Sie sind auf Seite 1von 26

ICS 17.

160 VDI-RICHTLINIEN Januar 2008

VEREIN VDI 2064


DEUTSCHER Aktive Schwingungsisolierung
INGENIEURE
Entwurf

Active vibration isolation Einsprüche bis 2008-06-30


vorzugsweise in Tabellenform als Datei per E-Mail an
ekv@vdi.de
Die Vorlage dieser Tabelle kann abgerufen werden unter
http://www.vdi-richtlinien.de/einsprueche
in Papierform an
VDI-Gesellschaft Entwicklung Konstruktion Vertrieb
Postfach 10 11 39
40002 Düsseldorf

Inhalt Seite
Vorbemerkung .................................................................................................2
Einleitung.........................................................................................................2
1 Anwendungsbereich ................................................................................2
2 Normative Verweise ..................................................................................2
3 Formelzeichen ...........................................................................................3
4 Bezeichnungen .........................................................................................3
4.1 Schwingungsisolierung ......................................................................3
4.2 Systemkomponenten..........................................................................4
5 Konzepte und Aufgaben der aktiven Schwingungsisolierung .............5
5.1 Anwendungsbereiche der aktiven Schwingungsisolierung................5
5.2 Strukturdynamische Wirkungsprinzipien der aktiven
Schwingungsisolierung ......................................................................5
5.3 Systemtheoretische Realisierungen der aktiven
Schwingungsisolierung für einen Freiheitsgrad.................................6
5.4 Aktive Schwingungsisolierung für mehrere Freiheitsgrade..............9
6 Kenngrößen der Komponenten aktiver Schwingungsisolierungen .....9
6.1 Allgemeines .......................................................................................9
6.2 Aktoren ..............................................................................................9
6.3 Sensoren...........................................................................................12
6.4 Signalverarbeitungseinheit...............................................................12
7 Hinweise zur Spezifikation aktiver Schwingungsisolierungen ...........13
7.1 Allgemeines .....................................................................................13
7.2 Komponenten...................................................................................13
7.3 Systembetrachtungen .......................................................................13
7.4 Integriertes System ..........................................................................16
7.5 Hinweise zu Messmethoden ............................................................18
Anhang Technische Realisierungen und Anwendungsbeispiele .20
A1 Anwendungsbeispiel 1 .....................................................................20
A2 Anwendungsbeispiel 2 .....................................................................21
Schrifttum ......................................................................................................26

VDI-Gesellschaft Entwicklung Konstruktion Vertrieb


Arbeitsgruppe aktive Schwingungsisolierung
Ausschuss Tilger, Dämpfer und Schwingungsisolierelemente

VDI-Handbuch Schwingungstechnik
–2– VDI 2064 Entwurf

Vorbemerkung Einflussgrößen geben. Zur Erleichterung des In-


Der Inhalt dieser Richtlinie ist entstanden unter formationsaustausches definiert sie neben Begrif-
Beachtung der Vorgaben und Empfehlungen der fen auch Mess- und Prüfverfahren sowie erforder-
Richtlinie VDI 1000. liche Angaben zur Spezifikation aktiver Schwin-
gungsisolierungen und ihrer Komponenten.

1 Anwendungsbereich
Die vorliegende Richtlinie ist auf aktive Schwin-
gungsisolierungen anzuwenden. Sie gilt nicht für
passive oder semiaktive Schwingungsisolierungen.
Elemente der aktiven Schwingungsisolierung kön-
nen für spezielle Aufgaben die bekannten passiven
Allen, die ehrenamtlich an der Erarbeitung dieser Elemente zur Schwingungsisolierung ergänzen.
VDI-Richtlinie mitgewirkt haben, sei gedankt. Ein Schwingungsisolierungssystem mit aktiver
Schwingungsisolierung enthält daher in der Regel
auch passiv wirkende Komponenten. Entsprechend
Einleitung
beschreibt DIN EN 1299 die erforderlichen Min-
Durch die Schwingungsisolierung soll entweder destangaben für die Auswahl einer Schwingungs-
eine Übertragung periodischer, stoßförmiger oder isolierung (Abschnitt 6) und den grundsätzlichen
stochastischer Kräfte von einer Schwingungsquelle Leitfaden für die Nachprüfung der Wirksamkeit
(beispielsweise einer Maschine) in angrenzende der Isolierung (Abschnitt 7). Die vorliegende
Strukturen vermindert werden (Quellenisolierung, Richtlinie ergänzt den in der genannten DIN
Schutz gegen Schwingungsemissionen), oder es EN 1299 gegebenen Leitfaden bezüglich spezifi-
sollen Menschen und empfindliche Maschinen, scher Anforderungen für aktive Schwingungsiso-
Geräte oder Gebäude vor Schwingungen aus der lierungen.
Umgebung geschützt werden (Empfängerisolie-
rung, Schutz vor Schwingungsimmissionen). Beide 2 Normative Verweise
Aufgabenstellungen können durch den Einsatz von
Die folgenden zitierten Dokumente sind für die
Schwingungsisolierungen gelöst werden. Auf diese
Anwendung dieser Richtlinie erforderlich:
Weise entsteht ein System, dessen dynamisches
Verhalten von den Eigenschaften der Schwin- Richtlinie 98/37/EG des Europäischen Parlaments
gungsquelle, den dynamischen Eigenschaften der und des Rates vom 22. Juni 1998 zur Anglei-
quellen- und empfängerseitigen Strukturen und den chung der Rechts- und Verwaltungsvorschriften
Eigenschaften der Elemente der Schwingungsiso- der Mitgliedstaaten für Maschinen, ABl EG,
lierung entscheidend beeinflusst wird. Die optima- 1998, Nr. L 207, S. 1–46
le Auslegung des Systems hinsichtlich der jeweili- DIN EN 1299:1997-05 Mechanische Schwingun-
gen Anforderungen an den Schwingungsschutz gen und Stöße; Schwingungsisolierung von Ma-
erfordert die umfassende und detaillierte Kenntnis schinen; Angaben für den Einsatz von Quellen-
aller Faktoren, die die resultierenden Eigenschaften isolierungen; Deutsche Fassung EN 1299:1997.
und den nutzbringenden Einsatz einer Schwin- Berlin: Beuth Verlag
gungsisolierung für eine bestimmte Maschine oder DIN EN ISO 12100-1:2004-04 Sicherheit von
Anlage beeinflussen. Maschinen; Grundbegriffe, allgemeine Gestal-
Zur Unterstützung stehen bezüglich passiver tungsleitsätze; Teil 1: Grundsätzliche Termino-
Schwingungsisolierungen mit Massen, Federn und logie, Methodologie (ISO 12100-1:2003); Deut-
Dämpfern sowohl normative Dokumente (DIN sche Fassung EN ISO 12100-1:2003. Berlin:
EN 1299) wie auch Richtlinien (VDI 2062 Blatt 1 Beuth Verlag
und VDI 2062 Blatt 2) zur Verfügung. Eine aktive DIN EN ISO 12100-2 Ausgabedatum 2004-04
Schwingungsisolierung ist bei diesen Dokumenten Sicherheit von Maschinen; Grundbegriffe, all-
jedoch explizit ausgenommen (siehe DIN gemeine Gestaltungsleitsätze; Teil 2: Technische
EN 1299, Anhang A.4). Leitsätze (ISO 12100-2:2003); Deutsche Fassung
Die vorliegende Richtlinie soll ähnlich den ge- EN ISO 12100-2:2003. Berlin: Beuth Verlag
nannten Dokumenten ein Grundverständnis sowie
den begrifflichen Rahmen für die aktive Schwin-
gungsisolierung herstellen. Sie soll praktische
Hinweise für die Auslegung und die wesentlichen
Entwurf VDI 2064 –3–

3 Formelzeichen Formel- Einheit Benennung


zeichen
In dieser Richtlinie werden die nachfolgend aufge-
" 1 Phasenwinkel-Differenz
führten Formelzeichen verwendet:
Formel- Einheit Benennung 1 Übertragungskoeffizient, Ver-
v
zeichen stärkungsfaktor, Schleifenver-
stärkung des Reglers bzgl. der
d N/(m/s) Dämpfungskoeffizient
Größe v
F N Kraft
x, y, z 1 Raumkoordinaten
N komplexe Amplitude der Kom-
F̂ Komp pensationskraft; mechanische
Kraft, die vom Aktor der akti- 4 Bezeichnungen
ven Schwingungsisolierung
aufgebracht wird 4.1 Schwingungsisolierung
N komplexe Amplitude der Erre- 4.1.1 Schwingungsisolierung
F̂ E gerkraft, die von der quellensei-
tigen auf die empfängerseitige Die Schwingungsisolierung stellt ein dynamisch
Struktur einwirkt wirksames System dar, das eine zu schützende
Fx, Fy, Fz N Kompensationskraft einer Struktur möglichst wirkungsvoll von mechani-
aktiven Schwingungsisolierung schen Störeinwirkungen abschirmt.
mit Angabe der Wirkrichtung
Die Schwingungsisolierung kann, in Abhängigkeit
f Hz Frequenz von den verwendeten Isolierelementen, als aktive,
2
Gvv (m/s) /Hz spektrale Leistungsdichte der semiaktive oder passive Schwingungsisolierung
Schwinggeschwindigkeit v ausgebildet werden.
H( f ) 1 komplexe Übertragungsfunk-
tion zwischen den Schwin-
Darüber hinaus kann die Schwingungsisolierung,
gungsgrößen der erregenden in Abhängigkeit von der Art des zu schützenden
Struktur und den Schwingungs- Objekts, als Quellenisolierung oder Empfängeriso-
größen der zu schützenden lierung ausgebildet werden.
Struktur
1 Isolierwirkungsgrad der 4.1.2 Aktive Schwingungsisolierung
I( f )
Schwingungsisolierung Die aktive Schwingungsisolierung ist durch die
m kg Masse Zufuhr von Fremdenergie charakterisiert, wobei
r V Messgröße des Systemeigen- die Fremdenergie dynamisch korreliert so zuge-
rauschens führt wird, dass die relevanten Zustandsgrößen
U V Ansteuerspannung (Kräfte und Bewegungsgrößen) direkt beeinflusst
V Referenzsignal
werden.
ux
Anmerkung: Im deutschen Sprachgebrauch waren die Be-
uy V Zielsignal
zeichnungen „aktive Schwingungsisolierung“ für Quelleniso-
V Messgröße für die Schwingun- lierung und „passive Schwingungsisolierung“ für Empfänger-
u1
gen der erregenden Struktur isolierung gebräuchlich. Von der Verwendung dieser Bezeich-
nungen wird jedoch im Nationalen Vorwort zu DIN EN 1299
u2 V Messgröße für die Schwingun-
dringend abgeraten; sie sollte im Zusammenhang mit aktiven
gen der zu schützenden Struktur
Schwingungsisolierungen im Sinne dieser Richtlinie unbe-
v m/s Schwinggeschwindigkeit dingt unterbleiben, damit Verwechslungen ausgeschlossen
werden.
v1 m/s Schwinggeschwindigkeit der
erregenden Struktur
4.1.3 Semiaktive Schwingungsisolierung
v2 m/s Schwinggeschwindigkeit der zu
schützenden Struktur Auch für die semiaktive Schwingungsisolierung ist
dimensionsloser Betrag der die Zufuhr von Fremdenergie kennzeichnend, wo-
(f) 1
Übertragungsfunktion (Ampli- bei die Fremdenergie jedoch so zugeführt wird,
tudenfrequenzgang) zwischen dass innere Größen und Parameter des eingesetzten
den Schwingungsgrößen der Isoliersystems, nicht aber die beteiligten Zustands-
erregenden Struktur und den
Schwingungsgrößen der zu
größen (Kräfte und Bewegungsgrößen) direkt be-
schützenden Struktur einflusst werden.
1 Kohärenzfunktion zwischen Typische Beispiele für eine semiaktive Schwin-
! xy 2 ( f ) den Signalen ux und uy gungsisolierung stellen veränderbare passive
Schwingungsisolierelemente wie Dämpfer mit
L dB Pegeldifferenz einstellbarer Kennlinie oder positionsgeregelte
Luftfedern dar.
–4– VDI 2064 Entwurf

