ICS 17.

160 VDI-RICHTLINIEN Januar 2008

VEREIN VDI 2064

DEUTSCHER Aktive Schwingungsisolierung
INGENIEURE
Entwurf

Active vibration isolation Einsprüche bis 2008-06-30

vorzugsweise in Tabellenform als Datei per E-Mail an
ekv@vdi.de
Die Vorlage dieser Tabelle kann abgerufen werden unter
http://www.vdi-richtlinien.de/einsprueche
in Papierform an
VDI-Gesellschaft Entwicklung Konstruktion Vertrieb
Postfach 10 11 39
40002 Düsseldorf

Inhalt Seite
Vorbemerkung .................................................................................................2
Einleitung.........................................................................................................2
1 Anwendungsbereich ................................................................................2
2 Normative Verweise ..................................................................................2
3 Formelzeichen ...........................................................................................3
4 Bezeichnungen .........................................................................................3
4.1 Schwingungsisolierung ......................................................................3
4.2 Systemkomponenten..........................................................................4
5 Konzepte und Aufgaben der aktiven Schwingungsisolierung .............5
5.1 Anwendungsbereiche der aktiven Schwingungsisolierung................5
5.2 Strukturdynamische Wirkungsprinzipien der aktiven
Schwingungsisolierung ......................................................................5
5.3 Systemtheoretische Realisierungen der aktiven
Schwingungsisolierung für einen Freiheitsgrad.................................6
5.4 Aktive Schwingungsisolierung für mehrere Freiheitsgrade..............9
6 Kenngrößen der Komponenten aktiver Schwingungsisolierungen .....9
6.1 Allgemeines .......................................................................................9
6.2 Aktoren ..............................................................................................9
6.3 Sensoren...........................................................................................12
6.4 Signalverarbeitungseinheit...............................................................12
7 Hinweise zur Spezifikation aktiver Schwingungsisolierungen ...........13
7.1 Allgemeines .....................................................................................13
7.2 Komponenten...................................................................................13
7.3 Systembetrachtungen .......................................................................13
7.4 Integriertes System ..........................................................................16
7.5 Hinweise zu Messmethoden ............................................................18
Anhang Technische Realisierungen und Anwendungsbeispiele .20
A1 Anwendungsbeispiel 1 .....................................................................20
A2 Anwendungsbeispiel 2 .....................................................................21
Schrifttum ......................................................................................................26

VDI-Gesellschaft Entwicklung Konstruktion Vertrieb

Arbeitsgruppe aktive Schwingungsisolierung
Ausschuss Tilger, Dämpfer und Schwingungsisolierelemente

VDI-Handbuch Schwingungstechnik
–2– VDI 2064 Entwurf
Vorbemerkung
Der Inhalt dieser Richtlinie ist entstanden unter
Beachtung der Vorgaben und Empfehlungen der
Richtlinie VDI 1000.
Allen, die ehrenamtlich an der Erarbeitung dieser
VDI-Richtlinie mitgewirkt haben, sei gedankt.
Einleitung
Durch die Schwingungsisolierung soll entweder
eine Übertragung periodischer, stoßförmiger oder
stochastischer Kräfte von einer Schwingungsquelle
(beispielsweise einer Maschine) in angrenzende
Strukturen vermindert werden (Quellenisolierung,
Schutz gegen Schwingungsemissionen), oder es
sollen Menschen und empfindliche Maschinen,
Geräte oder Gebäude vor Schwingungen aus der
Umgebung geschützt werden (Empfängerisolie-
rung, Schutz vor Schwingungsimmissionen). Beide
Aufgabenstellungen können durch den Einsatz von
Schwingungsisolierungen gelöst werden. Auf diese
Weise entsteht ein System, dessen dynamisches
Verhalten von den Eigenschaften der Schwin-
gungsquelle, den dynamischen Eigenschaften der
quellen- und empfängerseitigen Strukturen und den
Eigenschaften der Elemente der Schwingungsiso-
lierung entscheidend beeinflusst wird. Die optima-
le Auslegung des Systems hinsichtlich der jeweili-
gen Anforderungen an den Schwingungsschutz
erfordert die umfassende und detaillierte Kenntnis
aller Faktoren, die die resultierenden Eigenschaften
und den nutzbringenden Einsatz einer Schwin-
gungsisolierung für eine bestimmte Maschine oder
Anlage beeinflussen.
Zur Unterstützung stehen bezüglich passiver
Schwingungsisolierungen mit Massen, Federn und
Dämpfern sowohl normative Dokumente (DIN
EN 1299) wie auch Richtlinien (VDI 2062 Blatt 1
und VDI 2062 Blatt 2) zur Verfügung. Eine aktive
Schwingungsisolierung ist bei diesen Dokumenten
jedoch explizit ausgenommen (siehe DIN
EN 1299, Anhang A.4).
Die vorliegende Richtlinie soll ähnlich den ge-
nannten Dokumenten ein Grundverständnis sowie
den begrifflichen Rahmen für die aktive Schwin-
gungsisolierung herstellen. Sie soll praktische
Hinweise für die Auslegung und die wesentlichen
Einflussgrößen geben. Zur Erleichterung des In-
formationsaustausches definiert sie neben Begrif-
fen auch Mess- und Prüfverfahren sowie erforder-
liche Angaben zur Spezifikation aktiver Schwin-
gungsisolierungen und ihrer Komponenten.
1 Anwendungsbereich
Die vorliegende Richtlinie ist auf aktive Schwin-
gungsisolierungen anzuwenden. Sie gilt nicht für
passive oder semiaktive Schwingungsisolierungen.
Elemente der aktiven Schwingungsisolierung kön-
nen für spezielle Aufgaben die bekannten passiven
Elemente zur Schwingungsisolierung ergänzen.
Ein Schwingungsisolierungssystem mit aktiver
Schwingungsisolierung enthält daher in der Regel
auch passiv wirkende Komponenten. Entsprechend
beschreibt DIN EN 1299 die erforderlichen Min-
destangaben für die Auswahl einer Schwingungs-
isolierung (Abschnitt 6) und den grundsätzlichen
Leitfaden für die Nachprüfung der Wirksamkeit
der Isolierung (Abschnitt 7). Die vorliegende
Richtlinie ergänzt den in der genannten DIN
EN 1299 gegebenen Leitfaden bezüglich spezifi-
scher Anforderungen für aktive Schwingungsiso-
lierungen.
2 Normative Verweise
Die folgenden zitierten Dokumente sind für die
Anwendung dieser Richtlinie erforderlich:
Richtlinie 98/37/EG des Europäischen Parlaments
und des Rates vom 22. Juni 1998 zur Anglei-
chung der Rechts- und Verwaltungsvorschriften
der Mitgliedstaaten für Maschinen, ABl EG,
1998, Nr. L 207, S. 1–46
DIN EN 1299:1997-05 Mechanische Schwingun-
gen und Stöße; Schwingungsisolierung von Ma-
schinen; Angaben für den Einsatz von Quellen-
isolierungen; Deutsche Fassung EN 1299:1997.
Berlin: Beuth Verlag
DIN EN ISO 12100-1:2004-04 Sicherheit von
Maschinen; Grundbegriffe, allgemeine Gestal-
tungsleitsätze; Teil 1: Grundsätzliche Termino-
logie, Methodologie (ISO 12100-1:2003); Deut-
sche Fassung EN ISO 12100-1:2003. Berlin:
Beuth Verlag
DIN EN ISO 12100-2 Ausgabedatum 2004-04
Sicherheit von Maschinen; Grundbegriffe, all-
gemeine Gestaltungsleitsätze; Teil 2: Technische
Leitsätze (ISO 12100-2:2003); Deutsche Fassung
EN ISO 12100-2:2003. Berlin: Beuth Verlag
 Entwurf VDI 2064 –3–

3 Formelzeichen Formel- Einheit Benennung

zeichen
In dieser Richtlinie werden die nachfolgend aufge-
" 1 Phasenwinkel-Differenz
führten Formelzeichen verwendet:
Formel- Einheit Benennung 1 Übertragungskoeffizient, Ver-
v
zeichen stärkungsfaktor, Schleifenver-
stärkung des Reglers bzgl. der
d N/(m/s) Dämpfungskoeffizient
Größe v
F N Kraft
x, y, z 1 Raumkoordinaten
N komplexe Amplitude der Kom-
F̂ Komp pensationskraft; mechanische
Kraft, die vom Aktor der akti- 4 Bezeichnungen
ven Schwingungsisolierung
aufgebracht wird 4.1 Schwingungsisolierung
N komplexe Amplitude der Erre- 4.1.1 Schwingungsisolierung
F̂ E gerkraft, die von der quellensei-
tigen auf die empfängerseitige Die Schwingungsisolierung stellt ein dynamisch
Struktur einwirkt wirksames System dar, das eine zu schützende
Fx, Fy, Fz N Kompensationskraft einer Struktur möglichst wirkungsvoll von mechani-
aktiven Schwingungsisolierung schen Störeinwirkungen abschirmt.
mit Angabe der Wirkrichtung
Die Schwingungsisolierung kann, in Abhängigkeit
f Hz Frequenz von den verwendeten Isolierelementen, als aktive,
2
Gvv (m/s) /Hz spektrale Leistungsdichte der semiaktive oder passive Schwingungsisolierung
Schwinggeschwindigkeit v ausgebildet werden.
H( f ) 1 komplexe Übertragungsfunk-
tion zwischen den Schwin-
Darüber hinaus kann die Schwingungsisolierung,
gungsgrößen der erregenden in Abhängigkeit von der Art des zu schützenden
Struktur und den Schwingungs- Objekts, als Quellenisolierung oder Empfängeriso-
größen der zu schützenden lierung ausgebildet werden.
Struktur
1 Isolierwirkungsgrad der 4.1.2 Aktive Schwingungsisolierung
I( f )
Schwingungsisolierung Die aktive Schwingungsisolierung ist durch die
m kg Masse Zufuhr von Fremdenergie charakterisiert, wobei
r V Messgröße des Systemeigen- die Fremdenergie dynamisch korreliert so zuge-
rauschens führt wird, dass die relevanten Zustandsgrößen
U V Ansteuerspannung (Kräfte und Bewegungsgrößen) direkt beeinflusst
V Referenzsignal
werden.
ux
Anmerkung: Im deutschen Sprachgebrauch waren die Be-
uy V Zielsignal
zeichnungen „aktive Schwingungsisolierung“ für Quelleniso-
V Messgröße für die Schwingun- lierung und „passive Schwingungsisolierung“ für Empfänger-
u1
gen der erregenden Struktur isolierung gebräuchlich. Von der Verwendung dieser Bezeich-
nungen wird jedoch im Nationalen Vorwort zu DIN EN 1299
u2 V Messgröße für die Schwingun-
dringend abgeraten; sie sollte im Zusammenhang mit aktiven
gen der zu schützenden Struktur
Schwingungsisolierungen im Sinne dieser Richtlinie unbe-
v m/s Schwinggeschwindigkeit dingt unterbleiben, damit Verwechslungen ausgeschlossen
werden.
v1 m/s Schwinggeschwindigkeit der
erregenden Struktur
4.1.3 Semiaktive Schwingungsisolierung
v2 m/s Schwinggeschwindigkeit der zu
schützenden Struktur Auch für die semiaktive Schwingungsisolierung ist
dimensionsloser Betrag der die Zufuhr von Fremdenergie kennzeichnend, wo-
(f) 1
Übertragungsfunktion (Ampli- bei die Fremdenergie jedoch so zugeführt wird,
tudenfrequenzgang) zwischen dass innere Größen und Parameter des eingesetzten
den Schwingungsgrößen der Isoliersystems, nicht aber die beteiligten Zustands-
erregenden Struktur und den
Schwingungsgrößen der zu
größen (Kräfte und Bewegungsgrößen) direkt be-
schützenden Struktur einflusst werden.
1 Kohärenzfunktion zwischen Typische Beispiele für eine semiaktive Schwin-
! xy 2 ( f ) den Signalen ux und uy gungsisolierung stellen veränderbare passive
Schwingungsisolierelemente wie Dämpfer mit
L dB Pegeldifferenz einstellbarer Kennlinie oder positionsgeregelte
Luftfedern dar.
–4– VDI 2064 Entwurf
4.1.4 Passive Schwingungsisolierung
Die passive Schwingungsisolierung beruht aus-
schließlich auf der Wirkung von Schwingungsiso-
lierelementen, die keine Fremdenergie benötigen.
Anmerkung 1: Vgl. Anmerkung zu „aktive Schwingungsiso-
lierung“.
Anmerkung 2: Im englischen Sprachraum wird derzeit der
Begriff „semipassive Schwingungsisolierung“ für Schwin-
gungsisolierungen verwendet, bei denen die Dämpfung durch
ein (fest einstellbares) elektrisches Netzwerk realisiert wird,
das durch einen elektromechanischen Wandler (beispielsweise
eine Piezokeramik) mit der mechanischen Struktur gekoppelt
ist. Ein solches System stellt im Sinne dieser Richtlinie eine
passive Schwingungsisolierung dar.
4.1.5 Quellenisolierung
Unter Quellenisolierung wird eine Schwingungs-
isolierung verstanden, bei der die Übertragung von
Schwingungen in Form von Kräften oder Momen-
ten von einem Erreger (z. B. Störeinwirkungen
durch eine Maschine) in die umgebenden, zu
schützenden Strukturen vermindert wird (Emis-
sionsschutz).
Anmerkung: Vgl. Anmerkung zu „aktive Schwingungsisolie-
rung“.
4.1.6 Empfängerisolierung
Unter Empfängerisolierung wird eine Schwin-
gungsisolierung verstanden, die die Übertragung
von Schwingbewegungen aus der Umgebung auf
ein zu schützendes Objekt (beispielsweise Men-
schen, empfindliche Maschinen, Geräte, Gebäude)
vermindert (Immissionsschutz).
Anmerkung: Vgl. Anmerkung zu „aktive Schwingungsisolie-
rung“.
4.2 Systemkomponenten
Das Funktionsschema einer aktiven Schwingungs-
isolierung mit Systemkomponenten wird in Bild 1
dargestellt.
4.2.1 Aktor
Der Aktor ist die Systemkomponente, die abhängig
von einem von der Signalverarbeitungseinheit
generierten elektrischen Ausgangssignal die me-
chanischen Stellgrößen der aktiven Schwingungs-
isolierung bereitstellt. Ein Aktor besteht mindes-
tens aus einem Energiesteller, der die für die
Wandlung benötigte Energie bereitstellt, und ei-
nem Energiewandler, der die elektrische Eingangs-
größe in eine mechanische Ausgangsgröße um-
wandelt.
Anmerkung: Typische Beispiele für Energiesteller sind elek-
trische Leistungsverstärker oder hydraulische Servoventile,
die eine Hilfsenergie, beispielsweise in Form von elektrischer
oder hydraulischer Energie, entsprechend dem Regelungs-
oder Steuerungsausgangssignal für den Energiewandler bereit-
stellen. Typische Beispiele für Energiewandler sind elektro-
mechanische Wandler wie Schwingspulen, Piezokeramiken
oder auch Hydraulikzylinder.
4.2.2 Signalverarbeitungseinheit
Die analoge oder digitale elektrische Signalver-
arbeitungseinheit erzeugt – gegebenenfalls unter
Einbeziehung von Signalkonditionierungen,
Schnittstellen und verwendeter Software – auf der
Grundlage von Referenz- und/oder Fehlersensorsi-
gnalen ein Ausgangssignal zur Ansteuerung eines
Aktors.
Anmerkung: In dieser Richtlinie wird der Begriff der Signal-
verarbeitungseinheit unabhängig davon verwendet, ob es sich
um eine (gegebenenfalls adaptive) Steuerung, eine Regelung
(gegebenenfalls mit Störgrößenaufschaltung) oder Ähnliches
handelt.
4.2.3 Referenzsensor
Ein Sensor, der eine Eingangsgröße für die Steue-
rung als elektrisches Signal bereitstellt, heißt Refe-
renzsensor.
Anmerkung: Referenzsensoren können Schwingungssenso-
ren, aber z. B. auch Drehzahlsensoren bei der Quellenisolie-
rung von rotierenden Maschinen sein.
4.2.4 Fehlersensor
Ein Sensor, der eine zu minimierende Regelgröße
als elektrisches Signal bereitstellt, heißt Fehlersen-
sor.
Anmerkung: Da Schwingungsisolierungen Schwingungen
minimieren sollen, stellt das verbleibende Ist-Signal gleichzei-
tig den Regelungsfehler dar. Fehlersensoren sind meist
Schwingungssensoren.

