repeatability range RB or RU
Weise angegeben werden. Damit empfiehlt sich shall be specified analogously. Therefore it is rec-
zumindest zur Längenmessabweichung in der XY- ommended to calculate in addition to the length
Ebene EBXY oder EUXY und zur Längenmessabwei- measurement error in the Z-direction EBZ or EUZ is
chung in Z-Richtung EBZ oder EUZ die Bestimmung to calculate the respective repeatability ranges RBXY
der entsprechenden Wiederholspannweiten RBXY (repeatability range of the bidirectional length
(Wiederholspannweite der bidirektionalen Län- measurement error in the XY-plane) or RUXY (re-
genmessabweichung in der XY-Ebene) oder RUXY peatability range of the unidirectional length meas-
(Wiederholspannweite der unidirektionalen Län- urement error in the XY-plane) and RBZ (repeatabil-
genmessabweichung in der XY-Ebene) bzw. RBZ ity range of the bidirectional length measurement
(Wiederholspannweite der bidirektionalen Län- error in the Z-direction) or RUZ (repeatability range
genmessabweichung in der Z-Richtung) oder RUZ of the unidirectional length measurement error in
(Wiederholspannweite der unidirektionalen Län- the Z-direction) and to treat them as characteristics
genmessabweichung in der Z-Richtung) und deren with the associated maximum permissible limit.
Behandlung als Kenngrößen mit den zugehörigen These axis-related repeatability ranges are listed in
Grenzwerten. Diese achsbezogenen Wiederhol- Section 3 of this standard.
spannweiten sind in Abschnitt 3 dieser Richtlinie
aufgeführt.
Weitere Wiederholspannweiten eindimensionaler Other repeatability ranges of one-dimensional
Längenmessabweichungen sind möglich. length measurement errors are possible.

Abschnitt 6 – Annahmeprüfungen und regarding Clause 6 – Acceptance tests
Bestätigungsprüfungen and reverification tests
7.1 Abschnitt 6.2 – Längenmessabweichung 7.1 Clause 6.2 – Length measurement error
7.1.1 Anmerkungen/Hinweise zu 7.1.1 Notes/information regarding
Abschnitt 6.2.2 – Prüfmittel Clause 6.2.2 – Measuring equipment
Ein normaler thermischer Längenausdehnungsko- A typical coefficient of thermal expansion of the
effizient des Prüfkörpers liegt zwischen 8 10–6 K–1 ❛!tefact lies between 8 10–6 K–1 and 13 10–6 K–1.
und 13 10–6 K–1.
Es wird empfohlen, bei der Nutzung des normati- It is recommended that the following information
ven Anhangs B der DIN EN ISO 10360-7, insbe- be observed when using the normative Annex B of
sondere Anhang B.1, folgende Hinweise zu beach- DIN EN ISO 10360-7, particularly Annex B.1:
ten:
Zur Bestimmung der Längenmessabweichungen To determine length measurement errors, artefacts
werden optisch antastbare Prüfkörper mit Längen- with dimensional material measures for length that
maßverkörperungen, wie Maßstäbe (z. B. Chrom- can be probed optically are used, including line
striche auf Glasstäben oder Zielmarken auf Kohlefa- scales (e.g. chrome lines on glass rods or target
serstäben), 2-D-Maßverkörperungen (z. B. Chrom- marks on carbon fibre rods), 2D material measures
strukturen auf Glasplatte oder metallische Loch- (e.g. chrome structures on glass plates or perforated
blenden), Kugelstäbe mit zwei oder mehreren Ku- metallic sheets), ball rods with two or more balls,
geln, Kugelleisten (nachfolgend zusammenfassend ball bars (collectively referred to below as ball
als Kugelstäbe bezeichnet) oder Kugelplatten, ver- rods), or ball plates.
wendet.
Endmaße und Stufenendmaße sind für die Prüfung Gage blocks and step gage blocks are not well suit-
nicht gut geeignet, da sie für die Flächenmitten ed for this testing because they are calibrated for
kalibriert sind und sich mit Bildverarbeitungs- surface centres and only contours can be measured
sensoren nur Konturen messen lassen. Für Wel- with imaging sensors. Mandrels or step shafts with
lenmessgeräte können auch Dorne oder Stufenwel- calibrated spacing of the end faces can be used for
len mit kalibrierten Abständen der Stirnflächen shaft measuring machines.
verwendet werden.
Die spezifizierten Längenmessabweichungen gel- The specified length measurement errors apply for
ten für Längenmaßverkörperungen mit einem material measures for length s with a thermal ex-
thermischen Ausdehnungskoeffizienten entspre- pansion coefficient equivalent to that of steel (see
chend Stahl (siehe Satz 1 dieses Abschnitts). Ab- sentence 1 of this section). Manufacturers shall
weichungen hiervon sind vom Hersteller anzuge- provide any differing information. If chrome masks
ben. Werden als Prüfkörper Chrommasken ver- are used as artefacts, make sure that the type of
wendet, ist darauf zu achten, dass die Art der An- probing corresponds with the calibration process.
tastung dem Verfahren der Kalibrierung entspricht. This also includes the illumination.
Das beinhaltet auch die Beleuchtung.
Die Abstände des Prüfkörpers müssen kalibriert The distances of the artefacts shall be calibrated. It
sein. Es sollte sichergestellt sein, dass die Kalibrie- should be ensured that the calibration applies for
rung für die gewählte Beleuchtungsart und Punkt- the selected type of illumination and point distribu-
verteilung gültig ist. Die Kalibrierunsicherheit des tion. The calibration uncertainty of the artefact
Prüfkörpers muss dokumentiert und deutlich klei- shall be both documented and significantly less
ner als die vom Hersteller angegebenen maximal than the maximum permissible length measurement
zulässigen Längenmessabweichungen des zu prü- errors provided by the manufacturer for the coordi-
fenden Koordinatenmessgeräts sein und muss bei nate measuring machine to be tested and it must be
der Unsicherheit des Prüfverfahrens berücksichtigt considered in the uncertainty of the test method
werden (siehe hierzu DIN EN ISO 14253-1). (see DIN EN ISO 14253-1).
Erfolgt durch den Hersteller keine Spezifikation If the manufacturer does not provide a specification
des Prüfkörpers, ist dieser frei wählbar. of the artefact, it may be chosen freely.
Abschnitt 6.2.3 – Clause 6.2.3 – Length measurement
Längenmessabweichung EB oder EU error EB or EU
Bezüglich der gemäß DIN EN ISO 10360-7 im With regard to the specification of bidirectional or
Ermessen des Herstellers liegenden Festlegung von unidirectional characteristics at the discretion of the
bidirektionalen oder unidirektionalen Kenngrößen manufacturer according to DIN EN ISO 10360-7,
sei auf die dringende Empfehlung in Abschnitt 5.3, reference is made to the strong recommendation in
Punkt c dieser Richtlinie verwiesen. Section 5.3, Point c of this standard.
Für die dreidimensionale Messung von z. B. Glas- For the three-dimensional measurement of e.g.
maßstäben ist es erforderlich, vor der Messung der glass scales, a spatial alignment (determination of
Prüflängen eine räumliche Ausrichtung (Werk- workpiece position) is required before measuring
stücklagebestimmung) durch Messung mit einer the test lengths by performing a measurement with
geeigneten Fokussierhilfe (beispielsweise Autofo- an appropriate focusing device (such as an autofo-
kussensor) oder mechanischen Tastern vorzuneh- cus sensor) or mechanical probe.
men.
Steht ein Dreh-Schwenk-Gelenk zur Verfügung, If an articulating probing system is available, a
kann die zur optischen Achse des unverkippten bidirectional test of the measuring line (most often
Bildverarbeitungssensors parallele Messlinie (meist in the direction of the Z-axis) that is parallel to the
in Richtung der Z-Achse) bidirektional geprüft optical axis of the untilted imaging sensor is possi-
werden. Wenn kein Dreh-Schwenk-Gelenk vor- ble. If no articulating probing system is available, a
handen ist, kann, wenn vorhanden, mit einem takti- tactile probe (if present) can be used to perform
len Taster an einem entsprechenden Normal (z. B. tests on a corresponding material measure (e.g. step
Stufenendmaß) geprüft werden. Steht ein taktiler gage block). If no tactile probe is available, a dis-
Taster nicht zur Verfügung, können ersatzweise tance sensor can be used as an alternative to meas-
mit einem Abstandssensor kalibrierte Stufen, z. B. ure calibrated steps, e.g. created by added gage
erzeugt durch angeschobene Endmaße, gemessen blocks (limited by the working distance of the sen-
werden (begrenzt durch den Arbeitsabstand des sor and only unidirectional). In this case, the unidi-
Sensors und nur unidirektional). Die unidirektiona- rectional measurement is only permissible for the
le Messung ist hierbei lediglich für die zur opti- measuring line parallel to the optical axis because
schen Achse parallele Messlinie zulässig, da eine bidirectional probing with the imaging probing
bidirektionale Antastung mit dem Bildverarbei- system is impossible here. If a bidirectional speci-
tungssystem hier unmöglich ist. Wenn eine bidirek- fication of the length measurement has to be tested,
tionale Spezifikation der Längenmessabweichung all other measuring lines shall be measured with
geprüft werden soll, sind alle anderen Messlinien bidirectional probing. In this way, the properties of
mit bidirektionaler Antastung durchzuführen. Die the coordinate measuring machine with an imaging
Eigenschaften des Koordinatenmessgeräts mit probing system are sufficiently recorded in three-
Bildverarbeitungssystem bei dreidimensionalen dimensional measurements with bidirectional prob-
Messungen mit bidirektionaler Antastung sind ing. This alternative determination of a bidirection-
damit ausreichend erfasst. Diese, in der Spezifika- al 3D specification, which shall be described in the
tion zu beschreibende, ersatzweise Bestimmung specification, reflects the widespread use of coor-
einer bidirektionalen 3-D-Spezifikation entspricht dinate measuring machines with imaging probing
einem weit verbreiteten Einsatzfall von Koordina- systems and makes it possible to evaluate and
tenmessgeräten mit Bildverarbeitungssystemen und compare these machines more appropriately than
ermöglicht eine besser geeignete Beurteilung und the only other possible specification, which is ex-
Vergleichbarkeit dieser Geräte als die ansonsten clusively unidirectional.
nur mögliche, ausschließlich unidirektionale Spezi-
fikation.
Eine andere Möglichkeit ist die achsparallele Mes- Performing a measurement parallel to the axis with
sung mit einem Laserinterferometer. In diesem Fall a laser interferometer is another possibility. In this
werden ausschließlich die Abweichungen der Ach- case, only the errors of the axes of the coordinate
sen des Koordinatenmessgeräts erfasst und können measuring machine are recorded and can be deter-
ermittelt werden. mined.
Längenmessabweichung EBZ oder EUZ error EBZ or EUZ
Bezüglich der gemäß DIN EN ISO 10360-7 für With regard to the specification, at the discretion of
KMG mit Bildverarbeitungssystemen, die zu räum- the manufacturer and according to DIN EN
lichen (3-D-)Messungen in der Lage sind, im Er- ISO 10360-7, of the optional use of the composite
messen des Herstellers liegenden Festlegungen zur (3D) approach or the component approach for
wahlfreien Nutzung des zusammengesetzten (3-D) CMMs with imaging probing systems which are
Ansatzes oder des Komponentenansatzes wird auf able to perform spatial (3D) measurements, refer-
die dringende Empfehlung in Abschnitt 5.3, ence is made to the strong recommendation in Sec-
Punkt a und Punkt b dieser Richtlinie verwiesen. tion 5.3, Point a and Point b of this standard.
Bezüglich bidirektionaler oder unidirektionaler With regard to bidirectional or unidirectional char-
Kenngrößen sei auf den Abschnitt 5.3, Punkt c acteristics, reference is made to Section 5.3, Point c
dieser Richtlinie und auf Abschnitt 7.1.2 verwie- of this standard and to Section 7.1.2.
sen.
Längenmessabweichung EBXY oder EUXY error EBXY or EUXY
Auf die Analogie zu Abschnitt 7.1.3 sei verwiesen. Reference is made to the similar information in
Section 7.1.3.
Längenmessabweichung des error of the imaging probing system
Bildverarbeitungssystems EBV oder EUV EBV or EUV
Auf die Analogie zu Abschnitt 7.1.2 sei verwiesen. Reference is made to the similar information in
Section 7.1.2.
7.2 Abschnitt 6.3 – 7.2 Clause 6.3 – Squareness error ESQ