4.1.4 Passive Schwingungsisolierung chanischen Stellgrößen der aktiven Schwingungs-


Die passive Schwingungsisolierung beruht aus- isolierung bereitstellt. Ein Aktor besteht mindes-
schließlich auf der Wirkung von Schwingungsiso- tens aus einem Energiesteller, der die für die
lierelementen, die keine Fremdenergie benötigen. Wandlung benötigte Energie bereitstellt, und ei-
nem Energiewandler, der die elektrische Eingangs-
Anmerkung 1: Vgl. Anmerkung zu „aktive Schwingungsiso-
lierung“. größe in eine mechanische Ausgangsgröße um-
wandelt.
Anmerkung 2: Im englischen Sprachraum wird derzeit der
Begriff „semipassive Schwingungsisolierung“ für Schwin- Anmerkung: Typische Beispiele für Energiesteller sind elek-
gungsisolierungen verwendet, bei denen die Dämpfung durch trische Leistungsverstärker oder hydraulische Servoventile,
ein (fest einstellbares) elektrisches Netzwerk realisiert wird, die eine Hilfsenergie, beispielsweise in Form von elektrischer
das durch einen elektromechanischen Wandler (beispielsweise oder hydraulischer Energie, entsprechend dem Regelungs-
eine Piezokeramik) mit der mechanischen Struktur gekoppelt oder Steuerungsausgangssignal für den Energiewandler bereit-
ist. Ein solches System stellt im Sinne dieser Richtlinie eine stellen. Typische Beispiele für Energiewandler sind elektro-
passive Schwingungsisolierung dar. mechanische Wandler wie Schwingspulen, Piezokeramiken
oder auch Hydraulikzylinder.
4.1.5 Quellenisolierung
4.2.2 Signalverarbeitungseinheit
Unter Quellenisolierung wird eine Schwingungs-
Die analoge oder digitale elektrische Signalver-
isolierung verstanden, bei der die Übertragung von
arbeitungseinheit erzeugt – gegebenenfalls unter
Schwingungen in Form von Kräften oder Momen-
Einbeziehung von Signalkonditionierungen,
ten von einem Erreger (z. B. Störeinwirkungen
Schnittstellen und verwendeter Software – auf der
durch eine Maschine) in die umgebenden, zu
Grundlage von Referenz- und/oder Fehlersensorsi-
schützenden Strukturen vermindert wird (Emis-
gnalen ein Ausgangssignal zur Ansteuerung eines
sionsschutz).
Aktors.
Anmerkung: Vgl. Anmerkung zu „aktive Schwingungsisolie-
rung“. Anmerkung: In dieser Richtlinie wird der Begriff der Signal-
verarbeitungseinheit unabhängig davon verwendet, ob es sich
um eine (gegebenenfalls adaptive) Steuerung, eine Regelung
4.1.6 Empfängerisolierung
(gegebenenfalls mit Störgrößenaufschaltung) oder Ähnliches
Unter Empfängerisolierung wird eine Schwin- handelt.
gungsisolierung verstanden, die die Übertragung
von Schwingbewegungen aus der Umgebung auf 4.2.3 Referenzsensor
ein zu schützendes Objekt (beispielsweise Men- Ein Sensor, der eine Eingangsgröße für die Steue-
schen, empfindliche Maschinen, Geräte, Gebäude) rung als elektrisches Signal bereitstellt, heißt Refe-
vermindert (Immissionsschutz). renzsensor.
Anmerkung: Vgl. Anmerkung zu „aktive Schwingungsisolie- Anmerkung: Referenzsensoren können Schwingungssenso-
rung“. ren, aber z. B. auch Drehzahlsensoren bei der Quellenisolie-
rung von rotierenden Maschinen sein.
4.2 Systemkomponenten
4.2.4 Fehlersensor
Das Funktionsschema einer aktiven Schwingungs-
isolierung mit Systemkomponenten wird in Bild 1 Ein Sensor, der eine zu minimierende Regelgröße
dargestellt. als elektrisches Signal bereitstellt, heißt Fehlersen-
sor.
4.2.1 Aktor
Anmerkung: Da Schwingungsisolierungen Schwingungen
Der Aktor ist die Systemkomponente, die abhängig minimieren sollen, stellt das verbleibende Ist-Signal gleichzei-
von einem von der Signalverarbeitungseinheit tig den Regelungsfehler dar. Fehlersensoren sind meist
generierten elektrischen Ausgangssignal die me- Schwingungssensoren.
Entwurf VDI 2064 –5–

Bild 1. Funktionsschema einer aktiven Schwingungsisolierung mit Systemkomponenten – Referenz- oder


Fehlersensor können in Abhängigkeit vom Konzept der Regelung bzw. Steuerung entfallen.

5 Konzepte und Aufgaben der aktiven Die aktive Schwingungsisolierung wirkt somit als
Schwingungsisolierung eine Erhöhung der mechanischen Impedanz an der
empfängerseitigen Kopplungsstelle. Bei vollstän-
5.1 Anwendungsbereiche der aktiven
Schwingungsisolierung
diger Kraftkompensation wird die aktiv realisierte
Impedanz unendlich, da jede eingeleitete dynami-
Die aktive Schwingungsisolierung kann sowohl sche Kraft durch eine entsprechende Gegenkraft
zur Quellen- als auch zur Empfängerisolierung bei kompensiert und die mechanische Bewegung da-
periodischen, stochastischen oder stoßförmigen mit verhindert wird. Die Gegenkraft führt zu einer
Schwingungen eingesetzt werden. versteiften bzw. im theoretischen Grenzfall zu
Da eine aktive Schwingungsisolierung einen ein- einer unendlich steifen Struktur.
geschränkten Arbeitsfrequenzbereich aufweist, Diese Veränderung der mechanischen Impedanz
wird sie in der Regel durch eine passive Schwin- kann, insbesondere bei der Quellenisolierung, zu
gungsisolierung ergänzt. einem veränderten dynamischen Verhalten des
Eine aktive Schwingungsisolierung kann mit wei- mechanischen Gesamtsystems führen.
teren Funktionen, beispielsweise einer Positions- Bei drehenden Systemen werden die Kräfte sinn-
regelung, kombiniert werden. Derartige ergänzen- gemäß durch Drehmomente und die Geschwindig-
de Funktionen sind nicht Bestandteil dieser Richt- keiten durch Drehgeschwindigkeiten ersetzt.
linie.
Anmerkung: Die mechanische Impedanz ist in DIN 1311-2,
5.2 Strukturdynamische Wirkungsprinzipien Abschnitt 7.5.3 als der Quotient des Fourier-Spektrums einer
der aktiven Schwingungsisolierung erregenden Kraft zum Fourier-Spektrum der resultierenden
Schwinggeschwindigkeit (Kehrwert der Admittanz) definiert.
5.2.1 Aktive Schwingungsisolierung durch
Kraftkompensation bzw. Erhöhung der 5.2.2 Aktive Schwingungsisolierung durch
mechanischen Impedanz der empfän- Wegkompensation bzw. Verringerung
gerseitigen Struktur der mechanischen Impedanz der emp-
Die aktive Schwingungsisolierung durch Kraft- fängerseitigen Struktur
kompensation beruht auf der Erzeugung einer dy- Die aktive Schwingungsisolierung durch Weg-
namischen Gegenkraft, die der auf die empfänger- kompensation beruht auf der Erzeugung eines dy-
seitige Struktur einwirkenden Erregerkraft mög- namischen Wegausgleichs in einem innerhalb der
lichst betragsgleich, parallel und momentenfrei Isolierung in Reihe angeordneten Isolierelement.
entgegenwirkt. Damit befinden sich bei der Quel- Dieser Wegausgleich muss – soweit möglich – den
lenisolierung die empfängerseitige Struktur bzw. negativ gleichen Momentanwert wie die Anregung
bei der Empfängerisolierung die zu schützende aufweisen. Damit befinden sich bei der Quelleniso-
Struktur idealerweise im dynamischen Kräfte- lierung die empfängerseitige Struktur bzw. bei der
gleichgewicht, erfahren also keinerlei Anregung. Empfängerisolierung die zu schützende Struktur
–6– VDI 2064 Entwurf

idealerweise in Ruhe, erfahren also keine Kraftan- Als Eingangsgrößen der Signalverarbeitungsein-
regung. heit werden bevorzugt die Signale des Referenz-
Die aktive Schwingungsisolierung wirkt dabei als sensors verwendet, da diese Vorab-Informationen
Verringerung der mechanischen Impedanz an der (a priori) über die zu isolierende Schwingung ent-
Kopplungsstelle. Bei vollständiger Wegkompensa- halten. Aus regelungstechnischer Sicht wird damit
tion wird die aktiv realisierte Impedanz Null, da eine Steuerung realisiert. In vielen Fällen (beson-
jede Schwingungsamplitude „kraftfrei“ durch ei- ders bei der Empfängerisolierung) stehen keine
nen Wegausgleich kompensiert und damit das geeigneten Referenzsignale zur Verfügung, sodass
Aufbringen einer Kraft verhindert wird. Das aktive für die Ermittlung des Ansteuersignals nur das
Schwingungsisoliersystem stellt theoretisch eine Signal des Fehlersensors herangezogen werden
unendlich weiche Feder dar. kann. Dann wirkt die aktive Schwingungsisolie-
rung als geschlossener Rückkopplungs-Regelkreis.
Die Durchführung dieser Quellenisolierung führt
In der Praxis wird oft mit einer Kombination ver-
zu einem veränderten dynamischen Verhalten der
schiedener Regelkonzepte gearbeitet.
quellenseitigen Struktur. Bei drehenden Systemen
werden die Wege sinngemäß durch Winkelampli- 5.3.1 Einfacher Regelkreis
tuden ersetzt. Aktive Schwingungsisolierungen können als einfa-
5.3 Systemtheoretische Realisierungen der che Regelkreise aufgebaut werden (Bild 2). In
aktiven Schwingungsisolierung für einen diesem Fall wird das Signal eines Fehlersensors
Freiheitsgrad (regelungstechnisch die Störgröße) so über einen
Aus systemtheoretischer Sicht lässt sich die aktive Regler an den Aktor zurückgeführt, dass das Feh-
Schwingungsisolierung als Kopplung zwischen lersensorsignal unter Berücksichtigung der Regel-
einer quellenseitigen und einer empfängerseitigen strecke (Übertragungsfunktion Aktor-Fehlersensor)
mechanischen Struktur betrachten. minimal wird.
Die quellenseitige Struktur ist Ausgangspunkt für Dies ist die typische Aufgabe einer Schwingungs-
die Übertragung von Schwingungserregungen über isolierung und entspricht aus regelungstechnischer
die aktive Schwingungsisolierung auf die empfän- Sicht einer konstanten Führungsgröße von Null für
gerseitige Struktur. Ziel der aktiven Schwingungs- den dynamischen Signalanteil.
isolierung ist es, den Betrag der an die empfänger- Der Entwurf und die Realisierung eines solchen
seitige Struktur abgegebenen Schwingungserre- Reglers sind Aufgaben der klassischen Regelungs-
gungen im gewünschten Maße zu verringern. technik. Beim Reglerentwurf liegt der Schwer-
Die wesentlichen Komponenten einer aktiven punkt entsprechend der Aufgabenstellung weniger
Schwingungsisolierung sind Referenzsensor, Feh- beim Führungsgrößenverhalten als bei der Stör-
lersensor, Signalverarbeitungseinheit und Aktor größenunterdrückung.
(bestehend aus Energiesteller und Energiewandler, Einfache Regelkreise arbeiten in der Regel breit-
Bild 1). Der Referenzsensor liefert Informationen bandig, wobei der Arbeitsfrequenzbereich durch
über die Schwingung der quellenseitigen Struktur. den Reglerentwurf bestimmt wird. Erfahrungsge-
Der Fehlersensor registriert die verbleibende mäß resultiert der Arbeitsbereich meist aus der
Schwingung der empfängerseitigen Struktur. Aus Forderung nach Stabilität, aus den Phasenverschie-
diesen Messsignalen wird in der Signalverarbei- bungen bzw. den Laufzeiten der beteiligten Kom-
tungseinheit das Ansteuersignal für den Aktor er- ponenten sowie aus der benötigten Schleifenver-
mittelt. stärkung, um eine bestimmte Isolierwirkung zu
Dieses von der Signalverarbeitungseinheit bereit- erreichen. Um die Phasenverschiebung bzw. Lauf-
gestellte Ansteuersignal für den Aktor verwendet zeit des Reglers gering zu halten, empfiehlt sich
der Energiesteller zur Bereitstellung eines Leis- für einfache Regelkreise die Umsetzung in Analog-
tungssignals für den Energiewandler, der dieses technik.
dann in die benötigte mechanische Stellgröße um- In Abhängigkeit von der Aufgabenstellung der
setzt. Bei richtiger Auslegung der aktiven Schwin- aktiven Schwingungsisolierung, der physikalischen
gungsisolierung mindern die derart aufgebrachten Messgröße des Fehlersensors und den Einbauorten
(sekundären) mechanischen Stellgrößen die insge- und -arten von Sensor und Aktor lassen sich mit
samt in die empfängerseitige Struktur übertragenen einfachen Regelkreisen aus schwingungstechni-
Zustandsgrößen. scher Sicht verschiedenartige Systeme realisieren.
Entwurf VDI 2064 –7–