Bild 1. Funktionsschema einer aktiven Schwingungsisolierung mit Systemkomponenten – Referenz- oder
Fehlersensor können in Abhängigkeit vom Konzept der Regelung bzw. Steuerung entfallen.
5 Konzepte und Aufgaben der aktiven
Schwingungsisolierung
5.1 Anwendungsbereiche der aktiven
Schwingungsisolierung
Die aktive Schwingungsisolierung kann sowohl
zur Quellen- als auch zur Empfängerisolierung bei
periodischen, stochastischen oder stoßförmigen
Schwingungen eingesetzt werden.
Da eine aktive Schwingungsisolierung einen ein-
geschränkten Arbeitsfrequenzbereich aufweist,
wird sie in der Regel durch eine passive Schwin-
gungsisolierung ergänzt.
Eine aktive Schwingungsisolierung kann mit wei-
teren Funktionen, beispielsweise einer Positions-
regelung, kombiniert werden. Derartige ergänzen-
de Funktionen sind nicht Bestandteil dieser Richt-
linie.
5.2 Strukturdynamische Wirkungsprinzipien
der aktiven Schwingungsisolierung
5.2.1 Aktive Schwingungsisolierung durch
Kraftkompensation bzw. Erhöhung der
mechanischen Impedanz der empfän-
gerseitigen Struktur
Die aktive Schwingungsisolierung durch Kraft-
kompensation beruht auf der Erzeugung einer dy-
namischen Gegenkraft, die der auf die empfänger-
seitige Struktur einwirkenden Erregerkraft mög-
lichst betragsgleich, parallel und momentenfrei
entgegenwirkt. Damit befinden sich bei der Quel-
lenisolierung die empfängerseitige Struktur bzw.
bei der Empfängerisolierung die zu schützende
Struktur idealerweise im dynamischen Kräfte-
gleichgewicht, erfahren also keinerlei Anregung.
Entwurf VDI 2064 –5–
Die aktive Schwingungsisolierung wirkt somit als
eine Erhöhung der mechanischen Impedanz an der
empfängerseitigen Kopplungsstelle. Bei vollstän-
diger Kraftkompensation wird die aktiv realisierte
Impedanz unendlich, da jede eingeleitete dynami-
sche Kraft durch eine entsprechende Gegenkraft
kompensiert und die mechanische Bewegung da-
mit verhindert wird. Die Gegenkraft führt zu einer
versteiften bzw. im theoretischen Grenzfall zu
einer unendlich steifen Struktur.
Diese Veränderung der mechanischen Impedanz
kann, insbesondere bei der Quellenisolierung, zu
einem veränderten dynamischen Verhalten des
mechanischen Gesamtsystems führen.
Bei drehenden Systemen werden die Kräfte sinn-
gemäß durch Drehmomente und die Geschwindig-
keiten durch Drehgeschwindigkeiten ersetzt.
Anmerkung: Die mechanische Impedanz ist in DIN 1311-2,
Abschnitt 7.5.3 als der Quotient des Fourier-Spektrums einer
erregenden Kraft zum Fourier-Spektrum der resultierenden
Schwinggeschwindigkeit (Kehrwert der Admittanz) definiert.
5.2.2 Aktive Schwingungsisolierung durch
Wegkompensation bzw. Verringerung
der mechanischen Impedanz der emp-
fängerseitigen Struktur
Die aktive Schwingungsisolierung durch Weg-
kompensation beruht auf der Erzeugung eines dy-
namischen Wegausgleichs in einem innerhalb der
Isolierung in Reihe angeordneten Isolierelement.
Dieser Wegausgleich muss – soweit möglich – den
negativ gleichen Momentanwert wie die Anregung
aufweisen. Damit befinden sich bei der Quelleniso-
lierung die empfängerseitige Struktur bzw. bei der
Empfängerisolierung die zu schützende Struktur
–6– VDI 2064 Entwurf
idealerweise in Ruhe, erfahren also keine Kraftan-
regung.
Die aktive Schwingungsisolierung wirkt dabei als
Verringerung der mechanischen Impedanz an der
Kopplungsstelle. Bei vollständiger Wegkompensa-
tion wird die aktiv realisierte Impedanz Null, da
jede Schwingungsamplitude „kraftfrei“ durch ei-
nen Wegausgleich kompensiert und damit das
Aufbringen einer Kraft verhindert wird. Das aktive
Schwingungsisoliersystem stellt theoretisch eine
unendlich weiche Feder dar.
Die Durchführung dieser Quellenisolierung führt
zu einem veränderten dynamischen Verhalten der
quellenseitigen Struktur. Bei drehenden Systemen
werden die Wege sinngemäß durch Winkelampli-
tuden ersetzt.
5.3 Systemtheoretische Realisierungen der
aktiven Schwingungsisolierung für einen
Freiheitsgrad
Aus systemtheoretischer Sicht lässt sich die aktive
Schwingungsisolierung als Kopplung zwischen
einer quellenseitigen und einer empfängerseitigen
mechanischen Struktur betrachten.
Die quellenseitige Struktur ist Ausgangspunkt für
die Übertragung von Schwingungserregungen über
die aktive Schwingungsisolierung auf die empfän-
gerseitige Struktur. Ziel der aktiven Schwingungs-
isolierung ist es, den Betrag der an die empfänger-
seitige Struktur abgegebenen Schwingungserre-
gungen im gewünschten Maße zu verringern.
Die wesentlichen Komponenten einer aktiven
Schwingungsisolierung sind Referenzsensor, Feh-
lersensor, Signalverarbeitungseinheit und Aktor
(bestehend aus Energiesteller und Energiewandler,
Bild 1). Der Referenzsensor liefert Informationen
über die Schwingung der quellenseitigen Struktur.
Der Fehlersensor registriert die verbleibende
Schwingung der empfängerseitigen Struktur. Aus
diesen Messsignalen wird in der Signalverarbei-
tungseinheit das Ansteuersignal für den Aktor er-
mittelt.
Dieses von der Signalverarbeitungseinheit bereit-
gestellte Ansteuersignal für den Aktor verwendet
der Energiesteller zur Bereitstellung eines Leis-
tungssignals für den Energiewandler, der dieses
dann in die benötigte mechanische Stellgröße um-
setzt. Bei richtiger Auslegung der aktiven Schwin-
gungsisolierung mindern die derart aufgebrachten
(sekundären) mechanischen Stellgrößen die insge-
samt in die empfängerseitige Struktur übertragenen
Zustandsgrößen.
Als Eingangsgrößen der Signalverarbeitungsein-
heit werden bevorzugt die Signale des Referenz-
sensors verwendet, da diese Vorab-Informationen
(a priori) über die zu isolierende Schwingung ent-
halten. Aus regelungstechnischer Sicht wird damit
eine Steuerung realisiert. In vielen Fällen (beson-
ders bei der Empfängerisolierung) stehen keine
geeigneten Referenzsignale zur Verfügung, sodass
für die Ermittlung des Ansteuersignals nur das
Signal des Fehlersensors herangezogen werden
kann. Dann wirkt die aktive Schwingungsisolie-
rung als geschlossener Rückkopplungs-Regelkreis.
In der Praxis wird oft mit einer Kombination ver-
schiedener Regelkonzepte gearbeitet.
5.3.1 Einfacher Regelkreis
Aktive Schwingungsisolierungen können als einfa-
che Regelkreise aufgebaut werden (Bild 2). In
diesem Fall wird das Signal eines Fehlersensors
(regelungstechnisch die Störgröße) so über einen
Regler an den Aktor zurückgeführt, dass das Feh-
lersensorsignal unter Berücksichtigung der Regel-
strecke (Übertragungsfunktion Aktor-Fehlersensor)
minimal wird.
Dies ist die typische Aufgabe einer Schwingungs-
isolierung und entspricht aus regelungstechnischer
Sicht einer konstanten Führungsgröße von Null für
den dynamischen Signalanteil.
Der Entwurf und die Realisierung eines solchen
Reglers sind Aufgaben der klassischen Regelungs-
technik. Beim Reglerentwurf liegt der Schwer-
punkt entsprechend der Aufgabenstellung weniger
beim Führungsgrößenverhalten als bei der Stör-
größenunterdrückung.
Einfache Regelkreise arbeiten in der Regel breit-
bandig, wobei der Arbeitsfrequenzbereich durch
den Reglerentwurf bestimmt wird. Erfahrungsge-
mäß resultiert der Arbeitsbereich meist aus der
Forderung nach Stabilität, aus den Phasenverschie-
bungen bzw. den Laufzeiten der beteiligten Kom-
ponenten sowie aus der benötigten Schleifenver-
stärkung, um eine bestimmte Isolierwirkung zu
erreichen. Um die Phasenverschiebung bzw. Lauf-
zeit des Reglers gering zu halten, empfiehlt sich
für einfache Regelkreise die Umsetzung in Analog-
technik.
In Abhängigkeit von der Aufgabenstellung der
aktiven Schwingungsisolierung, der physikalischen
Messgröße des Fehlersensors und den Einbauorten
und -arten von Sensor und Aktor lassen sich mit
einfachen Regelkreisen aus schwingungstechni-
scher Sicht verschiedenartige Systeme realisieren.