Rechtwinkligkeitsabweichung ESQ
Anmerkungen/Hinweise zu Abschnitt 6.3.1 – Notes/information regarding Clause 6.3.1 –
Allgemeines General information
Die Rechtwinkligkeitsabweichung ist u. a. Bestand- The squareness error is i.a. part of the component
teil des Komponentenansatzes. Bezüglich der in approach. Regarding the freedom of choice of the
DIN EN ISO 10360-7 für KMG mit Bildverarbei- manufacturer between the use of the composite
tungssystemen, die zu räumlichen (3-D-)Mes- (3-D) approach or the component approach as
sungen in der Lage sind, festgelegten Wahlfreiheit specified in DIN EN ISO 10360-7 for CMMs with
des Herstellers zwischen der Nutzung des zusam- imaging probing systems capable of spatial
mengesetzten (3-D-)Ansatzes oder des Komponen- (3-D) measurements, reference is made to the
tenansatzes wird auf die dringende Empfehlung in strong recommendation in Section 5.3, Point a and
Abschnitt 5.3, Punkt a und Punkt c dieser Richtli- Point c of this standard.
nie verwiesen.
7.3 Abschnitt 6.4 – Wiederholspannweite der 7.3 Clause 6.4 – Repeatability range of the
Längenmessabweichung RB oder RU length measurement error RB or RU
Wird, wie auch in Abschnitt 6.3 dargestellt, die When, as also shown in Clause 6.3, the length
Längenmessabweichung EB oder EU auf die Koordi- measurement error EB or EU is specified with refer-
natenachsen bezogen angegeben, muss die Wieder- ence to the coordinate axes, then the corresponding
holspannweite RB bzw. RU in analoger Weise ange- repeatability range RB or RU shall also be specified.
geben werden. Damit empfiehlt sich zumindest zur This means that the recommendation for at least
Längenmessabweichung in der XY-Ebene EBXY oder the length measurement error in the XY-plane EBXY
EUXY und zur Längenmessabweichung in Z-Rich- or EUXY and the length measurement error in the
tung EBZ oder EUZ die Bestimmung der entsprechen- Z-direction EBZ or EUZ is to calculate the respective
den Wiederholspannweiten RBXY oder RBXY bzw. repeatability ranges RBXY or RUXY and RBZ or RUZ
RBZ oder RUZ und deren Behandlung als Kenngrößen and to treat them as characteristics with the associ-
mit den zugehörigen Grenzwerten. Diese achsbezo- ated maximum permissible limits. These axis-
genen Wiederholspannweiten sind in Abschnitt 3 related repeatability ranges are listed in Section 3
und Abschnitt 4 dieser Richtlinie aufgeführt. and Section 4 of this standard.
7.4 Abschnitt 6.5 – Antastabweichung PF2D 7.4 Clause 6.5 – Probing error PF2D
Abschnitt 6.5.1 – Kurzbeschreibung Clause 6.5.1 – Brief description
Abschnitt 6.5 der DIN EN ISO 10360-7 beinhaltet Clause 6.5 of DIN EN ISO 10360-7 contains only
nur die Untersuchung der Antastabweichung Form an examination of probing form error PF2D. In addi-
PF2D. In Ergänzung hierzu wird gemäß Ab- tion here, according to Section 6.2 of the present
schnitt 6.2 vorliegender Richtlinie empfohlen, zu- standard, it is recommended that probing size error
sätzlich die Antastabweichung Maß PS2D zu be- PS2D also be taken into consideration and compli-
trachten und die Einhaltung der Fehlergrenze der ance with the maximum permissible probing size
Antastabweichung Maß PS2D, MPE zu prüfen. error PS2D, MPE be tested.
Zur Ermittlung der Antastabweichung können fol- The following calibrated material standards can be
gende kalibrierte Normale verwendet werden: used to determine the probing error:
• für die Prüfung der dreidimensionalen Antast- • for testing the three-dimensional probing error:
abweichung: Kugeln spheres
• für die Prüfung der zweidimensionalen Antast- • for testing the two-dimensional probing error:
abweichung: kreisförmige Strukturen mit gutem circular structures with a good contrast ratio
Kontrastverhältnis wie Chromkreise, Einstell- such as chrome circles, setting rings, or spheres
ringe oder Kugeln
• für die Prüfung der eindimensionalen Antast- • for testing one-dimensional probing error: gage
abweichung: Endmaße oder breite Chromstriche blocks or wide chrome lines on glass or man-
auf Glas oder Dorne für Wellenmessgeräte drels for shaft measuring machines
Der Hersteller sollte die verwendeten Normale The manufacturer should specify the material
spezifizieren. Erfolgt dies nicht, sind die Normale standards to be used. If no specification is provid-
unter den oben genannten frei wählbar. ed, the material standards listed above are freely
selectable.
Es sollte sichergestellt sein, dass die Kalibrierung It should be ensured that the calibration is valid for
für die gewählte Beleuchtungsart gültig ist. Die the selected type of illumination. The form error of
Formabweichung des Normals muss bei der Unsi- the material standard shall be taken into considera-
cherheit des Prüfverfahrens berücksichtigt werden. tion in the uncertainty of the test method. If the
Ist die Formabweichung des Normals zu groß, kann form error of the material standard is too great, the
auch mit der Abweichung zur kalibrierten Form des deviation from the calibrated form of the material
Normals gearbeitet werden. Der Vergleich mit der standard can be used instead. In this case, the com-
kalibrierten Form muss in diesem Fall mit den an parison with the calibrated form shall be made
den gleichen Orten des Normals gemessenen Ab- using the deviations measured at the same locations
weichungen erfolgen. Ein Kalibrierschein zu Form of the material standard. There shall be a calibra-
und Durchmesser muss vorliegen. tion certificate regarding form and diameter.
Ergänzend zur Norm sollte für die Messung unter As an addition to the standard, for a measurement
Verwendung der Koordinatenachsen des KMG using the coordinate axes of the CMM (measure-
(Messung am Bild, Kenngrößen PF2D, PS2D) der ment on the image, characteristics PF2D, PS2D), the
Durchmesser des Normals mindestens 10 mm be- diameter of the material standard should be at least
tragen. Müssen aus technischen Gründen andere als 10 mm. If, for technical reasons, different diame-
in der Norm genannte Durchmesser verwendet ters have to be used than those listed in the stand-
werden, sind diese anzugeben. Die verwendeten ard, these diameters shall be indicated. The struc-
Strukturbreiten sollten deutlich größer als die ture widths used should be significantly larger than
Strukturauflösung des Sensors sein. Für eindimen- the structural resolution of the sensor. For one-
sionale Normale gelten die genannten Regeln ana- dimensional material standards, the rules listed
log. apply in the same way.
Die Ermittlung der Kenngrößen PF2D und PS2D so- The characteristics PF2D and PS2D and the character-
wie der Kenngrößen PFV2D und PSV2D kann sowohl istics PFV2D and PSV2D can be determined on both
an positiven als auch an negativen Strukturen (z. B. positive and negative structures (e.g. light and dark
helle und dunkle Kreise, siehe Bild 1) erfolgen, circles, see Figure 1) in order to identify system-
um systematische Abweichungen der Kantenorts- atic errors of edge location detection.
detektion zu erkennen.
7.5 Abschnitt 6.6 – Antastabweichung des 7.5 Clause 6.6 – Probing error of the imaging
Bildverarbeitungssystems PFV2D probing system PFV2D
Abschnitt 6.6.1 – Kurzbeschreibung Clause 6.6.1 – Brief description
Abschnitt 6.6 der DIN EN ISO 10360-7 beinhaltet Clause 6.6 of DIN EN ISO 10360-7 contains an
die Untersuchung der Antastabweichung Form examination of probing form error PFV2D in the
PFV2D im Bild. In Ergänzung hierzu wird gemäß image. In addition, according to Section 6.2 of the
Abschnitt 6.2 der vorliegenden Richtlinie empfoh- present standard, it is recommended that also the
len, zusätzlich die Antastabweichung Maß des probing size error of the imaging probing system
Bildverarbeitungssystems PSV2D im Bild zu be- PSV2D be observed in the image and that compli-
trachten und die Einhaltung der Fehlergrenze der ance with maximum permissible probing size error
Antastabweichung Maß des Bildverarbeitungssys- of the imaging probing system PSV2D, MPE be tested.
tems PSV2D, MPE zu prüfen.
Für diesen Abschnitt der Norm gelten die Empfeh- For this clause of the standard, the recommenda-
lungen nach Abschnitt 7.4.2 der vorliegenden tions according to Section 7.4.2 of the present
Richtlinie analog einschließlich der Nutzung posi- standard apply in the same way, including the use
tiver und negativer Strukturen gemäß Bild 1. of positive and negative structures according to
Figure 1.
VDI/VDE 2617 Blatt 6.1 ✴ !"✁t 6.1 – 19 –
(a) (b)
Bild 1. Prüfung der Antastabweichung PFV2D und Figure 1. Test of probing error PFV2D and PSV2D
PSV2D
Zulässig sind alle Positionen im Bild sowie positive All of the positions in the Figure as well as positive
(a) und negative (b) Strukturen. (a) and negative (b) structures are permissible.

Abschnitt 7 – Übereinstimmung mit regarding Clause 7 – Compliance with
Festlegungen specifications
Anmerkungen/Hinweise zu Abschnitt 7.1 – Notes/information regarding Clause 7.1 –
Annahmeprüfung Acceptance test
Anmerkungen/Hinweise zu Abschnitt 7.1.1 – Notes/information regarding Clause 7.1.1 –
Annahmekriterien Acceptance criteria
B❡✂&✄☎i❝✆ de✁ ✄❡♠,✝ DIN EN ISO 10360-✼ f&✁ With regard to admissibility and authorisation to
❑▼● ♠it Bild✈e✁a✁beit✉n✄✱ die ✂✉ ✁,✉♠lic✆en ✭3-D-) create specifications for acceptance, at the manu-
▼❡ss✉✞✄❡✞ in d❡✁ ▲"✄❡ si✞♥✱ i♠ ❊✁♠essen des facturer’s discretion and according to DIN EN
❍❡✁stelle✁s li❡✄❡nden ❩✉☎,✟si✄❣❡it ✉✞♥ E✁l"✉❛✞is ISO 10360-7, based on the composite (3D) ap-
f&✁ ❋❡✟tl❡✄✉✞✄en ✂✉✁ ❆bna✆♠e diese✁ ❑▼● ✉✞✠e✁ proach or the component approach for CMMs with
N✉✠✂✉✞✄ des ✂✉sa♠♠❡✞✄eset✂✠en ✭3-D-)❆nsat✂es imaging probing systems which are able to perform
♦♥❡✁ ✉✞te✁ N✉✠✂✉✞✄ des ❑♦♠♣♦✞entenansat✂❡s sei spatial (3D) measurements, reference is made to
"✉✡ die d✁in✄❡nde ❊♠♣fe✆☎✉✞✄ in ❆bs❝✆✞☛tt 5.3, the strong recommendation in Section 5.3, Point a
Punkt a und Punkt b dieser Richtlinie verwiesen. and Point b of this standard.
Bezüglich der zulässigen und erlaubten Anwen- With regard to the admissible and permitted use of
dung bidirektionaler oder unidirektionaler Kenn- bidirectional or unidirectional characteristics, ref-
größen sei auf die dringende Empfehlung in Ab- erence is made to the strong recommendation in
schnitt 5.3, Punkt c verwiesen. Section 5.3, Point c of this standard.
Werden, z. B. beim Komponentenansatz, die Län- If, e.g. in the component approach, the length meas-
genmessabweichung EB oder EU und deren Grenz- urement error EB or EU and their maximum permissi-
werte auf die Koordinatenachsen bezogen angege- ble values are specified with reference to the coordi-
ben, muss die Wiederholspannweite RB bzw. RU in nate axes, then the corresponding repeatability range
analoger Weise angegeben werden. Damit emp- RB or RU shall also be specified. This means that the
fiehlt sich zumindest zur Längenmessabweichung recommendation for at least the length measurement
in der XY-Ebene EBXY oder EUXY und zur Längen- error in the XY-plane EBXY or EUXY and the length
messabweichung in Z-Richtung EBZ oder EUZ die measurement error in the Z-direction EBZ or EUZ are
Bestimmung der entsprechenden Wiederholspann- to calculate the respective repeatability ranges RBXY
weiten RBXY oder RBXY bzw. RBZ oder RUZ und de- or RUXY and RBZ or RUZ and to treat them as character-
ren Behandlung als Kenngrößen mit den zugehöri- istics with the associated maximum permissible lim-
gen Grenzwerten. its.
Diese achsbezogenen Wiederholspannweiten sind These axis-related repeatability ranges are listed in
in Abschnitt 3 und Abschnitt 4 aufgeführt. Section 3 and Section 4.
Weitere Wiederholspannweiten eindimensionaler Further repeatability ranges of one-dimensional
Längenmessabweichungen können vom Hersteller length measurement errors can be defined by the
definiert werden und müssen dann geprüft werden. manufacturer and shall then be tested.
Wenn festgelegt, müssen zusätzlich zur Antastab- When they are specified, in addition to the probing
weichung Form PF2D und der Antastabweichung form error PF2D and the probing form error of the
Form des Bildverarbeitungssystems PFV2D die An- imaging probing system PFV2D, the probing size
tastabweichung Maß PS2D und die Antastabwei- error PS2D and the probing size error of the imaging
chung Maß des Bildverarbeitungssystems PSV2D auf probing system PSV2D shall be tested with regard to
Einhaltung der Fehlergrenzen geprüft werden. the compliance with the associated maximum per-
missible errors.
Die Aussagen zur Neubestimmung der Wiederhol- Assertions regarding a new determination of the
spannweite bei erneuter Messung der kalibrierten repeatability range for a new measurement of the
Prüflänge gemäß Abschnitt 7.1.2.2 der Norm gel- calibrated test length according to Clause 7.1.2.2 of
ten auch für Kenngrößen nach dem Komponenten- the standard also apply for characteristics based on
ansatz. the component approach.
9 Erläuterungen und Ergänzungen zum 9 Explanations and clarifications