Bild 2. Einfacher Regelkreis mit regelungstechnischen Bezeichnungen

5.3.1.1 Schwinggeschwindigkeits-
Kraft-Rückkopplung
Wird die Schwinggeschwindigkeit des zu isolie-
renden Objekts, beispielsweise bei der Empfänger-
isolierung, über eine Verstärkung zur Ansteuerung
einer zur passiven Schwingungsisolierung parallel
angeordneten Kraftquelle genutzt, so wirkt diese
wie eine zusätzliche „Dämpfungskraft“. Diese ist
jedoch nicht zu der Schwinggeschwindigkeitsdiffe-
renz ober- und unterhalb der Lagerung, sondern zu
der absoluten Schwinggeschwindigkeit des zu
isolierenden Objektes proportional.
Dieser Ansatz heißt im englischen Sprachraum
skyhook damping und wird im Deutschen mitunter Bild 4. Schema eines passiv gedämpften Einmas-
als absolute Dämpfung (im Gegensatz zu der zur senschwingers mit relativer Dämpfung (passiver
Schwinggeschwindigkeitsdifferenz proportionalen viskoser Dämpfer) bei einer Empfängerisolierung
relativen Dämpfung) bezeichnet. Bild 3 zeigt die
schematische Anordnung mit absoluter Dämpfung, Aus strukturdynamischer Sicht führt die Schwing-
Bild 4 im Vergleich dazu jene mit relativer geschwindigkeits-Kraft-Rückkopplung zu einer
Dämpfung. aktiven Schwingungsisolierung durch Erhöhung
der mechanischen Impedanz, da die von der Erre-
Bei einer absoluten Dämpfung nimmt der Betrag gerseite aufzubringende Kraft, bezogen auf die
der komplexen Übertragungsfunktion (Verhältnis Schwinggeschwindigkeit, größer wird. Die fre-
der komplexen Antwortamplitude zur Erregungs- quenzabhängige, realisierte Impedanz hängt von
amplitude bei der Empfängerisolierung) für hohe der Schleifenverstärkung v (Bild 3) ab und geht
Frequenzen mit 40 dB/Dekade (statt 20 dB/Dekade nur für großes v gegen unendlich.
bei relativer Dämpfung, vgl. VDI 2062 Blatt 1) ab.
Das Einsatzgebiet der Schwinggeschwindigkeits-
Kraft-Rückkopplung liegt vorwiegend in der Un-
terdrückung der Resonanzüberhöhung bei der
Empfängerisolierung.
5.3.1.2 Kraft-Weg-Rückkopplung
Wird die dynamische Kraft, die die quellenseitige
auf die empfängerseitige Struktur ausübt, über eine
Verstärkung zur Ansteuerung eines zur passiven
Schwingungsisolierung in Reihe liegenden Weg-
elementes genutzt, so wirkt dies wie eine Feder mit
einer von der Verstärkung abhängigen Nachgie-
bigkeit.
Aus strukturdynamischer Sicht führt die Kraft-
Bild 3. Schema eines aktiv gedämpften Einmas- Weg-Rückkopplung zu einer aktiven Schwin-
senschwingers mit absoluter Dämpfung durch gungsisolierung durch Verringerung der mechani-
Schwinggeschwindigkeitsrückkopplung bei einer schen Impedanz, da die von der Erregerseite auf-
Empfängerisolierung gebrachte Kraft zu einem größeren erregerseitigen
Schwingweg führt. Die frequenzabhängige reali-
sierte Impedanz hängt von der Schleifenverstär-
kung v ab und geht nur für großes v gegen Null.
–8– VDI 2064 Entwurf

Das Einsatzgebiet der Kraft-Weg-Rückkopplung eine andere geeignete Referenzgröße sowie der
liegt vorwiegend in der Quellenisolierung. Durch Ausbreitungsweg bekannt sind.
die Kraftmessung entfällt im Vergleich zur Be- Bei dem Entwurf der Steuerung ist die Rückwir-
schleunigungsmessung der Einfluss der dynami- kungsfreiheit des Aktors auf das Referenzsignal zu
schen Eigenschaften der empfängerseitigen Struk- beachten. Ist diese nicht gegeben, so ist für die
tur, was besonders bei größeren oder relativ wei- Rückwirkung ein Modell zu bestimmen und in die
chen Strukturen (z. B. in der Luft- und Raumfahrt) Steuerung zu integrieren.
von Vorteil ist.
Die Anforderungen an das für die Steuerung ver-
5.3.2 Steuerung/Störgrößenaufschaltung wendete Modell der Störgrößenausbreitung hängen
Aktive Schwingungsisolierungen können auch als wesentlich von der Störgröße ab. Für periodische
einfache Steuerung realisiert werden (Bild 5). Störgrößen, beispielsweise von rotierenden Ma-
schinen, genügt eine genaue Modellierung bei den
In diesem Fall wird das Signal eines Referenzsen-
Signalfrequenzen (Drehfrequenz und gegebenen-
sors so über eine Steuerung an den Aktor geführt,
falls deren Vielfache), da dann die zeitliche Kausa-
dass die Schwingungen in einem zu definierenden
lität keine harte Systemgrenze darstellt. Bei sto-
Sinne minimal werden. Die fehlende Rückkopp-
chastischen Störgrößen sind eine breitbandige Mo-
lung muss dann durch hinreichende Informationen
dellierung im Arbeitsfrequenzbereich sowie ein
über den zukünftigen Verlauf der Störgröße ausge-
strenges Einhalten der zeitlichen Kausalität erfor-
glichen werden.
derlich.
Deshalb liegt diesem Ansatz die Annahme zugrun-
de, dass die zu isolierende Schwingung wesentlich 5.3.3 Adaptive regelungstechnische Systeme
durch eine vom Referenzsensor erfassbare Störung Die Wirksamkeit der aktiven Schwingungsisolie-
verursacht wird. Die Steuerungseinheit bildet dann rung wird wesentlich durch die Genauigkeit der
deren Ausbreitung nach, ergänzt um ein inverses phaseninversen Nachbildung der Erregerkraft
Modell des Aktors und der inversen Übertragungs- durch die Kompensationskraft bestimmt. Die in
strecke vom Aktor zur Zielgröße. Abhängigkeit von der Frequenz erzielbare Pegel-
Entscheidend für die Qualität der Schwingungsiso- abnahme ergibt sich zu:
lierung ist die Wahl eines geeigneten Referenzsi- + + FˆKomp ( + FˆKomp ( (&
2
) & cos %- ! , )
gnals. Für den Fall eines linearen Steuerungssys- %L $ 10 lg)1 , 2) & (2)
tems stellt die Kohärenzfunktion xy2(f) zwischen ) ) FˆE & ) FˆE & &&
* * ' * ' '
dem Referenzsignal ux und dem Zielsignal uy ein
Maß für die Eignung des Referenzsignals dar, das Dabei ist
die Abschätzung der maximal möglichen Pegelab-
F̂E Erregerkraftamplitude
nahme durch eine Steuerung gemäß folgender
Gleichung erlaubt: F̂ Komp Kompensationskraftamplitude
%L f ! $ #10 lg 1 # " 2
xy !
f! (1) %- Phasenwinkeldifferenz zwischen beiden
Darüber hinaus ist die zeitliche Kausalität zu be- Kräften
achten, die sich in der Kohärenz nicht nieder- Aus dieser Beziehung lässt sich ablesen, dass
schlägt, aber aufgrund der ausschließlichen Reali- schon bei einem Amplitudenfehler von 10 % und
sierbarkeit kausaler Systeme eine unumgehbare einem Phasenfehler von 10° die maximale Pegel-
Einschränkung für die erreichbare Pegelabnahme minderung nur noch 13,6 dB beträgt. Bei gleichem
darstellt. Amplitudenverhältnis und einem Phasenfehler von
Dieser Ansatz eignet sich daher vor allem für eine 20° verbleiben nur noch maximal 8,5 dB.
aktive Quellenisolierung sowie im Einzelfall für
eine Empfängerisolierung, wenn die Quelle oder

Bild 5. Einfacher Steuerungskreis mit regelungstechnischen Bezeichnungen


Entwurf VDI 2064 –9–

Um die für eine nennenswerte Pegelreduktion er- Aktoransteuerung ist dann die entsprechende
forderliche hohe Nachbildungsgenauigkeit auch Rücktransformation erforderlich.
bei zeitvarianten Primär- und Regelstrecken sowie
Störsignalen zu gewährleisten, können adaptive 6 Kenngrößen der Komponenten aktiver
Regelungskonzepte eingesetzt werden. Schwingungsisolierungen
Adaptive Regelungskonzepte basieren auf einem
6.1 Allgemeines
Algorithmus, mit dem Reglerübertragungsfunktio-
nen oder Störgrößenmodelle automatisch so opti- Jede aktive Schwingungsisolierung umfasst ein
miert werden, dass ein die Fehlersignale minimie- System aus Sensoren, Aktoren und zugehöriger
rendes Kriterium möglichst gut erfüllt wird. Signalverarbeitungseinheit. Diese Komponenten
bedürfen der technischen Realisierung.
In der Praxis werden zur Modellbildung meist
sogenannte adaptive Filter eingesetzt. Als Optimie- Der folgende Abschnitt beschreibt mögliche tech-
rungsvorschrift wird häufig der LMS-Algorithmus nische Ausführungen dieser Komponenten mit
(Least Mean Squares) verwendet, der ein stochasti- ihren typischen Eigenschaften. Dabei wird auf
sches Gradientenverfahren zur Minimierung der besonders zu beachtende Punkte bei Auswahl und
Fehlersignalenergie darstellt. Entwurf hingewiesen.

5.4 Aktive Schwingungsisolierung für 6.2 Aktoren


mehrere Freiheitsgrade 6.2.1 Allgemeines
Bei praktischen Anwendungen der aktiven Aktoren haben die Aufgabe, die zur Minderung der
Schwingungsisolierung ist in der Regel die Be- Erregerschwingungen erforderlichen Kompensa-
rücksichtigung mehrerer Freiheitsgrade erforder- tionskräfte bzw. -schwingwege zu erzeugen und an
lich. geeigneten Angriffspunkten in die mechanische
Eine schwingungsisoliert gelagerte, ausgedehnte Struktur einzuleiten.
Masse besitzt sechs (drei translatorische und drei Aktoren müssen nach den jeweiligen Anforderun-
rotatorische) Starrkörperfreiheitsgrade. Darüber gen des aktiven Schwingungsisoliersystems unter
hinaus besitzt ein realer Körper mit endlicher Stei- anderem nach folgenden Kriterien ausgewählt bzw.
figkeit weitere modale Freiheitsgrade. entworfen werden:
Die gleichzeitige Beeinflussung der Schwingungen
Mechanische Ausgangsgrößen
in mehreren Freiheitsgraden erfordert mehrere
Aktoren zur Erzeugung der entsprechenden Kom- benötigte Kraft
pensationskräfte. Abhängig vom regelungstechni- Frequenzbereich
schen Konzept sind die Schwingungen in diesen Auslenkung
Freiheitsgraden mit Sensoren zu erfassen. Die ein-
gesetzte Regelung muss dann zu einer Mehrgrö- Verfügbarer Bauraum
ßenregelung bzw. einem Vielkanalsystem erweitert Masse
werden. Dabei ist zu beachten, dass die Ein-/ Volumen
Ausgangssignale sinnvoll entkoppelt oder ihre
Querkopplungen in der Regelung berücksichtigt konstruktive Anbindung und Integration
werden. Dies hat im Allgemeinen zur Folge, dass Umweltbedingungen
der Aufwand in der Signalverarbeitungseinheit mit
verfügbare Hilfsenergie
dem Produkt der Anzahl der Sensor- und Aktorka-
näle und damit quadratisch mit der Anzahl der zulässiges Eigengeräusch
Freiheitsgrade ansteigt. erlaubte elektromagnetische Abstrahlung
Bei einfachen Regelkreisen genügt es mitunter, Betriebstemperatur
einzelne Sensor-/Aktor-Paare so anzuordnen, dass Medienbeständigkeit.
sie und die daraus resultierenden Regelkreise weit-
gehend voneinander entkoppelt sind. Die praktische Erfahrung zeigt, dass die Auswahl
oder Konstruktion eines geeigneten Aktor-Systems
Zur Entkopplung bei schwach gedämpften Struktu- oft über die technische Machbarkeit einer aktiven
ren können alle Sensorsignale mittels einer Koor- Schwingungsisolierung entscheidet. Der Aktorik
dinatentransformation in unabhängige (orthogona- ist beim Entwurf einer aktiven Schwingungsisolie-
le) modale Koordinaten überführt werden. In die- rung daher große Aufmerksamkeit zu widmen.
sem modalen Raum sind die einzelnen Freiheits-
grade voneinander unabhängig und können somit Der Begriff des Aktors umfasst die gesamte Sys-
auch unabhängig geregelt werden. Zur richtigen temkomponente, die der aktiven Schwingungsiso-
– 10 – VDI 2064 Entwurf