Bild 2. Einfacher Regelkreis mit regelungstechnischen Bezeichnungen
5.3.1.1 Schwinggeschwindigkeits-
Kraft-Rückkopplung
Wird die Schwinggeschwindigkeit des zu isolie-
renden Objekts, beispielsweise bei der Empfänger-
isolierung, über eine Verstärkung zur Ansteuerung
einer zur passiven Schwingungsisolierung parallel
angeordneten Kraftquelle genutzt, so wirkt diese
wie eine zusätzliche „Dämpfungskraft“. Diese ist
jedoch nicht zu der Schwinggeschwindigkeitsdiffe-
renz ober- und unterhalb der Lagerung, sondern zu
der absoluten Schwinggeschwindigkeit des zu
isolierenden Objektes proportional.
Dieser Ansatz heißt im englischen Sprachraum
skyhook damping und wird im Deutschen mitunter
als absolute Dämpfung (im Gegensatz zu der zur
Schwinggeschwindigkeitsdifferenz proportionalen
relativen Dämpfung) bezeichnet. Bild 3 zeigt die
schematische Anordnung mit absoluter Dämpfung,
Bild 4 im Vergleich dazu jene mit relativer
Dämpfung.
Bei einer absoluten Dämpfung nimmt der Betrag
der komplexen Übertragungsfunktion (Verhältnis
der komplexen Antwortamplitude zur Erregungs-
amplitude bei der Empfängerisolierung) für hohe
Frequenzen mit 40 dB/Dekade (statt 20 dB/Dekade
bei relativer Dämpfung, vgl. VDI 2062 Blatt 1) ab.
Bild 3. Schema eines aktiv gedämpften Einmas-
senschwingers mit absoluter Dämpfung durch
Schwinggeschwindigkeitsrückkopplung bei einer
Empfängerisolierung
Entwurf VDI 2064 –7–
Bild 4. Schema eines passiv gedämpften Einmas-
senschwingers mit relativer Dämpfung (passiver
viskoser Dämpfer) bei einer Empfängerisolierung
Aus strukturdynamischer Sicht führt die Schwing-
geschwindigkeits-Kraft-Rückkopplung zu einer
aktiven Schwingungsisolierung durch Erhöhung
der mechanischen Impedanz, da die von der Erre-
gerseite aufzubringende Kraft, bezogen auf die
Schwinggeschwindigkeit, größer wird. Die fre-
quenzabhängige, realisierte Impedanz hängt von
der Schleifenverstärkung v (Bild 3) ab und geht
nur für großes v gegen unendlich.
Das Einsatzgebiet der Schwinggeschwindigkeits-
Kraft-Rückkopplung liegt vorwiegend in der Un-
terdrückung der Resonanzüberhöhung bei der
Empfängerisolierung.
5.3.1.2 Kraft-Weg-Rückkopplung
Wird die dynamische Kraft, die die quellenseitige
auf die empfängerseitige Struktur ausübt, über eine
Verstärkung zur Ansteuerung eines zur passiven
Schwingungsisolierung in Reihe liegenden Weg-
elementes genutzt, so wirkt dies wie eine Feder mit
einer von der Verstärkung abhängigen Nachgie-
bigkeit.
Aus strukturdynamischer Sicht führt die Kraft-
Weg-Rückkopplung zu einer aktiven Schwin-
gungsisolierung durch Verringerung der mechani-
schen Impedanz, da die von der Erregerseite auf-
gebrachte Kraft zu einem größeren erregerseitigen
Schwingweg führt. Die frequenzabhängige reali-
sierte Impedanz hängt von der Schleifenverstär-
kung v ab und geht nur für großes v gegen Null.
–8– VDI 2064 Entwurf
Das Einsatzgebiet der Kraft-Weg-Rückkopplung
liegt vorwiegend in der Quellenisolierung. Durch
die Kraftmessung entfällt im Vergleich zur Be-
schleunigungsmessung der Einfluss der dynami-
schen Eigenschaften der empfängerseitigen Struk-
tur, was besonders bei größeren oder relativ wei-
chen Strukturen (z. B. in der Luft- und Raumfahrt)
von Vorteil ist.
5.3.2 Steuerung/Störgrößenaufschaltung
Aktive Schwingungsisolierungen können auch als
einfache Steuerung realisiert werden (Bild 5).
In diesem Fall wird das Signal eines Referenzsen-
sors so über eine Steuerung an den Aktor geführt,
dass die Schwingungen in einem zu definierenden
Sinne minimal werden. Die fehlende Rückkopp-
lung muss dann durch hinreichende Informationen
über den zukünftigen Verlauf der Störgröße ausge-
glichen werden.
Deshalb liegt diesem Ansatz die Annahme zugrun-
de, dass die zu isolierende Schwingung wesentlich
durch eine vom Referenzsensor erfassbare Störung
verursacht wird. Die Steuerungseinheit bildet dann
deren Ausbreitung nach, ergänzt um ein inverses
Modell des Aktors und der inversen Übertragungs-
strecke vom Aktor zur Zielgröße.
Entscheidend für die Qualität der Schwingungsiso-
lierung ist die Wahl eines geeigneten Referenzsi-
gnals. Für den Fall eines linearen Steuerungssys-
tems stellt die Kohärenzfunktion xy2(f) zwischen
dem Referenzsignal ux und dem Zielsignal uy ein
Maß für die Eignung des Referenzsignals dar, das
die Abschätzung der maximal möglichen Pegelab-
nahme durch eine Steuerung gemäß folgender
Gleichung erlaubt:
%L f ! $ #10 lg 1 # " 2
xy !
f! (1)
Darüber hinaus ist die zeitliche Kausalität zu be-
achten, die sich in der Kohärenz nicht nieder-
schlägt, aber aufgrund der ausschließlichen Reali-
sierbarkeit kausaler Systeme eine unumgehbare
Einschränkung für die erreichbare Pegelabnahme
darstellt.
Dieser Ansatz eignet sich daher vor allem für eine
aktive Quellenisolierung sowie im Einzelfall für
eine Empfängerisolierung, wenn die Quelle oder
Bild 5. Einfacher Steuerungskreis mit regelungstechnischen Bezeichnungen
eine andere geeignete Referenzgröße sowie der
Ausbreitungsweg bekannt sind.
Bei dem Entwurf der Steuerung ist die Rückwir-
kungsfreiheit des Aktors auf das Referenzsignal zu
beachten. Ist diese nicht gegeben, so ist für die
Rückwirkung ein Modell zu bestimmen und in die
Steuerung zu integrieren.
Die Anforderungen an das für die Steuerung ver-
wendete Modell der Störgrößenausbreitung hängen
wesentlich von der Störgröße ab. Für periodische
Störgrößen, beispielsweise von rotierenden Ma-
schinen, genügt eine genaue Modellierung bei den
Signalfrequenzen (Drehfrequenz und gegebenen-
falls deren Vielfache), da dann die zeitliche Kausa-
lität keine harte Systemgrenze darstellt. Bei sto-
chastischen Störgrößen sind eine breitbandige Mo-
dellierung im Arbeitsfrequenzbereich sowie ein
strenges Einhalten der zeitlichen Kausalität erfor-
derlich.
5.3.3 Adaptive regelungstechnische Systeme
Die Wirksamkeit der aktiven Schwingungsisolie-
rung wird wesentlich durch die Genauigkeit der
phaseninversen Nachbildung der Erregerkraft
durch die Kompensationskraft bestimmt. Die in
Abhängigkeit von der Frequenz erzielbare Pegel-
abnahme ergibt sich zu:
+ + FˆKomp ( + FˆKomp ( (&
2
) & cos %- ! , )
%L $ 10 lg)1 , 2) & (2)
) ) FˆE & ) FˆE & &&
* * ' * ' '
Dabei ist
F̂E Erregerkraftamplitude
F̂ Komp Kompensationskraftamplitude
%- Phasenwinkeldifferenz zwischen beiden
Kräften
Aus dieser Beziehung lässt sich ablesen, dass
schon bei einem Amplitudenfehler von 10 % und
einem Phasenfehler von 10° die maximale Pegel-
minderung nur noch 13,6 dB beträgt. Bei gleichem
Amplitudenverhältnis und einem Phasenfehler von
20° verbleiben nur noch maximal 8,5 dB.

Um die für eine nennenswerte Pegelreduktion er-
forderliche hohe Nachbildungsgenauigkeit auch
bei zeitvarianten Primär- und Regelstrecken sowie
Störsignalen zu gewährleisten, können adaptive
Regelungskonzepte eingesetzt werden.
Adaptive Regelungskonzepte basieren auf einem
Algorithmus, mit dem Reglerübertragungsfunktio-
nen oder Störgrößenmodelle automatisch so opti-
miert werden, dass ein die Fehlersignale minimie-
rendes Kriterium möglichst gut erfüllt wird.
In der Praxis werden zur Modellbildung meist
sogenannte adaptive Filter eingesetzt. Als Optimie-
rungsvorschrift wird häufig der LMS-Algorithmus
(Least Mean Squares) verwendet, der ein stochasti-
sches Gradientenverfahren zur Minimierung der
Fehlersignalenergie darstellt.
5.4 Aktive Schwingungsisolierung für
mehrere Freiheitsgrade
Bei praktischen Anwendungen der aktiven
Schwingungsisolierung ist in der Regel die Be-
rücksichtigung mehrerer Freiheitsgrade erforder-
lich.
Eine schwingungsisoliert gelagerte, ausgedehnte
Masse besitzt sechs (drei translatorische und drei
rotatorische) Starrkörperfreiheitsgrade. Darüber
hinaus besitzt ein realer Körper mit endlicher Stei-
figkeit weitere modale Freiheitsgrade.
Die gleichzeitige Beeinflussung der Schwingungen
in mehreren Freiheitsgraden erfordert mehrere
Aktoren zur Erzeugung der entsprechenden Kom-
pensationskräfte. Abhängig vom regelungstechni-
schen Konzept sind die Schwingungen in diesen
Freiheitsgraden mit Sensoren zu erfassen. Die ein-
gesetzte Regelung muss dann zu einer Mehrgrö-
ßenregelung bzw. einem Vielkanalsystem erweitert
werden. Dabei ist zu beachten, dass die Ein-/
Ausgangssignale sinnvoll entkoppelt oder ihre
Querkopplungen in der Regelung berücksichtigt
werden. Dies hat im Allgemeinen zur Folge, dass
der Aufwand in der Signalverarbeitungseinheit mit
dem Produkt der Anzahl der Sensor- und Aktorka-
näle und damit quadratisch mit der Anzahl der
Freiheitsgrade ansteigt.
Bei einfachen Regelkreisen genügt es mitunter,
einzelne Sensor-/Aktor-Paare so anzuordnen, dass
sie und die daraus resultierenden Regelkreise weit-
gehend voneinander entkoppelt sind.
Zur Entkopplung bei schwach gedämpften Struktu-
ren können alle Sensorsignale mittels einer Koor-
dinatentransformation in unabhängige (orthogona-
le) modale Koordinaten überführt werden. In die-
sem modalen Raum sind die einzelnen Freiheits-
grade voneinander unabhängig und können somit
auch unabhängig geregelt werden. Zur richtigen
Entwurf VDI 2064 –9–
Aktoransteuerung ist dann die entsprechende
Rücktransformation erforderlich.
6 Kenngrößen der Komponenten aktiver
Schwingungsisolierungen
6.1 Allgemeines
Jede aktive Schwingungsisolierung umfasst ein
System aus Sensoren, Aktoren und zugehöriger
Signalverarbeitungseinheit. Diese Komponenten
bedürfen der technischen Realisierung.
Der folgende Abschnitt beschreibt mögliche tech-
nische Ausführungen dieser Komponenten mit
ihren typischen Eigenschaften. Dabei wird auf
besonders zu beachtende Punkte bei Auswahl und
Entwurf hingewiesen.
6.2 Aktoren
6.2.1 Allgemeines
Aktoren haben die Aufgabe, die zur Minderung der
Erregerschwingungen erforderlichen Kompensa-
tionskräfte bzw. -schwingwege zu erzeugen und an
geeigneten Angriffspunkten in die mechanische
Struktur einzuleiten.
Aktoren müssen nach den jeweiligen Anforderun-
gen des aktiven Schwingungsisoliersystems unter
anderem nach folgenden Kriterien ausgewählt bzw.
entworfen werden:
Mechanische Ausgangsgrößen
benötigte Kraft
Frequenzbereich
Auslenkung
Verfügbarer Bauraum
Masse
Volumen
konstruktive Anbindung und Integration
Umweltbedingungen
verfügbare Hilfsenergie
zulässiges Eigengeräusch
erlaubte elektromagnetische Abstrahlung
Betriebstemperatur
Medienbeständigkeit.
Die praktische Erfahrung zeigt, dass die Auswahl
oder Konstruktion eines geeigneten Aktor-Systems
oft über die technische Machbarkeit einer aktiven
Schwingungsisolierung entscheidet. Der Aktorik
ist beim Entwurf einer aktiven Schwingungsisolie-
rung daher große Aufmerksamkeit zu widmen.
Der Begriff des Aktors umfasst die gesamte Sys-
temkomponente, die der aktiven Schwingungsiso-
– 10 – VDI 2064 Entwurf