normativen Anhang B.4 – Gleichwertige regarding normative Annex B.4 –
bidirektionale Prüflängen durch Equivalent bidirectional measurements
unidirektionale Messungen using unidirectional test lengths
9.1 Korrekturmaßnahmen bei nicht 9.1 Corrective measures for single point
bidirektionaler Einzelpunktantastung probing that is not bidirectional
Bei unidirektionaler Längenmessung können Mit- With unidirectional length measurement, the ef-
telungseffekte und die Kompensation von systema- fects of averaging and the compensation of system-
tischen Antastabweichungen auftreten (z. B. bei der atic probing errors can occur (e.g. when measuring
Messung von Kreispositionen, unidirektionalen circle positions, unidirectional edges, or line centre
Kanten oder Strichmittenpositionen). Um diese positions). To compensate for these effects in com-
Effekte im Vergleich zur bidirektionalen Messung parison with the bidirectional measurement of sin-
von Einzelpunkten an Kanten auszugleichen, sind gle points on edges, the effects shall also be taken
diese zusätzlich zu berücksichtigen. Hierfür gibt es into consideration. There are many methods to do
mehrere Verfahren. Zur Verfahrensdurchführung so. The auxiliary variables needed to carry out
werden Hilfsgrößen benötigt, die in Abschnitt 4 der these procedures are described in Section 4 of the
vorliegenden Richtlinie definiert sind. present standard.
9.2 Methode 1 – Ergänzende bidirektionale 9.2 Method 1 – Additional bidirectional
Messung einer kurzen Prüflänge measurement of a short test length
Die Längenmessabweichung EB ergibt sich aus der The length measurement error EB is a result of the
unidirektional gemessenen Prüflänge lka (angezeig- unidirectionally measured test length lka (displayed
ter Wert), deren Kalibrierwert lkr (richtiger Wert) value), its calibration value lkr (true value) and the
und der Längenmessabweichung EE der zugehöri- length measurement error EE of the associated short
gen kurzen bidirektional gemessenen Prüflänge bidirectionally measured test length (e.g. structure
(z. B. Strukturbreite) gemäß der Gleichung: width) according to the equation:
EB = lka – lkr + EE EB = lka – lkr + EE
Wird die unidirektionale Prüflänge lka aus wenigen If the unidirectional test length lka is determined
Antastpunkten, wie in DIN EN ISO 10360-7, An- from few contact points as described in DIN EN
hang B.3.1 beschrieben, bestimmt, so muss die kurze ISO 10360-7, Annex B.3.1, the short bidirectional
bidirektionale Prüflänge EE je gemessener Messlinie test length EE shall be measured once per measured
einmal gemessen werden, das heißt, es sind insgesamt measuring line, i.e. a total of 3 7 = 21 measure-
3 7 = 21 Messungen erforderlich. Die Messlinien ments are required. The measuring lines are defined
sind durch ihre Orientierung im Messvolumen ge- by their orientation in the measuring volume accord-
mäß Tabelle 2 in Abschnitt 6.2.3 der Norm definiert. ing to Table 2 in Clause 6.2.3 of the standard.
In einer alternativen Ausführungsform dieser Me- In an alternative implementation of this method,
thode wird der Einfluss der Einzelantastung bei der the influence of single probing in the measurement
Messung der unidirektionalen Prüflängen gering of the unidirectional test lengths is minimised by
gehalten, indem bei der Kugelmessung für die Ku- measuring as many points as possible in the sphere
gelabstandsabweichung bzw. bei der Kreismessung measurement for the sphere centre distance error or
für die Kreisabstandsabweichung hierzu möglichst in the circle measurement for the circle centre dis-
viele Antastpunkte gemessen werden. Dann muss tance error. However, the influence shall then be
der Einfluss jedoch bei der Addition von EE voll- taken completely into consideration in the addition
ständig berücksichtigt werden, was durch die Mes- of EE, which is done by measuring the short bidi-
sung der kurzen bidirektionalen Prüflänge separat rectional test length separately for each unidirec-
für jede unidirektionale Prüflänge gelingt. Damit tional test length. This means that in this case, a
sind in diesem Fall insgesamt 3 35 = 105 Mes- total of 3 35 = 105 measurements are required.
sungen erforderlich. Analog ist vorzugehen, wenn The procedure is the same when an average is tak-
bei der unidirektionalen Messung von Strichmaß- en across several contact points in the unidirection-
stäben und bei der Strichmittenmessung jeweils al measurement of line scale standards and in the
über mehrere Antastpunkte gemittelt wird. line centre measurement, respectively.
Anmerkung: Es lässt sich mathematisch zeigen, dass bei Note: It can be demonstrated mathematically that when the
annähernd gleichmäßiger Punkteverteilung über die Kugeln point distribution across the spheres (alternatively, hemi-
(ersatzweise Halbkugeln mit Polachse senkrecht zur Messli- spheres with the pole axis vertical to the measuring line) is
nie) und Punkteanzahl größer als 25 der Einfluss der An- approximately uniform and the number of points is greater
tastabweichung auf die Kugelmittelpunktsabweichung weniger than 25, the influence of the probing error on the sphere centre
als 5 % der durch die Antastabweichung bedingten Längen- error is less than 5 % of the length measurement error of the
messabweichung der kurzen Prüflänge beträgt und somit short test lengths due to the probing error, so it is negligible.
vernachlässigbar ist.
9.3 Methode 2 – Ergänzende Berücksichtigung 9.3 Method 2 – Additional consideration of
der Antastabweichungen the probing errors
Neben der in der Norm enthaltenen Methode be- In addition to the methods included in the standard,
steht eine einfache Möglichkeit darin, Messergeb- a simple option is to also use the measuring results
nisse aus der Ermittlung der Antastabweichung from the determination of the probing error to es-
heranzuziehen. Hierdurch wird der ungünstigste timate the worst case. Here it shall be ensured that
Fall abgeschätzt. Dabei ist zu beachten, dass die the probing strategy and the point distribution are
Antaststrategie und die Punktverteilung sowohl bei as similar as possible for the determination of both
der Ermittlung der Antastabweichung als auch bei the probing error and the length measurement er-
der Ermittlung der Längenmessabweichung mög- ror.
lichst gleich sein müssen.
Die Längenmessabweichung EB ergibt sich aus der The length measurement error EB is a result of the
angezeigten Prüflänge lka, deren Kalibrierwert lkr, displayed test length lka, its true value lkr, the prob-
der vorzeichenbehafteten Antastabweichung Maß ing size error PS2D (a signed value), and the probing
PS2D und der Antastabweichung Form PF2D mit der form error PF2D with these differentiations:
Fallunterscheidung:
Fall 1: (lka – lkr + PS2D) > 0 Case 1: (lka – lkr + PS2D) > 0
EB = lka – lkr + PS2D + PF2D EB = lka – lkr + PS2D + PF2D
Fall 2: (lka – lkr + PS2D) = 0 Case 2: (lka – lkr + PS2D) = 0
EB = + PF2D oder EB = – PF2D EB = + PF2D or EB = – PF2D
Fall 3: (lka – lkr + PS2D) < 0 Case 3: (lka – lkr + PS2D) < 0
EB = lka – lkr + PS2D – PF2D EB = lka – lkr + PS2D – PF2D
Unter Nutzung der Signumfunktion lautet der Zu- When using the sign function, the relationship is:
sammenhang:
EB = lka – lkr + PS2D + (sgn(lka – lkr + PS2D)) PF2D EB = lka – lkr + PS2D + (sgn(lka – lkr + PS2D)) PF2D
mit with
PS2D = (da – dr) PS2D = (da – dr)
Für lka – lkr + PS2D = 0 muss wahlweise +PF2D oder For lka – lkr + PS2D = 0 either +PF2D or
–PF2D für EB angenommen werden. –PF2D has to be used for EB.
Die so ermittelten Werte für die Längenmessab- The values for the length measurement error de-
weichung sind mit denen einer bidirektionalen termined in this way are comparable with those of
Endmaßmessung vergleichbar. Es ist zu empfehlen, a bidirectional gage block measurement. In the
bei der Bestimmung von lka – lkr möglichst viele calculation of lka – lkr, the recording of as many
Antastpunkte aufzunehmen, um den Einfluss der measurement points as possible is recommended in
Einzelantastung gering zu halten. order to minimise the influence of single probing.
Anhang A Optische Sensoren zur Annex A Optical sensors for measuring

Messung lateraler Strukturen lateral structures
A1 Beispiele A1 Examples
Das am häufigsten eingesetzte Bildverarbeitungs- The optical probing system used most frequently
system zur Messung lateraler Strukturen ist die for measuring lateral structures is the matrix cam-
Matrixkamera als bildgebender Sensor in Verbin- era used as an imaging sensor in connection with a
dung mit einem Verfahren zur Bildverarbeitung method for imaging probing (designated here in
(hier in Summe als Bildverarbeitungssensor be- total as an imaging probing sensor). There are,
zeichnet). Darüber hinaus existieren aber noch however, even more optical sensors for measuring
weitere optische Sensoren zur Messung lateraler lateral structures for which the standard DIN EN
Strukturen, für die die Norm DIN EN ISO 10360-7 ISO 10360-7 and the present standard were not
und die vorliegende Richtlinie zwar nicht explizit explicitly created, but which can be tested in a
erstellt wurden, die aber in gleicher Art und Weise similar manner. These include all those sensors for
geprüft werden können. Dazu gehören all diejeni- coordinate measuring machines created from
gen Sensoren für Koordinatenmessgeräte, die aus measuring projectors and microscopes and which
Messprojektoren und -mikroskopen entstanden allow measurement in the image plane of imaging
sind und eine Messung in der Bildebene einer Ab- optics. Examples here include the visual cross-hair,
bildungsoptik erlauben. Beispiele sind das visuell various types of point sensors (probing eye, circle-
genutzte Fadenkreuz, verschiedene Punktsensor- circular ring sensor, opto eye) and imaging probing
arten (Tastauge, Kreis-Kreisring-Sensor, Opto- sensors with line-type image capture. These sen-
Eye) und Bildverarbeitungssensoren mit zeilen- sors are also called visual sensors.
förmiger Bildaufnahme. Diese Sensoren werden
ebenfalls als visuelle Sensoren bezeichnet.
Die optischen Sensoren zur Messung lateraler Struk- The optical sensors used to measure lateral struc-
turen können in punkt-, linien- und flächenförmige tures can be classified as point, line, and surface
Systeme aufgeteilt werden (siehe Tabelle A1). systems (see Table A1).
Tabelle A1. Optische Sensoren zur Messung late- Table A1. Optical sensors for measuring lateral
raler Strukturen structures
Punktförmig Fadenkreuz (visuell) Point-type cross-hair (visual)
Tastauge probing eye
Linienförmig Zeilenscanner Line-type line scanner
Linien-Lateral-Scanner line-lateral scanner
Flächenförmig Bildverarbeitungssystem mit Matrix- Surface-type imaging probing system with a matrix
kamera camera
Die punktförmigen Sensoren arbeiten nach dem The point-type sensors work according to the
schaltenden Prinzip, linien- und flächenförmige switching principle; line and surface-type sensors
Sensoren arbeiten überwiegend nach dem messen- primarily work according to the measuring princi-
den Prinzip. Diese Sensoren verfügen über einen ple. The design of these sensors determines their
von ihrer Ausführung abhängigen Arbeitsbereich, working ranges, within which the collection of
innerhalb dessen die Gewinnung von Messpunkten measuring points is possible even without relative
auch ohne Relativbewegung zwischen Messobjekt motion between the measuring object and the sen-
und Sensor möglich ist. sor.
A2 Funktionsweise A2 Function
Unter visuellen Sensoren versteht man Sensoren, Visual sensors are understood as sensors that eval-
die zur Bestimmung von Messpunkten die Intensi- uate the intensity distribution of the optical image
tätsverteilung des optischen Bilds des Werkstücks of the workpiece in the image plane to determine
in der Bildebene auswerten. Hierunter kann im measuring points. In the broadest sense, this can be
weitesten Sinne die Automatisierung des Messvor- understood as the automation of the measuring
gangs verstanden werden, der bei Messprojektoren procedure which is carried out with the human eye
und Mikroskopen mit dem menschlichen Auge when using measuring projectors and microscopes.
durchgeführt wird.
A3 Beleuchtung – Voraussetzung für sicheres A3 Illumination – Prerequisite for reliable

Messen measurement
Die Basis für jede Messung mit visuellen Sensoren The basis for each measurement with visual sen-
bildet das möglichst kontraststarke Darstellen und sors is creating the greatest possible contrast, i.e.
somit die Beleuchtung (Bild A1) der zu messen- the illumination (Figure A1) of the features to be
den Merkmale. Am einfachsten gelingt dies an den measured. This is easiest to do at the outer edges of
Außenkanten der Messobjekte, die im Durchlicht the measuring objects, which can be recorded in
erfassbar sind. Ideale Voraussetzungen hierfür bie- transmitted light. Flat measuring objects offer the
ten flache Messobjekte. Bei räumlich ausgedehnten ideal prerequisites here. For edges that are extend-
Kanten, also hohen Bauteilen, ist jedoch die Wech- ed in space, such as tall objects, however, the inter-
selwirkung zwischen Beleuchtung, Messobjekt und action between illumination, the measuring object,
Abbildungsstrahlengang zu beachten. Der Hersteller and the optical path shall be noted. The manufac-
eines Koordinatenmessgeräts hat dafür Sorge zu turer of a coordinate measuring machine shall en-
tragen, dass die Öffnungswinkel (Aperturen) der sure that the apertures of the individual optical
einzelnen optischen Systeme aufeinander abge- systems are adapted to work together and that the
stimmt sind und die Auswertesoftware Möglichkei- evaluation software offers options for enabling a
ten zur ausreichend guten Kalibrierung der Algo- sufficiently good calibration of the algorithms for
rithmen zur Kantenortsbestimmung bietet. Für spe- specifying edge location. For special applications
zielle Anwendungen wie dem Messen rotations- such as measuring rotationally symmetrical parts
symmetrischer Teile (beispielsweise liegende Zylin- (e.g. horizontal cylinders), transmitted light units
der) kommen zum Teil in der Apertur verstellbare with adjustable apertures are used to some extent.
Durchlichteinheiten zum Einsatz.
Die Anwendung visueller Sensoren erfordert neben The use of visual sensors requires not only trans-
der Durchlichtbeleuchtung meist auch eine Auf- mitted light illumination, but often incident illumi-
lichtbeleuchtung, die dann zum Einsatz kommen nation as well, which has to be used if features
muss, wenn Merkmale nicht im Durchlicht erfassbar cannot be recorded in transmitted light. There are
sind. Zu unterscheiden sind zwei Arten: Das Auf- two different types: The incident light brightfield
licht-Hellfeld (Bild A1) wird parallel zur Achse des (Figure A1) is projected onto the measuring object
Strahlengangs auf das Messobjekt projiziert. Im parallel to the axis of the optical path. Ideally, this
Idealfall erfolgt dies direkt durch die Linsensysteme is done directly through the lens systems of the
der Abbildungsoptik. Diese Beleuchtungsart erzielt imaging optics. This type of illumination achieves
beispielsweise auf Metalloberflächen einen direkten a direct reflection on metal surfaces, for example.
Reflex. Das Messobjekt wird hell dargestellt. Ge- The measuring object appears bright. Inclined sur-
neigte Oberflächen reflektieren das Licht am Objek- faces reflect the light past the lens, so they appear
tiv vorbei und werden somit dunkel abgebildet. dark.
Das Auflicht-Dunkelfeld strahlt unter einem schrä- The incident light darkfield is projected onto the
gen Winkel zum Abbildungsstrahlengang auf das measuring object at an oblique angle to the optical
Messobjekt. Somit erscheinen die geneigten Ober- path. This allows the inclined surface portions that
flächenanteile hell, die Licht in Richtung der Ka- reflect light toward the camera to appear bright. In
mera reflektieren. Zusätzlich wird das vom Objekt addition, the light scattered from the object due to
aufgrund vorhandener Oberflächenstrukturen ge- the existing surface structures is recorded by the
streute Licht vom Sensor erfasst, sodass sich die sensor such that it is often difficult to ensure the
sichere Auswertung dieser Bilder durch die entste- reliable evaluation of these images due to the “in-
henden „Störungen“ oftmals schwierig gestaltet. terference” that occurs. Usually, ring-shaped ar-
Normalerweise kommen für das Auflicht-Dunkel- rangements are used for the incident light dark-
feld ringförmige Anordnungen zum Einsatz, z. B. field, e.g. LED ring lights. The advantage of these
LED-Ringlichter. Diese weisen den Vorteil eines lights is low heat transfer into the measuring vol-
geringen Wärmeeintrags in das Messvolumen auf. ume. Division into various segments allows for
Durch Unterteilung in verschiedene Segmente kann illumination from various directions in space,
die Beleuchtung aus verschiedenen Raumrichtun- which creates a variety of illumination effects.
gen erfolgen, wodurch unterschiedliche Beleuch- Light-emitting diodes (LED) make it possible to
tungseffekte entstehen. Die lichtemittierenden Dio- adapt the dark-field incident light perfectly for the
den (LED) ermöglichen es, das Dunkelfeld- measuring task. The characteristic feature of the
Auflicht optimal an die Messaufgabe anzupassen. adjustable angle illumination according to Fig-
Kern der winkelverstellbaren Beleuchtung nach ure A2 are several LEDs arranged on concentric
Bild A2 sind mehrere auf konzentrischen Ringen rings where each ring is divided into multiple sec-
angeordnete LEDs, wobei die Ringe jeweils in tors. In combination with a zoom lens with a varia-
mehrere Sektoren unterteilt sind. In Kombination ble working distance, this illumination makes it
mit einer Zoomoptik mit veränderlichem Arbeits- possible both to vary the angle between the illumi-
abstand ermöglicht es diese Beleuchtung, sowohl nation and the optical axis in a wide range (by se-
den Winkel zwischen Beleuchtung und optischer lecting various LED rings) and to change the direc-
Achse in einem weiten Bereich zu variieren (Aus- tions of the illumination (by selecting various sec-
wahl unterschiedlicher LED-Ringe) als auch die tors of the rings). This makes it possible to obtain
Beleuchtungsrichtungen zu verändern (Auswahl high contrast images even with measuring object
verschiedener Sektoren der Ringe). Hierdurch wird areas that are difficult to illuminate (Figure A3).
es möglich, auch bei schwierig auszuleuchtenden
Messobjektbereichen kontrastreiche Abbildungen
zu erhalten (Bild A3).
Bei vielen optischen und Multisensor-Koordinaten- For many optical and multi-sensor coordinate
messgeräten sind alle Lichtquellen über die Mess- measuring machines, all of the light sources can be
software des Geräts steuerbar. Die Helligkeit kann controlled with the machine’s measuring software.
anhand des vom Objekt reflektierten Lichts geregelt The brightness can be regulated based on the light
werden. reflected from the object.
Kamera /
camera
Objekt /
object
Durchlicht / Auflicht-Hellfeld / Auflicht-Dunkelfeld /

transmitted light incident light brightfield incident light darkfield
Bild A1. Wirkung der verschiedenen Beleuch- Figure A1. Effects of various illumination arrange-
tungsanordnungen am gleichen Objekt ments on the same object (chrome structures on
(Chromstrukturen auf Glas) glass)
• Durchlicht • transmitted light
Glasflächen sind als helle Stellen erkennbar, da Glass surfaces are identifiable as bright spots
lichtdurchlässig; Chromstrukturen schwarz, da because they are transparent; chrome structures
lichtundurchlässig. are black because they are opaque.
• Auflicht-Hellfeld • incident light brightfield
Chromstrukturen sind hell, da reflektierend; Glas- Chrome structures are bright because they are
flächen sind schwarz, da sie das Licht passieren reflective; glass surfaces are black because they
lassen. allow light to pass through.
• Auflicht-Dunkelfeld • incident light darkfield
Die Glas- und Chromflächen sind dunkel, da sie Glass and chrome surfaces are dark because
das schräg eingestrahlte Licht nicht zur Kamera they do not reflect the obliquely incident light to
reflektieren. Es werden nun Oberflächenstruktu- the camera. Now the surface structures are visi-
ren sichtbar (Kratzer in der Chromstruktur und ble (scratches in the chrome structure and edges
Kanten der Chromstrukturen), an deren Grenzen of the chrome structures) at whose borders light
Licht in Richtung Kamera gestreut wird. is scattered in the direction of the camera.
Kamera und Zoom mit variablem