lierung die von einem elektrischen Regleraus- 6.2.3 Hydraulischer Aktor


gangssignal abhängigen mechanischen Ausgangs- Bauform
größen zur Verfügung stellt. Ein Aktor besteht
daher mindestens aus einem Energiesteller und Hydraulikzylinder
einem Energiewandler (Bild 1), die zueinander Frequenzbereich
passend ausgewählt oder entworfen werden müs- Die Dynamik der mechanischen Komponenten
sen. Nach aller Erfahrung kann sich jede der Teil- (große Masse) und Medieneigenschaften begren-
komponenten für die Realisierung des Gesamtsys- zen den Frequenzbereich und erzeugen eine Tief-
tems als kritisch erweisen. passcharakteristik Energiesteller (Hydraulikventi-
Besonders bei Aktoren mit elektrischer Hilfsener- le) beschränken durch ihre Schaltzeiten den Ar-
gie zeigt die Erfahrung, dass die Belastbarkeit im beitsfrequenzbereich. Arbeitsfrequenzbereich
Dauereinsatz häufig durch die Abfuhr der entste- < 100 Hz, sonst Sonderkonstruktionen erforderlich.
henden Verlustleistung (Wärme) bestimmt wird.
Kraft
Daher ist gegebenenfalls eine Zwangskühlung
vorzusehen. 102 N < F < 106 N (typische Werte)
Als Grundlage praktischer Entwurfsentscheidun- Schwingweg
gen sind nachfolgend für einige häufig eingesetzte große Schwingwege möglich
Antriebsmechanismen von Aktoren stichwortartig
typische Charakteristika angegeben. Dynamik
großer Dynamikumfang, abhängig von der Dyna-
6.2.2 Pneumatischer Aktor
mik des Regelventils
Bauform
Linearität
Pneumatikzylinder
Energiewandler wie Energiesteller (Regelventile)
Frequenzbereich sind oft nicht linear.
f 10 Hz (bis zur Eigenfrequenz der Luftfeder) Umgebungseinflüsse
Kraft unempfindlich gegen aggressive Umgebung und
2 6
10 N < F < 10 N (typische Werte) neutral bezüglich elektromagnetischer Störabstrah-
lung
Schwingweg
Hilfsenergie
große Schwingwege möglich
hydraulische Hilfsenergie oft nicht verfügbar, Be-
Dynamik reitstellung über eigene Hydraulikanlage mit gro-
Energiesteller (Pneumatikventile) haben selten ßem Aufwand verbunden
einen Dynamikumfang von mehr als 50 dB.
6.2.4 Elektrodynamischer Aktor
Linearität
Bauform
Die Linearität hängt im Wesentlichen vom Energie-
Tauchspulensystem (wie elektrodynamischer Laut-
steller (Pneumatikventil) ab. Der maximale Fehler
sprecher) oder Lorentz-Motor
des eingestellten Drucks ist meist größer als 0,3 %.
Frequenzbereich
Umgebungseinflüsse
großer Arbeitsfrequenzbereich
unempfindlich gegen aggressive Umgebung und
neutral bezüglich elektromagnetischer Störabstrah- Kraft
lung bei Tauchspulensystemen mit 101 N < F < 103 N
Hilfsenergie gering, bei Linearmotoren auch größere Kräfte
möglich
pneumatische Hilfsenergie oft nicht verfügbar,
dann Bereitstellung über eigene Pneumatikanlage Schwingweg
Anmerkung: Bei der Auswahl des Aktors muss ein Kompro- maximaler Schwingweg bei Tauchspulensystemen
miss zwischen Steifigkeit und Ansprechzeit gefunden werden. und einphasigen Linearmotoren einige Millimeter
Zudem beschränkt die langsame Ansprechzeit (typisch
> 100 ms) den Arbeitsfrequenzbereich. Bei geeigneter Kons- Dynamik
truktion ist der Pneumatikzylinder auch als Luftfeder nutzbar. hohe Dynamik
Entwurf VDI 2064 – 11 –

Linearität gesamtsystems deutlich unter den Frequenzbereich


sehr hohe Linearität der Energiesteller/-wandler-Kombination drückt.
Umgebungseinflüsse Umgebungseinflüsse
Elektromagnetische Verträglichkeit ist zu prüfen. Elektromagnetische Verträglichkeit ist zu prüfen.
Hilfsenergie Hilfsenergie
Energiesteller (Leistungsverstärker) sind bei leich- Wandler stellen für Energiesteller große kapazitive
ter Verfügbarkeit gut bekannt und unkritisch, da Lasten dar. Zeitverhalten und erreichbarer Arbeits-
elektrodynamische Aktoren beispielsweise als frequenzbereich sind daher meist durch die Ener-
Lautsprecher weit verbreitet sind. Elektrische giesteller bestimmt. Neuere Verstärkerkonzepte
Hilfsenergie ist meist problemlos verfügbar. arbeiten mit Energierückgewinnung und erlauben
damit wandlerseitige Blindleistungen, die wesent-
Anmerkung: Durch geeignete Konstruktion kann bei elektro-
dynamischen Aktoren eine berührungsfreie Kraftübertragung lich größer als die im Versorgungsnetz spezifizier-
erreicht werden. Damit kann ein solcher Aktor steifigkeits- ten Nennleistungen sind.
und dämpfungsneutral ausgeführt werden.
Anmerkung: Piezoelektrische Wandler weisen eine hohe
Steifigkeit auf. Da sie keine Zugkräfte übertragen können,
6.2.5 Piezoelektrischer Aktor müssen sie mechanisch vorgespannt werden. Sie sind deshalb
Bauform auch nur für rein translatorische, zentrische Belastungen ge-
eignet. Im dynamischen Betrieb muss die für den Wandler
Für aktive Schwingungsisolierungen werden über- angegebene maximal zulässige Betriebstemperatur unbedingt
wiegend Piezokeramiken auf Blei-Zirkonat- eingehalten werden, gegebenenfalls ist eine Zwangskühlung
Titanat-Basis (PZT) verwendet. Sie werden meist erforderlich. Berührungsschutz und Isolierung führen zu ho-
hem Platzbedarf.
in Form von Stapelwandlern, geschichtet aus dün-
nen Keramik- und Elektrodenscheiben, eingesetzt. 6.2.6 Magnetostriktiver Aktor
Piezokeramische Wandler werden als Niedervolt-
Typen (Ansteuerspannung U 200 V) oder als Bauform
Hochvolt-Typen (U 1000 V) gebaut. Für aktive Schwingungsisolierungen kommen als
magnetostriktives Material vorwiegend Terbium-
Frequenzbereich
Eisen-Legierungen in Betracht.
hohe und sehr hohe Arbeitsfrequenzen bis zu meh-
reren Kilohertz möglich, meist durch Energiesteller Frequenzbereich
begrenzt hohe und sehr hohe Arbeitsfrequenzen bis zu meh-
reren Kilohertz möglich, meist durch Energiesteller
Kraft
sowie Induktivität des erforderlichen Magnetsys-
hohe Wandlerkräfte (Blockierkraft ca. 3 kN bis tems begrenzt
4 kN bei 1 cm2 Material-Querschnittsfläche)
Kraft
Schwingweg
hohe Wandlerkräfte (F < 104 N je Element)
Die Dehnungen von rund 1/1000 der Bauhöhe des
aktiven Materials liefern für übliche Materiallän- Schwingweg
gen im Zentimeterbereich Schwingwege von ma- Die Dehnungen von rund 1/1000 der Bauhöhe des
ximal 100 µm (ohne Last). Die Dehnung ist kraft- aktiven Materials liefern für übliche Materiallän-
abhängig und null bei Belastung mit der Blockier- gen im Zentimeterbereich Schwingwege von ma-
kraft. ximal 100 µm.
Dynamik Dynamik
hohe Dynamik hohe Dynamik
Linearität Linearität
PZT-Keramiken weisen von der Betriebsart ab- Terbium-Eisen-Legierungen weisen inhärent eine
hängige elektromechanische Wandlerkenngrößen Hysterese sowie von der mechanischen Spannung
sowie inhärent eine Hysterese auf. Beide Phäno- abhängige elektromechanische Wandlerkenngrö-
mene führen zu unvermeidlichen Nichtlinearitäten ßen auf. Beide Phänomene führen zu unvermeidli-
im dynamischen Betrieb. Zur Linearisierung kann chen Nichtlinearitäten im dynamischen Betrieb.
eine zusätzliche Regelung eingesetzt werden, die Zur Linearisierung kann eine zusätzliche Regelung
jedoch den Arbeitsfrequenzbereich des Aktor- eingesetzt werden, die jedoch den Arbeitsfre-
quenzbereich des Aktorgesamtsystems deutlich
– 12 – VDI 2064 Entwurf

unter den Frequenzbereich der Energiesteller/ Beschleunigungsaufnehmern liegen. Dann muss


-wandler-Kombination drückt. eine andere, physikalisch sinnvollere Messgröße
erfasst werden.
Umgebungseinflüsse
Eine besondere Beachtung im Zusammenhang mit
Elektromagnetische Verträglichkeit ist zu prüfen.
der aktiven Schwingungsisolierung verdienen die
Bei Bauformen mit statischer Vormagnetisierung
Gruppenlaufzeit bzw. Phasenverschiebung des
muss auf eine hinreichende magnetische Schir-
Messsignals einschließlich eventuell erforderlicher
mung geachtet werden.
Signalkonditionierungen.
Hilfsenergie Eine Übersicht über Schwingungsaufnehmer findet
Wandler stellen für Energiesteller große induktive sich in VDI 3839 Blatt 1, Abschnitt 2. Die in Ab-
Lasten dar. Zeitverhalten und erreichbarer Arbeits- schnitt 5 der genannten Richtlinie gegebenen Hin-
frequenzbereich sind daher meist durch die Ener- weise sollten auch beim Einsatz in Systemen zur
giesteller bestimmt. Neuere Verstärkerkonzepte aktiven Schwingungsisolierung berücksichtigt
arbeiten mit Energierückgewinnung und erlauben werden.
damit wandlerseitige Blindleistungen, die wesent-
6.4 Signalverarbeitungseinheit
lich größer als die im Versorgungsnetz spezifizier-
ten Nennleistungen sind. 6.4.1 Allgemeines
Anmerkung: Magnetostriktive Wandler weisen eine hohe Elektronische Signalverarbeitungseinheiten können
Steifigkeit auf. Da sie kaum Zugkräfte übertragen können, grundsätzlich sowohl in analoger als auch in digi-
empfiehlt sich eine mechanische Vorspannung. Im dynami- taler Form realisiert werden. Beide Ausführungs-
schen Betrieb muss die für den Wandler angegebene maximal
zulässige Betriebstemperatur unbedingt eingehalten werden,
formen haben für die aktive Schwingungsisolie-
gegebenenfalls ist eine Zwangskühlung erforderlich. rung Vor- und Nachteile.

6.3 Sensoren 6.4.2 Analoge Signalverarbeitungseinheit

Als Komponenten für aktive Schwingungsisolie- Für einfache Regelkreise weisen Analogregler den
rungen werden je nach Aufgabenstellung und ent- entscheidenden Vorteil einer sehr geringen Lauf-
sprechend den benötigten physikalischen Signalen zeit bzw. Phasenverschiebung auf. Damit sind sie
unterschiedliche Sensoren eingesetzt. zum Einsatz in breitbandigen Regelkreisen bei
entsprechendem Reglerentwurf gut geeignet.
Steuerungsbasierte aktive Schwingungsisolierun-
gen erfordern angepasste Sensoren zur Bereitstel- Analog arbeitende Signalverarbeitungseinheiten
lung des Störgrößensignals. Bei der Schwingungs- sind in ihrer Komplexität meist eingeschränkt und
isolierung von rotierenden Maschinen können bei- weisen nur eine begrenzte Langzeitstabilität auf.
spielsweise alle Arten von Drehzahlerfassungen Adaptive Systeme werden praktisch nicht in Ana-
verwendet werden. logtechnik gebaut.
Regelungsbasierte aktive Schwingungsisolierungen Systeme mit mehreren Freiheitsgraden gestalten
wie auch adaptive Systeme erfordern Sensoren zur sich analog sehr aufwendig, wenn sie nicht auf-
Erfassung des Schwingungszustands. Sofern phy- grund der gewählten Sensor- und Aktoranordnung
sikalisch notwendig, werden Kraftsensoren mit der als entkoppelte Einzelsysteme realisiert werden
mechanischen Lagerung in Reihe geschaltet. Meist können.
finden jedoch Beschleunigungs- oder Schwingge- 6.4.3 Digitale Signalverarbeitungseinheit
schwindigkeitsaufnehmer Verwendung.
Digital arbeitende Signalverarbeitungseinheiten
Adaptive Systeme können im Einzelfall auch ande- erlauben eine große Komplexität und bilden damit
re Sensoren zur Gewinnung eines Fehlersignals beispielsweise die Grundlage für adaptive Syste-
enthalten, z. B. Mikrofone zur Erfassung des abge- me. Sie erfordern jedoch vor der Analog-Digital-
strahlten Sekundärluftschalls. Wandlung (Eingangsseite) und nach der Digital-
Schwingungsaufnehmer für aktive Schwingungs- Analog-Wandlung (Ausgangsseite) analoge Tief-
isolierungen werden bevorzugt als Beschleuni- passfilter oder alternativ den Einsatz von Wandlern
gungsaufnehmer ausgeführt, während Schwingge- mit integrierter Tiefpassfunktionalität (Sigma-
schwindigkeitsaufnehmer nur in Sonderfällen Delta-Wandler). Diese Tiefpassfilter führen zu-
Verwendung finden. sammen mit der taktweise ablaufenden Verarbei-
Allerdings ist bei tiefen Frequenzen zu beachten, tung der Signale zu einer Verlängerung der Signal-
dass selbst bei großen Schwingwegen und laufzeit, die den Frequenzbereich digital arbeiten-
-geschwindigkeiten oft nur geringe Beschleuni- der Regelkreise nach oben begrenzt.
gungen auftreten, die unter der Rauschgrenze von
Entwurf VDI 2064 – 13 –