lierung die von einem elektrischen Regleraus- 6.2.3 Hydraulischer Aktor

gangssignal abhängigen mechanischen Ausgangs- Bauform
größen zur Verfügung stellt. Ein Aktor besteht
daher mindestens aus einem Energiesteller und Hydraulikzylinder
einem Energiewandler (Bild 1), die zueinander Frequenzbereich
passend ausgewählt oder entworfen werden müs- Die Dynamik der mechanischen Komponenten
sen. Nach aller Erfahrung kann sich jede der Teil- (große Masse) und Medieneigenschaften begren-
komponenten für die Realisierung des Gesamtsys- zen den Frequenzbereich und erzeugen eine Tief-
tems als kritisch erweisen. passcharakteristik Energiesteller (Hydraulikventi-
Besonders bei Aktoren mit elektrischer Hilfsener- le) beschränken durch ihre Schaltzeiten den Ar-
gie zeigt die Erfahrung, dass die Belastbarkeit im beitsfrequenzbereich. Arbeitsfrequenzbereich
Dauereinsatz häufig durch die Abfuhr der entste- < 100 Hz, sonst Sonderkonstruktionen erforderlich.
henden Verlustleistung (Wärme) bestimmt wird.
Kraft
Daher ist gegebenenfalls eine Zwangskühlung
vorzusehen. 102 N < F < 106 N (typische Werte)
Als Grundlage praktischer Entwurfsentscheidun- Schwingweg
gen sind nachfolgend für einige häufig eingesetzte große Schwingwege möglich
Antriebsmechanismen von Aktoren stichwortartig
typische Charakteristika angegeben. Dynamik
großer Dynamikumfang, abhängig von der Dyna-
6.2.2 Pneumatischer Aktor
mik des Regelventils
Bauform
Linearität
Pneumatikzylinder
Energiewandler wie Energiesteller (Regelventile)
Frequenzbereich sind oft nicht linear.
f 10 Hz (bis zur Eigenfrequenz der Luftfeder) Umgebungseinflüsse
Kraft unempfindlich gegen aggressive Umgebung und
2 6
10 N < F < 10 N (typische Werte) neutral bezüglich elektromagnetischer Störabstrah-
lung
Schwingweg
Hilfsenergie
große Schwingwege möglich
hydraulische Hilfsenergie oft nicht verfügbar, Be-
Dynamik reitstellung über eigene Hydraulikanlage mit gro-
Energiesteller (Pneumatikventile) haben selten ßem Aufwand verbunden
einen Dynamikumfang von mehr als 50 dB.
6.2.4 Elektrodynamischer Aktor
Linearität
Bauform
Die Linearität hängt im Wesentlichen vom Energie-
Tauchspulensystem (wie elektrodynamischer Laut-
steller (Pneumatikventil) ab. Der maximale Fehler
sprecher) oder Lorentz-Motor
des eingestellten Drucks ist meist größer als 0,3 %.
Frequenzbereich
Umgebungseinflüsse
großer Arbeitsfrequenzbereich
unempfindlich gegen aggressive Umgebung und
neutral bezüglich elektromagnetischer Störabstrah- Kraft
lung bei Tauchspulensystemen mit 101 N < F < 103 N
Hilfsenergie gering, bei Linearmotoren auch größere Kräfte
möglich
pneumatische Hilfsenergie oft nicht verfügbar,
dann Bereitstellung über eigene Pneumatikanlage Schwingweg
Anmerkung: Bei der Auswahl des Aktors muss ein Kompro- maximaler Schwingweg bei Tauchspulensystemen
miss zwischen Steifigkeit und Ansprechzeit gefunden werden. und einphasigen Linearmotoren einige Millimeter
Zudem beschränkt die langsame Ansprechzeit (typisch
> 100 ms) den Arbeitsfrequenzbereich. Bei geeigneter Kons- Dynamik
truktion ist der Pneumatikzylinder auch als Luftfeder nutzbar. hohe Dynamik

Linearität
sehr hohe Linearität
Umgebungseinflüsse
Elektromagnetische Verträglichkeit ist zu prüfen.
Hilfsenergie
Energiesteller (Leistungsverstärker) sind bei leich-
ter Verfügbarkeit gut bekannt und unkritisch, da
elektrodynamische Aktoren beispielsweise als
Lautsprecher weit verbreitet sind. Elektrische
Hilfsenergie ist meist problemlos verfügbar.
Anmerkung: Durch geeignete Konstruktion kann bei elektro-
dynamischen Aktoren eine berührungsfreie Kraftübertragung
erreicht werden. Damit kann ein solcher Aktor steifigkeits-
und dämpfungsneutral ausgeführt werden.
6.2.5 Piezoelektrischer Aktor
Bauform
Für aktive Schwingungsisolierungen werden über-
wiegend Piezokeramiken auf Blei-Zirkonat-
Titanat-Basis (PZT) verwendet. Sie werden meist
in Form von Stapelwandlern, geschichtet aus dün-
nen Keramik- und Elektrodenscheiben, eingesetzt.
Piezokeramische Wandler werden als Niedervolt-
Typen (Ansteuerspannung U 200 V) oder als
Hochvolt-Typen (U 1000 V) gebaut.
Frequenzbereich
hohe und sehr hohe Arbeitsfrequenzen bis zu meh-
reren Kilohertz möglich, meist durch Energiesteller
begrenzt
Kraft
hohe Wandlerkräfte (Blockierkraft ca. 3 kN bis
4 kN bei 1 cm2 Material-Querschnittsfläche)
Schwingweg
Die Dehnungen von rund 1/1000 der Bauhöhe des
aktiven Materials liefern für übliche Materiallän-
gen im Zentimeterbereich Schwingwege von ma-
ximal 100 µm (ohne Last). Die Dehnung ist kraft-
abhängig und null bei Belastung mit der Blockier-
kraft.
Dynamik
hohe Dynamik
Linearität
PZT-Keramiken weisen von der Betriebsart ab-
hängige elektromechanische Wandlerkenngrößen
sowie inhärent eine Hysterese auf. Beide Phäno-
mene führen zu unvermeidlichen Nichtlinearitäten
im dynamischen Betrieb. Zur Linearisierung kann
eine zusätzliche Regelung eingesetzt werden, die
jedoch den Arbeitsfrequenzbereich des Aktor-
Entwurf VDI 2064 – 11 –
gesamtsystems deutlich unter den Frequenzbereich
der Energiesteller/-wandler-Kombination drückt.
Umgebungseinflüsse
Elektromagnetische Verträglichkeit ist zu prüfen.
Hilfsenergie
Wandler stellen für Energiesteller große kapazitive
Lasten dar. Zeitverhalten und erreichbarer Arbeits-
frequenzbereich sind daher meist durch die Ener-
giesteller bestimmt. Neuere Verstärkerkonzepte
arbeiten mit Energierückgewinnung und erlauben
damit wandlerseitige Blindleistungen, die wesent-
lich größer als die im Versorgungsnetz spezifizier-
ten Nennleistungen sind.
Anmerkung: Piezoelektrische Wandler weisen eine hohe
Steifigkeit auf. Da sie keine Zugkräfte übertragen können,
müssen sie mechanisch vorgespannt werden. Sie sind deshalb
auch nur für rein translatorische, zentrische Belastungen ge-
eignet. Im dynamischen Betrieb muss die für den Wandler
angegebene maximal zulässige Betriebstemperatur unbedingt
eingehalten werden, gegebenenfalls ist eine Zwangskühlung
erforderlich. Berührungsschutz und Isolierung führen zu ho-
hem Platzbedarf.
6.2.6 Magnetostriktiver Aktor
Bauform
Für aktive Schwingungsisolierungen kommen als
magnetostriktives Material vorwiegend Terbium-
Eisen-Legierungen in Betracht.
Frequenzbereich
hohe und sehr hohe Arbeitsfrequenzen bis zu meh-
reren Kilohertz möglich, meist durch Energiesteller
sowie Induktivität des erforderlichen Magnetsys-
tems begrenzt
Kraft
hohe Wandlerkräfte (F < 104 N je Element)
Schwingweg
Die Dehnungen von rund 1/1000 der Bauhöhe des
aktiven Materials liefern für übliche Materiallän-
gen im Zentimeterbereich Schwingwege von ma-
ximal 100 µm.
Dynamik
hohe Dynamik
Linearität
Terbium-Eisen-Legierungen weisen inhärent eine
Hysterese sowie von der mechanischen Spannung
abhängige elektromechanische Wandlerkenngrö-
ßen auf. Beide Phänomene führen zu unvermeidli-
chen Nichtlinearitäten im dynamischen Betrieb.
Zur Linearisierung kann eine zusätzliche Regelung
eingesetzt werden, die jedoch den Arbeitsfre-
quenzbereich des Aktorgesamtsystems deutlich
– 12 – VDI 2064 Entwurf
unter den Frequenzbereich der Energiesteller/
-wandler-Kombination drückt.
Umgebungseinflüsse
Elektromagnetische Verträglichkeit ist zu prüfen.
Bei Bauformen mit statischer Vormagnetisierung
muss auf eine hinreichende magnetische Schir-
mung geachtet werden.
Hilfsenergie
Wandler stellen für Energiesteller große induktive
Lasten dar. Zeitverhalten und erreichbarer Arbeits-
frequenzbereich sind daher meist durch die Ener-
giesteller bestimmt. Neuere Verstärkerkonzepte
arbeiten mit Energierückgewinnung und erlauben
damit wandlerseitige Blindleistungen, die wesent-
lich größer als die im Versorgungsnetz spezifizier-
ten Nennleistungen sind.
Anmerkung: Magnetostriktive Wandler weisen eine hohe
Steifigkeit auf. Da sie kaum Zugkräfte übertragen können,
empfiehlt sich eine mechanische Vorspannung. Im dynami-
schen Betrieb muss die für den Wandler angegebene maximal
zulässige Betriebstemperatur unbedingt eingehalten werden,
gegebenenfalls ist eine Zwangskühlung erforderlich.
6.3 Sensoren
Als Komponenten für aktive Schwingungsisolie-
rungen werden je nach Aufgabenstellung und ent-
sprechend den benötigten physikalischen Signalen
unterschiedliche Sensoren eingesetzt.
Steuerungsbasierte aktive Schwingungsisolierun-
gen erfordern angepasste Sensoren zur Bereitstel-
lung des Störgrößensignals. Bei der Schwingungs-
isolierung von rotierenden Maschinen können bei-
spielsweise alle Arten von Drehzahlerfassungen
verwendet werden.
Regelungsbasierte aktive Schwingungsisolierungen
wie auch adaptive Systeme erfordern Sensoren zur
Erfassung des Schwingungszustands. Sofern phy-
sikalisch notwendig, werden Kraftsensoren mit der
mechanischen Lagerung in Reihe geschaltet. Meist
finden jedoch Beschleunigungs- oder Schwingge-
schwindigkeitsaufnehmer Verwendung.
Adaptive Systeme können im Einzelfall auch ande-
re Sensoren zur Gewinnung eines Fehlersignals
enthalten, z. B. Mikrofone zur Erfassung des abge-
strahlten Sekundärluftschalls.
Schwingungsaufnehmer für aktive Schwingungs-
isolierungen werden bevorzugt als Beschleuni-
gungsaufnehmer ausgeführt, während Schwingge-
schwindigkeitsaufnehmer nur in Sonderfällen
Verwendung finden.
Allerdings ist bei tiefen Frequenzen zu beachten,
dass selbst bei großen Schwingwegen und
-geschwindigkeiten oft nur geringe Beschleuni-
gungen auftreten, die unter der Rauschgrenze von
Beschleunigungsaufnehmern liegen. Dann muss
eine andere, physikalisch sinnvollere Messgröße
erfasst werden.
Eine besondere Beachtung im Zusammenhang mit
der aktiven Schwingungsisolierung verdienen die
Gruppenlaufzeit bzw. Phasenverschiebung des
Messsignals einschließlich eventuell erforderlicher
Signalkonditionierungen.
Eine Übersicht über Schwingungsaufnehmer findet
sich in VDI 3839 Blatt 1, Abschnitt 2. Die in Ab-
schnitt 5 der genannten Richtlinie gegebenen Hin-
weise sollten auch beim Einsatz in Systemen zur
aktiven Schwingungsisolierung berücksichtigt
werden.
6.4 Signalverarbeitungseinheit
6.4.1 Allgemeines
Elektronische Signalverarbeitungseinheiten können
grundsätzlich sowohl in analoger als auch in digi-
taler Form realisiert werden. Beide Ausführungs-
formen haben für die aktive Schwingungsisolie-
rung Vor- und Nachteile.
6.4.2 Analoge Signalverarbeitungseinheit
Für einfache Regelkreise weisen Analogregler den
entscheidenden Vorteil einer sehr geringen Lauf-
zeit bzw. Phasenverschiebung auf. Damit sind sie
zum Einsatz in breitbandigen Regelkreisen bei
entsprechendem Reglerentwurf gut geeignet.
Analog arbeitende Signalverarbeitungseinheiten
sind in ihrer Komplexität meist eingeschränkt und
weisen nur eine begrenzte Langzeitstabilität auf.
Adaptive Systeme werden praktisch nicht in Ana-
logtechnik gebaut.
Systeme mit mehreren Freiheitsgraden gestalten
sich analog sehr aufwendig, wenn sie nicht auf-
grund der gewählten Sensor- und Aktoranordnung
als entkoppelte Einzelsysteme realisiert werden
können.
6.4.3 Digitale Signalverarbeitungseinheit
Digital arbeitende Signalverarbeitungseinheiten
erlauben eine große Komplexität und bilden damit
beispielsweise die Grundlage für adaptive Syste-
me. Sie erfordern jedoch vor der Analog-Digital-
Wandlung (Eingangsseite) und nach der Digital-
Analog-Wandlung (Ausgangsseite) analoge Tief-
passfilter oder alternativ den Einsatz von Wandlern
mit integrierter Tiefpassfunktionalität (Sigma-
Delta-Wandler). Diese Tiefpassfilter führen zu-
sammen mit der taktweise ablaufenden Verarbei-
tung der Signale zu einer Verlängerung der Signal-
laufzeit, die den Frequenzbereich digital arbeiten-
der Regelkreise nach oben begrenzt.