Kamera / Arbeitsabstand / camera and zoom
camera lens with variable working distance
Auflicht-Hellfeld /
incident light
Objektiv / brightfield
Auflicht- objective lens
Dunkelfeld / Beleuchtung
incident steil / steep
light dark- lighting
field
Beleuchtung A1
flach / flat
lighting
A5
Objekt / object
Durchlicht /
transmitted light
Bild A2. Prinzip der winkelverstellbaren Auflicht- Figure A2. Principle of adjustable angle illumina-
Dunkelfeld-Beleuchtung [1] tion (incident light darkfield) [1]
links: höhenverstellbare Ausführung für Objektive left: height-adjustable version for lenses with a
mit festem Arbeitsabstand fixed working distance
rechts: Möglichkeiten zur Veränderung des Be- right: options for changing the illumination angle
leuchtungswinkels bei Zoom mit veränder- for a zoom lens with adjustable working dis-
barem Arbeitsabstand durch Ansteuern un- tance by controlling various diode rings
terschiedlicher Diodenringe
Dies ermöglicht einen praxisgerechten Einsatz bei This allows the application to meet the practical
wechselnden Materialoberflächen. Eine rechneri- requirements for a variety of material surfaces. A
sche Korrektur der Beleuchtungskennlinien (Ab- computational correction of the illumination char-
hängigkeit der Beleuchtungsintensität von der Be- acteristics (illumination intensity depends on the
leuchtungseinstellung) gestattet das Weiterverwen- illumination setting) allows the continued use of
den der CNC-Programme auch nach einem Wechsel the CNC program after changing the light source.
des Leuchtmittels. Dies gilt insbesondere, wenn In particular, this applies if a halogen light source
noch eine Halogenlichtquelle anstelle der immer is still being used instead of the LED light sources,
weiter verbreiteten LED-Lichtquellen verwendet which are being used more and more frequently.
wird.
A4 Abbildungsoptik – Flexible A4 Imaging optics – Flexible magnification
Vergrößerungswahl options
Die Abbildung des beleuchteten Messobjekts in die An objective lens is used to create an image of the
Ebene des optoelektronischen Wandlers erfolgt illuminated measuring object in the plane of the
mithilfe eines Objektivs. Für die Ausführung dieser optoelectronic converter. There are various alterna-
Abbildungsoptik existieren verschiedene Alternati- tives for using these imaging optics. The character-
ven. Die Kenngrößen der Optik beeinflussen die istics of the optics directly influence measurement
Messunsicherheit direkt; so ist beispielsweise aus uncertainty; so, a conclusion regarding the obtaina-
der optischen Vergrößerung und Kenntnis der Ei- ble resolution of the visual sensor can be made
genschaften des optoelektronischen Wandlers un- based on the optical magnification and knowledge
mittelbar ein Rückschluss auf die erzielbare Auflö- of the characteristics of the optoelectronic convert-
sung des visuellen Sensors möglich. Die besten er. The best results with respect to measurement
Ergebnisse hinsichtlich der Messunsicherheit sind uncertainty can be achieved with telecentric lenses.
mit telezentrischen Objektiven erreichbar. Die Tele- Telecentricity is advantageous in that when the
zentrie hat den Vorteil, dass bei Veränderung des working distance within the telecentric range, the
Arbeitsabstands innerhalb des Telezentriebereichs imaging scale remains constant, so that no addi-
der Abbildungsmaßstab konstant bleibt und hier- tional measurement errors are generated. Telecen-
durch keine zusätzlichen Messabweichungen her- tric lenses with fixed magnification achieve the
vorgerufen werden. Die beste Qualität erreichen best quality.
telezentrische Objektive mit fester Vergrößerung.
Aus anwendungstechnischer Sicht kann es sinnvoll From a practical, technical perspective it makes
sein, hohe und niedrige Vergrößerungen miteinan- sense to combine high and low magnification lev-
der zu kombinieren. Dies ist beispielsweise der Fall, els. For example, this is the case if features with
wenn weniger genau tolerierte Merkmale möglichst less precise tolerances can be measured as quickly
schnell in einem Bild gemessen und zugleich aber as possible in one image, while features with tight
eng tolerierte Merkmale in kleinen Bildfeldern tolerances are measured simultaneously with high
hochgenau gemessen werden sollen. Gleiches gilt, accuracy in small image fields. The same applies if
wenn die zu messenden Objekte bei grober Positio- the objects to be measured are to be located when
nierung auf dem Messgerät gefunden werden und roughly positioned on the measuring machine and
anschließend hochgenau gemessen werden sollen. then measured with high accuracy. This can be
Mit telezentrischen Objektiven mit festem Abbil- implemented in various ways with telecentric
dungsmaßstab lässt sich dies auf unterschiedliche lenses with a fixed imaging scale. The lenses can
Art realisieren. Die Objektive können z. B. mit ei- be switched-with reproducible results by using a
nem Revolver reproduzierbar gewechselt werden. nosepiece. If two magnifications are sufficient, an
Wenn zwei Vergrößerungen ausreichen, bietet sich alternative is possible, e.g. switching between two
alternativ an, z. B. zwischen zwei Bildverarbeitungs- imaging probing sensors with different magnifica-
sensoren unterschiedlicher Vergrößerung umzu- tion levels.
schalten.
Bild A3. Einfluss der Beleuchtungseinstellungen [1] Figure A3. Influence of the illumination settings [1]
oben: Beleuchtung mit zwei verschiedenen top: illumination with two different illumination
Beleuchtungsrichtungen (rechts/links) directions (right/left)
unten: Beleuchtung mit zwei verschiedenen bottom: illumination with two different illumination
Beleuchtungswinkeln (steil/flach) angles (steep/flat)
Zoombereich / zoom range
motorische
Stifte / Verstellung /
Kurve / motorised
pins
curve adjustment
konstant / Arbeitsabstand / variabel /