Auch bei der Betrachtung der zeitlichen Kausalität zielt erfüllt werden (beispielsweise ein verteilter
für steuerungsbasierte Schwingungsisoliersysteme Einbau zum Schutz der Regelungseinheit vor wid-
ist die Signallaufzeit zu beachten. rigen Umgebungsbedingungen).
Bezüglich der komponentenspezifischen Eigen-
7 Hinweise zur Spezifikation aktiver schaften wird auf die einschlägigen Regelwerke
Schwingungsisolierungen verwiesen.
7.1 Allgemeines 7.3 Systembetrachtungen
Die Spezifikation und Beschreibung einer aktiven 7.3.1 Mechanische Anbindung
Schwingungsisolierung erfolgt auf drei Ebenen:
Die Beschreibung auf der Systemebene soll unab-
Komponentenebene hängig von der Umgebung sein, in der das System
Systemebene eingesetzt werden soll. Um die Darstellung von
Ebene des integrierten Systems den realen Einbausituationen entsprechend abstra-
hieren zu können, wird daher eine vereinfachte
Für den Nutzer ist zunächst die Ebene des inte- mechanische Anbindung angenommen:
grierten Systems wichtig. Dessen Eigenschaften
hängen sowohl von der aktiven Schwingungsiso- Bei Quellenisolierung: Beschreibung der Quelle
lierung als auch von der Umgebung ab, in die das als Starrkörper der Masse m und Kraftanregung
System integriert ist. auf die Schwingungsisolierung, Beschreibung
der empfängerseitigen Struktur als unendlich
Eine Beschreibung auf Systemebene ist unabhän-
steif (unendliche mechanische Impedanz).
gig von der konkreten Umgebung, in der das Sys-
tem genutzt werden soll. Deshalb soll ihr eine ver- Bei Empfängerisolierung: Beschreibung der
einfachte Anordnung zugrunde gelegt werden, bei quellenseitigen Struktur als Schwinggeschwin-
der alle umgebungsbezogenen Angaben weggelas- digkeitsquelle hoher Impedanz, Beschreibung
sen werden. der empfängerseitigen Struktur als Starrkörper
der Masse m.
Die Eigenschaften auf Systemebene werden wiede-
rum wesentlich von den Eigenschaften auf Kom- Bei der Spezifikation auf Systemebene muss die
ponentenebene bestimmt. Beiderlei Merkmale verwendete vereinfachte mechanische Anbindung
dürfen jedoch nicht verwechselt werden. angegeben werden.
Die Komponenten einer aktiven Schwingungsiso- 7.3.2 Amplitudenbereich und Dynamik der
lierung können innerhalb einer Anlage verteilt Schwingung
angeordnet sein. Damit können sich für die einzel- Aufgrund ihres konzeptionellen Aufbaus aus Akto-
nen Komponenten unterschiedliche Umgebungsan- ren, Sensoren und Signalverarbeitungseinheit stellt
forderungen (Temperaturbereiche, Medien usw.) eine aktive Schwingungsisolierung bestenfalls in
ergeben. Deshalb müssen diesbezügliche Anforde- einem begrenzten Arbeitsbereich ein lineares Sys-
rungen auf Komponentenebene angegeben werden. tem dar. So sind beispielsweise die von den Akto-
Eine aktive Schwingungsisolierung ist meist Teil ren erzeugbaren mechanischen Feldgrößen be-
einer Maschine und unterliegt somit den Regelun- schränkt, sodass stärkere Schwingungen nicht
gen der Maschinenrichtlinie (98/37/EG und DIN mehr effektiv isoliert werden können. Durch das
EN 12100). Auch die Vorschriften zum Schutz von Eigenrauschen des Systems und der Komponenten
Menschen sind zu berücksichtigen. ist auch die Isolierwirkung bei kleinen Störsignal-
Bezüglich aller grundlegenden Angaben für die amplituden begrenzt. So kann beispielsweise
Auswahl wie auch zur Beschreibung einer unterhalb der Empfindlichkeitsschwelle der Senso-
Schwingungsisolierung wird auf Abschnitt 6 der ren keine aktive Isolierwirkung erzielt werden.
DIN EN 1299 verwiesen. Es wird ausdrücklich Bei der Systemspezifikation einer aktiven Schwin-
angemerkt, dass sich die hier gegebenen Hinweise gungsisolierung sind daher die maximale und die
nur ergänzend auf die spezifischen Eigenschaften minimale Schwingungsamplitude (gegebenenfalls
einer aktiven Schwingungsisolierung beziehen. als Funktion der Frequenz) anzugeben, für die die
Schwingungsisolierung wirksam ist. Weiterhin ist
7.2 Komponenten der Dynamikbereich, also der Bereich zwischen
Alle relevanten Komponenten sind hinsichtlich der maximalen und der minimalen Schwingungs-
ihrer komponentenspezifischen Eigenschaften amplitude, für den die aktive Schwingungsisolie-
vollständig zu beschreiben. Dadurch können rung wirksam ist, anzugeben.
Schwierigkeiten bei der Systemintegration erkannt
und komponentenspezifische Anforderungen ge-
– 14 – VDI 2064 Entwurf

Ob als Schwingungsamplitude die Kraftamplitude, Bei der Spezifikation eines Systems zur aktiven
die Schwinggeschwindigkeitsamplitude oder eine Schwingungsisolierung ist unbedingt anzugeben,
andere geeignete Größe angeben wird, hängt von auf welche charakteristischen Zeitverläufe der
den vereinfachten mechanischen Randbedingungen Schwingung sich die Angabe bezieht. Gegebenen-
ab. falls sind die Angaben für mehrere charakteristi-
Erfolgt die Angabe frequenzabhängig, so ist zu- sche Zeitverläufe zu kombinieren (z. B. „Isolier-
sätzlich anzugeben, ob sie sich auf eine einzelne wirkungsgrad von -30 dB für periodische Schwin-
monofrequente Schwingung oder ein Rauschspek- gung bei der Drehfrequenz von 48 Hz sowie von
trum bezieht. Zusätzlich sollte angegeben werden, -10 dB für stochastische Schwingungen im Fre-
wie die Angabe auf mehrere monofrequente, sto- quenzbereich von 1 Hz bis 100 Hz“).
chastische oder stoßartige Schwingungen zu bezie- 7.3.4 Betrachtung im Zeit- und
hen ist. Frequenzbereich
7.3.3 Zeitverlauf der Schwingung Der konkrete Aufbau eines aktiven Schwingungs-
Ein System zur aktiven Schwingungsisolierung isoliersystems legt den spezifischen Arbeitsfre-
kann sehr unterschiedlich aufgebaut sein und darü- quenzbereich und somit auch das Zeitverhalten für
ber hinaus auch unterschiedliche Konzepte zur das jeweilige System fest. Dies ermöglicht in der
Regelung oder Steuerung nutzen, die wiederum zu Praxis die gezielte Abstimmung eines Systems für
großen Unterschieden bei der Isolierwirkung füh- eine gegebene Aufgabenstellung. Allerdings erfor-
ren können. Bei der konkreten Festlegung auf ein dert es auch eine eindeutige Spezifikation der ent-
bestimmtes Regelungs- oder Steuerungskonzept sprechenden Eigenschaften.
muss insbesondere das zeitliche Verhalten der Für Schwingungen, für die eine Frequenzbereichs-
auftretenden Signale berücksichtigt werden. Im beschreibung angemessen ist (also periodische und
Hinblick auf die Auslegung aktiver Schwin- stochastische Schwingungen), ist der Arbeitsfre-
gungsisolierungen sind drei charakteristische Zeit- quenzbereich des Systems anzugeben.
verläufe zu unterscheiden: Für Schwingungen, für die eine Zeitbereichsbe-
Periodische Schwingungen schreibung angemessen ist (also vor allem stoß-
Typische Schwingungsquellen, die periodische förmige Schwingungen), ist entsprechend das Zeit-
Signale erzeugen, sind rotierende Maschinen verhalten des Systems anzugeben (z. B. minimale
wie Verbrennungskraftmaschinen, Kolbenpum- Laufzeit für Störgrößenaufschaltung, maximale
pen, elektrische Maschinen oder Lüfter. Perio- Steigung der erzeugten Kraft usw.)
dische Schwingungen können durch ihr Ampli- Für im Wesentlichen periodische oder stochasti-
tudenspektrum dargestellt werden. sche Schwingungen, die zeitliche Änderungen
ihres Signalverhaltens aufweisen (z. B. bei Ma-
Stochastische Schwingungen
schinendrehzahländerungen), sind Angaben zum
Schwingungen, die aus der inkohärenten Über- Adaptionsverhalten und zur Folgefähigkeit der
lagerung vieler Quellen entstehen, sind typi- aktiven Schwingungsisolierung zu machen. Dies
scherweise stochastisch und werden angemes- gilt insbesondere, wenn adaptive Verfahren zur
sen durch ihre Leistungsdichtespektren be- Regelung oder Steuerung eingesetzt werden.
schrieben. Zu den stochastischen Schwingun-
gen zählen beispielsweise Gebäudeschwingun- 7.3.5 Isolierwirkung
gen und durch Verkehr erzeugte Schwingungen. Die Isolierwirkung einer Schwingungsisolierung
Auch ausgesprochen schmalbandige Signale entspricht dem Betrag der Übertragungsfunktion
sind oft als stochastisch zu betrachten, sofern zwischen den Schwingungsgrößen der erregenden
sie in Phase und Amplitude (unvorhersehbaren) und der zu schützenden Struktur. Sie wird in Über-
Schwankungen unterliegen. einstimmung mit DIN 1311-2 durch den dimen-
Stoßförmige Schwingungen sionslosen Amplitudenfrequenzgang (f) zwischen
den Schwingungsgrößen der erregenden und der zu
Stoßförmige Schwingungen entstehen typi-
schützenden Struktur oder durch den Isolierwir-
scherweise durch impulsartige Quellen. Dazu
kungsgrad I(f) = 1 – (f) beschrieben.
gehören Werkzeugmaschinen für stoßförmige
Verformungsprozesse (z. B. Pressen). Auch Da aktive Schwingungsisolierungen häufig mit
Schalt-, Anfahr-, Brems- und Anschlagvorgän- passiven Schwingungsisolierungen kombiniert
ge erzeugen stoßförmige Schwingungen. Stoß- werden, ist neben der Isolierwirkung der aktiven
förmige Vorgänge lassen sich angemessen mit Schwingungsisolierung zum Vergleich auch die
ihrem Zeitsignalverlauf beschreiben. Isolierwirkung bei abgeschaltetem aktivem System
Entwurf VDI 2064 – 15 –

anzugeben. Wird ein aktives Schwingungsisolier- läufe der Signale oder für einen großen Dynamik-
system nur zusammen mit einer bestimmten passi- bereich eingesetzt wird, soll die Isolierwirkung für
ven Schwingungsisolierung angeboten, kann die die verschiedenen Signalarten und -amplituden
Angabe der Isolierwirkung des Gesamtsystems bzw. Betragsmaximalwerte separat beschrieben
genügen, sofern darauf gesondert hingewiesen werden. In jedem Falle ist die Übertragungsfunk-
wird. Die empfängerseitigen Schwingungen beim tion nur für den in Abschnitt 7.3.2 beschriebenen
Betrieb der aktiven Schwingungsisolierung werden Amplituden- bzw. Dynamikbereich gültig.
als Restschwingungen bezeichnet. Wird die Isolierwirkung im Frequenzbereich ange-
Im Bild 6 sind beispielhaft die Kurven der emp- geben, so soll die Angabe bis zum fünffachen,
fängerseitigen Schwingungen ohne und mit aktiver muss jedoch mindestens bis zum dreifachen der
Schwingungsisolierung dargestellt. Im Frequenz- Obergrenze des Arbeitsfrequenzbereiches erfolgen.
bereich bis 500 Hz sind die empfängerseitigen In der Regel wird die Isolierwirkung als Funktion
Schwingungen mit aktiver Schwingungsisolierung der Frequenz angegeben. Insbesondere bei stoß-
(Restschwingungen) kleiner als die empfängersei- förmigen Signalen ist jedoch eine Betrachtung im
tigen Schwingungen ohne aktive Schwingungsiso- Zeitbereich sinnvoller, denn dann lassen sich Re-
lierung. Oberhalb von 500 Hz sind die Rest- aktionszeiten des aktiven Systems sowie Ein-
schwingungen wegen des Systemeigenrauschens schwingverhalten und Ausschwingzeiten praxisnah
und des Phasenfehlers der Regelung jedoch größer beurteilen.
als die empfängerseitigen Schwingungen bei rein
Bei adaptiven Systemen sind Angaben zur Isolier-
passiver Schwingungsisolierung.
wirkung nur eingeschränkt möglich, da solche
Für aktive Systeme muss das quellenseitige Systeme zeitvariante Übertragungseigenschaften
Schwingungssignal, mit dem die Isolierwirkung besitzen und somit ihr Antwortverhalten stark von
bestimmt wird, in geeigneter Weise eindeutig be- der „Signalvorgeschichte“ beeinflusst ist. In der
schrieben werden. Die Art dieser Beschreibung Regel wird jedoch ein reproduzierbares Verhalten
hängt von dem charakteristischen Zeitverlauf des nach geeigneter Adaptionszeit erreicht. Daher ist
Signals (periodisch, stochastisch, stoßartig) ab. Zur für adaptive Systeme bei der Angabe der Isolier-
Beschreibung gehört mindestens die Angabe der wirkung auch der Adaptionsvorgang (Adaptionssi-
Amplitude bzw. des Betragsmaximalwertes. gnal, Dauer and Ablauf der Adaption) zu beschrei-
Wenn ein System zur aktiven Schwingungsisolie- ben.
rung für unterschiedliche charakteristische Zeitver-

Bild 6. Gegenüberstellung der empfängerseitigen Schwingungen ohne und mit (Restschwingungen) aktiver
Schwingungsisolierung
– 16 – VDI 2064 Entwurf