Auch bei der Betrachtung der zeitlichen Kausalität
für steuerungsbasierte Schwingungsisoliersysteme
ist die Signallaufzeit zu beachten.
7 Hinweise zur Spezifikation aktiver
Schwingungsisolierungen
7.1 Allgemeines
Die Spezifikation und Beschreibung einer aktiven
Schwingungsisolierung erfolgt auf drei Ebenen:
Komponentenebene
Systemebene
Ebene des integrierten Systems
Für den Nutzer ist zunächst die Ebene des inte-
grierten Systems wichtig. Dessen Eigenschaften
hängen sowohl von der aktiven Schwingungsiso-
lierung als auch von der Umgebung ab, in die das
System integriert ist.
Eine Beschreibung auf Systemebene ist unabhän-
gig von der konkreten Umgebung, in der das Sys-
tem genutzt werden soll. Deshalb soll ihr eine ver-
einfachte Anordnung zugrunde gelegt werden, bei
der alle umgebungsbezogenen Angaben weggelas-
sen werden.
Die Eigenschaften auf Systemebene werden wiede-
rum wesentlich von den Eigenschaften auf Kom-
ponentenebene bestimmt. Beiderlei Merkmale
dürfen jedoch nicht verwechselt werden.
Die Komponenten einer aktiven Schwingungsiso-
lierung können innerhalb einer Anlage verteilt
angeordnet sein. Damit können sich für die einzel-
nen Komponenten unterschiedliche Umgebungsan-
forderungen (Temperaturbereiche, Medien usw.)
ergeben. Deshalb müssen diesbezügliche Anforde-
rungen auf Komponentenebene angegeben werden.
Eine aktive Schwingungsisolierung ist meist Teil
einer Maschine und unterliegt somit den Regelun-
gen der Maschinenrichtlinie (98/37/EG und DIN
EN 12100). Auch die Vorschriften zum Schutz von
Menschen sind zu berücksichtigen.
Bezüglich aller grundlegenden Angaben für die
Auswahl wie auch zur Beschreibung einer
Schwingungsisolierung wird auf Abschnitt 6 der
DIN EN 1299 verwiesen. Es wird ausdrücklich
angemerkt, dass sich die hier gegebenen Hinweise
nur ergänzend auf die spezifischen Eigenschaften
einer aktiven Schwingungsisolierung beziehen.
7.2 Komponenten
Alle relevanten Komponenten sind hinsichtlich
ihrer komponentenspezifischen Eigenschaften
vollständig zu beschreiben. Dadurch können
Schwierigkeiten bei der Systemintegration erkannt
und komponentenspezifische Anforderungen ge-
Entwurf VDI 2064 – 13 –
zielt erfüllt werden (beispielsweise ein verteilter
Einbau zum Schutz der Regelungseinheit vor wid-
rigen Umgebungsbedingungen).
Bezüglich der komponentenspezifischen Eigen-
schaften wird auf die einschlägigen Regelwerke
verwiesen.
7.3 Systembetrachtungen
7.3.1 Mechanische Anbindung
Die Beschreibung auf der Systemebene soll unab-
hängig von der Umgebung sein, in der das System
eingesetzt werden soll. Um die Darstellung von
den realen Einbausituationen entsprechend abstra-
hieren zu können, wird daher eine vereinfachte
mechanische Anbindung angenommen:
Bei Quellenisolierung: Beschreibung der Quelle
als Starrkörper der Masse m und Kraftanregung
auf die Schwingungsisolierung, Beschreibung
der empfängerseitigen Struktur als unendlich
steif (unendliche mechanische Impedanz).
Bei Empfängerisolierung: Beschreibung der
quellenseitigen Struktur als Schwinggeschwin-
digkeitsquelle hoher Impedanz, Beschreibung
der empfängerseitigen Struktur als Starrkörper
der Masse m.
Bei der Spezifikation auf Systemebene muss die
verwendete vereinfachte mechanische Anbindung
angegeben werden.
7.3.2 Amplitudenbereich und Dynamik der
Schwingung
Aufgrund ihres konzeptionellen Aufbaus aus Akto-
ren, Sensoren und Signalverarbeitungseinheit stellt
eine aktive Schwingungsisolierung bestenfalls in
einem begrenzten Arbeitsbereich ein lineares Sys-
tem dar. So sind beispielsweise die von den Akto-
ren erzeugbaren mechanischen Feldgrößen be-
schränkt, sodass stärkere Schwingungen nicht
mehr effektiv isoliert werden können. Durch das
Eigenrauschen des Systems und der Komponenten
ist auch die Isolierwirkung bei kleinen Störsignal-
amplituden begrenzt. So kann beispielsweise
unterhalb der Empfindlichkeitsschwelle der Senso-
ren keine aktive Isolierwirkung erzielt werden.
Bei der Systemspezifikation einer aktiven Schwin-
gungsisolierung sind daher die maximale und die
minimale Schwingungsamplitude (gegebenenfalls
als Funktion der Frequenz) anzugeben, für die die
Schwingungsisolierung wirksam ist. Weiterhin ist
der Dynamikbereich, also der Bereich zwischen
der maximalen und der minimalen Schwingungs-
amplitude, für den die aktive Schwingungsisolie-
rung wirksam ist, anzugeben.
– 14 – VDI 2064 Entwurf
Ob als Schwingungsamplitude die Kraftamplitude,
die Schwinggeschwindigkeitsamplitude oder eine
andere geeignete Größe angeben wird, hängt von
den vereinfachten mechanischen Randbedingungen
ab.
Erfolgt die Angabe frequenzabhängig, so ist zu-
sätzlich anzugeben, ob sie sich auf eine einzelne
monofrequente Schwingung oder ein Rauschspek-
trum bezieht. Zusätzlich sollte angegeben werden,
wie die Angabe auf mehrere monofrequente, sto-
chastische oder stoßartige Schwingungen zu bezie-
hen ist.
7.3.3 Zeitverlauf der Schwingung
Ein System zur aktiven Schwingungsisolierung
kann sehr unterschiedlich aufgebaut sein und darü-
ber hinaus auch unterschiedliche Konzepte zur
Regelung oder Steuerung nutzen, die wiederum zu
großen Unterschieden bei der Isolierwirkung füh-
ren können. Bei der konkreten Festlegung auf ein
bestimmtes Regelungs- oder Steuerungskonzept
muss insbesondere das zeitliche Verhalten der
auftretenden Signale berücksichtigt werden. Im
Hinblick auf die Auslegung aktiver Schwin-
gungsisolierungen sind drei charakteristische Zeit-
verläufe zu unterscheiden:
Periodische Schwingungen
Typische Schwingungsquellen, die periodische
Signale erzeugen, sind rotierende Maschinen
wie Verbrennungskraftmaschinen, Kolbenpum-
pen, elektrische Maschinen oder Lüfter. Perio-
dische Schwingungen können durch ihr Ampli-
tudenspektrum dargestellt werden.
Stochastische Schwingungen
Schwingungen, die aus der inkohärenten Über-
lagerung vieler Quellen entstehen, sind typi-
scherweise stochastisch und werden angemes-
sen durch ihre Leistungsdichtespektren be-
schrieben. Zu den stochastischen Schwingun-
gen zählen beispielsweise Gebäudeschwingun-
gen und durch Verkehr erzeugte Schwingungen.
Auch ausgesprochen schmalbandige Signale
sind oft als stochastisch zu betrachten, sofern
sie in Phase und Amplitude (unvorhersehbaren)
Schwankungen unterliegen.
Stoßförmige Schwingungen
Stoßförmige Schwingungen entstehen typi-
scherweise durch impulsartige Quellen. Dazu
gehören Werkzeugmaschinen für stoßförmige
Verformungsprozesse (z. B. Pressen). Auch
Schalt-, Anfahr-, Brems- und Anschlagvorgän-
ge erzeugen stoßförmige Schwingungen. Stoß-
förmige Vorgänge lassen sich angemessen mit
ihrem Zeitsignalverlauf beschreiben.
Bei der Spezifikation eines Systems zur aktiven
Schwingungsisolierung ist unbedingt anzugeben,
auf welche charakteristischen Zeitverläufe der
Schwingung sich die Angabe bezieht. Gegebenen-
falls sind die Angaben für mehrere charakteristi-
sche Zeitverläufe zu kombinieren (z. B. „Isolier-
wirkungsgrad von -30 dB für periodische Schwin-
gung bei der Drehfrequenz von 48 Hz sowie von
-10 dB für stochastische Schwingungen im Fre-
quenzbereich von 1 Hz bis 100 Hz“).
7.3.4 Betrachtung im Zeit- und
Frequenzbereich
Der konkrete Aufbau eines aktiven Schwingungs-
isoliersystems legt den spezifischen Arbeitsfre-
quenzbereich und somit auch das Zeitverhalten für
das jeweilige System fest. Dies ermöglicht in der
Praxis die gezielte Abstimmung eines Systems für
eine gegebene Aufgabenstellung. Allerdings erfor-
dert es auch eine eindeutige Spezifikation der ent-
sprechenden Eigenschaften.
Für Schwingungen, für die eine Frequenzbereichs-
beschreibung angemessen ist (also periodische und
stochastische Schwingungen), ist der Arbeitsfre-
quenzbereich des Systems anzugeben.
Für Schwingungen, für die eine Zeitbereichsbe-
schreibung angemessen ist (also vor allem stoß-
förmige Schwingungen), ist entsprechend das Zeit-
verhalten des Systems anzugeben (z. B. minimale
Laufzeit für Störgrößenaufschaltung, maximale
Steigung der erzeugten Kraft usw.)
Für im Wesentlichen periodische oder stochasti-
sche Schwingungen, die zeitliche Änderungen
ihres Signalverhaltens aufweisen (z. B. bei Ma-
schinendrehzahländerungen), sind Angaben zum
Adaptionsverhalten und zur Folgefähigkeit der
aktiven Schwingungsisolierung zu machen. Dies
gilt insbesondere, wenn adaptive Verfahren zur
Regelung oder Steuerung eingesetzt werden.
7.3.5 Isolierwirkung
Die Isolierwirkung einer Schwingungsisolierung
entspricht dem Betrag der Übertragungsfunktion
zwischen den Schwingungsgrößen der erregenden
und der zu schützenden Struktur. Sie wird in Über-
einstimmung mit DIN 1311-2 durch den dimen-
sionslosen Amplitudenfrequenzgang (f) zwischen
den Schwingungsgrößen der erregenden und der zu
schützenden Struktur oder durch den Isolierwir-
kungsgrad I(f) = 1 – (f) beschrieben.
Da aktive Schwingungsisolierungen häufig mit
passiven Schwingungsisolierungen kombiniert
werden, ist neben der Isolierwirkung der aktiven
Schwingungsisolierung zum Vergleich auch die
Isolierwirkung bei abgeschaltetem aktivem System