constant working distance variable
Drehteil mit großem Sacklochbohrung mit

Durchmesser / großer Tiefe /
turned part with a blind hole that is
large diameter very deep
Bild A4. Einsatz eines Zooms mit einstellbarer Figure A4. Using a zoom lens with adjustable mag-
Vergrößerung (links) und variablem Arbeitsabstand nification (left) and variable working distance (right)
(rechts) bei Messungen an rotationssymmetrischen for measurements of rotationally symmetrical ob-
Teilen (Kollisionsgefahr) und tiefen Bohrungen [1] jects (with a risk of collision) and deep holes [1]
Die größte Flexibilität erzielt man durch Einsatz Using a zoom lens offers the greatest flexibility
einer Zoomoptik (Bild A4). Aufgrund der Posi- (Figure A4). Due to the positioning movements
tionierbewegung der optischen Komponenten im of the optical components in the lens, a slight loss
Objektiv sind zwar geringfügige Genauigkeitsver- of accuracy can be expected, but with modern sys-
luste zu erwarten, diese sind jedoch bei modernen tems it is, for the most part, negligible.
Systemen weitgehend vernachlässigbar.
A5 ◗✉ellen ✥e# Mess❛%✁eic❤✉ng bei A5 ✆o✉#ces of meas✉#ement ✄##o# ✁it❤
✈✂*✉✄☎☎✄❡ ✆enso#en ✈✂*✉❛☎ senso#s
Messabweichungen entstehen bei optischen Senso- With optical sensors, measurement errors are pri-
ren hauptsächlich durch Objekteigenschaften (Hö- marily generated by the properties of the object
henausdehnung, Oberflächenbeschaffenheit, Be- (height, surface quality, characteristics of the edge
schaffenheit der anzutastenden Kante). Die Größe to be probed). The magnitude of the measurement
der Messabweichungen wird wesentlich von der errors is determined to a great extent by the illumi-
Art (Durchlicht, Auflicht), der Richtung und der nation type (transmitted light, incident light), direc-
Apertur der Beleuchtung sowie durch die Eigen- tion of illumination, and illumination aperture as
schaften des optischen Abbildungssystems be- well as by the properties of the optical imaging
stimmt. Messabweichungen entstehen insbesondere system. Measurement errors are generated espe-
durch: cially by:
• Veränderung des Abbildungsmaßstabs an • changes to the imaging scale on “high edges”
„hohen Kanten“
Aus Bild A5 wird ersichtlich, dass der Abbil- In Figure A5, it is evident that the imaging
dungsmaßstab eine Funktion der Objekthöhe ist. scale is a function of object height. This chal-
Umgehen lässt sich dieses Problem durch lenge can be circumvented by using telecentric
die Verwendung telezentrischer Objektive lenses (Figure A6) which have a constant im-
(Bild A6), die innerhalb eines begrenzten Ob- aging scale within a limited distance range to
jektabstands einen konstanten Abbildungsmaß- the object.
stab haben.
image plane
objective lens
workpiece
Bild A5. Veränderung des Abbildungsmaßstabs an Figure A5. Changes to the imaging scale on “high
„hohen Kanten“ edges”
image plane
telecentr.
aperture
objective lens
workpiece
Bild A6. Telezentrischer Strahlengang Figure A6. Telecentric optical path
• Veränderung des Abbildungsmaßstabs und • changes to the imaging scale and edge dis-
Kantenverlagerung durch „schiefe Objektlage“ placement due to a “tilted object position”
Durch eine Schieflage des Werkstücks (Objekt- If the workpiece is in a tilted position (object
ebene nicht senkrecht zur optischen Achse) plane is not vertical to the optical axis), the im-
kommt es ebenfalls zu einer Ortsabhängigkeit aging scale also depends on location and, for
des Abbildungsmaßstabs und bei 3-D-Objekten 3D objects, shadowing can occur on the edges.
zu Abschattungen an den Kanten. Das Problem This challenge can be avoided by using telecen-
lässt sich durch Verwendung telezentrischer tric lenses or by aligning the workpiece exactly.
Objektive oder durch exakte Ausrichtung des
Werkstücks vermeiden.
• Bündelbegrenzung an „hohen Kanten“ im • light beam limitation at “high edges” in trans-
Durchlicht mitted light
Die Abbildung von Bildpunkten durch optische Depending on the aperture hole, light beams of
Abbildungssysteme wird je nach Aperturblende various sizes are used in the imaging of points
über mehr oder weniger große Lichtbündel by optical imaging systems. On “high edges”,
vermittelt. An „hohen Kanten“ werden diese these light beams are cut by the edges them-
Lichtbündel durch die Kanten selbst beschnitten selves (Figure A7).
(Bild A7).
Als Auswirkung kann der ermittelte Kantenort As a result, the determined edge location can be
in Abhängigkeit vom Verfahren in den Hellbe- shifted into the bright area, depending on the
reich verschoben werden. Dieser Fehler kann process. This error can be compensated for with
durch eine höhenabhängige Korrektur des Kan- a height dependent correction of the edge loca-
tenorts ausgeglichen werden. tion.
intensity
true edge location
measured edge location
aperture hole
edge displacement
Bild A7. Bündelbeschneidung bei Durchlicht an Figure A7. Light beam cut with transmitted light at
„hohen Kanten“ “high edges”
• Kantenverlagerung an senkrecht zur optischen • edge displacement on measuring objects that are
Achse gekrümmten Messobjekten (beispiels- curved vertically with respect to the optical axis
weise liegenden Zylindern) (e.g. horizontal cylinders)
Durch die Beleuchtungsapertur entstehen so- Edge displacements occur due to the illumina-
wohl im Durch- als auch im Auflicht in Abhän- tion aperture in both transmitted and reflected
gigkeit von der gewählten Aperturblende Kan- light, depending on the selected aperture hole.
tenverlagerungen. Mit zunehmender Beleuch- The greater the illumination aperture, the more
tungsapertur verlagert sich der Kantenort in den the edge location is displaced into the bright ar-
Hellbereich. Diese Abweichung kann durch ei- ea. This error can be compensated for with a
ne krümmungsabhängige Korrektur des Kan- curve-dependent correction of the edge location
tenorts ausgeglichen werden (Einmessen an lie- (calibration on horizontal test cylinders).
genden Prüfzylindern).
• Kantenverlagerung durch Oberflächenbeschaf- • edge displacement due to surface characteristics
fenheit im Auflicht in reflected light
Bei Auflicht kann nur das reflektierte Licht zur With incident light, only the reflected light can
Auswertung herangezogen werden. Die Refle- be used for evaluation. Depending on the sur-
xion des Lichts ist je nach Oberfläche gerichtet, face, the reflection of the light is directed, scat-
diffus oder mehr oder weniger gemischt. In Ab- tered, or more or less mixed. Depending on the
hängigkeit von Messaufgabe und Messobjekt measuring task and measuring object, this influ-
sind zur Minimierung dieses Einflusses unter- ence shall be minimised by using various illu-
schiedliche Beleuchtungssysteme einzusetzen, mination systems; if necessary, calibrations
gegebenenfalls müssen messaufgabenspezifi- specific to the measuring task shall be per-
sche Einmessungen durchgeführt werden. formed.
• Kantenverlagerung durch die Gestalt der Kan- • edge displacement due to the form of the edges
ten im Auflicht in incident light
Bei der Erfassung von Teilekanten ist deren geo- When recording partial edges, their geometric
metrische Struktur von entscheidender Bedeu- structure is of critical importance because the
tung, da davon ganz wesentlich die Wahl der selection of the appropriate illumination and,
zweckmäßigen Beleuchtung und damit natürlich naturally, the image on the sensor depends sig-
das Bild auf dem Sensor abhängen (Bild A8). nificantly on the structure (Figure A8).
• Kantenverlagerung durch Streulicht im opti- • edge displacement due to scattered light in the
schen Abbildungssystem optical imaging system
An Trennflächen von optischen Bauelementen At the joint faces of the optical components of
des Messgeräts kommt es zur Streuung des the measuring machine, the transmitted light
durchgehenden Lichts. Beim Lichtdurchgang scatters. As the light passes through many
durch viele Grenzflächen verstärkt sich dieser boundary surfaces, this effect increases. It ap-
Effekt. Er macht sich in einer ortsabhängigen pears as a localised brightening of the dark are-
Aufhellung der dunklen Bereiche bemerkbar as and depends on the size of the adjacent bright
und ist abhängig von der Größe der anliegenden image areas. With lenses with high quality anti-
hellen Bildbereiche. Bei hochvergüteten Objek- reflection coating, the scattering of the light
tiven sind die Streuung des durchgehenden passing through and its effect on edge dis-
Lichts und deren Auswirkung auf eine Kanten- placement are minimised.
verlagerung minimiert.
true edge location
measured edge location
edge displacement
Bild A8. Reflexion bei Auflicht an „runden Kanten“ Figure A8. Reflection in incident light on “rounded
edges”
A6 Punktförmige Sensoren A6 Point-type sensors
Punktsensoren erfassen einzelne Punkte der Werk- Point sensors record single points of the workpiece
stückkontur durch relatives Verschieben des Sen- contour through relative movement of the sensor
sors (Fadenkreuz, Tastauge, Kreis-Kreisring-Sen- (cross-hair, probing eye, circle-circular ring sensor)
sor) gegenüber dem anzutastenden Werkstück. Bei across from the workpiece to be probed. In visual
der visuellen Antastung mittels Fadenkreuz über- probing with the cross-hair, the human eye speci-
nimmt das menschliche Auge die Koinzidenzlage- fies the coincidence position, which is possibly
bestimmung, gegebenenfalls verbunden mit dem connected with the disadvantage of subjectivity in
Nachteil der subjektiven Messwerterfassung. Die recording measuring values. Probing is performed
Antastung erfolgt nach dem manuellen Einregeln based on the manual acquisition (capture) of the
(Einfangen) der Koinzidenzlage (statische Mess- coincidence position (static recording of measuring
werterfassung). Das eigentliche Tastelement wird values). With the cross-hair, the actual probed ele-
beim Fadenkreuz durch den Schnittpunkt zweier ment is created by the intersection point of two
senkrechter Geraden gebildet. vertical lines.
Bei der optoelektronischen Antastung wird wäh- With optoelectronic probing, a measuring value
rend der Verschiebung des Sensors über die Werk- transmission signal is generated at the coincidence
stückkontur bei Koinzidenzlage ein Messwertüber- position as the sensor is moved across the work-
nahmesignal gebildet. Dieses Signal löst die Spei- piece contour. This signal is a prompt to save the
cherung der in diesem Moment aktuellen Position current position of the sensor at this moment (dy-
des Sensors aus (dynamische Messwerterfassung). namic recording of measuring values). The tech-
Der dazu notwendige Punktsensor lässt sich technical aspects of the point sensor required here can-
nisch nicht ideal verwirklichen. Unter Wahrung not be realised in an ideal manner. While preserv-
seiner rotationssymmetrischen Eigenschaften muss ing the rotationally symmetrical features, the point
der Punkt zum Kreis erweitert werden, wobei des- shall be expanded into a circle, and its effective
sen wirksamer Durchmesser in der Objektebene diameter in the object plane with respect to the
gegenüber der Krümmung der anzutastenden curvature of the shadow edge to be probed should
Schattenkante vernachlässigbar klein sein sollte be negligibly small or has to be corrected.
oder korrigiert werden muss.
Beim Tastauge wird ein kleiner kreisförmiger With the probing eye, a small, circular area of the
Bereich der Bildebene von einem Fotoempfänger image plane is recorded by a photodetector. The
erfasst. Dieser misst örtlich das einfallende Licht photodetector measures the incident light locally
über einer durch die Schattenkante angeschnittenen based on a circular area truncated by the shadow
Kreisfläche. Vom Prinzip her entspricht damit das edge. In principle, this makes the probing eye
Tastauge einer „dünnen“ Lichtschranke. Der Kan- equivalent to a “thin” light barrier. The edge loca-
tenort wird mittels eines Schwellwerts definiert. tion is defined with a threshold value. This requires
Dies erfordert eine Arbeitspunkteinstellung, in an adjustment of a working point, which results in
deren Ergebnis die Schaltschwelle festgelegt wird. the specification of the switching threshold. The
Die Koinzidenzlage ist erreicht, wenn ein definier- coincidence position is obtained when a defined
ter Teil der Sensorfläche abgeschattet ist. Das Ver- part of the sensor area is in shadow. This method is
fahren wird in Messmikroskopen und Messprojek- used with measuring microscopes and measuring
toren zur dynamischen Kantendetektion vorzugs- projectors for dynamic edge detection, preferably
weise im Durchlicht, seltener im Auflicht einge- in transmitted light, and less frequently in incident
setzt. light.
Der Kreis-Kreisring-Detektor nutzt eine rota- The circle-circular ring detector uses a rotation-
tionssymmetrische Anordnung zweier Fotoemp- ally symmetrical arrangement of two photodetec-
fänger zur Kantendetektion. Die Empfängeranord- tors for edge detection. The detector arrangement
nung besteht aus den zwei gleich großen Fotodio- consists of two photodiode surfaces of the same
denflächen Kreis und Kreisring, über die das ein- size, circle and circular ring, and via these surfaces,
fallende Licht der abgebildeten Schattenkante ört- the incident light of the shadow edge is integrated
lich integriert wird. Die Koinzidenzlage ist er- locally. The coincidence position is obtained when
reicht, wenn die Differenz der beiden Sensorsigna- the difference between the two sensor signals is
le null wird, das heißt, wenn gleich große Flächen zero, i.e. when the equally sized surfaces of the
des Kreisrings und des Kreises belichtet bzw. ab- circular ring and the circle are illuminated or in
geschattet sind. Eine Arbeitspunkteinstellung ist shadow. A working point adjustment is only re-
nur für den Symmetrieabgleich im Hellgebiet not- quired for the symmetry comparison in the bright
wendig und gleicht die unterschiedlichen Empfind- area, and it makes compensations for the various
lichkeiten bzw. Flächen der beiden Fotoempfänger sensitivities or surfaces of the two photodetectors.
aus. Das Verfahren wird in Messmikroskopen zur This method is used with measuring microscopes
dynamischen Kantendetektion vorzugsweise im for dynamic edge detection, preferably in transmit-
Durchlicht, seltener im Auflicht eingesetzt. ted light, and less frequently in incident light.
A7 Zeilenförmige Sensoren A7 Line-type sensors
Bei diesen Systemen wird eine Zeilenkamera mit With these systems, a line-scanning camera is
annähernd konstanter Geschwindigkeit kontinuier- moved along the measuring object continuously at
lich entlang des Messobjekts bewegt (Bild A9). a nearly constant speed (Figure A9). Image in-
Die Erfassung der Bildinformation ergibt sich formation is recorded by the continuous read out of
durch permanentes Auslesen der Zeile und Ver- the lines and linking the information to a two-
knüpfung der Informationen zu einem zweidimen- dimensional image. This image can then be evalu-
sionalen Bild. Die Auswertung dieses Bilds kann ated with the same method for image evaluation
dann analog der im nächsten Abschnitt beschriebe- described in the next section. With this concept, it
nen Verfahren der Bildauswertung erfolgen. Zu has to be noted that the achievable accuracy de-
beachten ist bei diesem Konzept die direkte Ab- pends directly on the speed at which the line con-
hängigkeit von erzielbarer Genauigkeit und Ver- verter moves. Speed fluctuations during the scan-
fahrgeschwindigkeit des Zeilenwandlers. Ge- ning movement can result in measurement errors.
schwindigkeitsschwankungen der Scanbewegung
können zu Messfehlern führen.
Durch Aneinanderreihen mehrerer Zeilen kann der The scanning area can be expanded by arranging
Scanbereich erweitert werden. several lines into rows.
A8 Flächenförmige Sensoren – A8 Surface-type sensors – Imaging probing
Bildverarbeitungssensor sensor
Der am häufigsten eingesetzte visuelle Sensor ist The most frequently used visual sensor is the imag-
der Bildverarbeitungssensor mit Matrixkamera. ing probing sensor with a matrix camera. In this
Hier wird das Messobjekt auf einen Flächenwand- case, the measuring object is imaged on a surface
ler (Videokamera) abgebildet. Die Kameraelektro- converter (video camera). The camera electronics
nik wandelt das optische Bild in ein elektrisches convert the optical image into an electrical signal.
Signal. Dieses Signal wird mithilfe einer weiteren With the help of more electronics, this signal is
Elektronik in ein digitales Bild umgesetzt, das converted into a digital image, which is finally
letztendlich zur rechnerinternen Bestimmung von used by internal computer processes to determine
Messpunkten mit einer entsprechenden Bildverar- measuring points with the respective imaging prob-
beitungssoftware herangezogen wird. Zur Digitali- ing software. Today, cameras based on semicon-
sierung der Bilder werden heute üblicherweise ductors (CCD, CMOS) together with PC compo-
Kameras auf Halbleiterbasis (CCD, CMOS) in nents for recording images are normally used to
Verbindung mit PC-Komponenten für die Bilder- digitalise the images.
fassung eingesetzt.
Die Software, mit der die Messpunkte aus den digi- The software used to determine the measuring
talisierten Bilddaten ermittelt werden, beeinflusst points from the digitalised image data greatly ef-
wesentlich die Qualität der Messergebnisse von fects the quality of the measuring results of imag-
Bildverarbeitungssensoren. Grundsätzlich sind ing probing sensors. In principle, there are two
zwei Softwarekonzepte zu unterscheiden: der so- different software concepts: the so-called “edge
genannte „Edge Finder“ und die Konturbildverar- finder” and contour imaging probing.
beitung.
Scanrichtung des
optischen Systems
Bild A9. Zeilenförmiger Sensor im Einsatz auf einem Koordinatenmessgerät zur Messung von Wellen
camera optics line sensor

illumination
shadows behind the
light beams
measuring object
light source
shadow image
measuring object
scanning direction of the illumination optics
optical system
Figure A9. Line-type sensor used on a coordinate measuring machine to measure shafts
Mit dem „Edge Finder“ werden die Schnittpunkte The “edge finder” is used to determine the intersec-
von vordefinierten Linien mit den sichtbaren Kon- tion points of the predefined lines with the visible
turen des Objekts im Bild ermittelt. Dies wird contours of the object in the image. This procedure
nacheinander an vielen Stellen in einem vorher is repeated at many places in a previously deter-
festgelegten Auswertebereich (Fenster) wiederholt. mined region of interest (window). This generates a
So entsteht eine Menge von Messpunkten, die number of measuring points that can be collected
durch das Fenster zu einer Gruppe zusammenge- into a group with the use of the window.
fasst werden.
Für jede Einzelpunktbestimmung erfolgt jedoch However, a separate one-dimensional evaluation is
eine separate eindimensionale Auswertung. Die im performed for each single point specification. This
Bild enthaltene umfassende zweidimensionale means that the extensive two-dimensional infor-
Information wird so nicht berücksichtigt. Dies mation contained in the image is not considered.
führt insbesondere beim Messen im Auflicht zu This results in challenges, particularly with meas-
Problemen. Störkonturen durch Oberflächenstruk- urements performed in incident light. Interference
turen, Ausbrüche sowie Verschmutzungen können contours caused by surface structures, breakage, or
nur bedingt erkannt und kompensiert werden. contamination can only be detected and compen-
sated for to a certain degree.
Bei der Konturbildverarbeitung wird das Bild in- When processing the contour image, the image is
nerhalb eines Auswertefensters als flächenhaftes observed within the region of interest as an areal
Ganzes betrachtet. Mit Bildfiltern kann der Inhalt whole. Image filters can be used to change the con-
des Bilds so verändert werden, dass die Auswer- tent of the image to make the evaluation easier. For
tung erleichtert wird. Es können beispielsweise example, surface interferences can be filtered out or
Oberflächenstörungen herausgefiltert oder der the contrast can be increased (Figure A10).
Kontrast verstärkt werden (Bild A10).
In dem so optimierten Bild werden durch geeignete In this optimised image, appropriate mathematical
mathematische Algorithmen Konturen extrahiert. algorithms are used to extract contours. The origi-
Das Originalbild wird zur rechnerinternen Auswer- nal image is converted into a digital image for in-
tung in das Digitalbild gewandelt (Bild A11, oben ternal computer evaluation (Figure A11, top cen-
Mitte), in dem jedem Bildpunkt ein Zahlenwert tre), in which each image point is assigned a nu-
zugeordnet wird, der die Helligkeit des Bilds in merical value that indicates the brightness of the
diesem Punkt angibt (Amplitude). Die Kontur kann image at this point (amplitude). First, a brightness
zunächst durch einen Helligkeitsvergleich mit ei- comparison with a threshold value (here e.g. 135)
nem Schwellwert (hier z. B. 135) im Raster der can be used to determine the contour in the grid of
Bildpunkte ermittelt werden (Pixelkontur). Über image points (pixel contour). By way of an interpo-
eine Interpolation der Amplituden benachbarter lation of the amplitudes of adjacent image points,
Bildpunkte kann die Kontur exakter, also mit höhe- the contour can be specified more exactly, i.e. with
rer Auflösung als das Bildpunktraster bestimmt a greater resolution than the image point grid (sub-
werden (Subpixelverfahren, Subpixelkontur). Die pixel method, subpixel contour). This significantly
Auflösung und damit auch die Messunsicherheit, improves the resolution along with the measure-
die ohne ein solches Subpixeling direkt durch den ment uncertainty, which, without this kind of sub-
Pixelabstand begrenzt werden, werden so erheblich pixeling procedure, are limited by the pixel pitch.
verbessert.
Aus den Konturpunkten wird dann das Ausgleichs- A mathematical procedure (e.g. Gaussian method)
element über ein mathematisches Verfahren (bei- is used to calculate the least-squares fit element
spielsweise Gaußverfahren) berechnet, das zur from the contour points, and the element is then
visuellen Kontrolle im Monitorbild dem Original- superimposed on the original gray image in the
graubild überlagert dargestellt wird (Bild A11, monitor screen for a visual check (Figure A11,
rechts unten). lower right).
Jedem Bildpunkt (Pixel) einer Kontur wird so ein Each image point (pixel) of a contour is assigned a
exakter Messpunkt zugeordnet. Die Messpunkte precise measuring point. The measuring points are
werden wie in einer Perlenkette aneinandergereiht. arranged in a row like a string of pearls. This pro-
Dies gibt eine weitere Möglichkeit, Störeinflüsse vides another option for detecting the effects of
beim Messen zu erkennen und durch Konturfilter zu interference during measurement and to eliminate
eliminieren, ohne die Form der Konturen zu verän- them with contour filters without changing the
dern. Mehrere Konturen innerhalb eines Fangbe- form of the contours. Several contours within one
reichs können unterschieden werden (Bild A12). capture range can be differentiated (Figure A12).
Dies ist für den Praxiseinsatz wichtig. Bei der ab- This is important for practical application. In the
schließenden Berechnung von Ausgleichselemen- subsequent calculation of least-squares fit elements,
ten können über Ausreißerbetrachtung erneut die outliers can be taken into consideration again in
Einflüsse von Schmutz u. Ä. reduziert werden. order to reduce the influence of dirt and the like.
Hierbei kann jedoch das Messergebnis auch ver- However, the measuring result can be distorted in
fälscht werden. Dem Einsatz von Bild- und Kon- this way. For this reason, it is preferable to use
turfiltern ist deshalb der Vorzug zu geben. image and contour filters.
Bild A10. Bildfilter Figure A10. Image filter