7.3.6 Systemeigenrauschen einzelnen Freiheitsgrade bzw. Kanäle auch eine


Beschreibung für den gleichzeitigen Betrieb aller
Im Gegensatz zu passiven Systemen weisen aktive
Kanäle erforderlich, und zwar jeweils durch Anga-
Systeme zur Schwingungsisolierung immer ein
be der empfängerseitigen Schwingungen in allen
Systemeigenrauschen auf. Dieses Systemrauschen
Freiheitsgraden für die beiden Fälle, in denen
ergibt sich aus dem Rauschen der verwendeten
Komponenten und den Übertragungseigenschaften quellenseitige Schwingungen nur in einem
des Systems. Beide Anteile dürfen nicht verwech- Freiheitsgrad
selt werden und erfordern die Spezifikation des quellenseitige Schwingungen mit anwendungs-
Eigenrauschens auf Systemebene. typischen Signalen in allen Freiheitsgraden
Beispielsweise garantiert ein geringer Eigen- gegeben sind.
rauschpegel eines Fehlersensors keinesfalls einen
niedrigen Eigenrauschpegel der aktiven Schwin- 7.4 Integriertes System
gungsisolierung, da das gemessene Signal ver- 7.4.1 Quellenseitige Schwingungen
schiedene Übertragungsglieder (z. B. Messverstär- Wie im Abschnitt 6.3 für die Systemebene detail-
ker oder Regelungselektronik) durchläuft. Da alle liert dargelegt, ist die Isolierwirkung einer aktiven
Komponenten potenzielle Rauschquellen darstel- Schwingungsisolierung stark von den quellenseiti-
len, müssen deren Einflüsse auf das ausgangsseiti- gen Schwingungen abhängig. Daher ist zur Be-
ge Rauschsignal berücksichtigt werden. schreibung eines integrierten Systems eine genaue
Die Angabe des Systemeigenrauschens erfolgt Beschreibung der zu erwartenden quellenseitigen
über das Leistungsdichtespektrum der mechani- Schwingungen erforderlich. Sie umfasst
schen Schwingung für die angegebene mechani- den charakteristischen Zeitverlauf der Schwin-
sche Anbindung. Sie soll sich nicht auf den Ar- gungen (periodisch, stochastisch, stoßartig, ge-
beitsfrequenzbereich beschränken, sondern min- gebenenfalls gemischte Charakteristik),
destens auch den Bereich bis zu dessen zehnfacher
Obergrenze umfassen. die jeweiligen Amplituden bzw. Betragsmaxi-
malwerte,
Beinhaltet die aktive Schwingungsisolierung eine
digitale Signalverarbeitungseinheit, so ist die An- die jeweiligen Charakterisierungen im Fre-
gabe des Systemeigenrauschens mindestens bis zur quenz- oder Zeitbereich (Frequenzen, Leis-
Abtastfrequenz der digitalen Signalverarbeitungs- tungsdichtespektren, Zeitsignalverläufe) sowie
einheit erforderlich. das Zeitverhalten (stationär, gegebenenfalls
Beim Einsatz schaltender Leistungselektronik ist Drehzahlschwankungen usw.).
darüber hinaus der Einfluss der Schaltfrequenzen 7.4.2 Empfängerseitige Schwingungen und
auf das Systemeigenrauschen zu betrachten. Auch Restschwingungen
der Störeinfluss anderer Hilfsenergien (Druck- Die empfängerseitigen Schwingungen ergeben sich
schwankungen in Pneumatiksystemen, Pulsationen allgemein aus der Summe der über die Schwin-
in Hydrauliksystemen usw.) muss gegebenenfalls gungsisolierung übertragenen quellenseitigen
untersucht werden. Schwingungen, der über Nebenwege übertragenen
Hinweise zur Messung des Eigenrauschens finden Schwingungen (siehe Abschnitt 6.4.3) und der
sich in Abschnitt 7.5.3. empfängerseitig autonom entstehenden Schwin-
Das Systemeigenrauschen ist für den Betrieb ohne gungen.
quellenseitige Schwingung (Störschwingung) und Letztere entstehen durch weitere, von der zu isolie-
für den Betrieb mit einer spezifizierten, anwen- renden Quelle unabhängige Schwingungsquellen
dungstypischen Störschwingung anzugeben. auf der Empfängerseite. Im Fall der Empfängeriso-
7.3.7 Systeme für mehrere Freiheitsgrade lierung einer empfindlichen Maschine können dies
und mehrkanalige Systeme beispielsweise durch die Maschine selbst erzeugte
Schwingungen sein.
Für Systeme mit mehreren Freiheitsgraden, etwa
bei der gleichzeitigen Isolierung mehrerer Schwin- Empfängerseitige Schwingungen treten unabhän-
gungsrichtungen, sind alle Spezifikationen getrennt gig davon auf, ob die aktive Funktion der Schwin-
für jeden Freiheitsgrad anzugeben. gungsisolierung betrieben wird oder abgeschaltet
ist.
Praktisch werden Systeme für mehrere Freiheits-
grade als mehrkanalige Systeme aufgebaut, wobei Gemäß Abschnitt 7.3.5 werden die empfängersei-
die einzelnen Kanäle im Allgemeinen gekoppelt tigen Schwingungen beim Betrieb der aktiven
sind. Deshalb ist ergänzend zur Spezifikation der Schwingungsisolierung als Restschwingungen
Entwurf VDI 2064 – 17 –

bezeichnet. Diese Restschwingungen ergeben sich 7.4.4 Mechanische Anbindung


aus der Summe der übertragenen, entsprechend der Während bei der Betrachtung einer Schwingungs-
Isolierwirkung geminderten quellenseitigen isolierung auf Systemebene von einer idealen me-
Schwingungen, der über Nebenwege übertragenen chanischen Anbindung ausgegangen wird, sind für
Schwingungen, der empfängerseitig autonom ent- das integrierte System die realen Bedingungen der
stehenden Schwingungen sowie des Systemeigen- mechanischen Anbindung maßgebend. Sowohl die
rauschens der aktiven Schwingungsisolierung. quellenseitige als auch die empfängerseitige me-
Dabei ist zu beachten, dass die vom aktiven Sys- chanische Anbindung ist von großem Einfluss auf
tem bewirkte Änderung der mechanischen Anbin- die real erzielbare Isolierwirkung.
dung der empfängerseitigen an die quellenseitige Die mechanische Anbindung kann allgemein als
Struktur zu einer Zunahme der über Nebenwege komplexe, frequenzabhängige mechanische Impe-
übertragenen wie auch der empfängerseitig auto- danz oder anschaulicher durch die wirksamen
nom entstehenden Schwingungen führen kann. Massen mit ihren Schwerpunktslagen, durch Starr-
Für periodische und stochastische Schwingungen körpereigenmoden und durch elastische Moden
ist die Beschreibung der Restschwingungen durch beschrieben werden.
den (gegebenenfalls spektral dargestellten) Der Einfluss der realen mechanischen Anbindung
Schwinggeschwindigkeitspegel angemessen. Für einer Schwingungsisolierung besteht unabhängig
stoßförmige Schwingungen kann die Beschreibung davon, ob es sich um eine passive oder aktive
durch den maximalen Betragswert oder den Ab- Schwingungsisolierung handelt. DIN EN 1299
klingkoeffizienten angemessen sein. beschreibt am Beispiel der Quellenisolierung aus-
7.4.3 Wege der Schwingungsausbreitung führlich die zur Auslegung einer Schwingungsiso-
Bei der Planung von Schwingungsisolierungen ist lierung erforderlichen Angaben und gibt einen
die Bestimmung der Ausbreitungswege der Leitfaden für die Nachprüfung der Wirksamkeit
Schwingungen bzw. der Anregemechanismen der der Isolierung. Beides kann bezüglich der allge-
empfängerseitigen Struktur ein wichtiger Schritt. meinen dynamischen Eigenschaften auf aktive
Selbst bei idealer Schwingungsisolierung verbleibt Schwingungsisolierungen übertragen werden und
ein Restschwingpegel, der durch die nicht schwin- gilt sinngemäß auch für Empfängerisolierungen.
gungsisolierten Ausbreitungswege bestimmt ist. 7.4.5 Festlegung von Isolierwirkung bzw.
Dabei ist die Unterscheidung zwischen einem Restschwingungen zwischen System-
Hauptausbreitungsweg und sogenannten Neben- lieferant und Nutzer
wegen üblich. Schwingungsisolierungen werden Für den Nutzer einer Schwingungsisolierung sind
vorrangig für den Hauptausbreitungsweg einge- sowohl bei der Quellen- als auch bei der Empfän-
setzt. Ergänzende Isolierungen für die Nebenwege gerisolierung meist die Restschwingungen nach
werden nur bei Bedarf vorgesehen. Einbau und Inbetriebnahme der Schwingungsiso-
Typische Nebenwege stellen Kabel, Rohrleitungen lierung die relevante Größe, die Isolierwirkung
(und gegebenenfalls Fluide in Leitungen), Schlauch- spielt hingegen aus Nutzersicht eine untergeordne-
anbindungen oder auch der Luftschall dar. te Rolle.
Häufig wird der Restschwingpegel einer Schwin- Für den Anbieter einer Schwingungsisolierung ist
gungsisolierung für den Hauptausbreitungsweg die Angabe von anwendungsabhängigen Rest-
nicht durch deren begrenzte Isolierwirkung be- schwingungen wesentlich schwieriger als die An-
stimmt, sondern durch die Nebenwegübertragung. gabe der Isolierwirkung des Systems. Wie in den
Eine weitere Erhöhung der Isolierwirkung führt vorangehenden Abschnitten dargestellt, ist die
dann zu keinem weiteren Absinken des Rest- Isolierwirkung in einer konkreten Einbausituation
schwingpegels. jedoch häufig nicht sicher messbar.
Diese Zusammenhänge müssen bei der Spezifika- Vor diesem Hintergrund bleiben bei der Auslegung
tion eines integrierten aktiven Schwingungsiso- und Spezifikation von aktiven Schwingungsiso-
liersystems unbedingt beachtet werden. Dies gilt lierungen zwei Alternativen:
insbesondere, wenn eine passive durch eine zusätz- Der Systemanbieter spezifiziert sein System auf
liche aktive Schwingungsisolierung verbessert Systemebene wie in Abschnitt 6.3 beschrieben
werden soll. Dann muss sorgfältig geprüft werden, ausführlich und der Nutzeranwendung entspre-
welche Reduktion des Restschwingpegels ange- chend, der Nutzer wählt auf der Grundlage ei-
sichts der vorliegenden Nebenwegausbreitung ner solchen Spezifikation und in Kenntnis der
überhaupt erreicht werden kann. Integrationssituation eigenverantwortlich ein
System aus. In diesem Fall trägt der Anbieter
– 18 – VDI 2064 Entwurf

die Last einer detaillierten Spezifikation des in ihrer Charakteristik (Zeitcharakteristik des Si-
Systems und der Nutzer die Verantwortung für gnals, Amplitude, Frequenz usw.) möglichst an die
die Integration. nachzubildende Schwingung angelehnt sein.
Systemanbieter und Nutzer verständigen sich Werden Restschwingungen über den Arbeitsfre-
auf die Anwendung des in DIN EN 1299 be- quenzbereich einer aktiven Schwingungsisolierung
schriebenen Verfahrens, in dem der Nutzer dem hinaus gemessen, so ist zu berücksichtigen, dass
Systemanbieter detaillierte Informationen über die Anzahl der relevanten dynamischen Freiheits-
die Integrationsumgebung zugänglich macht grade des empfängerseitigen Systems in der Regel
und der Systemanbieter dafür die verbleibenden höher sein wird als die Anzahl der Freiheitsgrade
Restschwingpegel garantiert. In diesem Fall der aktiven Schwingungsisolierung. Daher sind die
trägt der Nutzer die Last der detaillierten In- empfängerseitigen Schwingungen nach Möglich-
formation und Spezifikation der Einsatzbedin- keit in allen im Frequenzbereich relevanten Frei-
gungen, der Systemanbieter dagegen die Ver- heitsgraden getrennt zu messen, zumindest aber
antwortung für die Einhaltung des Rest- Sensorpositionen und -ausrichtungen für Ver-
schwingpegels. gleichszwecke genau zu dokumentieren.
7.5 Hinweise zu Messmethoden 7.5.3 Systemeigenrauschen
7.5.1 Isolierwirkung Das Systemeigenrauschen einer aktiven Schwin-
gungsisolierung ist einer direkten Messung in der
Für die Beurteilung von aktiven Schwingungsiso-
Regel nicht zugänglich.
lierungen ist es sinnvoll, gleichzeitig sowohl
quellenseitige als auch empfängerseitige Schwin- Eine korrelationsbasierte Trennung der Rest-
gungen zu erfassen. Durch Bildung des Betrags der schwingungen in einen übertragenen und einen als
Übertragungsfunktion der Schwingungen kann die Systemeigenrauschen interpretierbaren Anteil ist
Isolierwirkung ermittelt werden. Gleichzeitig ist aufgrund der Übertragung des Systemeigenrau-
die Kohärenzfunktion als Maß für die Messunsi- schens auf die messbaren quellenseitigen Schwin-
cherheit anzugeben. gungen nicht möglich.
Bei mehrachsigen Systemen ist bei der Bildung des Eine Methode zur Ermittlung des Systemeigenrau-
Amplitudenverhältnisses eine saubere Trennung schens mit vertretbarem Aufwand ergibt sich aus
der Freiheitsgrade von großer Bedeutung. So darf dem Vergleich der gemessenen Isolierwirkung
beispielsweise die Beurteilung der Isolierwirkung einer aktiven Schwingungsisolierung bei verschie-
in vertikaler Richtung nicht durch Signalanteile aus denen quellenseitigen Schwingungsamplituden
Rotations- oder Horizontalbewegungen beeinflusst (Messungen A und B). Die Methode geht davon
werden. aus, dass sich das gesamte elektromechanische
System linear verhält, das Systemeigenrauschen
Praktisch kann die Trennung der Freiheitsgrade für
für verschiedene Signalpegel gleich ist und dass
Empfängerisolierungen durch die Nutzung von
autonome empfängerseitige Schwingungen gegen-
Schwingtischen zur räumlich definierten Anregung
über dem Systemeigenrauschen vernachlässigbar
erreicht werden. Diese Messung kann jedoch nur
sind.
auf Systemebene korrekte Angaben erzeugen.
In diesem Fall gilt für die bei den beiden Messun-
Im integrierten System sind Messungen oft nur mit
gen erhaltenen Amplitudenspektren im Frequenz-
großen Einschränkungen zu realisieren.
bereich:
7.5.2 Restschwingungen U 2A ( f ) # H ( f ) " U1A ( f ) ! R( f ) (3)
Die Messmethode für die Restschwingungen defi-
und
niert sich aus der Anwendung.
Es ist darauf zu achten, dass das Zeitintervall der U 2B ( f ) # H ( f ) " U1B ( f ) ! R( f ) (4)
Messung für die Art der auftretenden Schwingun- Dabei ist
gen hinreichend repräsentativ ist. H(f) Betrag der frequenzabhängigen Übertra-
Für den Fall, dass ein hinreichend repräsentatives gungsfunktion der aktiven Schwingungs-
Zeitintervall aufgrund des stochastischen Auftre- isolierung
tens der relevanten Schwingung (Schwingung tritt U1A(f); U1B(f)
nur mit großen Zeitabständen und in unregelmäßi- Amplitudenspektren der Schwingungen
gen Zeitintervallen auf) nicht definiert werden u1A und u1B der erregenden Struktur bei
kann, wird ersatzweise eine künstliche Anregungs- den Messungen A und B
quelle verwendet. Die Ersatzanregungsquelle sollte
Entwurf VDI 2064 – 19 –