anzugeben. Wird ein aktives Schwingungsisolier-
system nur zusammen mit einer bestimmten passi-
ven Schwingungsisolierung angeboten, kann die
Angabe der Isolierwirkung des Gesamtsystems
genügen, sofern darauf gesondert hingewiesen
wird. Die empfängerseitigen Schwingungen beim
Betrieb der aktiven Schwingungsisolierung werden
als Restschwingungen bezeichnet.
Im Bild 6 sind beispielhaft die Kurven der emp-
fängerseitigen Schwingungen ohne und mit aktiver
Schwingungsisolierung dargestellt. Im Frequenz-
bereich bis 500 Hz sind die empfängerseitigen
Schwingungen mit aktiver Schwingungsisolierung
(Restschwingungen) kleiner als die empfängersei-
tigen Schwingungen ohne aktive Schwingungsiso-
lierung. Oberhalb von 500 Hz sind die Rest-
schwingungen wegen des Systemeigenrauschens
und des Phasenfehlers der Regelung jedoch größer
als die empfängerseitigen Schwingungen bei rein
passiver Schwingungsisolierung.
Für aktive Systeme muss das quellenseitige
Schwingungssignal, mit dem die Isolierwirkung
bestimmt wird, in geeigneter Weise eindeutig be-
schrieben werden. Die Art dieser Beschreibung
hängt von dem charakteristischen Zeitverlauf des
Signals (periodisch, stochastisch, stoßartig) ab. Zur
Beschreibung gehört mindestens die Angabe der
Amplitude bzw. des Betragsmaximalwertes.
Wenn ein System zur aktiven Schwingungsisolie-
rung für unterschiedliche charakteristische Zeitver-
Bild 6. Gegenüberstellung der empfängerseitigen Schwingungen ohne und mit (Restschwingungen) aktiver
Schwingungsisolierung
Entwurf VDI 2064 – 15 –
läufe der Signale oder für einen großen Dynamik-
bereich eingesetzt wird, soll die Isolierwirkung für
die verschiedenen Signalarten und -amplituden
bzw. Betragsmaximalwerte separat beschrieben
werden. In jedem Falle ist die Übertragungsfunk-
tion nur für den in Abschnitt 7.3.2 beschriebenen
Amplituden- bzw. Dynamikbereich gültig.
Wird die Isolierwirkung im Frequenzbereich ange-
geben, so soll die Angabe bis zum fünffachen,
muss jedoch mindestens bis zum dreifachen der
Obergrenze des Arbeitsfrequenzbereiches erfolgen.
In der Regel wird die Isolierwirkung als Funktion
der Frequenz angegeben. Insbesondere bei stoß-
förmigen Signalen ist jedoch eine Betrachtung im
Zeitbereich sinnvoller, denn dann lassen sich Re-
aktionszeiten des aktiven Systems sowie Ein-
schwingverhalten und Ausschwingzeiten praxisnah
beurteilen.
Bei adaptiven Systemen sind Angaben zur Isolier-
wirkung nur eingeschränkt möglich, da solche
Systeme zeitvariante Übertragungseigenschaften
besitzen und somit ihr Antwortverhalten stark von
der „Signalvorgeschichte“ beeinflusst ist. In der
Regel wird jedoch ein reproduzierbares Verhalten
nach geeigneter Adaptionszeit erreicht. Daher ist
für adaptive Systeme bei der Angabe der Isolier-
wirkung auch der Adaptionsvorgang (Adaptionssi-
gnal, Dauer and Ablauf der Adaption) zu beschrei-
ben.
– 16 – VDI 2064 Entwurf
7.3.6 Systemeigenrauschen
Im Gegensatz zu passiven Systemen weisen aktive
Systeme zur Schwingungsisolierung immer ein
Systemeigenrauschen auf. Dieses Systemrauschen
ergibt sich aus dem Rauschen der verwendeten
Komponenten und den Übertragungseigenschaften
des Systems. Beide Anteile dürfen nicht verwech-
selt werden und erfordern die Spezifikation des
Eigenrauschens auf Systemebene.
Beispielsweise garantiert ein geringer Eigen-
rauschpegel eines Fehlersensors keinesfalls einen
niedrigen Eigenrauschpegel der aktiven Schwin-
gungsisolierung, da das gemessene Signal ver-
schiedene Übertragungsglieder (z. B. Messverstär-
ker oder Regelungselektronik) durchläuft. Da alle
Komponenten potenzielle Rauschquellen darstel-
len, müssen deren Einflüsse auf das ausgangsseiti-
ge Rauschsignal berücksichtigt werden.
Die Angabe des Systemeigenrauschens erfolgt
über das Leistungsdichtespektrum der mechani-
schen Schwingung für die angegebene mechani-
sche Anbindung. Sie soll sich nicht auf den Ar-
beitsfrequenzbereich beschränken, sondern min-
destens auch den Bereich bis zu dessen zehnfacher
Obergrenze umfassen.
Beinhaltet die aktive Schwingungsisolierung eine
digitale Signalverarbeitungseinheit, so ist die An-
gabe des Systemeigenrauschens mindestens bis zur
Abtastfrequenz der digitalen Signalverarbeitungs-
einheit erforderlich.
Beim Einsatz schaltender Leistungselektronik ist
darüber hinaus der Einfluss der Schaltfrequenzen
auf das Systemeigenrauschen zu betrachten. Auch
der Störeinfluss anderer Hilfsenergien (Druck-
schwankungen in Pneumatiksystemen, Pulsationen
in Hydrauliksystemen usw.) muss gegebenenfalls
untersucht werden.
Hinweise zur Messung des Eigenrauschens finden
sich in Abschnitt 7.5.3.
Das Systemeigenrauschen ist für den Betrieb ohne
quellenseitige Schwingung (Störschwingung) und
für den Betrieb mit einer spezifizierten, anwen-
dungstypischen Störschwingung anzugeben.
7.3.7 Systeme für mehrere Freiheitsgrade
und mehrkanalige Systeme
Für Systeme mit mehreren Freiheitsgraden, etwa
bei der gleichzeitigen Isolierung mehrerer Schwin-
gungsrichtungen, sind alle Spezifikationen getrennt
für jeden Freiheitsgrad anzugeben.
Praktisch werden Systeme für mehrere Freiheits-
grade als mehrkanalige Systeme aufgebaut, wobei
die einzelnen Kanäle im Allgemeinen gekoppelt
sind. Deshalb ist ergänzend zur Spezifikation der
einzelnen Freiheitsgrade bzw. Kanäle auch eine
Beschreibung für den gleichzeitigen Betrieb aller
Kanäle erforderlich, und zwar jeweils durch Anga-
be der empfängerseitigen Schwingungen in allen
Freiheitsgraden für die beiden Fälle, in denen
quellenseitige Schwingungen nur in einem
Freiheitsgrad
quellenseitige Schwingungen mit anwendungs-
typischen Signalen in allen Freiheitsgraden
gegeben sind.
7.4 Integriertes System
7.4.1 Quellenseitige Schwingungen
Wie im Abschnitt 6.3 für die Systemebene detail-
liert dargelegt, ist die Isolierwirkung einer aktiven
Schwingungsisolierung stark von den quellenseiti-
gen Schwingungen abhängig. Daher ist zur Be-
schreibung eines integrierten Systems eine genaue
Beschreibung der zu erwartenden quellenseitigen
Schwingungen erforderlich. Sie umfasst
den charakteristischen Zeitverlauf der Schwin-
gungen (periodisch, stochastisch, stoßartig, ge-
gebenenfalls gemischte Charakteristik),
die jeweiligen Amplituden bzw. Betragsmaxi-
malwerte,
die jeweiligen Charakterisierungen im Fre-
quenz- oder Zeitbereich (Frequenzen, Leis-
tungsdichtespektren, Zeitsignalverläufe) sowie
das Zeitverhalten (stationär, gegebenenfalls
Drehzahlschwankungen usw.).
7.4.2 Empfängerseitige Schwingungen und
Restschwingungen
Die empfängerseitigen Schwingungen ergeben sich
allgemein aus der Summe der über die Schwin-
gungsisolierung übertragenen quellenseitigen
Schwingungen, der über Nebenwege übertragenen
Schwingungen (siehe Abschnitt 6.4.3) und der
empfängerseitig autonom entstehenden Schwin-
gungen.
Letztere entstehen durch weitere, von der zu isolie-
renden Quelle unabhängige Schwingungsquellen
auf der Empfängerseite. Im Fall der Empfängeriso-
lierung einer empfindlichen Maschine können dies
beispielsweise durch die Maschine selbst erzeugte
Schwingungen sein.
Empfängerseitige Schwingungen treten unabhän-
gig davon auf, ob die aktive Funktion der Schwin-
gungsisolierung betrieben wird oder abgeschaltet
ist.
Gemäß Abschnitt 7.3.5 werden die empfängersei-
tigen Schwingungen beim Betrieb der aktiven
Schwingungsisolierung als Restschwingungen

bezeichnet. Diese Restschwingungen ergeben sich
aus der Summe der übertragenen, entsprechend der
Isolierwirkung geminderten quellenseitigen
Schwingungen, der über Nebenwege übertragenen
Schwingungen, der empfängerseitig autonom ent-
stehenden Schwingungen sowie des Systemeigen-
rauschens der aktiven Schwingungsisolierung.
Dabei ist zu beachten, dass die vom aktiven Sys-
tem bewirkte Änderung der mechanischen Anbin-
dung der empfängerseitigen an die quellenseitige
Struktur zu einer Zunahme der über Nebenwege
übertragenen wie auch der empfängerseitig auto-
nom entstehenden Schwingungen führen kann.
Für periodische und stochastische Schwingungen
ist die Beschreibung der Restschwingungen durch
den (gegebenenfalls spektral dargestellten)
Schwinggeschwindigkeitspegel angemessen. Für
stoßförmige Schwingungen kann die Beschreibung
durch den maximalen Betragswert oder den Ab-
klingkoeffizienten angemessen sein.
7.4.3 Wege der Schwingungsausbreitung
Bei der Planung von Schwingungsisolierungen ist
die Bestimmung der Ausbreitungswege der
Schwingungen bzw. der Anregemechanismen der
empfängerseitigen Struktur ein wichtiger Schritt.
Selbst bei idealer Schwingungsisolierung verbleibt
ein Restschwingpegel, der durch die nicht schwin-
gungsisolierten Ausbreitungswege bestimmt ist.
Dabei ist die Unterscheidung zwischen einem
Hauptausbreitungsweg und sogenannten Neben-
wegen üblich. Schwingungsisolierungen werden
vorrangig für den Hauptausbreitungsweg einge-
setzt. Ergänzende Isolierungen für die Nebenwege
werden nur bei Bedarf vorgesehen.
Typische Nebenwege stellen Kabel, Rohrleitungen
(und gegebenenfalls Fluide in Leitungen), Schlauch-
anbindungen oder auch der Luftschall dar.
Häufig wird der Restschwingpegel einer Schwin-
gungsisolierung für den Hauptausbreitungsweg
nicht durch deren begrenzte Isolierwirkung be-
stimmt, sondern durch die Nebenwegübertragung.
Eine weitere Erhöhung der Isolierwirkung führt
dann zu keinem weiteren Absinken des Rest-
schwingpegels.
Diese Zusammenhänge müssen bei der Spezifika-
tion eines integrierten aktiven Schwingungsiso-
liersystems unbedingt beachtet werden. Dies gilt
insbesondere, wenn eine passive durch eine zusätz-
liche aktive Schwingungsisolierung verbessert
werden soll. Dann muss sorgfältig geprüft werden,
welche Reduktion des Restschwingpegels ange-
sichts der vorliegenden Nebenwegausbreitung
überhaupt erreicht werden kann.
Entwurf VDI 2064 – 17 –
7.4.4 Mechanische Anbindung
Während bei der Betrachtung einer Schwingungs-
isolierung auf Systemebene von einer idealen me-
chanischen Anbindung ausgegangen wird, sind für
das integrierte System die realen Bedingungen der
mechanischen Anbindung maßgebend. Sowohl die
quellenseitige als auch die empfängerseitige me-
chanische Anbindung ist von großem Einfluss auf
die real erzielbare Isolierwirkung.
Die mechanische Anbindung kann allgemein als
komplexe, frequenzabhängige mechanische Impe-
danz oder anschaulicher durch die wirksamen
Massen mit ihren Schwerpunktslagen, durch Starr-
körpereigenmoden und durch elastische Moden
beschrieben werden.
Der Einfluss der realen mechanischen Anbindung
einer Schwingungsisolierung besteht unabhängig
davon, ob es sich um eine passive oder aktive
Schwingungsisolierung handelt. DIN EN 1299
beschreibt am Beispiel der Quellenisolierung aus-
führlich die zur Auslegung einer Schwingungsiso-
lierung erforderlichen Angaben und gibt einen
Leitfaden für die Nachprüfung der Wirksamkeit
der Isolierung. Beides kann bezüglich der allge-
meinen dynamischen Eigenschaften auf aktive
Schwingungsisolierungen übertragen werden und
gilt sinngemäß auch für Empfängerisolierungen.
7.4.5 Festlegung von Isolierwirkung bzw.
Restschwingungen zwischen System-
lieferant und Nutzer
Für den Nutzer einer Schwingungsisolierung sind
sowohl bei der Quellen- als auch bei der Empfän-
gerisolierung meist die Restschwingungen nach
Einbau und Inbetriebnahme der Schwingungsiso-
lierung die relevante Größe, die Isolierwirkung
spielt hingegen aus Nutzersicht eine untergeordne-
te Rolle.
Für den Anbieter einer Schwingungsisolierung ist
die Angabe von anwendungsabhängigen Rest-
schwingungen wesentlich schwieriger als die An-
gabe der Isolierwirkung des Systems. Wie in den
vorangehenden Abschnitten dargestellt, ist die
Isolierwirkung in einer konkreten Einbausituation
jedoch häufig nicht sicher messbar.
Vor diesem Hintergrund bleiben bei der Auslegung
und Spezifikation von aktiven Schwingungsiso-
lierungen zwei Alternativen:
Der Systemanbieter spezifiziert sein System auf
Systemebene wie in Abschnitt 6.3 beschrieben
ausführlich und der Nutzeranwendung entspre-
chend, der Nutzer wählt auf der Grundlage ei-
ner solchen Spezifikation und in Kenntnis der
Integrationssituation eigenverantwortlich ein
System aus. In diesem Fall trägt der Anbieter
– 18 – VDI 2064 Entwurf
die Last einer detaillierten Spezifikation des
Systems und der Nutzer die Verantwortung für
die Integration.
Systemanbieter und Nutzer verständigen sich
auf die Anwendung des in DIN EN 1299 be-
schriebenen Verfahrens, in dem der Nutzer dem
Systemanbieter detaillierte Informationen über
die Integrationsumgebung zugänglich macht
und der Systemanbieter dafür die verbleibenden
Restschwingpegel garantiert. In diesem Fall
trägt der Nutzer die Last der detaillierten In-
formation und Spezifikation der Einsatzbedin-
gungen, der Systemanbieter dagegen die Ver-
antwortung für die Einhaltung des Rest-
schwingpegels.
7.5 Hinweise zu Messmethoden
7.5.1 Isolierwirkung
Für die Beurteilung von aktiven Schwingungsiso-
lierungen ist es sinnvoll, gleichzeitig sowohl
quellenseitige als auch empfängerseitige Schwin-
gungen zu erfassen. Durch Bildung des Betrags der
Übertragungsfunktion der Schwingungen kann die
Isolierwirkung ermittelt werden. Gleichzeitig ist
die Kohärenzfunktion als Maß für die Messunsi-
cherheit anzugeben.
Bei mehrachsigen Systemen ist bei der Bildung des
Amplitudenverhältnisses eine saubere Trennung
der Freiheitsgrade von großer Bedeutung. So darf
beispielsweise die Beurteilung der Isolierwirkung
in vertikaler Richtung nicht durch Signalanteile aus
Rotations- oder Horizontalbewegungen beeinflusst
werden.
Praktisch kann die Trennung der Freiheitsgrade für
Empfängerisolierungen durch die Nutzung von
Schwingtischen zur räumlich definierten Anregung
erreicht werden. Diese Messung kann jedoch nur
auf Systemebene korrekte Angaben erzeugen.
Im integrierten System sind Messungen oft nur mit
großen Einschränkungen zu realisieren.
7.5.2 Restschwingungen
Die Messmethode für die Restschwingungen defi-
niert sich aus der Anwendung.
Es ist darauf zu achten, dass das Zeitintervall der
Messung für die Art der auftretenden Schwingun-
gen hinreichend repräsentativ ist.
Für den Fall, dass ein hinreichend repräsentatives
Zeitintervall aufgrund des stochastischen Auftre-
tens der relevanten Schwingung (Schwingung tritt
nur mit großen Zeitabständen und in unregelmäßi-
gen Zeitintervallen auf) nicht definiert werden
kann, wird ersatzweise eine künstliche Anregungs-
quelle verwendet. Die Ersatzanregungsquelle sollte
in ihrer Charakteristik (Zeitcharakteristik des Si-
gnals, Amplitude, Frequenz usw.) möglichst an die
nachzubildende Schwingung angelehnt sein.
Werden Restschwingungen über den Arbeitsfre-
quenzbereich einer aktiven Schwingungsisolierung
hinaus gemessen, so ist zu berücksichtigen, dass
die Anzahl der relevanten dynamischen Freiheits-
grade des empfängerseitigen Systems in der Regel
höher sein wird als die Anzahl der Freiheitsgrade
der aktiven Schwingungsisolierung. Daher sind die
empfängerseitigen Schwingungen nach Möglich-
keit in allen im Frequenzbereich relevanten Frei-
heitsgraden getrennt zu messen, zumindest aber
Sensorpositionen und -ausrichtungen für Ver-
gleichszwecke genau zu dokumentieren.
7.5.3 Systemeigenrauschen
Das Systemeigenrauschen einer aktiven Schwin-
gungsisolierung ist einer direkten Messung in der
Regel nicht zugänglich.
Eine korrelationsbasierte Trennung der Rest-
schwingungen in einen übertragenen und einen als
Systemeigenrauschen interpretierbaren Anteil ist
aufgrund der Übertragung des Systemeigenrau-
schens auf die messbaren quellenseitigen Schwin-
gungen nicht möglich.
Eine Methode zur Ermittlung des Systemeigenrau-
schens mit vertretbarem Aufwand ergibt sich aus
dem Vergleich der gemessenen Isolierwirkung
einer aktiven Schwingungsisolierung bei verschie-
denen quellenseitigen Schwingungsamplituden
(Messungen A und B). Die Methode geht davon
aus, dass sich das gesamte elektromechanische
System linear verhält, das Systemeigenrauschen
für verschiedene Signalpegel gleich ist und dass
autonome empfängerseitige Schwingungen gegen-
über dem Systemeigenrauschen vernachlässigbar
sind.
In diesem Fall gilt für die bei den beiden Messun-
gen erhaltenen Amplitudenspektren im Frequenz-
bereich:
U 2A ( f ) # H ( f ) " U1A ( f ) ! R( f ) (3)
und
U 2B ( f ) # H ( f ) " U1B ( f ) ! R( f ) (4)
Dabei ist
H(f) Betrag der frequenzabhängigen Übertra-
gungsfunktion der aktiven Schwingungs-
isolierung
U1A(f); U1B(f)
Amplitudenspektren der Schwingungen
u1A und u1B der erregenden Struktur bei
den Messungen A und B