oben: Bildglättung – feine Strukturen (Störungen) top: image smoothing – fine structures (inter-
werden beseitigt ferences) are eliminated
unten: Kontrastverstärkung bottom: contrast enhancement
Originalbild / Originalbild Digitalbild / Digitalbild Pixelkontur /

original image original image digital image digital image pixel contour
Pixelkontur Subpixelkontur / Subpixelkontur Ausgleichselement / Ausgleichselement im Originalbild / least-

pixel contour subpixel contour subpixel contour least-squares fit element squares fit element in the original image
Bild A11. Konturbildverarbeitung (vereinfacht) [1] Figure A11. Contour imaging probing (simplified) [1]
Bild A12. Möglichkeiten zur sicheren Messung Figure A12. Options for reliable measurement
durch Konturbildverarbeitung [1] using contour imaging probing [1]
a) Fehlmessung aufgrund einer Verschmutzung a) measurement error due to contamination
b) korrekte Messung durch Einsatz eines Konturfilters b) correct measurement due to using a contour filter
c) und d) großes Messfenster ermöglicht das Finden c) and d) large measuring window allows the con-
der Kontur auch bei verschobenem Objekt tour to be found even if the object has been dis-
placed
e) und f) Probleme beim Einsatz des Edge-Finders e) and f) challenges with applying the edge finder
bei verschobenen Konturen when contours have been displaced
Anhang B Strukturauflösung Annex B Structure resolution

B0 Zusätzliche Hilfsgrößen und Abkürzungen B0 Additional auxiliary variables and
in Anhang B abbreviations in Annex B
Zusätzliche Hilfsgrößen in Anhang B Additional auxiliary variables in Annex B
Hilfsgröße Bezeichnung Auxiliary Description
variable
A numerische Apertur der Abbildungsoptik A numerical aperture of the imaging optics
h(v) normierte Systemfunktion h(v) normalised system function
Ie Intensität bzw. Amplitude des Eingangs- Ie intensity or amplitude of the input signal
signals
Ia Intensität bzw. Amplitude des Ausgangs- Ia intensity or amplitude of the output sig-
signals nal
N normierte Ortsfrequenz N normalised spatial frequency
S1(2v) schwartzsche Funktion [2] S1(2v) Schwartz function [2]
v normierte Ortskoordinate v normalised spatial coordinate
x Ortskoordinate x spatial coordinate
f(x) (beliebige) Funktion von x f(x) (any) function of x
(f(x)) Fouriertransformation von f(x) (f(x)) Fourier transformation of f(x)
✁ 1. Ableitung (Differentiation) von x ✁ 1st derivation of x
✁x ✁x
Wellenlänge wavelength
Zusätzliche Abkürzungen in Anhang B Additional abbreviations in Annex B

esf Edge Spread Function esf edge spread function
lsf Line Spread Function lsf line spread function
MÜF Modulationsübertragungsfunktion MTF (modulation) transfer function
B1 Einführung B1 Introduction
Der Begriff „Strukturauflösung“ beschreibt die Fä- The term “structure resolution” describes the abil-
higkeit eines Systems, eine am Eingang des Sys- ity of a system to transfer a structure (object) at
tems vorliegende Struktur (Objekt) innerhalb be- system input to the output within a specified range
stimmter Abweichungen an den Ausgang übertra- of error (Figure B1).
gen zu können (Bild B1).
Dieser Begriff und insbesondere der Begriff für den This term, and particularly the term for the physi-
physikalisch-theoretischen Grenzwert der Struktur- cal/theoretical limit value of the structure resolu-
auflösung, die Auflösungsgrenze, stammen aus der tion, the resolution limit, originated in the field of
Mikroskopie. Ernst Abbe hat vor mehr als 100 Jah- microscopy. More than 100 years ago, Ernst Abbe
ren die Auflösungsgrenze der optischen Abbildung investigated and derived the resolution limit of
untersucht und hergeleitet, die auch heute noch optical imaging, which still has meaning today for
Bedeutung für alle bildgebenden und volumenab- all measuring methods that use imaging and image
bildenden Messverfahren besitzt. Die Bedeutung volumes. The meaning goes beyond the two-
geht über die in dieser Richtlinie behandelte zwei- dimensional optical imaging with subsequent digi-
dimensionale optische Abbildung mit der anschlie- tal imaging probing treated in this standard and
ßenden digitalen Bildverarbeitung hinaus und be- also pertains to areas such as ultrasound diagnos-
trifft auch Bereiche wie Ultraschalldiagnostik, tics, X-ray image analysis, computer tomography,
Röntgenbildanalyse, Computertomografie, Raster- and scanning probe microscopy, to name just a few
sondenmikroskopie, um nur einige Beispiele zu examples.
nennen.
Bei der Anwendung optischer Verfahren ist zwin- When using optical methods, it is essential to dif-
gend zwischen der in dieser Richtlinie betrachteten ferentiate the lateral (also called horizontal) resolu-
lateralen (auch als horizontal bezeichneten) Auflö- tion (spatial resolution) in the XY-plane (measuring
sung (Ortsauflösung) in der XY-Ebene (Messebene) plane) considered in this standard from the axial
und der axialen (auch als vertikal bezeichneten), in (also called vertical) resolution in the Z-direction
DIN EN ISO 10360-8 untersuchten Auflösung in (optical axis) examined in DIN EN ISO 10360-8.
Z-Richtung (optische Achse) zu unterscheiden. Figure B1 shows the difference.
Bild B1 zeigt den Unterschied.
Die laterale Auflösung (Ortsauflösung) entsteht The lateral resolution (spatial resolution) is gener-
durch einen Mittelungseffekt über den endlichen ated by averaging across the finite diameter of the
Durchmesser des Lichtstrahls (Fokus) in der XY- light beam (focus) in the XY-plane. The signal is
Ebene. Innerhalb der Fläche des Fokus erfolgt eine integrated within the area of focus and this integra-
Integration des Signals, die als eine gewichtete Mit- tion acts as a weighted averaging of the distance
telwertbildung des Abstands über der Fläche wirkt. over the area.
In lateraler Richtung (Messrichtung bei allen Bild- In the lateral direction (measuring direction for all
verarbeitungssensoren als Bestandteil von Bildver- imaging probing sensors as components of imaging
arbeitungssystemen) ist die Auflösung vom Durch- probing systems), the resolution depends on the
messer des kleinsten erzeugbaren oder noch unter- diameter of the smallest image point or the image
scheidbaren Bildpunkts abhängig. Die in dieser point that can still be differentiated. The only struc-
Richtlinie ausschließlich zu betrachtende Struktur- ture resolution to be considered in this standard
auflösung beschreibt die kleinste Struktur, die mit describes the smallest structure that can be meas-
noch festzulegenden Abweichungen messbar ist. ured with errors that are still to be determined. In
Eine, wenn auch ungewollte, örtliche Mittelwertbil- principle, spatial averaging across areas of the im-
dung über Bereiche der Bildfläche mit endlichen age surface with finite (non-zero) dimensions, even
Abmessungen verringert prinzipiell die Strukturauf- if it is unintentional, reduces the structure resolu-
lösung. tion.
optische Achse
in Z: Ortsauflösung der Kante
(Sprung)
in X,Y: Strukturauflösung des Bilds
Werkstück Durchmesser des Fokus: Integrationsgebiet

Hier erfolgt eine Mittelwertbildung.
Bild B1. Definition zum optischen Antasten
optical axis
in Z: spatial resolution
in X, Y: structure resolution of the image
workpiece diameter of the focus: integration area

in which averaging takes place
Figure B1. Definition for optical probing

Sensorkennlinie
Sensorkennlinie / Korrekturfunktion
Korrekturfunktion / korrigierteKennlinie
korrigierte Kennlinie/
sensor characteristic correction function corrected characteristic
Bild B2. Korrektur der Sensorkennlinie Figure B2. Correction of the sensor characteristic
Einflussgrößen auf die laterale Strukturauflösung Parameters that affect lateral structure resolution
sind: include:
• Strahldurchmesser des Lasers bzw. Spotgröße • beam diameter of the laser or spot size of the
des Abtastpunkts probing point
• Übertragungsfunktion (MÜF) der verwendeten • transfer function (MTF) of the lens used
Optik
• Pixelraster des Bildsensors (örtliche Mittelwert- • pixel grid of the image sensor (spatial averaging
bildung über die Pixelfläche) across the pixel area)
• Filteroperationen bzw. Mittelwertbildungen im • filter operations or spatial averaging in the local
Ortsbereich area
B2 Stand der Technik B2 State of the art
Eine beispielhaft gute Anleitung zur Ermittlung der Exemplary instructions for determining structure
Strukturauflösung ist in DIN EN 62220-1 für das resolution can be found in DIN EN 62220-1 for the
Fachgebiet der digitalen Röntgenbildanalyse zu technical area of digital X-ray image analysis. This
finden. Diese Darstellung geht von der System- description is derived from the system theory and
theorie aus und ist mathematisch fundiert. is mathematically sound.
Auflösungsgrenzen mathematisch zu definieren The mathematical definition and measurement of
und zu messen erfordert das Verständnis der Trans- resolution limits requires an understanding of the
formation von Ortsfunktionen in Frequenz- transformation of spatial functions into frequency
funktionen und zurück (Fourier- bzw. Laplace- functions and their inverses (Fourier or Laplace
Transformation und ihrer Inversen). Die Faltungs- transforms and their inverses). The convolution
operation (duhamelsches Integral) und die Betrach- operation (Duhamel’s integral) and the considera-
tung von Filtern als Operatoren gehören zum tion of filters as operators are among the tools used
Handwerkszeug (Bild B2) [2]. (Figure B2) [2].
Zusammengefasst wird in oben genannter Norm In summary, the following is described in the
Folgendes ausgeführt: standard listed above:
a) Die Konversionsfunktion wird ermittelt und mit a) The conversion function is determined and the
ihrer Inversen wird das Signal korrigiert. signal is corrected with its inverse.
b) Es folgt eine Shading-Korrektur der Pixel, das b) A shading correction of the pixels follows, i.e.
heißt die Normierung aller Pixel auf gleiche the scaling of all pixels to the same sensitivity
Empfindlichkeit und gleichen Nullpunkt. and same zero point.
c) Empfindlichkeit und Nullpunkt werden für die c) The sensitivity and zero point for the corre-
entsprechende Beleuchtungsanordnung (siehe sponding illumination arrangement (see An-
Anhang A) ermittelt. nex A) are determined.
d) Das Rauschspektrum wird als Betrag der Fou- d) The noise spectrum is specified as a value of the
riertransformierten der Autokovarianzfunktion Fourier transform of the autocovariance func-
(AKF) eines gleichmäßig ausgeleuchteten tion (ACF) of a uniformly illuminated empty
Leerbilds ermittelt. image.
Das Rauschspektrum ergibt einen Kennwert für die The noise spectrum yields a parameter for the sig-
Signalauflösung (Intensität). Diese über die Kan- nal resolution (intensity). This parameter, trans-
tensteilheit beispielsweise auf einen Ort x in formed via the edge gradient at a location x in the
X-Richtung transformiert, liefert einen Beitrag zur X-direction, contributes to spatial uncertainty.
Unsicherheit des Orts.
B3 ❇!✁timm✉ng ✥e% ✂%t✁'%!❡✉!✄☎❛✉'❧✆✁✉✄g B3 ❉!✞!%mining spatial f%!❡✉!✄☛☞ %eso❧✉tion
mit ein!% ✝❛✄✞e als 0%1fein%ic❤t✉ng ✇it❤ an e✥ge as a testing ✉nit
Vorgehensweise: Die Kante wird gegenüber dem Procedure: The edge is tilted with respect to the
Pixelraster um 1,5° bis 3° gekippt, womit auf pixel grid by 1,5° to 3°, where there are 20 pixels
1 Pixel Querversatz 20 Pixel bis 40 Pixel in Längs- to 40 pixels in the longitudinal direction for each
richtung kommen. Die Prüfrichtung liegt quer zur pixel of transverse offset. The testing direction is
Kante (Bild B3). across the edge (Figure B3).
Die experimentell ermittelte Kantenabbildungs- The edge scanning function determined experimen-
funktion ist der Ausgangspunkt für die Berechnung tally is the starting point for calculating the struc-
der Strukturauflösung. Bild B4 und Bild B5 ture resolution. Figure B4 and Figure B5 show
zeigen den systemtheoretischen Ansatz. the theoretical system approach.
Die Modulationsübertragungsfunktion (MÜF) wird Here the modulation transfer function (MTF) is
hier aus der Kantenabbildungsfunktion berechnet. calculated from the edge spread function. This is
Dies ist der einfachste Weg, da in der Kantenabbil- the easiest method because the edge image con-
dung alle Informationen des Systems enthalten tains all of the system information.
sind.
Bild B3. Bestimmung der Ortsfr✟✠uenzauflösung Figure B✸✌ Determining the spatial fre✠uency reso-
zu X und Y mit den Kanten eines Strichkreuzes lution for X and Y with the edges of a reticle
(Die Kanten sind gegen das ✡i①elraster gekippt, (The edges are tilted with respect to the pi①el grid
damit n ✡i①el erfasst werden.) so that n pi①els are recorded.)
Aus der Kantenfindungs- wird die ▲inienfindungs- und daraus die Modulations-
funktion esf funktion übertragungsfunktion MBF
(esf ❂ edge spread function) (lsf ❂ line spread function) (MBF ❂ Modulations-
übertragungsfunktion).
✍
✍x ✎④ f ( x)}
Bild B4. Ermittlung der Modulationsübertragungsfunktion aus der Kantenabbildungsfunktion durch Differen-
tiation und anschließender Fouriertransformation
Aus der Kantenfindungs- wird die Linienfindungs- und daraus die Modulations-
funktion esf funktion übertragungsfunktion MÜF
(esf
The = edge
edge spread
spread function)
function (esf) (lsfthe
yields = line spread function
function)(lsf) (MÜF
which = Modulations-
yields the modulation
übertragungsfunktion).
transfer function MTF
✁
✁x ✂④ f ( x)}
Figure B4. Determining the modulation transfer function from the edge spread function with derivation and a
subsequent Fourier transform
Stoßantwort
Eingangs- gemessene Funktion am