U2A(f); U2B(f) nach Möglichkeit vermieden werden. Weiterhin ist


Amplitudenspektren der Schwingungen ergänzend zu der im vorherigen Abschnitt genann-
u2A und u2B der erregenden Struktur bei ten Messung der Restschwingung der betrachtete
den Messungen A und B Frequenzbereich mindestens auf das Zehnfache des
R(f) Amplitudenspektrum der Messgröße des Arbeitsfrequenzbereichs auszudehnen.
Systemeigenrauschens Messungen zum Systemeigenrauschen sind sowohl
unter Laborbedingungen auf Systemebene als auch
Alle Signale und Größen sind abhängig von der bei integrierten Systemen durchführbar.
Frequenz.
Mit diesen Messungen wird das Verhalten des
Für R gilt dann dynamischen Systems insgesamt erfasst. Die Inter-
U 2A ! U 2B pretation der Messergebnisse erfordert daher eine
R " U 2A ! U1A (5)
U1A ! U1B genaue Kenntnis der dynamischen Eigenschaften
der beteiligten Systeme, der Messorte und
Bild 7a zeigt beispielhaft die mit unterschiedli- -richtungen, der quellenseitigen Schwingungen
chen Anregungssignalen gemessene Isolierwirkung sowie des Aufbaus und der Funktionsweise der
über der Frequenz. Bild 7b zeigt die Leistungs- aktiven Schwingungsisolierung.
dichtespektren GuxAuxA, GuxBuxB, GuyAuyA, und GuyBuyB
sowohl der quellenseitigen (uxA und uxB) als auch
10
der empfängerseitigen (uyB und uyB) Schwingungen
sowie das Leistungsdichtespektrum Grr des gemäß 0
Gleichung (4) berechneten Systemeigenrauschens r. -10
20log # in dB

In der Praxis wird eine Messung mit minimal mög-


-20
licher Anregungsamplitude und eine zweite Mes-
sung mit maximal möglicher Anregungsamplitude -30 Anregung A
durchgeführt, um im Nenner von Gleichung (4)
-40
eine möglichst große Zahl zu erhalten und damit Anregung B
die Messunsicherheit für das Systemeigenrauschen -50
klein zu halten. Zusätzlich empfiehlt es sich, die 0,1 1 10 100
Frequenz f in Hz
Wirkung der aktiven Schwingungsisolierung durch
ein monofrequentes Testsignal sicherzustellen, das Bild 7a. Beispiel einer Isolierwirkung, gemessen
bei der Bewertung des Systemeigenrauschens ig- mit zwei unterschiedlichen Anregungssignalen A
noriert wird. und B
Zur Beschreibung des Systemeigenrauschens bietet
sich oberhalb des Arbeitsfrequenzbereichs alterna-
tiv ein vereinfachtes Verfahren an, bei dem die
empfängerseitigen Schwingungen (bei abgeschal-
teter aktiver Funktion der Schwingungsisolierung)
mit den Restschwingungen verglichen werden. Da
hier die Isolierwirkung der passiven – und damit
rauschfreien – Komponente mit der Isolierwirkung
der vollständigen – passiven und aktiven – Isolie-
rung verglichen wird, stellt eine messbare Ver-
schlechterung der Isolierwirkung außerhalb des
Arbeitsfrequenzbereiches der aktiven Schwin- Bild 7b. Spektrale Leistungsdichte der quellensei-
gungsisolierung eine Abschätzung für das System- tigen und empfängerseitigen Schwingungssignale
eigenrauschen für diese Frequenzen dar. Für viele bei verschiedenen Anregungen A und B sowie des
praktische Zwecke ist dies ausreichend. daraus ermittelten Systemeigenrauschens
Bei beiden Messmethoden sollten autonome emp-
fängerseitige Schwingungen sowie Nebenwege
– 20 – VDI 2064 Entwurf

Anhang Technische Realisierungen und In die Isoliereinheiten sind Sensoren und Aktoren
Anwendungsbeispiele zur aktiven Schwingungsisolierung eingebaut. Die
A1 Anwendungsbeispiel 1 Sensoren und Aktoren sind, wie in Bild A1a
Aktives Schwingungsisoliersystem als
skizziert, paarweise koaxial angeordnet. Der Sen-
Laborarbeitsplatz sor ist fest mit der isolierten Platte verbunden und
als Beschleunigungsaufnehmer mit einer Träg-
Der vorgestellte Laborarbeitsplatz ist ein aktiv heitsmasse m und einer Piezo-Scheibe ausgebildet.
schwingungsisolierter Labortisch, der schwin- Die von dieser Scheibe generierte elektrische La-
gungsempfindliche Versuchsaufbauten und Mess- dung ist proportional der Beschleunigung der iso-
apparaturen isoliert. lierten Platte. Eine analoge elektronische Schaltung
Im Einzelnen besteht dieser Arbeitsplatz aus einem verstärkt die Ladung und führt eine Zeitintegration
geschweißten Stahlgestell, zwei Isoliereinheiten aus, womit das resultierende Signal proportional
und einer Stahlwabenkernplatte. Die Isoliereinhei- zur absoluten Geschwindigkeit der isolierten Platte
ten stützen sich auf dem Gestell ab und tragen ist. Die Resonanz der Sensoren bei ca. 300 Hz wird
ihrerseits über Stahlfedern die Platte. Der experi- mit einer Bandsperre unterdrückt. Ab ca. 100 Hz
mentelle Aufbau ist, wie in Bild A1b dargestellt, leistet die passive Feder-Masse-Anordnung den
auf dieser Platte montiert. Die Funktion des wesentlichen Beitrag zur Isolierung. Nach einer
Schwingungsisoliersystems ist weitgehend vom amplitudenabhängigen Verstärkung werden die
Aufbau unabhängig, da die Stahlwabenkernplatte Sensorsignale phasengedreht über eine Pulsweiten-
und der Aufbau im interessierenden Frequenzbe- modulierte Endstufe (PWM) den elektrodynami-
reich als ein einziger Starrkörper betrachtet werden schen Aktoren zugeführt. Die Taktfrequenz der
können. PWM-Endstufe liegt mit 120 kHz sowohl weit
oberhalb der Eigenfrequenzen der Starrkörpermo-
den als auch der ersten elastischen Mode des Ge-
stells und der Stahlwabenkernplatte. Der Einfluss
höherer Moden der Stahlwabenkernplatte wird
durch die Verwendung visko-elastischer Dämp-
fungsbeläge reduziert. Die Aktoren bauen über die
stromdurchflossene Spule im Magnetfeld eine
Kraft in Richtung der Wirkungslinien auf (siehe
a) Bild A1c), welche über einen Stößel an das Ge-
stell weitergegeben wird und somit der Bewegung
der isolierten Platte entgegenwirkt.
In jeder der oben genannten Isoliereinheiten sind
vier Sensor/Aktor-Paare eingebaut, sodass jeweils
zwei Paare in vertikaler Richtung und die beiden
anderen Paare in horizontaler Richtung wirken.
Mit dieser Konfiguration können die sechs Starr-
körper-Freiheitsgrade der isolierten Platte aktiv
isoliert werden.
Der Nachweis der Isolierwirkung des Systems
b) erfolgt durch die Bestimmung des Amplitudenfre-
quenzgangs (f). Hierzu wird das System unter
Laborbedingungen auf einem Schwingtisch aufge-
stellt. Der Schwingtisch ermöglicht die Beauf-
schlagung des aktiven Schwingungsisoliersystems
mit einem definierten Anregungssignal in einem
festgelegten Freiheitsgrad. In Bild A2a ist der
Amplitudenfrequenzgang (f) für die vertikale und
c) horizontale Richtung bei einer harmonischen An-
Bild A1. Aktiv schwingungsisolierter Versuchsauf- regung mit konstanter Schwinggeschwindigkeits-
bau mit Lichtmikroskop und angebauten Mikroma- amplitude von 100 µm/s dargestellt, wobei die
nipulatoren Anregungsfrequenz als Gleitsinus variiert wurde.
a) Skizze vom Gestell mit Federn und Wirkungslinien
b) Foto vom Versuchsaufbau
Die Kurven zeigen im Frequenzbereich zwischen
c) Skizze von Sensor, Aktor und Regelung
Entwurf VDI 2064 – 21 –

1 Hz und 10 Hz eine Abnahme des Amplitudenfre- zu sehen. Aus ihnen kann abgelesen werden, dass
quenzgangs um nahezu 40 dB. die Isolierwirkung in den Schwingungsmaxima bei
Aufgrund der Bedienung der experimentellen La- 14 Hz und 21 Hz besonders groß ist.
boraufbauten werden zeitweise Kraftstöße (Impul-
se) auf die schwingungsisolierte Platte ausgeübt.
Aus diesem Grund ist die Ausschwingzeit des
Schwingungsisoliersystems von Bedeutung. In
Bild A2b ist das Ausschwingverhalten im Ver-
gleich zwischen passiver und aktiver Schwin-
gungsisolierung infolge eines Kraftstoßes von 1 N
skizziert. Die Kurven zeigen eine Verkürzung der
Ausschwingzeit sowie eine Reduzierung der ma-
ximalen Schwinggeschwindigkeitsamplitude durch
die aktive Schwingungsisolierung.

Bild A3. Gemessene Schwinggeschwindigkeit am


Aufstellort
A2 Anwendungsbeispiel 2
Integrierte aktive Schwingungsisolierung bei
einem Rasterelektronenmikroskop
In der Regel werden Rasterelektronenmikroskope
mit hochwertigen passiven Schwingungsisolierun-
gen mit Schraubendruckfedern oder Luftfedern
ausgerüstet. Wenn jedoch die Anforderungen an
die Bodenschwingungspegel an einem gewünsch-
ten Aufstellort nicht erfüllt werden können, kom-
Bild A2a. Gemessene Amplitudenfrequenzgänge
des aktiv isolierten Schwingtischs
men auch aktive Schwingungsisolierungen anstelle
der integrierten passiven Schwingungsisolierung
oder als Zusatzmaßnahme zum Einsatz. Modernste
Rasterelektronenmikroskope mit höchster Auflö-
sung können oftmals selbst in der Standardausfüh-
rung nicht mehr auf eine aktive Schwingungsiso-
lierung verzichten, damit die Ansprüche an die
Bodenschwingungsfreiheit am Aufstellort nicht zu
hoch werden. Das Beispiel zeigt eine Lösung für
eine integrierte aktive Schwingungsisolierung in
einem hochwertigen Rasterelektronenmikroskop.
Die Schwingungsisolierung ist für den Frequenz-
bereich bis 100 Hz und für Bodenschwingungen
im seismischen Bereich (typisch zwischen 2 Hz
und 30 Hz) mit Schwinggeschwindigkeitseffektiv-
werten von 1 µm/s bis 30 µm/s ausgelegt. Damit
Bild A2b. Ausschwingverhalten der schwingungs-
isolierten Platte bei Impulsanregung
ist das Mikroskop auch in normaler Laborumge-
bung in der Lage, Bilder mit einer besseren Auflö-
Der Funktionsnachweis der Schwingungsisolie- sung als 1 nm bei bis zu 650.000-facher Vergröße-
rung wird durch die Messung der Schwingge- rung zu liefern.
schwindigkeit am Aufstellort und der verbleiben-
den Restschwingung auf der isolierten Platte er-
bracht. Da das aktive Isoliersystem nur in Kombi-
nation mit festgelegten passiven Federelementen
angeboten wird, genügt die Messung der Isolier-
wirkung des Gesamtsystems. Die entsprechenden
Kurven für die vertikale Richtung sind in Bild A3
– 22 – VDI 2064 Entwurf