U2A(f); U2B(f)
Amplitudenspektren der Schwingungen
u2A und u2B der erregenden Struktur bei
den Messungen A und B
R(f) Amplitudenspektrum der Messgröße des
Systemeigenrauschens
Alle Signale und Größen sind abhängig von der
Frequenz.
Für R gilt dann
U 2A ! U 2B
R " U 2A ! U1A (5)
U1A ! U1B
Bild 7a zeigt beispielhaft die mit unterschiedli-
chen Anregungssignalen gemessene Isolierwirkung
über der Frequenz. Bild 7b zeigt die Leistungs-
dichtespektren GuxAuxA, GuxBuxB, GuyAuyA, und GuyBuyB
sowohl der quellenseitigen (uxA und uxB) als auch
der empfängerseitigen (uyB und uyB) Schwingungen
sowie das Leistungsdichtespektrum Grr des gemäß
Gleichung (4) berechneten Systemeigenrauschens r.
In der Praxis wird eine Messung mit minimal mög-
licher Anregungsamplitude und eine zweite Mes-
sung mit maximal möglicher Anregungsamplitude
durchgeführt, um im Nenner von Gleichung (4)
eine möglichst große Zahl zu erhalten und damit
die Messunsicherheit für das Systemeigenrauschen
klein zu halten. Zusätzlich empfiehlt es sich, die
Wirkung der aktiven Schwingungsisolierung durch
ein monofrequentes Testsignal sicherzustellen, das
bei der Bewertung des Systemeigenrauschens ig-
noriert wird.
Zur Beschreibung des Systemeigenrauschens bietet
sich oberhalb des Arbeitsfrequenzbereichs alterna-
tiv ein vereinfachtes Verfahren an, bei dem die
empfängerseitigen Schwingungen (bei abgeschal-
teter aktiver Funktion der Schwingungsisolierung)
mit den Restschwingungen verglichen werden. Da
hier die Isolierwirkung der passiven – und damit
rauschfreien – Komponente mit der Isolierwirkung
der vollständigen – passiven und aktiven – Isolie-
rung verglichen wird, stellt eine messbare Ver-
schlechterung der Isolierwirkung außerhalb des
Arbeitsfrequenzbereiches der aktiven Schwin-
gungsisolierung eine Abschätzung für das System-
eigenrauschen für diese Frequenzen dar. Für viele
praktische Zwecke ist dies ausreichend.
Bei beiden Messmethoden sollten autonome emp-
fängerseitige Schwingungen sowie Nebenwege
Entwurf VDI 2064 – 19 –
nach Möglichkeit vermieden werden. Weiterhin ist
ergänzend zu der im vorherigen Abschnitt genann-
ten Messung der Restschwingung der betrachtete
Frequenzbereich mindestens auf das Zehnfache des
Arbeitsfrequenzbereichs auszudehnen.
Messungen zum Systemeigenrauschen sind sowohl
unter Laborbedingungen auf Systemebene als auch
bei integrierten Systemen durchführbar.
Mit diesen Messungen wird das Verhalten des
dynamischen Systems insgesamt erfasst. Die Inter-
pretation der Messergebnisse erfordert daher eine
genaue Kenntnis der dynamischen Eigenschaften
der beteiligten Systeme, der Messorte und
-richtungen, der quellenseitigen Schwingungen
sowie des Aufbaus und der Funktionsweise der
aktiven Schwingungsisolierung.
10
0
-10
20log # in dB
-20
-30 Anregung A
-40
Anregung B
-50
0,1 1 10 100
Frequenz f in Hz
Bild 7a. Beispiel einer Isolierwirkung, gemessen
mit zwei unterschiedlichen Anregungssignalen A
und B
Bild 7b. Spektrale Leistungsdichte der quellensei-
tigen und empfängerseitigen Schwingungssignale
bei verschiedenen Anregungen A und B sowie des
daraus ermittelten Systemeigenrauschens
– 20 – VDI 2064 Entwurf
Anhang Technische Realisierungen und
Anwendungsbeispiele
A1 Anwendungsbeispiel 1
Aktives Schwingungsisoliersystem als
Laborarbeitsplatz
Der vorgestellte Laborarbeitsplatz ist ein aktiv
schwingungsisolierter Labortisch, der schwin-
gungsempfindliche Versuchsaufbauten und Mess-
apparaturen isoliert.
Im Einzelnen besteht dieser Arbeitsplatz aus einem
geschweißten Stahlgestell, zwei Isoliereinheiten
und einer Stahlwabenkernplatte. Die Isoliereinhei-
ten stützen sich auf dem Gestell ab und tragen
ihrerseits über Stahlfedern die Platte. Der experi-
mentelle Aufbau ist, wie in Bild A1b dargestellt,
auf dieser Platte montiert. Die Funktion des
Schwingungsisoliersystems ist weitgehend vom
Aufbau unabhängig, da die Stahlwabenkernplatte
und der Aufbau im interessierenden Frequenzbe-
reich als ein einziger Starrkörper betrachtet werden
können.
a)
b)
c)
Bild A1. Aktiv schwingungsisolierter Versuchsauf-
bau mit Lichtmikroskop und angebauten Mikroma-
nipulatoren
a) Skizze vom Gestell mit Federn und Wirkungslinien
b) Foto vom Versuchsaufbau
c) Skizze von Sensor, Aktor und Regelung
In die Isoliereinheiten sind Sensoren und Aktoren
zur aktiven Schwingungsisolierung eingebaut. Die
Sensoren und Aktoren sind, wie in Bild A1a
skizziert, paarweise koaxial angeordnet. Der Sen-
sor ist fest mit der isolierten Platte verbunden und
als Beschleunigungsaufnehmer mit einer Träg-
heitsmasse m und einer Piezo-Scheibe ausgebildet.
Die von dieser Scheibe generierte elektrische La-
dung ist proportional der Beschleunigung der iso-
lierten Platte. Eine analoge elektronische Schaltung
verstärkt die Ladung und führt eine Zeitintegration
aus, womit das resultierende Signal proportional
zur absoluten Geschwindigkeit der isolierten Platte
ist. Die Resonanz der Sensoren bei ca. 300 Hz wird
mit einer Bandsperre unterdrückt. Ab ca. 100 Hz
leistet die passive Feder-Masse-Anordnung den
wesentlichen Beitrag zur Isolierung. Nach einer
amplitudenabhängigen Verstärkung werden die
Sensorsignale phasengedreht über eine Pulsweiten-
modulierte Endstufe (PWM) den elektrodynami-
schen Aktoren zugeführt. Die Taktfrequenz der
PWM-Endstufe liegt mit 120 kHz sowohl weit
oberhalb der Eigenfrequenzen der Starrkörpermo-
den als auch der ersten elastischen Mode des Ge-
stells und der Stahlwabenkernplatte. Der Einfluss
höherer Moden der Stahlwabenkernplatte wird
durch die Verwendung visko-elastischer Dämp-
fungsbeläge reduziert. Die Aktoren bauen über die
stromdurchflossene Spule im Magnetfeld eine
Kraft in Richtung der Wirkungslinien auf (siehe
Bild A1c), welche über einen Stößel an das Ge-
stell weitergegeben wird und somit der Bewegung
der isolierten Platte entgegenwirkt.
In jeder der oben genannten Isoliereinheiten sind
vier Sensor/Aktor-Paare eingebaut, sodass jeweils
zwei Paare in vertikaler Richtung und die beiden
anderen Paare in horizontaler Richtung wirken.
Mit dieser Konfiguration können die sechs Starr-
körper-Freiheitsgrade der isolierten Platte aktiv
isoliert werden.
Der Nachweis der Isolierwirkung des Systems
erfolgt durch die Bestimmung des Amplitudenfre-
quenzgangs (f). Hierzu wird das System unter
Laborbedingungen auf einem Schwingtisch aufge-
stellt. Der Schwingtisch ermöglicht die Beauf-
schlagung des aktiven Schwingungsisoliersystems
mit einem definierten Anregungssignal in einem
festgelegten Freiheitsgrad. In Bild A2a ist der
Amplitudenfrequenzgang (f) für die vertikale und
horizontale Richtung bei einer harmonischen An-
regung mit konstanter Schwinggeschwindigkeits-
amplitude von 100 µm/s dargestellt, wobei die
Anregungsfrequenz als Gleitsinus variiert wurde.
Die Kurven zeigen im Frequenzbereich zwischen