ortsfunktion Ausgang des Systems
Faltungsoperation
Bild B5. Berechnung der Antwort eines Systems durch Faltung der Eingangsfunktion mit der Systemfunktion
(Stoßantwort)
impulse response
Stoßantwort
input location measured function
Eingangs- gemessene Funktion am
function at system output
ortsfunktion Ausgang des Systems
convolution
operation
Faltungsoperation
Figure B5. Calculating the response of a system by convolution of the input function with the system function
(impuls response)
B4 Bestimmung der Ortsfrequenzauflösung B4 Determining spatial frequency resolution

mit Auflösungsplatten als Prüfmittel with a resolution plate as a gage
Auflösungsplatten sind sinusförmige Gitter mit Resolution plates are sinusoidal grids with different
unterschiedlichen Wellenlängen. Hieraus kann die wavelengths. With a technical measurement meth-
Modulationsübertragungsfunktion (MÜF) direkt od, the modulation transfer function (MTF) can be
messtechnisch ermittelt werden. Die Abbildung determined directly from them. The image of an
eines Bereichs konstanter Wellenlänge entspricht area of a constant wavelength corresponds exactly
genau einem Punkt der MÜF. Dieser Punkt ist die to one point of the MTF. This point is the represen-
Darstellung des gemessenen Kontrasts über der tation of the measured contrast across the spatial
Ortsfrequenz (Kehrwert der Wellenlänge des Git- frequency (reciprocal value of the wavelength of
ters bzw. Gitterkonstanten; Einheit: 1/mm). Beim the grid or grid constant respectively; unit: 1/mm).
Kontrast null liegt die theoretische Auflösungs- The theoretical resolution limit is a contrast of
grenze, praktisch nutzbar ist jedoch nur der Bereich zero, but only the range with a contrast greater than
mit einem Kontrast größer als 10 % (übliche Gren- 10 % can be used in practice (usual limit is
ze 0,61 /A). 0,61 /A).
B5 Bestimmung der Modulationsübertragungs- B5 Determining the modulation transfer
funktion aus der Systemfunktion function from the system function
Bild B6 zeigt, wie sich die MÜF aus der System- Figure B6 shows how the MTF results from the
funktion ergibt. Eine Sinusfunktion wird an den system function. A sine function is created here at
Eingang hier des Bildverarbeitungssystems ange- the input of the imaging probing system. The sys-
legt. Mittels der Systemfunktion wird die Ein- tem function is used to transfer the input function
gangsfunktion an den Ausgang übertragen. Diese to the output. This convolution operation can also
Faltungsoperation kann auch als Filterung interpre- be interpreted as filtering. Because a linear system
tiert werden. Da es sich um ein lineares System is under consideration, the output function is also
handelt, ist die Ausgangsfunktion ebenfalls wieder sinusoidal, although the intensity or amplitude
sinusförmig, allerdings mit gedämpfter Intensität Ie ✂ Ia is damped. Due to the symmetry of the
bzw. Amplitude Ie Ia. Eine Phasenverschiebung system function, a phase offset does not occur here.
tritt hier wegen der Symmetrie der Systemfunktion It is clear that a convolution with sine functions of
nicht auf. Man erkennt, dass die Faltung mit Sinus- variable spatial frequency is equivalent to a Fourier
funktionen variabler Ortfrequenz der Fouriertrans- transform. In other words, the Fourier-transformed
formation entspricht. Mit anderen Worten: Die system function is the MTF.
MÜF ergibt sich als Fouriertransformierte der Sys-
temfunktion.
Für die hier ausschließlich betrachtete beugungs- For diffraction-limited optical imaging (the only
begrenzte optische Abbildung ist dies in Bild B6 in imaging considered here), this is demonstrated in
der Unterscheidung von inkohärentem und kohä- Figure B6 in the difference between incoherent and
rentem Licht gezeigt. Die optische Abbildung coherent light. Here, optical imaging acts as a low-
wirkt hier wie ein Tiefpassfilter. pass filter.
Wie oftmals in der Technik genutzt und hier vor- Spatial coordinates and spatial frequency are nor-
teilhaft angewandt, werden Ortskoordinate und malised advantageously here, as it is often done in
Ortsfrequenz normiert. Bild B6 unten nennt beide technology. Figure B6 below includes both equa-
Normierungsgleichungen. Die normierte Ortskoor- tions for normalisation. The normalised spatial
dinate v ergibt vergleichbare Systemfunktionen coordinate v yields comparable system functions
h(v) für inkohärente und kohärente Beleuchtung. h(v) for incoherent and coherent illumination. The
Der Grenzwert v ✄ gleich null und die schnelle limit value v✂✄ equal to zero and the quick
Erreichung dieses Werts (mathematisch: h(v) muss achievement of this value (mathematically: h(v)
eine „schnell fallende Funktion“ sein) sind Bedin- has to be a “quickly decreasing function”) are the
gungen für ein nutzbares Bildverarbeitungssystem conditions for a functional imaging probing system
in seiner Gesamtheit (z. B. einschließlich der ver- in its entirety (e.g. including the illumination used).
wendeten Beleuchtung). Die beugungsbegrenzt The diffraction-limited illumination with coherent
abgebildete Beleuchtung mit kohärentem Licht light represents a kind of limit for practical imag-
stellt eine Art Grenze für praktische Bildverarbei- ing probing systems.
tungssysteme dar.
inkohärentes Licht (Weißlicht) / incoherent light (white light)

Linienbildungs- Eingangsfunktion
funktion / line for- (Objekt) / Ergebnis (Abbildung) /
mation function input function (object) result (figure)
MÜF inkohä-
rent / MTF
incoherent
h(v)
kohärentes Licht / coherent light

Linienbildungs- Eingangsfunktion
funktion / line for- (Objekt) / Ergebnis (Abbildung) /
mation function input function (object) result (figure)
MÜF kohärent /
MTF coherent
h(v)
Vergleich der Wirkung von inkohärentem und kohärentem Licht /

Comparison of the effects of incoherent and coherent light
kohärent /
coherent kohärent /
inkohärent / coherent
incoherent inkohärent /
incoherent
(normierte Ortskonstante) / (normierte Ortskonstante) /

(normalised spatial coordinate) (normalised spatial frequency)
Bild B6. Systemfunktion der optischen Abbildung Figure B6. System function of optical imaging for
für inkohärentes und kohärentes Licht und deren incoherent and coherent light and its modulation
Modulationsübertragungsfunktionen transfer functions
Anhang C Prüfung ✈!n Annex C Testing coordinate measuring

Koordinatenmessgeräten mit machines with imaging
Bildverarbeitungssystemen probing systems with the
unter zusätzlicher Verwendung additional use of articulating
von Dreh-Schwenk-Gelenken probing systems
Antastabweichung unter zusätzlicher Probing error with the additional use of an
Verwendung eines Dreh-Schwenk-Gelenks articulating probing system
Für die Ermittlung der Kenngrößen PFOA und PSOA To determine characteristics PFOA and PSOA,
sind 25 Messpositionen so zu wählen, dass ein 25 measuring positions shall be determined such
Kugelnormal (Durchmesseranforderung entspre- that a sphere material standard of size (diameter
chend dem Prüfkreis laut Abschnitt 6.5.2 bzw. requirement corresponding with the testing circle
Abschnitt 6.6.2 der Norm) durch Messung an den according to Clause 6.5.2 or Clause 6.6.2 of the
jeweiligen Großkreisen erfasst wird. Dabei müssen standard) can be recorded with measurements on
mindestens fünf möglichst verschiedene Stellungen the respective great circles. Measurements shall
des Dreh-Schwenk-Gelenks verwendet werden include at least five different positions of the artic-
(siehe Bild C1). Die Auswertebereiche für jeden ulating probing system; the positions shall vary as
der mindestens fünf verschiedenen Messpunkte je greatly as possible (see Figure C1). The evalua-
Großkreis dürfen nicht größer sein als 1/25 des tion ranges for each of the different measuring
Vollkreises und dürfen sich nicht überlappen. Der points (at least five) per great circle are neither
Auswertebereich kann innerhalb des Messbereichs permitted to exceed 1/25 of the entire circle size in
des Bildverarbeitungssystems beliebig gesetzt wer- size nor to overlap. The evaluation range can be
den, wenn vom Hersteller nicht anders spezifiziert. located anywhere within the measuring range of
the imaging probing system if not otherwise speci-
fied by the manufacturer.
Die Maschinenachsen müssen zwischen den Mess- The machine axes shall move between the measur-
positionen bewegt werden, eine Nachfokussierung ing positions; subsequent refocussing is permissi-
ist zulässig, falls dies mit dem Bildverarbeitungs- ble if it can be done with the imaging probing sen-
sensor möglich ist. Die Prüfung kann an beliebi- sor. Testing can be performed anywhere within the
gem Ort innerhalb des Messvolumens des Koordi- measuring value of the coordinate measuring ma-
natenmessgeräts erfolgen. Insbesondere ist darauf chine. In particular, make sure that testing is car-
zu achten, dass die Prüfung an einem anderen Ort ried out at another location is done as calibration.
erfolgt als das Einmessen.
1 1
2 2
Bild C1. Prüfung der Antastabweichung PFOA und Figure ❈✟✠ ✡est of probing error PFOA and probing
PSOA bei Verwendung eines Dreh-❙chwenk- size error PSOA with the use of an articulating prob-
●elenks ✥Beispiel für Messung an fünf ●roßkreisen ing system ✥❡☛ample for measurement on five
mit je fünf Messpunkten) great circles with five measuring points each)
1 ✁roßkreis ✂✄☎ispiel) 1 great circle ✂e①ample)
2 Auswertebereiche der Messpunkte eines ✁✆✝✞- 2 evaluation ranges of the measuring points of a
kreises ✂✄☎ispiel) great circle ✂e①ample)
Für den Test kann die Kugellage vorab auch mit For the test, the sphere position can also be deter-
einem anderen Tastkopfsystem bestimmt werden, mined by another probe head system in advance in
um die Funktion des Bildverarbeitungssystems zu order to enable the imaging probing system to
ermöglichen. Für die Auswertung der Kenngrößen function. To evaluate the characteristics, however,
muss die Kugel jedoch vollständig aus den während the sphere shall be calculated entirely from points
der Prüfung aufgenommenen Punkten berechnet recorded during the test (without limiting the de-
werden (ohne Einschränkung der Freiheitsgrade). grees of freedom).
Glossar Glossary
Fehlergrenze der Antastabweichung Maß unter maximum permissible probing size error with the
zusätzlicher Verwendung eines Dreh-Schwenk- additional use of an articulating probing
Gelenks (PSOA, MPE) system(PSOA, MPE)
maximal zulässiger Wert der Durchmesserabwei- extreme value of the diameter deviation of the ma-
chung der Maßverkörperung bei Veränderung der terial standard of size when the alignment of the
Ausrichtung des Sensors durch ein Dreh-Schwenk- sensor is changed due to the use of a rotating swiv-
Gelenk PSOA el joint, PSOA, permitted by specifications
Fehlergrenze der Antastabweichung unter maximum permissable probing error with the
zusätzlicher Verwendung eines Dreh-Schwenk- additional use of an articulating probing system
Gelenks (PFOA, MPE) (PFOA, MPE)
maximal zulässiger Wert der dreidimensionalen extreme value of the three-dimensional probing
Antastabweichung bei Veränderung der Ausrich- error when the alignment of the sensor is changed
tung des Sensors durch ein Dreh-Schwenk-Gelenk due to the use of a rotating swivel joint, PFOA, per-
PFOA mitted by specifications
Grenzwert der Wiederholspannweite der maximum permissible limit of the repeatability
bidirektionalen Längenmessabweichung in der range of the bidirectional length measurement
XY-Ebene (RBXY, MPL) error in the XY-plane (RBXY, MPL)
maximal zulässiger Wert der Wiederholspannweite extreme value of the repeatability range of the bi-
der bidirektionalen Längenmessabweichung in der directional length measurement error in the
XY-Ebene RBXY gemäß Festlegung XY-plane, RBXY, permitted by specifications
[in Anlehnung an DIN EN ISO 10360-7] [adapted from DIN EN ISO 10360-7]
bidirektionalen Längenmessabweichung in range of the bidirectional length measurement
Z-Richtung (RBZ, MPL) error in the Z-direction (RBZ, MPL)
maximal zulässiger Wert der Wiederholspannweite extreme value of the repeatability range of the bi-
der bidirektionalen Längenmessabweichung in directional length measurement error in the
Z-Richtung RBZ gemäß Festlegung Z-direction, RBZ, permitted by specifications
unidirektionalen Längenmessabweichung in der range of the unidirectional length measurement
XY-Ebene (RUXY, MPL) error in the XY-plane (RUXY, MPL)
maximal zulässiger Wert der Wiederholspannweite extreme value of the repeatability range of the uni-
der unidirektionalen Längenmessabweichung in directional length measurement error in the
der XY-Ebene RUXY gemäß Festlegung XY-plane, RUXY, permitted by specifications
unidirektionalen Längenmessabweichung in range of the unidirectional length measurement
Z-Richtung (RUZ, MPL) error in the Z-direction (RUZ, MPL)
maximal zulässiger Wert der Wiederholspannweite extreme value of the repeatability range of the uni-
der unidirektionalen Längenmessabweichung in directional length measurement error in the Z-
Z-Richtung RUZ gemäß Festlegung direction, RUZ, permitted by specifications
Schrifttum / Bibliography mity with specifications (ISO 14253-1:2017); German version