u2 Die aktive Schwingungsisolierung besteht insge-


samt aus vier Schwingungsisolatoren und einem
Steuergerät. Jeder Isolator (Bild A6) besteht aus
einer Bodenplatte (1) zur mechanischen Anbin-
dung an den Tragrahmen des Mikroskops, einer
Kopfplatte (2) zur mechanischen Anbindung an
den isolierten Mikroskopkörper, einer Schrauben-
druckfeder mit Aufnahme zur Einstellung der Ar-
F beitshöhe (3) und zwei Linearkraftantrieben für die
R u1 vertikale (4) und horizontale Richtung (5). In der
Kopfplatte (2) sind je ein elektrodynamischer
Schwinggeschwindigkeitsaufnehmer für horizonta-
le und vertikale Schwingungen integriert. Die Wir-
Bild A4. Vereinfachte Darstellung für ein System krichtung der Antriebe und der jeweils zugeordne-
mit einem Freiheitsgrad ten Schwingungsaufnehmer ist durch graue Pfeile
markiert, wobei Pfeil (6) die vertikale und Pfeil (7)
Im vorgestellten Beispiel wird ein Rückkopplungs- die horizontale Richtung der jeweiligen Messgröße
regler mit einer Störgrößenaufschaltung kombiniert und Kraftquelle bezeichnet.
(Bild A4). Sowohl die Restschwingungssignale u2
Die vier Isolatoren werden um jeweils 90° zuei-
auf der empfängerseitigen Struktur als auch die
nander gedreht in den vier Ecken des Tragrahmens
Bodenschwingungssignale u1 werden einem Regler
eingebaut (Bild A7), sodass die Antriebe und
R zugeführt. Die im Regler berechneten Kompen-
Schwingungsaufnehmer von je zwei diagonal
sationskräfte F werden mit Hilfe von elektrodyna-
gegenüberliegenden Isolatoren in eine der beiden
mischen Linearaktoren aufgebracht. In Bild A5 ist
horizontalen Raumrichtungen zeigen. In Bild A7
die Struktur des Reglers dargestellt, der die Rest-
sind aus Gründen der Übersichtlichkeit nur die
schwingungssignale u2 im Rückkopplungsregler
Wirkrichtungen der Linearantriebe dargestellt. Auf
und die Bodenschwingungssignale u1 in der Stör-
den oberen Querträgern des Tragrahmens sind drei
größenaufschaltung verarbeitet. Die Parameter der
Schwingungsaufnehmer für die Störgrößenauf-
Störgrößenaufschaltung werden so optimiert, dass
schaltung angebracht.
die Restschwingungssignale u2 minimal werden.
In Bild 16 ist die aktive Schwingungsisolierung
Die aktive Schwingungsisolierung schließt alle
integriert im Mikroskop dargestellt. Die konstruk-
sechs Starrkörperfreiheitsgrade des Mikroskops
tive Ausführung der Schwingungsisolatoren (1)
ein. Es werden die quellenseitigen Bodenschwin-
und (2) erklärt sich aus den räumlichen Gegeben-
gungen u1 in drei Freiheitsgraden – zwei horizonta-
heiten im Tragrahmen. Jeder der vier Schwin-
le und eine vertikale Raumachse – und die emp-
gungsisolatoren wird durch zwei Leitungen für
fängerseitigen Restschwingungen u2 in sechs Frei-
Aufnehmersignale und Antriebssignale mit dem
heitsgraden erfasst. Dazu werden einkanalige
Steuergerät (3) verbunden. Im Steuergerät findet
Schwinggeschwindigkeitsaufnehmer eingesetzt,
die für die Regelung notwendige analoge und digi-
die verteilt an drei der vier Isolatoren angebracht
tale Signalverarbeitung statt. Im hier dargestellten
sind. Aus den sechs einachsigen Restschwingungs-
Versuchsaufbau ist das Steuergerät auf dem Tisch
signalen werden mittels einer Transformation die
erkennbar. In der Serienversion ist das Steuergerät
Komponenten der Restschwingungen in einem
ebenfalls in den Tragrahmen integriert.
gemeinsamen Koordinatensystem mit sechs Frei-
heitsgraden ermittelt. Eine optimale Wirkung der aktiven Schwingungs-
isolierung konnte nur nach Analyse der dynami-
Die im Regler aus den Boden- und Restschwin-
schen Eigenschaften des Tragrahmens und des
gungssignalen getrennt ermittelten Kompensa-
eigentlichen Mikroskopkörpers als der empfänger-
tionssignale werden überlagert und dann mittels
seitigen Struktur erzielt werden. Die jeweiligen
einer weiteren Transformation in acht Signale zur
Strukturresonanzen, die bei der Reglerauslegung
Ansteuerung der acht Kraftaktoren überführt. Die-
berücksichtigt wurden, können für den Tragrahmen
se Kompensationssignale werden den Aktoren, die
Bild 17 a) (55 Hz, 70 Hz und 180 Hz) und für den
an den vier Isolatoren verteilt angebracht sind,
Mikroskopkörper Bild 17 b) (110 Hz und 285 Hz)
zugeführt und dort in Kompensationskräfte ge-
entnommen werden.
wandelt (Bild A6).
Entwurf VDI 2064 – 23 –

u1
Störüber- + u2
Störgrößen- tragungs-
aufschaltung verhalten
+
- +
Rück- F
Sollwert 0 kopplungs- Regelstrecke
+ regler +

Bild A5. Reglerstruktur mit Rückkopplungsregler und Störgrößenaufschaltung

3 FG 6 FG
u1

6 FG Trans-
Regler
formation F

6 FG Trans- 6 FG 6 FG
u2
formation
8 Kraft-
aktoren

Bild A6. Realisierung der aktiven Schwingungsisolierung mit Angabe der Anzahl der Freiheitsgrade (FG)

Bild A7. Anordnung von vier Schwingungsisolatoren und Aufnehmern für Bodenschwingungen zur aktiven
Schwingungsisolierung
– 24 – VDI 2064 Entwurf

F1z

F1v 2
7
3

5
4
Bild A8. Aufbau z. B. des Schwingungsisolators 1
1 Kopfplatte 4 Schraubendruckfeder
2 horizontale Richtung der Messgröße und Kraft- 5 Bodenplatte
quelle 6 Linearaktor – vertikale Wirkrichtung (F1z)
3 vertikale Richtung der Messgröße und Kraftquelle 7 Linearaktor – horizontale Wirkrichtung (F1y)

Bild A9. Aktive Schwingungsisolierung, integriert in ein Rasterelektronenmikroskop


1 Schwingungsisolator 2
2 Schwingungsisolator 1
3 Steuergerät
Entwurf VDI 2064 – 25 –

20log ! in dB

Frequenz f in Hz
a) b)
Bild A10. a) Typischer Amplitudenfrequenzgang des Tragrahmens b) Typischer Amplitudenfrequenzgang
des Mikroskopkörpers
Bild A11 zeigt die Beiträge der passiven Stahlfe- Verbesserung der Isolierwirkung gegenüber der
derisolierung, des Rückkopplungsreglers und des passiven Luftfederisolierung. Diese Messergebnis-
Rückkopplungsreglers mit Störgrößenaufschaltung se beschränken sich aus Platzgründen auf die ver-
zur Gesamtisolierwirkung. Bild A12 zeigt die tikale Richtung.

20 log

Bild A11. Wirkung der Schwingungsisolierung (Amplitudenfrequenzgang und Kohärenzfunktion)


Kurve 1: ohne aktive Schwingungsisolierung – nur passive Schwingungsisolierung
Kurve 2: aktive Schwingungsisolierung mit Rückkopplungsregler
Kurve 3: aktive Schwingungsisolierung mit Rückkopplungsregler und Störgrößenaufschaltung

20 log

Bild A12. Vergleich der Schwingungsisolierwirkung in vertikaler Richtung mit und ohne aktive Schwingungs-
isolierung
Kurve 1: mit aktiver und passiver Schwingungsisolierung
Kurve 2: ohne aktive (nur mit passiver) Schwingungsisolierung
– 26 – VDI 2064 Entwurf

Schrifttum Literatur
Gesetze, Verordnungen, Verwaltungsvorschriften Bibliografien
Richtlinie 98/37/EG des Europäischen Parlaments und des Guicking's Online Reference Bibliography on Active Control
Rates vom 22. Juni 1998 zur Angleichung der Rechts- und of Sound and Vibration. 4th edition on CD ROM (mit Bear-
Verwaltungsvorschriften der Mitgliedstaaten für Maschinen. beitungsprogramm GORBI 1.1), January 2003.
ABl EG, 1998, Nr. L 207, S. 1–46 Guicking, D.: Patents on Active Control of Sound and Vibra-
tion – an Overview. 2nd edition, 2005, 125 pp.
Technische Regeln
DIN 1311-1:2000-02 Schwingungen und schwingungsfähige Lehrbücher
Systeme; Teil 1: Grundbegriffe, Einteilung ((Mechanical)
Fuller, C.R.; Elliott, S.J.; Nelson, P.A.: Active Control of
vibrations, oscillation and vibration systems; Part 1: Basic
Vibration. London: Academic Press, 1996, ISBN 0-12-
concepts, survey). Berlin: Beuth Verlag
269440-6
DIN 1311-2:2002-08 Schwingungen und schwingungsfähige
Meirovitch, L.: Dynamics and Control of Structures. New
Systeme; Teil 2: Lineare, zeitinvariante schwingungsfähige
York: John Wiley & Sons, 1990, ISBN 0-471-62858-1
Systeme mit einem Freiheitsgrad ((Mechanical) vibrations,
oscillations and vibration systems; Part 2: Linear vibration Clark, R.L.; Saunders, W.R.; Gibbs, G.: Adaptive Structures;
systems with single degree of freedom). Berlin: Beuth Verlag Dynamics and Control. New York: John Wiley & Sons, 1998,
ISBN 0-471-12262-9
DIN 1311-3:2000-02 Schwingungen und schwingungsfähige
Systeme; Teil 3: Lineare, zeitinvariante schwingungsfähige Preumont, A.: Vibration Control of Active Structures. Kluwer
Systeme mit endlich vielen Freiheitsgraden ((Mechanical) Academic Publishers, 2nd edition, 2002, ISBN 1-4020-0925-9
vibration, oscillation and vibration systems; Part 3: Linear
time-invariant vibration systems with a finite number of de- Periodika und Tagungen mit regelmäßigen
grees of freedom). Berlin: Beuth Verlag Beiträgen zum Themengebiet
DIN 19226-1:1994-02 Leittechnik; Regelungstechnik und Journal of Sound and Vibration (JSV), Imprint: ELSEVIER,
Steuerungstechnik; Allgemeine Grundbegriffe (Control tech- ISSN 0022-460X
nology; general terms and definitions). Berlin: Beuth Verlag Mechanical Systems & Signal Processing (MSSP) Academic
DIN 19226-2:1994-02 Leittechnik; Regelungstechnik und Press, ISSN 0888-3270
Steuerungstechnik; Begriffe zum Verhalten dynamischer Journal of Intelligent Material Systems and Structures
Systeme (Control technology; terms and definitions; dynamic (JIMSS) Technomic Publishing, ISSN 1045-389X
systems behaviour). Berlin: Beuth Verlag
ACTIVE, International Symposium on Active Control of
DIN EN 1299:1997-05 Mechanische Schwingungen und Sound and Vibration, Institute of Noise Control Engineering
Stöße; Schwingungsisolierung von Maschinen; Angaben für (INCE)
den Einsatz von Quellenisolierungen; Deutsche Fassung EN
1299:1997 (Mechanical vibration and shock; Vibration isola- Adaptronic Congress, Adaptronic Congress Veranstaltungs
tion of machines; Information for the application of source GbR
isolation; German version EN 1299:1997). Berlin: Beuth ICAST, International Conference on Adaptive Structures and
Verlag Technologies
VDI 1000:2006-10 Richtlinienarbeit; Grundsätze und Anlei- VDI-Schwingungstagung, VDI Gesellschaft Entwicklung
tungen (Establishing guidelines; Principles and procedures). Konstruktion Vertrieb
Berlin: Beuth Verlag
VDI 2062 Blatt 1:1976-01 Schwingungsisolierung; Begriffe
und Methoden (Shock and vibration isolation conceptions and
principles). Berlin: Beuth Verlag
VDI 2062 Blatt 2:2007-11 Schwingungsisolierung; Schwin-
gungsisolierelemente (Vibration insulation; Insulation ele-
ments). Berlin: Beuth Verlag
VDI 3833 Blatt 1:2003-12 Schwingungsdämpfer und Schwin-
gungstilger; Schwingungsdämpfer; Begriffe, Kenngrößen,
Realisierung, Anwendung (Dynamic damper and dynamic
vibration absorber; Dynamic damper; Terms, characteristics,
implementation, application). Berlin: Beuth Verlag
VDI 3833 Blatt 2:2006-12 Schwingungsdämpfer und Schwin-
gungstilger; Schwingungstilger und Schwingungstilgung
(Dynamic damper and dynamic vibration absorber; Dynamic
vibration absorber and dynamic vibration absorption). Berlin:
Beuth Verlag
VDI 3839 Blatt 1:2001-03 Hinweise zur Messung und Inter-
pretation der Schwingungen von Maschinen; Allgemeine
Grundlagen (Instructions on measuring and interpreting the
vibrations of machines; General principles). Berlin: Beuth
Verlag