1 Hz und 10 Hz eine Abnahme des Amplitudenfre-
quenzgangs um nahezu 40 dB.
Aufgrund der Bedienung der experimentellen La-
boraufbauten werden zeitweise Kraftstöße (Impul-
se) auf die schwingungsisolierte Platte ausgeübt.
Aus diesem Grund ist die Ausschwingzeit des
Schwingungsisoliersystems von Bedeutung. In
Bild A2b ist das Ausschwingverhalten im Ver-
gleich zwischen passiver und aktiver Schwin-
gungsisolierung infolge eines Kraftstoßes von 1 N
skizziert. Die Kurven zeigen eine Verkürzung der
Ausschwingzeit sowie eine Reduzierung der ma-
ximalen Schwinggeschwindigkeitsamplitude durch
die aktive Schwingungsisolierung.
Bild A2a. Gemessene Amplitudenfrequenzgänge
des aktiv isolierten Schwingtischs
Bild A2b. Ausschwingverhalten der schwingungs-
isolierten Platte bei Impulsanregung
Der Funktionsnachweis der Schwingungsisolie-
rung wird durch die Messung der Schwingge-
schwindigkeit am Aufstellort und der verbleiben-
den Restschwingung auf der isolierten Platte er-
bracht. Da das aktive Isoliersystem nur in Kombi-
nation mit festgelegten passiven Federelementen
angeboten wird, genügt die Messung der Isolier-
wirkung des Gesamtsystems. Die entsprechenden
Kurven für die vertikale Richtung sind in Bild A3
Entwurf VDI 2064 – 21 –
zu sehen. Aus ihnen kann abgelesen werden, dass
die Isolierwirkung in den Schwingungsmaxima bei
14 Hz und 21 Hz besonders groß ist.
Bild A3. Gemessene Schwinggeschwindigkeit am
Aufstellort
A2 Anwendungsbeispiel 2
Integrierte aktive Schwingungsisolierung bei
einem Rasterelektronenmikroskop
In der Regel werden Rasterelektronenmikroskope
mit hochwertigen passiven Schwingungsisolierun-
gen mit Schraubendruckfedern oder Luftfedern
ausgerüstet. Wenn jedoch die Anforderungen an
die Bodenschwingungspegel an einem gewünsch-
ten Aufstellort nicht erfüllt werden können, kom-
men auch aktive Schwingungsisolierungen anstelle
der integrierten passiven Schwingungsisolierung
oder als Zusatzmaßnahme zum Einsatz. Modernste
Rasterelektronenmikroskope mit höchster Auflö-
sung können oftmals selbst in der Standardausfüh-
rung nicht mehr auf eine aktive Schwingungsiso-
lierung verzichten, damit die Ansprüche an die
Bodenschwingungsfreiheit am Aufstellort nicht zu
hoch werden. Das Beispiel zeigt eine Lösung für
eine integrierte aktive Schwingungsisolierung in
einem hochwertigen Rasterelektronenmikroskop.
Die Schwingungsisolierung ist für den Frequenz-
bereich bis 100 Hz und für Bodenschwingungen
im seismischen Bereich (typisch zwischen 2 Hz
und 30 Hz) mit Schwinggeschwindigkeitseffektiv-
werten von 1 µm/s bis 30 µm/s ausgelegt. Damit
ist das Mikroskop auch in normaler Laborumge-
bung in der Lage, Bilder mit einer besseren Auflö-
sung als 1 nm bei bis zu 650.000-facher Vergröße-
rung zu liefern.
– 22 – VDI 2064 Entwurf

u2 Die aktive Schwingungsisolierung besteht insge-

samt aus vier Schwingungsisolatoren und einem
Steuergerät. Jeder Isolator (Bild A6) besteht aus
einer Bodenplatte (1) zur mechanischen Anbin-
dung an den Tragrahmen des Mikroskops, einer
Kopfplatte (2) zur mechanischen Anbindung an
den isolierten Mikroskopkörper, einer Schrauben-
druckfeder mit Aufnahme zur Einstellung der Ar-
F beitshöhe (3) und zwei Linearkraftantrieben für die
R u1 vertikale (4) und horizontale Richtung (5). In der
Kopfplatte (2) sind je ein elektrodynamischer
Schwinggeschwindigkeitsaufnehmer für horizonta-
le und vertikale Schwingungen integriert. Die Wir-
Bild A4. Vereinfachte Darstellung für ein System krichtung der Antriebe und der jeweils zugeordne-
mit einem Freiheitsgrad ten Schwingungsaufnehmer ist durch graue Pfeile
markiert, wobei Pfeil (6) die vertikale und Pfeil (7)
Im vorgestellten Beispiel wird ein Rückkopplungs- die horizontale Richtung der jeweiligen Messgröße
regler mit einer Störgrößenaufschaltung kombiniert und Kraftquelle bezeichnet.
(Bild A4). Sowohl die Restschwingungssignale u2
Die vier Isolatoren werden um jeweils 90° zuei-
auf der empfängerseitigen Struktur als auch die
nander gedreht in den vier Ecken des Tragrahmens
Bodenschwingungssignale u1 werden einem Regler
eingebaut (Bild A7), sodass die Antriebe und
R zugeführt. Die im Regler berechneten Kompen-
Schwingungsaufnehmer von je zwei diagonal
sationskräfte F werden mit Hilfe von elektrodyna-
gegenüberliegenden Isolatoren in eine der beiden
mischen Linearaktoren aufgebracht. In Bild A5 ist
horizontalen Raumrichtungen zeigen. In Bild A7
die Struktur des Reglers dargestellt, der die Rest-
sind aus Gründen der Übersichtlichkeit nur die
schwingungssignale u2 im Rückkopplungsregler
Wirkrichtungen der Linearantriebe dargestellt. Auf
und die Bodenschwingungssignale u1 in der Stör-
den oberen Querträgern des Tragrahmens sind drei
größenaufschaltung verarbeitet. Die Parameter der
Schwingungsaufnehmer für die Störgrößenauf-
Störgrößenaufschaltung werden so optimiert, dass
schaltung angebracht.
die Restschwingungssignale u2 minimal werden.
In Bild 16 ist die aktive Schwingungsisolierung
Die aktive Schwingungsisolierung schließt alle
integriert im Mikroskop dargestellt. Die konstruk-
sechs Starrkörperfreiheitsgrade des Mikroskops
tive Ausführung der Schwingungsisolatoren (1)
ein. Es werden die quellenseitigen Bodenschwin-
und (2) erklärt sich aus den räumlichen Gegeben-
gungen u1 in drei Freiheitsgraden – zwei horizonta-
heiten im Tragrahmen. Jeder der vier Schwin-
le und eine vertikale Raumachse – und die emp-
gungsisolatoren wird durch zwei Leitungen für
fängerseitigen Restschwingungen u2 in sechs Frei-
Aufnehmersignale und Antriebssignale mit dem
heitsgraden erfasst. Dazu werden einkanalige
Steuergerät (3) verbunden. Im Steuergerät findet
Schwinggeschwindigkeitsaufnehmer eingesetzt,
die für die Regelung notwendige analoge und digi-
die verteilt an drei der vier Isolatoren angebracht
tale Signalverarbeitung statt. Im hier dargestellten
sind. Aus den sechs einachsigen Restschwingungs-
Versuchsaufbau ist das Steuergerät auf dem Tisch
signalen werden mittels einer Transformation die
erkennbar. In der Serienversion ist das Steuergerät
Komponenten der Restschwingungen in einem
ebenfalls in den Tragrahmen integriert.
gemeinsamen Koordinatensystem mit sechs Frei-
heitsgraden ermittelt. Eine optimale Wirkung der aktiven Schwingungs-
isolierung konnte nur nach Analyse der dynami-
Die im Regler aus den Boden- und Restschwin-
schen Eigenschaften des Tragrahmens und des
gungssignalen getrennt ermittelten Kompensa-
eigentlichen Mikroskopkörpers als der empfänger-
tionssignale werden überlagert und dann mittels
seitigen Struktur erzielt werden. Die jeweiligen
einer weiteren Transformation in acht Signale zur
Strukturresonanzen, die bei der Reglerauslegung
Ansteuerung der acht Kraftaktoren überführt. Die-
berücksichtigt wurden, können für den Tragrahmen
se Kompensationssignale werden den Aktoren, die
Bild 17 a) (55 Hz, 70 Hz und 180 Hz) und für den
an den vier Isolatoren verteilt angebracht sind,
Mikroskopkörper Bild 17 b) (110 Hz und 285 Hz)
zugeführt und dort in Kompensationskräfte ge-
entnommen werden.
wandelt (Bild A6).
 Entwurf VDI 2064 – 23 –

u1
Störüber- + u2
Störgrößen- tragungs-
aufschaltung verhalten
+
- +
Rück- F
Sollwert 0 kopplungs- Regelstrecke
+ regler +

Bild A5. Reglerstruktur mit Rückkopplungsregler und Störgrößenaufschaltung

3 FG 6 FG
u1

6 FG Trans-
Regler
formation F

6 FG Trans- 6 FG 6 FG
u2
formation
8 Kraft-
aktoren

Bild A6. Realisierung der aktiven Schwingungsisolierung mit Angabe der Anzahl der Freiheitsgrade (FG)

Bild A7. Anordnung von vier Schwingungsisolatoren und Aufnehmern für Bodenschwingungen zur aktiven
Schwingungsisolierung
– 24 – VDI 2064 Entwurf

F1z

F1v 2
7
3

5
4
Bild A8. Aufbau z. B. des Schwingungsisolators 1
1 Kopfplatte 4 Schraubendruckfeder
2 horizontale Richtung der Messgröße und Kraft- 5 Bodenplatte
quelle 6 Linearaktor – vertikale Wirkrichtung (F1z)
3 vertikale Richtung der Messgröße und Kraftquelle 7 Linearaktor – horizontale Wirkrichtung (F1y)

Bild A9. Aktive Schwingungsisolierung, integriert in ein Rasterelektronenmikroskop

1 Schwingungsisolator 2
2 Schwingungsisolator 1
3 Steuergerät
 Entwurf VDI 2064 – 25 –

20log ! in dB

Frequenz f in Hz
a) b)
Bild A10. a) Typischer Amplitudenfrequenzgang des Tragrahmens b) Typischer Amplitudenfrequenzgang
des Mikroskopkörpers
Bild A11 zeigt die Beiträge der passiven Stahlfe- Verbesserung der Isolierwirkung gegenüber der
derisolierung, des Rückkopplungsreglers und des passiven Luftfederisolierung. Diese Messergebnis-
Rückkopplungsreglers mit Störgrößenaufschaltung se beschränken sich aus Platzgründen auf die ver-
zur Gesamtisolierwirkung. Bild A12 zeigt die tikale Richtung.

20 log

Bild A11. Wirkung der Schwingungsisolierung (Amplitudenfrequenzgang und Kohärenzfunktion)

Kurve 1: ohne aktive Schwingungsisolierung – nur passive Schwingungsisolierung
Kurve 2: aktive Schwingungsisolierung mit Rückkopplungsregler
Kurve 3: aktive Schwingungsisolierung mit Rückkopplungsregler und Störgrößenaufschaltung

20 log

Bild A12. Vergleich der Schwingungsisolierwirkung in vertikaler Richtung mit und ohne aktive Schwingungs-
isolierung
Kurve 1: mit aktiver und passiver Schwingungsisolierung
Kurve 2: ohne aktive (nur mit passiver) Schwingungsisolierung
– 26 – VDI 2064 Entwurf

Schrifttum Literatur
Gesetze, Verordnungen, Verwaltungsvorschriften Bibliografien
Richtlinie 98/37/EG des Europäischen Parlaments und des Guicking's Online Reference Bibliography on Active Control
Rates vom 22. Juni 1998 zur Angleichung der Rechts- und of Sound and Vibration. 4th edition on CD ROM (mit Bear-
Verwaltungsvorschriften der Mitgliedstaaten für Maschinen. beitungsprogramm GORBI 1.1), January 2003.
ABl EG, 1998, Nr. L 207, S. 1–46 Guicking, D.: Patents on Active Control of Sound and Vibra-
tion – an Overview. 2nd edition, 2005, 125 pp.
Technische Regeln
DIN 1311-1:2000-02 Schwingungen und schwingungsfähige Lehrbücher
Systeme; Teil 1: Grundbegriffe, Einteilung ((Mechanical)
Fuller, C.R.; Elliott, S.J.; Nelson, P.A.: Active Control of
vibrations, oscillation and vibration systems; Part 1: Basic
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concepts, survey). Berlin: Beuth Verlag
269440-6
DIN 1311-2:2002-08 Schwingungen und schwingungsfähige
Meirovitch, L.: Dynamics and Control of Structures. New
Systeme; Teil 2: Lineare, zeitinvariante schwingungsfähige
York: John Wiley & Sons, 1990, ISBN 0-471-62858-1
Systeme mit einem Freiheitsgrad ((Mechanical) vibrations,
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