EN ISO 14253-1:2017). Berlin: Beuth Verlag
Technische Regeln / Technical rules VDI 1000:2021-02 VDI-Richtlinienarbeit; Grundsätze und
DIN EN 62220-1:2005-01 Medizinische elektrische Geräte; Anleitungen (VDI Standardisation Work; Principles and pro-
Merkmale digitaler Röntgenbildgeräte; Teil 1: Bestimmung cedures). Berlin: Beuth Verlag
der detektiven Quanten-Ausbeute (IEC 62220-1:2003); Deut- VDI/VDE 2617 Blatt 2.1:2014-03 Genauigkeit von Koordina-
sche Fassung EN 62220-1:2004 (Medical electrical tenmessgeräten; Kenngrößen und deren Prüfung; Leitfaden
equipment; Characteristics of digital X-ray imaging devices; zur Anwendung von DIN EN ISO 10360-2 zur Messung von
Part 1: Determination of the detective quantum efficiency Längenmaßen (Accuracy of coordinate measuring machines;
(IEC 62220-1: 2003); German version EN 62220-1:2004). Parameters and their reverification; Code of practice for the
Berlin: Beuth Verlag application of DIN EN ISO 10360-2 for length measurement).
DIN EN ISO 10360-1:2003-07 Geometrische Produktspezifi- Berlin: Beuth Verlag
kation (GPS); Annahmeprüfung und Bestätigungsprüfung für VDI/VDE 2617 Blatt 2.2:2018-07 Genauigkeit von Koordina-
Koordinatenmessgeräte (KMG); Teil 1: Begriffe (ISO 10360-1: tenmessgeräten; Kenngrößen und deren Prüfung; Formmes-
2000 + Corr 1:2002) (enthält Berichtigung AC:2002); Deut- sung mit Koordinatenmessgeräten (Accuracy of coordinate
sche Fassung EN ISO 10360-1:2000 + AC:2002 (Geometrical measuring machines; Characteristics and their testing; Form
Product Specifications (GPS); Acceptance and reverification measurement with coordinate measuring machines). Berlin:
tests for coordinate measuring machines (CMM); Part 1: Beuth Verlag
Vocabulary (ISO 10360-1:2000 + Corr 1:2002) (includes
Corrigendum AC:2002); German version EN ISO 10360-1: VDI/VDE 2617 Blatt 4:2006-05 Genauigkeit von Koordina-
2000 + AC:2002). Berlin: Beuth Verlag tenmessgeräten; Kenngrößen und deren Prüfung; Leitfaden
zur Anwendung von DIN EN ISO 10360-3 für Koordinaten-
DIN EN ISO 10360-2:2010-06 Geometrische Produktspezifi- messgeräte mit zusätzlichen Drehachsen (Accuracy of coordi-
kation (GPS); Annahmeprüfung und Bestätigungsprüfung für nate measuring machines; Characteristics and their checking;
Koordinatenmessgeräte (KMG); Teil 2: KMG angewendet für Manual for the use of DIN EN ISO 10360-3 for coordinate
Längenmessungen (ISO 10360-2:2009); Deutsche Fassung EN measuring machines with additional axes of rotation). Berlin:
ISO 10360-2:2009 (Geometrical product specifications (GPS); Beuth Verlag
Acceptance and reverification tests for coordinate measuring
machines (CMM); Part 2: CMMs used for measuring linear VDI/VDE 2617 Blatt 5:2010-12 Genauigkeit von Koordina-
dimensions (ISO 10360-2:2009); German version EN tenmessgeräten; Kenngrößen und deren Prüfung; Überwa-
ISO 10360-2:2009). Berlin: Beuth Verlag chung durch Prüfkörper (Accuracy of coordinate measuring
machines; Parameters and their reverification; Interim check
DIN EN ISO 10360-3:2000-08 Geometrische Produktspezifi- with artefacts). Berlin: Beuth Verlag
kation (GPS); Annahmeprüfung und Bestätigungsprüfung für
Koordinatenmeßgeräte (KMG); Teil 3: KMG mit der Achse VDI/VDE 2617 Blatt 5.1:2011-01 Genauigkeit von Koordina-
eines Drehtisches als vierte Achse (ISO 10360-3:2000); Deut- tenmessgeräten; Kenngrößen und deren Prüfung; Überwa-
sche Fassung EN ISO 10360-3:2000 (Geometrical Product chung mit Kugelplatten (Accuracy of coordinate measuring
Specifications (GPS); Acceptance test and reverification test machines; Parameters and their reverification; Interim check
for coordinate measuring machines (CMM); Part 3: CMMs with ball plates). Berlin: Beuth Verlag
with the axis of a rotary table as the fourth axis (ISO 10360-3: VDI/VDE 2617 Blatt 6.2:2021-02 Genauigkeit von Koordina-
2000); German version EN ISO 10360-3:2000. Berlin: Beuth tenmessgeräten; Kenngrößen und deren Prüfung; Leitfaden
Verlag zur Anwendung von DIN EN ISO 10360-8 für Koordinaten-
DIN EN ISO 10360-7:2011-09 Geometrische Produktspezifi- messgeräte mit optischen Abstandssensoren (Accuracy of
kation (GPS); Annahme- und Bestätigungsprüfung für Koor- coordinate measuring machines; Characteristics and their
dinatenmessgeräte (KMG); Teil 7: KMG mit Bildverarbei- testing; Guideline for the application of DIN EN ISO 10360-8
tungssystemen (ISO 10360-7:2011); Deutsche Fassung EN to coordinate measuring machines with optical distance sen-
ISO 10360-7:2011 (Geometrical product specifications (GPS); sors). Berlin: Beuth Verlag
Acceptance and reverification tests for coordinate measuring VDI/VDE 2617 Blatt 7:2008-09 Genauigkeit von Koordina-
machines (CMM); Part 7: CMMs equipped with imaging tenmessgeräten; Kenngrößen und deren Prüfung; Ermittlung
probing systems (ISO 10360-7:2011); German version EN der Unsicherheit von Messungen auf Koordinatenmessgeräten
ISO 10360-7:2011). Berlin: Beuth Verlag durch Simulation (Accuracy of coordinate measuring machi-
DIN EN ISO 10360-8:2014-03 Geometrische Produktspezifi- nes; Parameters and their checking; Estimation of measure-
kation und -prüfung (GPS); Annahme- und Bestätigungsprü- ment uncertainty of coordinate measuring machines by means
fung für Koordinatenmesssysteme (KMS); Teil 8: KMG mit of simulation). Berlin: Beuth Verlag
optischen Abstandssensoren (ISO 10360-8:2013); Deutsche VDI/VDE 2617 Blatt 8:2018-10 Genauigkeit von Koordina-
Fassung EN ISO 10360-8:2013 (Geometrical product specifi- tenmessgeräten; Kenngrößen und deren Prüfung; Prüfpro-
cations (GPS); Acceptance and reverification tests for coordi- zesseignung von Messungen mit Koordinatenmessgeräten
nate measuring systems (CMS); Part 8: CMMs with optical (Accuracy of coordinate measuring machines; Characteristics
distance sensors (ISO 10360-8:2013); German version EN and their testing; Test process suitability of measurements
ISO 10360-8:2013). Berlin: Beuth Verlag with coordinate measuring machines). Berlin: Beuth Verlag
DIN EN ISO 14253-1:2018-07 Geometrische Produktspezifi- VDI/VDE 2617 Blatt 9:2009-06 Genauigkeit von Koordina-
kationen (GPS); Prüfung von Werkstücken und Messgeräten tenmessgeräten; Kenngrößen und deren Prüfung; Annahme-
durch Messen; Teil 1: Entscheidungsregeln für den Nachweis und Bestätigungsprüfung von Gelenkarm-Koordinatenmess-
von Konformität oder Nichtkonformität mit Spezifikationen geräten (Accuracy of coordinate measuring machines; Charac-
(ISO 14253-1:2017); Deutsche Fassung EN ISO 14253-1: teristics and their reverification; Acceptance and reverification
2017 (Geometrical product specifications (GPS); Inspection tests for Articulated Arm Coordinate Measuring Machines).
by measurement of workpieces and measuring equipment; Berlin: Beuth Verlag
Part 1: Decision rules for verifying conformity or nonconfor-
VDI/VDE 2617 Blatt 10:2011-01 Genauigkeit von Koordina- wendung von DIN EN ISO 10360 für Koordinatenmessgeräte
tenmessgeräten; Kenngrößen und deren Prüfung; Annahme- mit CT-Sensoren; VDI/VDE 2630 Blatt 1.3: Computertomo-
und Bestätigungsprüfung von Lasertrackern (Accuracy of grafie in der dimensionellen Messtechnik; Leitfaden zur An-
coordinate measuring machines; Characteristics and their wendung von DIN EN ISO 10360 für Koordinatenmessgeräte
checking; Acceptance and reverification tests of lasertrackers). mit CT-Sensoren (VDI/VDE 2617 Blatt 13: Accuracy of
Berlin: Beuth Verlag coordinate measuring machines; Characteristics and their
VDI/VDE 2617 Blatt 10.1:2014-05 Genauigkeit von Koordi- testing; Guideline for the application of DIN EN ISO 10360
natenmessgeräten; Kenngrößen und deren Prüfung; Lasertra- for coordinate measuring machines with CT-sensors;
cker mit Multisensorik (Accuracy of coordinate measuring VDI/VDE 2630 Blatt 1.3: Computed tomography in dimensi-
machines; Characteristics and their checking; Laser trackers onal measurement; Guideline for the application of DIN EN
with multiple probing systems). Berlin: Beuth Verlag ISO 10360 for coordinate measuring machines with CT-
sensors). Berlin: Beuth Verlag
VDI/VDE 2617 Blatt 11:2011-03 Genauigkeit von Koordina-
tenmessgeräten; Kenngrößen und deren Prüfung; Ermittlung
der Unsicherheit von Messungen auf Koordinatenmessgeräten Literatur / Literature
durch Messunsicherheitsbilanzen (Accuracy of coordinate [1] Christoph, R.; Neumann, H.-J.: Multisensor-Koordina-
measuring machines; Characteristics and their checking; De- tenmesstechnik. Die Bibliothek der Technik, Band 352.
termination of the uncertainty of measurement for coordinate München: Süddeutscher Verlag onpact, 2013
measuring machines using uncertainty budgets). Berlin: Beuth [2] Ferus, D.: Integraltransformationen und partielle Diffe-
Verlag rentialgleichungen für Ingenieure. Technische Universi-
VDI/VDE 2617 Blatt 12.1:2011-03 Genauigkeit von Koordi- tät Berlin, 2007
natenmessgeräten; Kenngrößen und deren Prüfung; Annahme-
und Bestätigungsprüfungen für Koordinatenmessgeräte zum Weiterführende Literatur / Further literature
taktilen Messen von Mikrogeometrien (Accuracy of coordina-
te measuring machines; Characteristics and their checking; Gradshteyn, I. S. et al.: Table of Integrals, Series and Pro-
Acceptance and reverification tests for tactile CMM measu- ducts. Academic Press, 2016
ring microgeometries). Berlin: Beuth Verlag Internationales Wörterbuch der Metrologie Grundlegende und
VDI/VDE 2617 Blatt 12.2:2020-10 (Entwurf / Draft) Annah- allgemeine Begriffe und zugeordnete Benennungen (VIM) –
me- und Bestätigungsprüfungen für Koordinatenmesssysteme Deutsch-englische Fassung ISO/IEC-Leitfaden 99:2007. 4.,
zum optischen Messen von Mikrogeometrien in Anlehnung an überarbeitete Auflage. Berlin: Beuth Verlag, 2012,
DIN EN ISO 10360-8 und VDI/VDE 2617 Blatt 6.2 (Accep- ISBN 978-3-410-22472-3
tance and reverification tests for optical CMM measuring Olver, F. W. J. et al. (eds.): NIST Handbook of Mathematical
microgeometries according to DIN EN ISO 10360-8 and Functions. Cambridge University Press and National Institute
VDI/VDE 2617 Part 6.2). Berlin: Beuth Verlag of Standards and Technology U.S. Department of Commerce,
VDI/VDE 2617 Blatt 13*VDI/VDE 2630 Blatt 1.3:2011-12 2010
VDI/VDE 2617 Blatt 13: Genauigkeit von Koordinatenmess-
geräten; Kenngrößen und deren Prüfung; Leitfaden zur An-

VDI VDE 2617 Blatt-6-1 2021-11

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ICS 17.040.

30 VDI/VDE-RICHTLINIEN November 2021

VEREIN Genauigkeit von Koordinatenmessgeräten

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7.1 Abschnitt 6.2 – 7.1 Clause 6.2 –

Längenmessabweichung .......................... 14 Length measurement error ....................... 14

VDI/VDE-Gesellschaft Mess- und Automatisierungstechnik (GMA)

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Vorbemerkung Preliminary note

2 Normative Verweise 2 Normative references

3 Begriffe 3 Terms and definitions

Antastabweichung Maß (PS2D) probing size error (PS2D)

Antastabweichung unter zusätzlicher probing error with the additional use of an

4 Hilfsgrößen und Kenngrößen 4 Auxiliary variables and characteristics

Tabelle 1. Hilfsgrößen Table 1. Auxiliary variables

Eintragungen in Produktdokumentationen und Entries in product documentation and data

5 Wesentliche Unterschiede der DIN EN 5 Significant differences between the

6 Erläuterungen und Ergänzungen zu 6 Explanations and clarifications

6.2 Anmerkung/Hinweise zu Abschnitt 5.3.3 – 6.2 Note/information regarding Clause 5.3.3 –

6.3 Anmerkung/Hinweise zu 6.3 Note/information regarding Clause 5.3.4 –

7 Erläuterungen und Ergänzungen zu 7 Explanations and clarifications

7.2 Abschnitt 6.3 – 7.2 Clause 6.3 – Squareness error ESQ

8 Erläuterungen und Ergänzungen zu 8 Explanations and clarifications

9 Erläuterungen und Ergänzungen zum 9 Explanations and clarifications

Anhang A Optische Sensoren zur Annex A Optical sensors for measuring

A3 Beleuchtung – Voraussetzung für sicheres A3 Illumination – Prerequisite for reliable

Durchlicht / Auflicht-Hellfeld / Auflicht-Dunkelfeld /

Kamera und Zoom mit variablem

Zoombereich / zoom range

konstant / Arbeitsabstand / variabel /

Drehteil mit großem Sacklochbohrung mit

measured edge location

true edge location

measured edge location

camera optics line sensor

Bild A10. Bildfilter Figure A10. Image filter

Originalbild / Originalbild Digitalbild / Digitalbild Pixelkontur /

Pixelkontur Subpixelkontur / Subpixelkontur Ausgleichselement / Ausgleichselement im Originalbild / least-

Anhang B Strukturauflösung Annex B Structure resolution

Zusätzliche Abkürzungen in Anhang B Additional abbreviations in Annex B

in X,Y: Strukturauflösung des Bilds

Werkstück Durchmesser des Fokus: Integrationsgebiet

Bild B1. Definition zum optischen Antasten

in X, Y: structure resolution of the image

workpiece diameter of the focus: integration area

Figure B1. Definition for optical probing

Eingangs- gemessene Funktion am

B4 Bestimmung der Ortsfrequenzauflösung B4 Determining spatial frequency resolution

inkohärentes Licht (Weißlicht) / incoherent light (white light)

kohärentes Licht / coherent light

Vergleich der Wirkung von inkohärentem und kohärentem Licht /

(normierte Ortskonstante) / (normierte Ortskonstante) /

Anhang C Prüfung ✈!n Annex C Testing coordinate measuring

Schrifttum / Bibliography mity with specifications (ISO 14253-1:2017); German version

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